JP2002512691A - テスト装置用ケーブルトレイ組立体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 テスト装置（１００）内のマニピュレータ（２００）のためのケーブルトレイ組立体。ケーブルを有するマニピュレータは、半導体デバイスをテストするためのテストヘッド（６２）を操作するために用いられる。本発明のケーブルトレイ（１０２）は、ケーブルハウジング（２６）内のマニピュレータ内に取り付けられ、そして、それぞれのレール（１６）に配設されて、長手方向に移動してケーブルハウジングに対して出没するようにする。ケーブルトレイは、テスタシステムのフレーム（２）からテストヘッドまで貫通するケーブルを収納し、そして、支持する。マニピュレータがテストヘッドを位置決めするために移動するので、このことはケーブルを動かす。それに対応して、ケーブルトレイはケーブルの移動とは独立して移動し、マニピュレータの全移動範囲の移動を許容すると同時にケーブル内の伸びと縮みを緩和するが、このことは長期間のケーブル損傷を減少する。ケーブルトレイはそれらの幅に対しては高さの方が大きいので、ケーブルはケーブルトレイの高さに平行な軸を中心にして、より簡単に撓むことができる。ケーブルトレイは、また、ケーブルの擦りを防止するために各ケーブルトレイの底部に輪郭フランジを有している。さらに、ケーブルトレイの両端部は異なる角度で傾斜していてケーブルの支持を最大とし、一方曲がっている最中に可撓時にケーブルの伸びを減ずる。

Description

【発明の詳細な説明】 テスト装置用ケーブルトレイ組立体 技術分野 請求された本発明は電子構成部品のためのテスト装置の分野に関する。より詳 しくは、本発明は、マニピュレータに延在して電子構成部品のテスト用のテスト ヘッドと接続するケーブルを支持するケーブルトレイを有する改良されたケーブ ル取り扱いシステムに関する。 背景技術 電子装置および特には半導体デバイスをテストするための従来技術のシステム は、主に電子回路と、フレームおよびテストヘッドを取り付けるマニピュレータ 組立体を有する。テスト用の電子回路はテストヘッドそれ自身内に配置される。 しかしながら、テストデータを処理して、記録する電子回路の幾つかはフレーム 内、若しくは、別のコンピュータ内にも配置される。複数のケーブルからなるケ ーブル組立体はテストヘッド電子回路に電力を供給し、そして、テストヘッドに おける電子回路を電源のようなユーティリティや他の装置（例えば、冷却システ ム等）に接続するために用いられる。テストプロセスは大量の電力を必要とする ので、大きく、重い電力ケーブルが電力を電源からテストヘッドに移すために必 要とされる。空気圧を用いて電気的なインタフェース接点に接近するテストユニ ットは、空気源からテストヘッドに高圧空気を連結する気送管を有する。更に、 テストヘッドにおける複雑な処理回路により生ずる熱のためにテストヘッドは冷 却されねばならない。テストヘッドにおける電子構成部品を冷却する一つの方法 は、テストヘッド内に冷却流体を循環させることである。冷却流体を循環させる テスト装置において、ケーブル（ウォーターライン）は冷却流体を熱交換器から テストヘッドに導き、そして、使われた（熱せられた）冷却流体を熱交換器に戻 す。 従来技術のマニピュレータ組立体は、テストヘッドの両側に取り付けられるヨ ークを用いている。これらの従来技術のマニピュレータ組立体は、主に、アーム を垂直レールに取り付けることにより水平移動を可能にしている。アームは、テ ストヘッドの両側に取り付けるヨークを用いて、テストヘッドに取り付ける。ア ームは、アームが垂直レールに沿って昇降可能なように垂直レールに取り付けら れている。アームは、主に、ピボット点を中心にした半径方向の弧内でのヨーク の移動を可能にするようにアームが半径方向の弧内を揺動するように、取り付け られる。 近年のテスタの複雑さのために、ケーブル組立体は、主に、重い、嵩張った数 多くのケーブルを有している。典型的には、ケーブル組立体の個々のケーブルは 、ストラップ若しくはケーブルカバーを用いて一緒に束ねられている。これがケ ーブルを一緒に保持するけれども、結果としてケーブル組立体は、非常に重く、 嵩張り、そして、ケーブル組立体は柔軟性が殆どなくなる。従来技術システムに おいては、ケーブルは、通常、テストヘッドからフレームに伸びるままに地上に 置かれている。その故に、一般的には、大規模なケーブルは、テストローダーと 組み合わせられているときには、テストヘッドの位置決めの邪魔になる。ケーブ ルが邪魔になるのみならず、ケーブルはマニピュレータの移動の邪魔となり、そ して、テストヘッドの移動の邪魔もする。 最近の設計は、ケーブルスリングを用いて幾つかのケーブルを地面から持ち上 げるケーブル取り扱い処理システムを含んでいる。しかしながら、ケーブル位置 は、ある程度まではケーブルスリングによってされるけれども、ケーブルは依然 として作動の邪魔であり、そして、位置決め中にはアームとテストヘッドの移動 の邪魔をしている。ついで、弧中において大きく従来技術のアームを移動させる 試みはケーブルにストレスと緊張を与え、それによりケーブルにダメージを与え る。 この問題は、ケーブルが地上に配設されているか、若しくは、それがフレーム の側面に沿って通るようにスリング内に配設されているような従来技術の設計上 において明らかである。ケーブルが延在する側からフレームの反対側に向かって アームが弧上を移動することができるように、ケーブルは地面を横切って移動、 又は、スリング内を揺動できるけれども、ケーブルがそれを越えて延びるフレー ムの側にアームが揺動したとき、ケーブルは完全な移動を妨害する。もしも、オ ペレータが、ケーブルがそれを越えて延びるフレームの側に向かってマニピュレ ータを移動させようとしても、ケーブルは輪のように曲がり、そして、ケーブル にダメージを与えたり、若しくは、破損するように圧縮される。 他の従来技術の設計は、ケーブルがハウジングの中心を通るように配置した。 しかしながら、ケーブルは、大きく、重く、そして、比較的柔軟性がない。その 故に、ケーブルはどちら側にも同じ範囲内で移動できるけれども、移動の範囲は ケーブルの非柔軟性により制限される。よって、テスタの中心をケーブルが通っ て延在する設計は、フレームの側方を横切ってケーブルが通る設計に比べて、融 通性を可能にするけれども、この設計は、依然として、多くの組み立てに余裕の あるレイアウトの必要性を考慮してはいない。特に、幾つかの製造業者は、典型 的には、被測定デバイス（ＤＵＴ）前送りとして言及されるテストヘッド前送り でテストしている。他の製造業者は、ＤＵＴ上位置（被測定デバイスがテストヘ ッドよりも上に位置している）、及び、ＤＵＴ下位置（被測定デバイスがテスト ヘッドよりも下に位置している）においてテストしている。これらのテスト位置 と空間的な必要条件の全てを完全に検討するためには、柔軟性のあるケーブル支 持システムが必要とされる。 別の最近の改良は、マニピュレータの設計中に“捻り”を導入した。“捻り” を可能にした従来技術の設計は、アームとテストヘッドとの間で回転運動を可能 にしたものである。このことはヨークとテストヘッドの回転を許容する。しかし ながら、ケーブル組立体の重いケーブルは、運動を困難にし、そして、捻りによ る運動範囲を制限している。 必要なことは、ケーブルがオペレータの邪魔をしないような、また、ケーブル がマニピュレータとテストヘッドの移動の邪魔をしないようなケーブルの装着を 提供するケーブル取り扱いシステムである。その上、ケーブルがダメージを被ら ないように、マニピュレータの移動から生ずるケーブルの伸び縮みを制限するよ うなケーブル取り扱いシステムが必要とされる。更に、必要なことは、完全な範 囲での移動と容易に移動のできるケーブル取り扱いシステムを有するマニピュレ ータを含んだテスタの設計である。本発明は、上述の要求に対する解答を提供す る。発明の開示 本発明は、マニピュレータが完全な移動範囲で移動するようにした改良された ケーブル取り扱いシステムによって上記の要求に答えたものである。本発明のケ ーブルトレイは、ケーブルハウジング内のマニピュレータ内に配設され、そして 、ケーブルハウジングに対してケーブルトレイが長手方向に進退動するように各 レールに配設される。ケーブルトレイは、テスタシステムのフレームからテスト ヘッドまで通っているケーブルを収容し、そして、支持する。マニピュレータは テストヘッドの位置決めをするために移動するので、このことはケーブルを移動 させる。それに応じて、ケーブルトレイは、マニピュレータの全範囲の移動を許 容するように、前記ケーブルの移動につれて独立して移動するが、同時に、ケー ブル内での伸び縮みを緩和するが、それは長期間におけるケーブルダメージを減 少することとなる。ケーブルトレイはそれらの幅に対して、より高い高さを有し ており、ケーブルがケーブルトレイ長（それらの長軸）に平行な軸のまわりで、 より簡単に撓むことができる。ケーブルトレイは、また、ケーブルが擦り切れる のを防止するための各ケーブルトレイの底部の輪郭フランジを含む。更に、ケー ブルトレイの各端部は、ケーブル支持を最大とするために別々の角度でテーパー とされるが、一方、撓んだ時のケーブルの緊張を減ずる。一つの例においては、 三つのケーブルトレイが用いられている。ケーブルが一つのケーブルトレイに向 う方向に曲がるとき、そのケーブルトレイは圧縮を和らげるために内側に移動す るにつれ、反対側の別のケーブルトレイが伸びを緩和するために外側に移動する 。 特に、各ケーブルは、フレームを通って伸縮継手内に配置された各ケーブルト レイ内に延長される。各ケーブルは、伸縮継手を通り、そして、広い範囲の揺動 回転をする揺動アームの長手方向の軸に沿って延在する。伸縮継手は、揺動アー ムの伸縮を可能にする。ケーブルは、タンブル（tumble）回転を可能にする組立 体を横切って延び、そして、広い範囲の捻り運動を提供する回転ベアリング組立 体を通って延びる。ケーブルトレイは、ケーブルを損傷することなく全移動範囲 の内でマニピュレータが移動できるようにするために長手方向に移動する。ケー ブルトレイの長手方向の運動は、マニピュレータの移動によって必要とされるよ うなケーブルの伸縮を提供する。本発明のケーブル取り扱いシステムは、また、 余分なケーブルの保管にも措置を講じている。 三つのケーブルトレイがケーブルハウジング内に配設されている。それぞれの ケーブルトレイはケーブルハウジング内に配設された長手方向に向いたレールに ベアリング組立体により取り付けられていて、それぞれのケーブルトレイがケー ブルハウジング内を進退できるようになっている。各ケーブルトレイは、ケーブ ルがケーブルトレイの端部から延びて輪になったときにケーブルが擦られないよ うにケーブルトレイの一端から延びた輪郭フランジを有する。各ケーブルトレイ の高さと幅は、ケーブルが水平方向に撓んだときにケーブルの伸びと縮みを最小 とするように設計されている。加えて、ケーブルが水平方向に撓んだときのケー ブルの伸びと縮みを最小とするように、また、最も完全なケーブルの移動可能な 範囲とマニピュレータの最も完全な移動可能な範囲を許容するように、各ケーブ ルトレイの前端は直線的な外形、若しくは、傾斜した外形のどちらかを有してい る。 本発明の改良されたケーブル取り扱いシステムはケーブルがマニピュレータ内 を移動できるようにして、従来技術のマニピュレータの移動範囲よりも広いマニ ピュレータの移動範囲を可能にする。特に、本発明においては、マニピュレータ は水平に移動し、垂直に移動し、そして、タンブル回転と捻りにも関連する。前 記ケーブル取り扱いシステムは、これらの移動の全てを考慮するものであって、 ケーブルの伸びと縮みを最小とするものである。完全な移動範囲の可能にされた ケーブルトレイを収容するマニピュレータを有するテスタも記述されている。 図面の簡単な説明 この明細書に組み込まれて一部分を形成する添付の図面は、本発明の実施の諸 形態を図示しており、そして、明細書と共に発明の原理を説明するのに役立つも のである。 図１は、揺動アームが揺動回転０度を有する状態においてＤＵＴ上位置にある マニピュレータを有する本発明のテスタを図示する前方斜視図である。 図２は、揺動アームが揺動回転０度を有する状態においてＤＵＴ上位置にある マニピュレータを有する本発明のテスタを図示する右側面図である。 図３は、揺動アームが揺動回転０度を有する状態においてＤＵＴ上位置にある マニピュレータを有する本発明のテスタの拡大図を図示する左側面図である。 図４は、揺動アームが揺動回転０度を有する状態においてＤＵＴ上位置にある マニピュレータを有する本発明のテスタを図示する、図３のＣ−Ｃ線に沿って断 面を示した左側図である。 図５ａは、ケーブルトレイとケーブルを有する本発明のテスタを図示する、図 ４のＩ−Ｉ線断面図である。 図５ｂは、本発明によるケーブルトレイと、伸縮継手と、水平と垂直のレール 組立体の拡大図である。 図６は、揺動アームが揺動回転０度を有し、伸縮継手が完全に後退した位置に ある状態においてＤＵＴ上位置にあるマニピュレータと共にケーブルトレイとケ ーブルを有する本発明のテスタの拡大図を図示した、図４のＣ−Ｃ線断面頂面図 である。 図７は、揺動アームが揺動回転０度を有し、伸縮継手が完全に前進した位置に ある状態においてＤＵＴ上位置にあるマニピュレータと共にケーブルトレイとケ ーブルを有する本発明のテスタの拡大図を図示した、図４のＣ−Ｃ線断面頂面図 である。 図８ａは、揺動アームが右に９０度揺動回転し、伸縮継手が完全に前進した位 置にある状態においてＤＵＴ上位置にあるマニピュレータと共にケーブルトレイ とケーブルを有する本発明のテスタの拡大図を図示した、図４のＣ−Ｃ線断面頂 面図である。 図８ｂは、揺動アームが左に９０度揺動回転し、伸縮継手が完全に前進した位 置にある状態においてＤＵＴ上位置にあるマニピュレータと共にケーブルトレイ とケーブルを有する本発明のテスタの拡大図を図示した、図４のＣ−Ｃ線断面頂 面図である。 図８ｃは、揺動アームが右に９０度揺動回転し、伸縮継手が完全に前進した位 置にある状態においてＤＵＴ上位置にあるマニピュレータと共にケーブルトレイ とケーブルを有する本発明のテスタの拡大図を図示した、略式側断面図である。 図９は、揺動アームが揺動回転０度を有し、伸縮継手が完全に前進した位置に あり、回転ベアリング組立体が９０度の捻り角度を有する状態においてＤＵＴ側 位置にあるマニピュレータを有する本発明のテスタを図示した斜視図である。 図１０は、揺動アームが揺動回転０度を有し、伸縮継手が完全に前進した位置 にあり、回転ベアリング組立体が１８０度の捻り角度を有する状態においてＤＵ Ｔ下位置にあるマニピュレータを有する本発明のテスタを図示した斜視図である 。 図１１は、揺動アームが揺動回転９０度を有し、伸縮継手が完全に前進した位 置にあり、回転ベアリング組立体が９０度のタンブル回転角度を有する状態にお いてＤＵＴ側位置にあるマニピュレータを有する本発明のテスタを図示した斜視 図である。 図１２は、揺動アームが左に９０度揺動回転し、伸縮継手が完全に前進した位 置にあり、回転ベアリング組立体が４５度のタンブル回転角度を有する状態の本 発明のテスタの斜視図である。 図１３は、タンブル組立体を２．５度上方回転した状態の本発明のテスタを図 示する側面図である。 図１４は、タンブル組立体を２．５度下方回転した状態の本発明のテスタを図 示する側面図である。 図１５は、揺動アームが右側に９０度揺動回転し、伸縮継手が完全に前進した 位置にあり、回転ベアリング組立体が９０度のタンブル回転角度を有し、タンブ ル組立体を２．５度上方回転した状態においてＤＵＴ側位置にあるマニピュレー タを有する本発明のテスタを図示した前方斜視図である。 図１６は、揺動アームが右側に９０度揺動回転し、伸縮継手が完全に前進した 位置にあり、回転ベアリング組立体が９０度のタンブル回転角度を有し、タンブ ル組立体を２．５度下方回転した状態においてＤＵＴ側位置にあるマニピュレー タを有する本発明のテスタを図示した前方斜視図である。 発明を実施する最良の形態 添付の図面にその諸例が図示されている本発明の好適な実施の形態をここに詳 述する。本発明は、好適な各実施の形態に関連して説明するが、それらが発本明 をこれらの実施の形態に限定しようとするものではないことは理解されるだろう 。 本発明は、添付の請求の範囲により定義される発明の精神とその範囲内に含まれ る代替物や改良品や均等物を保護しようとするものである。さらにまた、本発明 の以下の詳細な説明においては、本発明の完全な理解を提供するために多数の特 定の細部が述べられている。しかしながら、本発明が、これらの特定の細部なし でも実施できることは当業者には自明のことである。他の場合、不必要に本発明 のいろいろな面を不明瞭としないために、周知の方法、手順、構成要素と回路は 詳細に述べられてはいない。 図１は、テストヘッド１を外部装置と電力供給源と冷却と圧力テストのための 配管に結合するケーブル３０を有するテスタ１００を示す。テスタ１００は、ま た、マニピュレータ２００が取り付けられるフレーム２を有する。マニピュレー タ２００は、テスト面３１が広い範囲のテスト構成に適合するために移動できる ように、テストヘッド１が広い移動範囲内で移動できるようにする。フレーム２ は、ケーブル３０をフレーム２に固定するケーブルカップリング５１を有する。 ケーブル３０は、十分な長さであり、マニピュレータ２００の側方への延長を可 能とするような弛みを有している。マニピュレータが後退した位置にあるとき、 ケーブル３０の余分なケーブルはフレーム２内に輪状で格納される。この輪は、 マニピュレータ２００が水平方向に進退することを可能にする。マニピュレータ ２００が完全に後退した位置にあるとき、輪はその最大の寸法であり、マニピュ レータ２００が完全前進位置に前進するにつれて輪は次第に小さくなる。完全前 進位置において、ケーブル３０は完全にマニピュレータ２００内に延在となり輪 はなくなる。マニピュレータ２００は、フレーム２に取り付けられた垂直レール １０−１１と垂直ベアリング組立体２０−２１を有する垂直レール組立体５００ を有している。フレーム２に対して垂直レールプレート１４が円滑に昇降できる ように、垂直レール１０は垂直ベアリング組立体２０を収容し、そして、垂直レ ール１１は垂直ベアリング組立体２１を収容する。水平レール組立体６００は、 垂直レールプレート１４に接続された水平レール１２−１３を有している。水平 レール組立体６００は、また、上部水平ベアリング組立体２２と下部水平ベアリ ング組立体２３を有している。水平運動は、上部水平ベアリング組立体２２と水 平レール１２との係合と、下部水平ベアリング組立体２３と水平レール１３との 係合により提供される。上部水平ベアリング組立体２２と下部水平ベアリング組 立体２３は、垂直レールプレート１４に対して水平レールプレート１５が水平に 移動できるように水平レールプレート１５に取り付けられている。ある実施の形 態においては、垂直レール１０−１１が７３インチの垂直移動を可能にするほど の十分な長さを有している。上部水平レール１２と下部水平レール１３は、水平 レールプレート１５が水平方向に合計で８インチ移動できるほどの十分な長さを 有している。支持ボックス１７０は、水平レールプレート１５に取り付けられて いる。 図１のケーブルハウジング２６は、水平方向にケーブルハウジング２６が進退 できるように、支持ボックス１７０に側面レール１６−１７（１７は図示せず） と側面ベアリング組立体１８−１９（図示せず）により確保されている。側面レ ール１６−１７は、ケーブルハウジング２６が合計で６インチ延びることができ るほど十分な長さである。ケーブルハウジング２６の上部側と底部側から延びて いるのは、上部ハウジングフランジ２４と下部ケーブルフランジ２５である。揺 動アーム４０は、上部スイング結合フランジ４と下部スイング結合フランジ５を 有している。ピボットピン８は、上部ケーブルハウジングフランジ２４の開口と 上部スイング結合フランジ４の対応する開口に係合する。ピボットピン９は、下 部ケーブルハウジングフランジ２５の開口と下部スイング結合フランジ５の対応 する開口に係合する。ピボットピン８−９と上部ケーブルハウジングフランジ２ ４と下部ケーブルハウジングフランジ２５と上部スイング結合フランジ４と下部 スイング結合フランジ５との係合は、揺動アーム４０が回転できるようにケーブ ルハウジング２６を揺動アーム４０に取り付ける。図１の揺動アーム４０は、ケ ーブルハウジング２６に対して各側に完全に９０度自由に回転する。揺動アーム ４０は、図示のように揺動プレート３２とタンブルブラケット３３−３４（タン ブルブラケット３３は図示せず）を有してなる。揺動アーム４０は、タンブルフ ランジ３６−３７をタンブルブラケット３３−３４に結合するピン４７−４８（ ピン４７は図示せず）を介してタンブルプレート３５に取り付けられている。 図２は、ケーブルハウジング２６が完全に後退した位置にあるときのテスタ１ ００の側面図を示す。マニピュレータ２００の外形が簡素であることがわかる。 即ち、テストヘッド１００を位置決めすることのできる様々な部品は、テスタ１ ００に対して余分な長さのものを付加してはいない。このことはテストヘッド１ が非常に重いので重要である。このようにして、マニピュレータ２００が長くな ればなるほど、ヘッド１の重さと平衡をとるために、より重いものをフレーム内 に設計しなければならなくなる。この簡素化された長さは、部分的には垂直レー ル組立体５００と水平レール組立体６００の設計によるものである。水平レール 組立体６００は、水平レール１２−１３と水平ベアリング組立体２２−２３を有 する。垂直レール組立体５００は、垂直レール１０−１１（レール１１は図示せ ず）と垂直ベアリング組立体２０−２１を有している。水平ベアリング組立体２ ２−２３と垂直ベアリング組立体２０−２１のベアリングは、水平レール１２− １３と垂直レール１０−１１の側部を係合する。この設計は、構成部品の長さを 最小化する。好ましくは、各レール組立体５００、６００はアックグライド（ac c-glide）ベアリングの使用を円滑な、そして均一な移動のために取り入れる。 アックグライドベアリングは、それらがより高速性を可能にし、より低い摩擦係 数を有し、ベアリングの均一な負荷を可能とし、そして、それらが従来技術のベ アリング組立体よりも、より低い外形を有しているので用いられている。アック グライドベアリング組立体は、ニューヨーク州ポートワシントンのトンプソン・ ベイ・カンパニー社（Thompson Bay Company，Inc.）により製造されている。水 平レール組立体６００と垂直レール組立体５００の各々に一度適切に位置決めさ れた位置に水平レール組立体６００と垂直レール組立体５００の各々を適切にロ ックするように、ロックネジが水平レール組立体６００と垂直レール組立体５０ ０に組み込まれている。 図２のケーブルハウジング２６は、ケーブルハウジング２６が水平方向に移動 できるように支持ボックス１７０に結合している。ケーブルハウジング２６は、 揺動アーム４０が軸Ａ−Ａのまわりを各側に完全に９０度軸回転できるようにピ ボットピン８−９（図示せず）により揺動アーム４０に連結されている。 図２の揺動アーム４０が０度の揺動位置にあるとき、ピボットピン４７−４８ （ピボットピン４は図示せず）とタンブル制御ネジ４１を有するタンブル組立体 ７００の移動によりタンブル運動が提供される。図３のタンブルＢ−Ｂ軸まわり の回転として言及されるピン４７−４８の中心線まわりの回転は、タンブル制御 ネジハンドル４２の手動動作により動作される図２のタンブル制御ネジ４１によ り制御される。タンブル制御ネジハンドル４２は、タンブルプレート３５を移動 するようにタンブル制御ネジ４２を回転するギア３９を作動する。 図２の揺動アーム４０が０度の揺動位置にあり、そして、タンブル回転が０度 のとき、捻り回転は回転ベアリング組立体３００の回転により得られる。回転ベ アリング組立体３００は、図３のヘッドフランジ４６と捻りフランジ５３を有す る。捻りフランジ５３は、取り付けフランジ５８に取り付けられている。図３の ヘッドフランジ４６は、テストヘッド１とテストヘッドフレーム６２に接続され ている。図４の回転ベアリング５４は、回転ベアリング組立体３００の中心を通 る図３のＣ−Ｃ軸まわりの捻りフランジ５３に対してヘッドフランジ４６が自由 に回転できるように、ヘッドフランジ４６を捻りフランジ５３に結合している。 テストヘッド１は、テストヘッド１がヘッドフランジ４６の回転と共に回転する ように、ヘッドフランジ４６に取り付けられているテストヘッドフレーム６２を 有している。捻り制御モータ４４は軸５７に回転を与えるようにギアボックス５ ６内のギアを回転する。捻り制御モータ４４は、ベルト組立体５９によりギアボ ックス５６に結合されている。軸５７はチェーン５２を回転するスプロケット６ １を回転する。チェーン５２は、ヘッドフランジ４６を回転するようにヘッドフ ランジ４６の周囲に延びている。ヘッドフランジ４６は、テストヘッド６２とテ ストヘッド１がヘッドフランジ４６の回転と共に回転するように、テストヘッド フレーム６２に結合されている。捻り制御モータ４４は、二つの速度、すなわち 、低速と高速で動作し、そして、捻り制御モータ４４に結合した制御パッドによ り動作される電気モータである。電動化された捻り動作に加えて、ギアボックス ５６を作動するために、ホイール５５を回転することにより手動動作が得られる 。このことは、必要により適切にテストヘッド１を位置決めするために、必要な ときに手動および電気的の両方でテストヘッド１の位置を調節することを可能に する。テスト面３１は、狭い範囲で回転できるようにテストヘッドフレーム６２ に結合されている。 図３のマニピュレータ２００により提供される回転移動の範囲は、Ａ−Ａ軸、 Ｂ−Ｂ軸、Ｃ−Ｃ軸そしてＤ−Ｄ軸まわりの回転を含む。揺動アーム４０は、矢 印１０４により示される揺動運動を可能にするようにＡ−Ａ軸まわりを軸旋回す る。揺動アーム４０のＡ−Ａ軸まわりの回転が０度であるときは、矢印１０７で 示すようにＢ−Ｂ軸まわりのタンブル組立体７００の移動によりタンブル運動が 提供される。揺動アーム４０のＡ−Ａ軸まわりの回転が０度であるときは、矢印 １０５で示すような捻り運動を提供するようにヘッドフランジ４６とテストヘッ ド１がＣ−Ｃ軸まわりを回転する。更なる制御が矢印１０６に示すようにＤ−Ｄ 軸に沿ったテスト面３１の回転から生ずるシータ運動により提供される。テスト ヘッド１の線形運動は、矢印１０１によって示すような垂直運動と、矢印１０２ によって示すような横方向の運動と、矢印１０３で示すように水平方向の運動に より提供される。 図４は、マニピュレータ２００を通ってヘッド１内に延びるケーブル３０を示 している。ヘッド１内では、ケーブル３０は、テスト面３１に結合する電気回路 ５２に結合する。ケーブル３０の幾つかは、輪郭フランジ１１１を有するケーブ ルトレイ１０２により支持される。平衡システム７０は、重り７３と垂直レール プレート１４に結合したケーブル−プーリーシステム７２を有する。平衡システ ム７０は、ケーブル３０とマニピュレータ２００とテストヘッド１の大重量を補 償するように、力を垂直レールプレート１４に加えて、マニピュレータ２００の 垂直方向の容易な移動を可能にする。 図９−１２は、標準のｘ−ｙ−ｚ座標システムに基づいて本発明により提供さ れる移動範囲を示している。本発明の移動の自由度は、水平、垂直、捻りおよび タンブル運動に関して移動の拡大を可能にする。伸縮継手４００の伸縮は、ｘ軸 に沿った移動を構成する。垂直レール組立体５００の移動は、ｙ軸に沿った移動 を可能にし、そして、水平レール組立体６００の移動は、ｚ軸に沿った移動を可 能にする。 図９−１０は、揺動アーム４０が０度の揺動回転をして揺動アーム４０の水平 軸がｘ軸に沿って延在した位置を示している。この位置においては、回転ベアリ ング組立体３００の回転は、通常“捻り”回転と呼ばれるｘ軸まわりの回転を提 供し、そして、タンブル組立体７００の回転は、通常“タンブル”回転と呼ばれ るｚ軸まわりの回転を提供する。 図９は、ＤＵＴ側方テストにとって好適な位置にあるテスタ１００を示してい る。このＤＵＴ側方テスト位置は、回転ベアリング組立体３００に９０度の回転 を与えるように回転ベアリング組立体３００を回転することにより得られる。図 １０は、ＤＵＴ下テストにとって好適な位置にあるテスタ１００を示している。 このＤＵＴ下テスト位置は、回転ベアリング組立体３００に１８０度の回転を与 えるように回転ベアリング組立体３００を回転することにより得ることができる 。図９−１０においては、タンブル組立体７００の移動は、ユーザがタンブル組 立体７００の移動により完全に弛みを補償することができるようにｚ軸とｙ軸に 沿った移動を可能にする。 揺動アーム４０の回転は、ｘ軸とｚ軸に沿った移動を構成し、そしてタンブル 組立体７００の動きと回転ベアリング組立体３００の動きにより得られるｘ−ｙ −ｚ座標システムに関する動きを変化する。図１１−１２は、揺動アーム４０の 動きに対応したｘ−ｙ−ｚ軸の新しい原点を反映するために移動されたｘ−ｙ− ｚ軸を示す。図１１−１２に示すように揺動アーム４０を９０度の揺動位置に移 動することにより、回転ベアリング組立体３００の回転は、ｚ軸まわりの回転を 構成し、そして、タンブル組立体７００の動きは、ｘ軸まわりの回転を構成する 。 図１１は、ＤＵＴ側方テストに好適な位置にあるテスタ１００を示す。このＤ ＵＴ側方テスト位置は、回転ベアリング組立体３００に対して９０度の捻り回転 を与え、そして、揺動アーム４０をそれが左に９０度回転するように左に十分揺 動させることにより得ることができる。図１２は、回転ベアリング組立体３００ が４５度の捻り回転で回転し、そして、揺動アーム４０が左へ９０度回転した位 置におけるテスタ１００を示している。 図１１−１２においては、揺動アーム４０は、９０度回転の位置に回転される ので、回転ベアリング組立体３００の回転は真にタンブル回転を成し遂げる（例 えば、揺動アーム４０が０度の揺動のときにはタンブル組立体７００を移動する ことにより同一の動きが可能となる）。同様に、タンブル組立体７００の回転は 、真に捻り回転を成し遂げる（例えば、揺動アーム４０が０度の揺動のときには 回転ベアリング組立体３００を移動することにより同一の動きが可能となる）。 図９−１２に示すように、タンブル運動（ｚ軸まわりの回転）は、タンブル組 立体７００の動き、若しくは、回転ベアリング組立体３００の動きのどちらかに より得ることができ、そして、捻り回転（ｘ軸まわりの回転）は、タンブル組立 体７００、若しくは、回転組立体３００のどちらかの動きにより得ることができ る。しかしながら、揺動アーム４０の動きに関わらず、タンブル組立体７００の 動きは、ｙ軸に沿った動きを構成するその運動の構成要素を有している。ｙ軸に 沿ったこの動きが弛みに対する完全な補償を可能にする。 図５ａと図５ｂの伸縮継手４００は、側面レール１６−１７、側面ベアリング 組立体１８−１９とケーブルハウジング２６を有している。側面レール１６と側 面レール１７は、ケーブルハウジング２６の両側に存在し、そして、ケーブルハ ウジング２６に取り付けられている。側面ベアリング組立体１８−１９は、支持 ボックス１７０の両側に取り付けられている。側面レール１６は、ケーブルハウ ジング２６の水平方向の移動を可能にするように、側面ベアリング組立体１９に 係合する。同様に、側面ベアリング組立体１８も、ケーブルハウジング２６の水 平方向の移動を可能にするように側面レール１７に係合する。 図５ａの輪郭フランジ１１０は、ケーブル１３０−１３１を支持するようにケ ーブルトレイ１０１から延出している。輪郭フランジ１１１は、ケーブル１３２ −１３３を支持するように、ケーブルトレイ１０２から延出している。同様に、 輪郭フランジ１１２は、ケーブル１３４−１３５を支持するように、ケーブルト レイ１０３から延出している。ケーブル１３０−１３５を支持することに加えて 、輪郭フランジ１１０−１１２は、ケーブルトレイ１０１−１０３が内側と外側 に移動するときにケーブルトレイ１０１−１０３に対して擦られることによりケ ーブル１３０−１３５がダメージを受けないようにする。 図５ａと図５ｂを続けると、ケーブルトレイ１０１は、レール１２０とベアリ ング組立体１２３によりケーブルハウジング２６に取り付けられ、ケーブルトレ イ１０１がケーブルハウジング２６内で水平方向に内側と外側に移動できるよう にされる。ケーブルトレイ１０２は、レール１２１とベアリング組立体１２４に よりケーブルハウジング２６に取り付けられ、ケーブルトレイ１０２がケーブル ハウジング２６内で水平方向に移動できるようにされる。同様に、ケーブルトレ イ１０３は、レール１２２とベアリング組立体１２５によりケーブルハウジング ２６に取り付けられ、ケーブルトレイ１０３がケーブルハウジング２６内で水平 方向に移動できるようにされる。 図５ａと図５ｂのケーブルトレイ１０１は、上部パネル１５３と下部パネル１ ５０と側部パネル１４０−１４１を有する。側部パネル１４０−１４１の高さは 、上部パネル１５３の幅と下部パネル１５０の幅よりも大きい。ケーブルトレイ １０２は、上部パネル１５４と下部パネル１５１と側部パネル１４２−１４３を 有する。側部パネル１４２−１４３の高さは、上部パネル１５４の幅と下部パネ ル１５１の幅よりも大きい。同様に、ケーブルトレイ１０３は、上部パネル１５ ５と下部パネル１５２と側部パネル１４４−１４５を有し、そして側部パネル１ ４４−１４５の高さは、上部パネル１５４の幅と下部パネル１５２の幅よりも大 きい。ケーブルトレイ１０１−１０３は、ケーブル１３０−１３５を支持し、ケ ーブル１３０−１３１はケーブルトレイ１０１内に配設され、ケーブル１３２− １３３はケーブルトレイ１０２に配設され、そして、ケーブル１３４−１３５は ケーブルトレイ１０３内に配設される。ケーブル１３０−１３５は、揺動アーム ４０（図示せず）の回転を満足させるために横方向に撓まねばならないので、ケ ーブルトレイ１０１−１０３は横方向の撓みと回転を考慮して設計されねばなら ない。このようにして、側部パネル１４０−１４５の高さは、上部パネル１５３ −１５５の幅と下部パネル１５０−１５２の幅よりも大きく、ケーブルトレイ１ ０１−１０３内で横方向よりも垂直方向に存在するようにケーブル１３０−１３ ５が分散される。このようにして、ケーブル１３０−１３５の側面形状は減少さ れ、それによりケーブル１３０−１３５に対して伸びと縮みが減少した状態でケ ーブル１３０−１３５が左右横方向に撓むことができる。その上、ケーブル１３ ０−１３５が横方向よりも垂直方向に分散するようにケーブルをケーブルトレイ に分散して配置することは、ケーブルが動かなくなることを防止し、それにより 、従来技術のケーブル組立体における可撓性の範囲以上にケーブルが撓むことを 可能にする。 図５ａのケーブルを個々のケーブルトレイに分散して配置することは、各ケー ブル個々の重さと個々のケーブルの可撓性に基づく。ケーブルは各ケーブルトレ イの重さを概略的に等しくするように分散配置される。真ん中のケーブル１０２ はケーブルトレイ１０１と１０３が移動する程には移動しない。その結果、他の ケーブルよりも硬く、大きくそして壊れやすいケーブル１３２−１３３は、それ らの動きを最小とするように、ケーブルトレイ１０２に配設される。本発明は三 つのケーブルトレイの使用に基づいて説明されているけれども、より少ないか又 はより多いケーブルトレイもまた用いることができる。三つ以上のケーブルトレ イを有する実施の形態において、ケーブルはもっと広範に分散され、回転移動を 広げるが、マニピュレータの設計を複雑にしてコストがかかることとなる。 図６は、本発明のケーブルトレイ１０１−１０３の切断平面図であり、ケーブ ルトレイ１０１の前面１０４が傾斜を有するように、外側パネル１４０の長さが 内側パネル１４１の長さよりも長くなっていることを示している。側面パネル１ ４２−１４３は、面１０５の外形が平坦となるように、等しい長さとなっている 。外側パネル１４５の長さは、ケーブルトレイ１０１の前面１０６が傾斜を有す るように、内側パネル１４４の長さよりも長くなっている。前面１０４と１０６ の傾斜形状は、ケーブル１３０−１３１と１３４−１３５が撓むことを可能にし て、揺動アーム４０（図示せず）が完全９０度の移動範囲内で回転でき、傾斜形 状は伸びを減少させ、そして、側面パネル１４１と１４４から曲げ張力に制限さ れることなしにケーブル１３０−１３１が十分曲がることを可能にして、一方、 より多いケーブル制御を可能とする最大ケーブルトレイの長さを提供する。 図７は、収縮継手４００が完全に前進された位置に前進された後の図６の構造 を示す。ケーブル１３０−１３５は、伸縮継手４００の移動を可能とするように ケーブルトレイ１０１−１０３を前方に移動する。 図８ａは、揺動アーム４０が右側に９０度揺動する位置に移動したあとの図７ の構造を示している。揺動アーム４０が移動するにつれて、ケーブルトレイ１０ １は、後方に移動してケーブル１３０−１３１の曲がりから生ずるケーブル１３ ０−１３１に対する圧縮力を軽減する。同様に、ケーブルトレイ１０２は後方に 移動して、ケーブル１３２−１３３の曲がりから生ずるケーブル１３２−１３３ に対する圧縮力を軽減する。揺動アーム４０がケーブトレイ１０３から離れて揺 動するにつれて、ケーブル１３４−１３５は延びて緊張がかかる位置に置かれ、 そして、ケーブルトレイ１０３は、ケーブル１３４−１３５にかかる緊張を減じ るように前方に移動する。前面１０６の傾斜形状は、揺動アーム４０が右側に回 転したとき、ケーブル１３４−１３５が自由に曲がることを許す。前面１０６の 傾斜形状はケーブル１３４−１３５に対する緊張を減ずるのみならず、また、傾 斜形状は揺動アーム４０が拡大された移動範囲内で移動することを可能にする。 ケーブル１３０−１３５における伸びと縮みの減少のために、揺動アーム４０は 、ケーブル１３０−１３５に対する損傷なしに、そしてケーブル１３０−１３５ に対して過度の量の伸び又は縮みを与えることなしに、９０度の弧内の移動がで きる。ある実施の形態においては、揺動アーム４０の右側への完全な９０度の回 転に基づいて、ケーブルトレイは６．１８インチ後方へ移動し、そして、ケーブ ルトレイ１０２は合計１．９６インチ後方に移動する、一方、ケーブルトレイ１ ０３は合計２．２６インチ前方に移動する。 揺動アーム４０の左側への９０度の揺動を伴う位置への移動は、ケーブル１３ ０−１３５の伸びと縮みを減ずるように、前図８ｂに示すように、ケーブルトレ イ１０３を後方へ移動させ、ケーブルトレイ１０２を後方と前方に移動させ、そ して、ケーブルトレイ１０１を前方に移動させる。前面１０４の傾斜形状は、揺 動アーム４０が左に回転したとき、ケーブル１３４−１３５が自由に曲がること を可能にする。 図８ｃは、揺動アーム４０が左に９０度の揺動を伴う位置に移動したときのケ ーブルトレイ１０１−１０３の拡大された側面縦断面図を示す。輪郭フランジ１ １０（図示せず）は、ケーブル１３０−１３１を支持するようにケーブルトレイ １０２内に形成される。輪郭フランジ１１１（図示せず）は、ケーブル１３２− １３３を支持するようにケーブトレイ１０２内に形成される。同様に、輪郭フラ ンジ１１２は、ケーブル１３４−１３５を支持するようにケーブルトレイ１０３ 内に形成される。ケーブル１３０−１３５を支持することに加えて、輪郭フラン ジ１１０−１１２は、ケーブルトレイ１０１−１０３が前後に移動するときにケ ーブルに対して擦られることにより、ケーブル１３０−１３５が損傷することを 防止する。 図１３−１６は、タンブル組立体７００の上昇と下降の移動を示す。この移動 は、弛みの完全な補償を可能にする。このようにして、本発明はテストヘッドの 全ての範囲の位置への移動を可能にする。構成要素システムは共働してテストが 同一のテスタを用いてＤＵＴ上昇、ＤＵＴ下降およびＤＵＴ前進が成し遂げられ るようにヘッドの円滑な運動と容易な制御を与える。その故に、異なるテスト状 態を調節するのに高価な、そして時間のかかる修正は必要とはされない。付言す れば、テストヘッドの移動を妨げ、そして制限するヨークは存在しない。その上 、全範囲の弛み運動を考慮に入れることにより、本発明は従来技術のテスタが弛 みを補償できない状況におけるテストを可能にする。 本発明の特定の実施の形態に対する前記の説明は、例示と説明の目的でなされ た。それらは、全てを記述したことを意図するものではなく、また、開示された 正確な形に発明を限定することを意図するものでもなく、そして、明らかに多く の修正と変形が上述の教示に照らして可能である。実施の形態は発明の原理とそ の実際の応用を最も良く説明するために選択され、そして、記述された。それに より、当業者は、特定の使用に適するように考慮された様々な修正を伴う様々な 実施の形態と共に、発明を最も良く使用できるようになる。発明の範囲が添付の 請求の範囲とその均等なものにより定義されることを意図している。

───────────────────────────────────────────────────── 【要約の続き】 イは、また、ケーブルの擦りを防止するために各ケーブ ルトレイの底部に輪郭フランジを有している。さらに、 ケーブルトレイの両端部は異なる角度で傾斜していてケ ーブルの支持を最大とし、一方曲がっている最中に可撓 時にケーブルの伸びを減ずる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．フレームと、マニピュレータと、そして、前記ケーブルと連結されたテスト ヘッドを有するテスタのケーブルを取り扱うケーブル取り扱いシテテムであって 、 全長を有し、そして、前記フレームに接続されたケーブルハウジングと、 第一のレールであって、前記ケーブルハウジングの全長を横切って長手方向に 延在するように前記ケーブルハウジングに取り付けられたものと、 第一のベアリング組立体であって、前記第一のレールに沿って長手方向にスラ イドするように前記第一のレールに取り付けられたものと、 前記ケーブルハウジングの全長に沿って長手方向に摺動して前記ケーブルハウ ジング内に出没するように前記第一ベアリング組立体に取り付けられた第一のケ ーブルトレイであって、前記ケーブルの第一の部分が前記第一のケーブルトレイ により支持されるように前記ケーブルの前記第一の部分を収容するものとからな り、前記第一の部分が一若しくは他の方向に前記マニピュレータの移動に対応し て撓む場合には前記ケーブルの前記第一の部分における伸びと縮みを取り除くよ うに、前記ケーブルの前記第一の部分の移動に応答して前記第一のケーブルトレ イが長手方向に出没摺動することを特徴とするケーブル取り扱いシステム。 ２．請求項１記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、前記第一のケーブルト レイが第一の端部と第二の端部を有し、そして、前記ケーブルの前記第一の部分 は前記マニピュレータが完全に後退しているときには、前記ケーブルの前記第一 の部分が、前記第一ケーブルの前記第一の端部から接続点まで延出して輪を形成 するように前記接続点で前記フレームに接続され、前記第一のケーブルトレイが 、前記第一のケーブルトレイの前記第一の端部内に形成され、前記ケーブルの第 一の部分を支持すると共にその擦れを防止する前記輪郭フランジからなることを 特徴とするケーブル取り扱いシステム。 ３．請求項１記載のケーブル取り扱いシステムが、さらに、 前記第一レールに隣接して配置された第二レールであって、前記ケーブルハウ ジングの全長を横切って長手方向に延在するように前記ケーブルハウジングに取 り付けられた第二レールと、 前記第二ベアリング組立体であって、前記第二レールに沿って長手方向に摺動 するように前記第二のレールに接続されたものと、 前記ケーブルハウジングの全長に沿って長手方向に摺動して前記ケーブルハウ ジング内に出没するように前記第二のベアリング組立体に接続された第二のケー ブルトレイであって、前記ケーブルの第二の部分を収容するものとからなり、前 記第二の部分が一若しくは他の方向に前記マニピュレータの移動に対応して撓む 場合には前記ケーブルの前記第二の部分における伸びと縮みを取り除くように、 前記ケーブルの前記第二の部分の移動に応答して、前記第一のケーブルトレイと は独立して、前記第二のケーブルトレイが長手方向に出没摺動することを特徴と するケーブル取り扱いシステム。 ４．請求項３記載のケーブル取り扱いシステムは、さらに、 前記第二レールに隣接して配置された第三レールであって、前記ケーブルハウ ジングの全長を横切って長手方向に延在するように前記ケーブルハウジングに取 り付けられた前記第三レールと、 第三ベアリング組立体であって、前記第三レールに沿って長手方向に摺動する ように前記第三レールに接続されているものと、 前記ケーブルハウジングの全長に沿って長手方向に摺動して前記ケーブルハウ ジング内に出没するように前記第三のベアリング組立体に接続された第三のケー ブルトレイであって、前記ケーブルの第三の部分を収容するものとからなり、前 記第三の部分が一若しくは他の方向に前記マニピュレータの移動に対応して撓む 場合には前記ケーブルの前記第三の部分における伸びと縮みを取り除くように、 前記ケーブルの前記第三の部分の移動に応答して、前記第一と第二のケーブルト レイとは独立して、前記第三のケーブルトレイが長手方向に出没摺動することを 特徴とするケーブル取り扱いシステム。 ５．請求項４記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、前記第二のケーブルト レイと前記第三のケーブルトレイが、それぞれ第一の端部と第二の端部を有し、 そして、前記マニピュレータが完全に後退しているときには、前記ケーブルの前 記第二と第三の部分が前記第二と第三のケーブルトレイの前記第一の端部から接 続点まで延出して輪を形成するように前記ケーブルの前記第二と第三の部分が接 続点で前記フレームに接続され、前記第二と第三のケーブルトレイの各々は、前 記第二と第三のケーブルトレイの前記第一の端部から延出して、前記ケーブルの 前記第二と第三の部分を支持して、そして、その擦れを防止する輪郭フランジを それぞれ有することを特徴とするケーブル取り扱いシステム。 ６．請求項４記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、前記第一のケーブルト レイは矩形状であり、そして、さらに、外面、内面、上面と下面で構成され、前 記外面と前記内面が高さとなり、そして、前記上面と下面が幅となり、前記高さ を前記幅よりも大きくして、前記ケーブルが前記高さに平行な軸を中心に撓むと きには前記ケーブルの第一の部分に対する伸びと縮みを軽減するために前記第一 のケーブルトレイ内で前記ケーブルの前記第一の部分が水平方向よりも垂直方向 に配設されることを特徴とするケーブル取り扱いシステム。 ７．請求項６記載のケーブル取り扱いシステムおいて、 前記第二のケーブルトレイは矩形状であり、そして、さらに、第一の外面、第 二の内面、上面と下面で構成され、前記第一の外面と前記第二の内面が高さとな り、そして、前記上面と下面が幅となり、前記高さを前記幅よりも大きくして、 前記ケーブルが前記軸を中心に撓むときには前記ケーブルの第二の部分に対する 伸びと縮みを軽減するために前記第二のケーブルトレイ内で前記ケーブルの前記 第二の部分が水平方向よりも垂直方向に配設されており、 前記第三のケーブルトレイは矩形状であり、そして、外面、内面、上面と下面 で構成され、前記外面と前記内面が高さとなり、そして、前記上面と下面が幅と なり、前記高さが前記幅よりも大きくされて、前記ケーブルが前記軸を中心に撓 むときには前記ケーブルの第三の部分に対する伸びと縮みを軽減するために前記 第三のケーブルトレイ内で前記ケーブルの前記第三の部分が水平方向よりも垂直 方向に配設されていることを特徴とするケーブル取り扱いシステム。 ８．請求項６記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、前記外面と前記内面が それぞれの長さを有していて、前記第一のケーブルトレイの前記外面の長さが前 記第一のケーブルトレイの前記内面の長さよりも大きくされて、前記ケーブルの 前記第一の部分が前記第一のケーブルトレイの前記外面から離れる方向において 前記軸を中心に撓むときには前記第一のケーブルトレイの前記内面が前記ケーブ ルの前記第一の部分の移動を制限しないようにすることを特徴とするケーブル取 り扱いシステム。 ９．請求項８記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、 前記第二のケーブルトレイの前記第一の側と前記第二の側はそれぞれの長さを 有していて、前記第二のケーブルトレイの前記第一の側の長さが前記第二のケー ブルトレイの前記第二の側の長さと等しいものであり、そして、 前記第三のケーブルトレイの前記外側と前記内側はそれぞれの長さを有してい て、前記第三のケーブルトレイの前記外側の長さが前記第三のケーブルトレイの 前記内側の長さよりも大きくされ、前記ケーブルが前記第三のケーブルトレイの 前記外側から離れる方向において前記軸を中心に撓むときには前記第三のケーブ ルトレイの前記内側が前記ケーブルの前記第三の部分の移動を制限しないように したことを特徴とするケーブル取り扱いシステム。 １０．フレームとテストヘッドの間に接続されたケーブルを有するマニピュレー タのためのケーブル取り扱いシステムであって、前記ケーブル取り扱いシステム が、 前記フレームに連結したケーブルハウジングと、 前記ケーブルハウジングの底面に長手方向に配設された複数のレールと、 複数のベアリング組立体であって、それぞれのベアリング組立体がそれぞれの レールに沿って長手方向に摺動可能なように前記複数のレールに接続されたもの と、 前記ケーブルを収容し、そして、支持する複数ケーブルトレイであって、それ ぞれのケーブルトレイが前記ケーブルハウジング内に配設され、それぞれのベア リング組立体に接続されて、前記複数のケーブルトレイが前記ケーブルハウジン グ内を長手方向に移動できるようにしたものとからなり、 前記ケーブルが前記マニピュレータの移動に応答して一若しくは他の方向に撓 んだときは前記ケーブルにおける伸びと縮みを軽減するために前記ケーブルの移 動に応答して、前記ケーブルトレイが、独立して、長手方向に摺動して前記ケー ブルハウジングに対して出没することを特徴とするケーブル取り扱いシステム。 １１．請求項１０記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、前記複数のケーブ ルトレイが、 前記ケーブルハウジングの第一の側に配設された第一の外側ケーブルトレイと 、 前記第一の側とは反対の、前記ケーブルハウジングの第二の側に配設された第 二の外側ケーブルトレイと、 前記第一と第二の外側ケーブルトレイの間に配設された中間ケーブルトレイか らなることを特徴とするケーブル取り扱いシステム。 １２．請求項１１記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、前記ケーブルが前 記第一の外側ケーブルトレイに向かう一の方向に撓むときに前記第一の外側ケー ブルトレイが内側に摺動し、そして前記第二の外側ケーブルトレイが外側に摺動 して、前記第二の外側ケーブルトレイ内のケーブルの伸びを緩和すると共に、前 記第一の外側ケーブルトレイ内のケーブルにおける縮みを緩和することを特徴と するケーブル取り扱いシステム。 １３．請求項１２記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、前記ケーブルが前 記第二の外側ケーブルトレイに向かう一の方向に撓むときに前記第一の外側ケー ブルトレイが外側に摺動し、そして前記第二の外側ケーブルトレイが内側に摺動 して、前記第一の外側ケーブルトレイ内のケーブルの伸びを緩和すると共に、前 記第二の外側ケーブルトレイ内のケーブルにおける縮みを緩和することを特徴と するケーブル取り扱いシステム。 １４．請求項１０記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、前記複数のケーブ ルトレイの各々のケーブルトレイは、それぞれの第一の端部と、それぞれの第二 の端部と、それぞれの底面を有し、前記底面が、それぞれの第一端部において前 記ケーブルを支持すると共に、各ケーブルトレイに対する前記ケーブルの擦りを 防止するための輪郭フランジを有していることを特徴とするケーブル取り扱いシ ステム。 １５．請求項１４記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、各ケーブルトレイ の前記輪郭フランジは、前記ケーブルが輪郭フランジから延出して、前記フレー ムと前記輪郭フランジとの間に弛みケーブルの輪を形成するように前記ケーブル ハウジングを越えて延出し、前記弛みケーブルの輪は、前記マニピュレータが前 記フレームに関して進退するときにその寸法を増加減少することを特徴とするケ ーブル取り扱いシステム。 １６．請求項１０記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、前記ケーブルハウ ジングは前記マニピュレータの伸縮継手内に取り付けられ、そして、前記ケーブ ルは前記マニピュレータを介して前記フレームから前記テストヘッドまで通って いることを特徴とする前記ケーブル取り扱いシステム。 １７．請求項１０記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、前記複数のケーブ ルトレイの各々は、幅となるそれぞれの上部と、幅となるそれぞれの底部と、そ して、高さとなるそれぞれの両側を有し、前記高さが前記幅よりも大きくされて 、前記ケーブルが前記高さに関して平行な軸を中心に撓むときには前記ケーブル に対する伸びと縮みを軽減するために前記複数のケーブルが各ケーブルトレイ内 に水平方向よりも垂直方向に配設されることを特徴とする前記ケーブル取り扱い システム。 １８．請求項１０記載のケーブル取り扱いシステムにおいて、前記複数のベアリ ング組立体は、アックグライド（Accu-Glide）ベアリングから構成されることを 特徴とする前記ケーブル取り扱いシステム。 １９．テストヘッドを位置決めするためのマニピュレータであり、前記マニピュ レータが、 フレームに取り付けられ、そして、垂直方向に、平面内で水平方向に移動可能 であり、完全に前進された位置と後退された位置との間で前記平面に対して直角 に移動可能な伸縮継手と、 第一端部、第二端部と長手方向の軸を有する揺動アームであって、前記第一端 部が前記伸縮継手に回転可能に接続され前記揺動アームが第一の軸を中心に揺動 可能にするものと、 前記テストヘッドと前記揺動アームとの間に接続された回転ベアリング組立体 であって、前記回転ベアリング組立体が前記回転ベアリング組立体の中心を通る 第二の軸を中心とする前記テストヘッドの回転を可能にするものと、 前記テストヘッドと前記フレームに結合されたケーブルであって、前記ケーブ ルが前記伸縮継手と、前記揺動アームと、前記回転ベアリング組立体を通るもの と、そして、 前記伸縮継手内に配置された複数のケーブルトレイであって、前記複数のケー ブルトレイが前記ケーブルを収容し、支持し、それぞれのケーブルトレイがケー ブルハウジング内に配設されて、それぞれのベアリング組立体に接続され、前記 複数のケーブルトレイが前記ケーブルハウジング内で長手方向に移動することを 可能にするものとからなり、 前記各ケーブルトレイは、前記ケーブルが前記テストヘッドの移動に応答して 一又は他の方向に撓むときには前記ケーブルの移動に応答して独立して長手方向 に摺動して前記ケーブルハウジングに対して出没し、前記ケーブルに対する伸び と縮みを取り除くことを特徴とするマニピュレータ。 ２０．請求項１９記載のマニピュレータにおいて、前記複数のケーブルトレイが 、 前記ケーブルハウジングの第一の側に配設された第一の外側ケーブルトレイと 、 前記第一の側と反対の、前記ケーブルハウジングの第二の側に配設された第二 の外側ケーブルトレイと、 前記第一と第二の外側ケーブルトレイの間に配設された中間ケーブルトレイか らなることを特徴とするマニピュレータ。 ２１．請求項２０記載のマニピュレータにおいて、前記ケーブルが前記第一の外 側ケーブルトレイに向かう一の方向に撓むときには、前記第一の外側ケーブルト レイが内側に摺動し、そして、前記第二の外側ケーブルトレイは外側に摺動し、 そして、前記ケーブルが前記第二の外側ケーブルトレイに向かう一の方向に撓む ときには、前記第一の外側ケーブルトレイが外側に摺動し、そして、前記第二の 外側ケーブルトレイが内側に摺動することを特徴とするマニピュレータ。 ２２．請求項１９記載のマニピュレータにおいて、前記複数のケーブルトレイの 各ケーブルトレイは、それぞれの第一の端部、それぞれの第二の端部とそれぞれ の底面を有し、前記それぞれの底面が前記それぞれの第一の端部において、各ケ ーブルトレイに対する前記ケーブルの擦りを防止するようにケーブルを支持する ための輪郭フランジを有していることを特徴とするマニピュレータ。 ２３．請求項２２記載のマニピュレータにおいて、前記ケーブルが輪郭フランジ から延出して、前記フレームと前記輪郭フランジとの間に弛みケーブルの輪を形 成するように、各ケーブルトレイの前記輪郭フランジが前記ケーブルハウジング を越えて延出し、前記弛みケーブルの輪が、前記マニピュレータが前記フレーム に対して進退するときにその寸法を増加および減少することを特徴とするマニピ ュレータ。 ２４．請求項１９記載のマニピュレータにおいて、前記複数のケーブルトレイの 各々が、幅となるそれぞれの上部と、幅となるそれぞれの底部と、そして、高さ となるそれぞれの両側を有しており、前記高さが前記幅よりも大きくされて、前 記ケーブルが前記高さに関して平行な軸を中心に撓むときには前記ケーブルに対 する伸びと縮みを軽減するように前記複数のケーブルが各ケーブルトレイ内にお いて水平方向よりも垂直方向に配設されることを特徴とするマニピュレータ。