KR0167780B1 - 케이블 피벗을 갖는 장치 테스트 시스템 - Google Patents

케이블 피벗을 갖는 장치 테스트 시스템 Download PDF

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알. 홀트 알린
이. 맛디에센 로버트
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알. 홀트 알린
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Abstract

전자 테스트 헤드가 3개의 직교축에 대하여 축방향으로 이동하도록 장착된 형태의 장치 테스트 시스템은, 케이블이 전자신호를 수행하도록 테스트 캐비닛과 테스트 헤드간에 접촉되고, 상기 테스트 헤드가 직접 장착되고, 상기 케이블이 분할링 케이블 피벗을 통하여 테스트 헤드에 도입된다.

Description

케이블 피벗을 갖는 장치 테스트 시스템
제1도는 본 발명에 따라 구성된 장치 테스트 시스템의 지지 구성의 사시도이고, 또한 시스템의 6방향 자유도.
제2a도는 테스트 헤드 어댑터 링 지지구조와, 테스트 헤드와 링과의 사이의 결합부의 한 실시예와, 본 발명에 따라 구성된 장치 테스트 시스템의 사시도,
제2b도는 제2a도에서 도시한 장치 테스트 시스템의 보다 상세한 사시도.
제3a도는 테스트 헤드 어댑터 링 지지구조와 테스트 헤드와 링간의 결합부의 제2실시예와, 본 발명에 따라 구성된 장치 테스트 시스템의 사시도.
제3b도는 제3a도에서 도시한 장치 테스트 시스템의 보다 상세한 사시도.
제4도는 테스트 헤드 어댑터 링 지지구조와, 테스트 헤드와 링간의 결합부의 제3실시예와, 본 발명에 따라 구성된 장치 테스트 시스템의 사시도.
제5도는 오프셋 대기 아암을 갖는 테스트 헤드 어댑터 링 지지구조의 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 주축 12 : 포지셔너(positioner)
18 : 메인 아암 30 : 록 칼라
32 : 엘보 록 축 46 : 케이블 피벗 어댑터
52 : 케이블 피벗 하우징 54 : 테스트 헤드 어댑터 링
56 : 테스트 헤드 64 : 수평 캠 피동차
66 : 방사캠 피동차 92 : 통로
본 발명은 전자 테스트 헤드가 테스트되어야 할 장치의 핸들러를 갖는 독(dock)에 접속하여 위치한 전자장치 테스트 시스템에 관한 것으로서, 특히 케이블이 가동 테스트 헤드를 갖는 수단에 부착될 수 있는 피벗에 관한 것이다.
집적회로 및 다른 전자장치의 자동 테스팅에 있어서, 특별한 장치 핸들러는 데스트되어야 할 장치를 적소에 놓는 데에 사용되어 왔었다. 전자 테스팅 자체는 상기 장치 핸들러를 갖는 독에 접속하는 테스트 헤드를 포함하는 크고 고가인 자동 테스트 시스템에 의해서 수행된다. 상기 테스트 헤드는 상기 전자회로가 테스트하의 장치에 가능한 밀폐하여 위치하도록 고속의 전자 타이밍 신호를 사용한다. 따라서 상기 테스트 헤드는 복잡한 장치에 대하여 고속의 테스팅을 행하기 위하여 전자 회로와 밀접하게 포장된다.
지지구조를 따라서 움직일 수 있는 포지셔너는, 장치 핸들러를 갖는 독에 접속하여 위치한 상기 테스트 헤드를 소정의 위치로 운반한다. 상기 테스트 헤드는 6방향 자유도를 얻을 수 있도록 포지셔너에 부착된다.
중요한 문제는 자동테스트 시스템의 캐비닛 함유부로 부터 연장한 중 케이블을 상기 테스트 헤드 속에 연결하는 것이다. 상기 테스트 헤드를 소정의 위치로 및 소정의 위치 안으로 이동할 수 있으므로, 상기 중 케이블은 상기 테스트 헤드와 함께 이동하여야 한다.
상기 테스트 헤드와 케이블 간의 동기 이동을 제공하는데에 사용되는 종래의 배열은 일반적으로 케이블 피벗형 배열과 텀블러형 배열의 2종류로 나눈다.
턴블러 형에서는, 상기 테스트 헤드를 포지셔너의 무게중심에 부착함에 의해서 상기 케이블이 기구에 대한 테스트 헤드의 측면에 접속하도록 상기 테스트 헤드의 아래에 매단다. 이 배열은 케이블 피벗형 접근에 대한 복잡성과 비용을 줄인다. 이것은 케이블을 테스트 헤드의 측면에, 그러나 상기 테스트 헤드의 여러 방향에 대하여 테스트 헤드의 밑에 메달도록 한다. 그리고, 상기 케이블은 가끔 테스트 시스템의 작동자에게 유리하게 얻어지고, 테스트헤드가 낮은 위치에 있을 때 케이블이 바닥을 닿기 전에 놓을 수 있는 낮은 방법으로 매우 큰 테스트 시스템을 제한한다. 더우기 상기 텀블러형 배열은 상기 테스트 헤드의 소정의 방향에 대하여 테스트 헤드의 밑면을 완전히 횡단하여 연장하기 때문에 매우 긴 케이블을 필요로 한다.
여러 케이블 피벗형 배열이 알려지고 있다. 한편, 상기 테스트 헤드는 포지셔너 무게 중심에 위치한다. 상기 케이블과 포지셔너는 상기 테스트 헤드의 타단상에 있는 테스트 헤드에 부착된다. 이 형태의 배열의 한 단점은 2개의 축받이 사무용 책상과 같이 형성된 하면의 수평면 핸들러로부터 호출할 수 없는 것과; 상기 포지셔너가 이러한 책상의 한축받이가 위치되는 곳에 놓이는 것이다.
두 번째 케이블 피벗형 배열은, 상기 테스트 헤드를 포지셔너에 부착함에 의해서 상기 케이블이 기구를 통하여 통과하도록 한다 이 기구는 상기 테스트 헤드의 회전축 이동을 가능하도록 배열된다. 통상적으로, 이러한 기구는 관통 베어링이 외부와 떨어져 있고, 외부링 내에서 회전가능한 내부링을 포함한다. 이들 기구의 하나의 단점은, 상기 테스트 헤드의 설치 또는 제거시에 상기 케이블을 상기 테스트 시스템으로부터 제거하는 것을 요구하는 단점이 있다. 테스트 시스템을 케이블에 연결하고 해체하는 작업을 하는 데에는 ½내지 1일이 걸리고, 고가의 시스템을 고장낼 수 있고, 손해의 위험이 있다. 다른 단점은, 기구가 고가이고 ; 상기 베어링 자체 및 링에 상기 베어링을 설치하는데에 필요한 정밀한 공작기계가 고가인 단점이 있다.
상기 케이블 제거의 필요성을 없애기 위하여는, C-클램프에 의해서 결합된 스플릿 링과 같은 링을 설치하는 것이 알려지고 있다. 스플릿 링 부품의 결합구조는 링을 직접 테스트 헤드에 장착하기는 어렵고 ; 대신에 상기 테스트 헤드를 상기링의 내부 직경에 장착하는 데에는 부가 구조가 필요하다.
상기에 관련하여, 본 발명의 한 목적은 테스트 헤드를 테스트 시스템에 서로 연결하는 케이블을 보호하는 장치 테스트 시스템을 제공하는 데 있다. 상기 시스템이 여러 프로버(prober) 및 핸들러(handlers)를 테스트하는 데에 사용될 경우 이러한 케이블의 연속적인 휨, 뒤틀림, 및 삽입/제거가 원칙적으로 되어야 한다. 따라서, 케이블의 피로수명이 중요한 관건이다. 스트레스의 증가로 케이블을 형성하는 재료의 피로 수명이 감소하고 적용된 스트레스는 구부림 또는 꼬임이 일어나는 케이블의 길이에 비례하므로, 구부림부 또는 끄임부를 둘러싸고 있는 케이블의 길이를 제어 하는 데에 잇점이 있다.
본 발명의 다른 목적은 테스트 헤드위치 조정 시스템의 동작을 안정하고도 쉽게 하는 데 있다. 참고목적은 테스트 시스템으로부터 테스트 헤드 케이블을 제거함 없이 테스트 헤드의 설치 또는 제거를 가능하게 하는데 있고 테스트 헤드를 수납가능한 핸들링을 위한 케이블 피벗 배열에 적당히 균형이 잡힌 시스템을 제공하는데 있다. 또한 본 발명의 다른 목적은 여러 프로버 및 핸들러를 테스트할 수 있고, 축받이 책상과 같이 제작된 핸들러를 포함하며 바닥을 닫는 케이블을 가짐 없이 지면 가까이에 특히 큰 테스트 헤드를 놓는 시스템을 제공하는 데 있다. 또 다른 잇점은 테스트 헤드의 장착을 케이블 피벗배열에 직접 가능하게 한다. 마지막으로, 본 발명의 목적은, 특히 정렬 공차 필요를 제거함에 의해서, 효율적인 원가로 제조될 수 있는 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 지지구조를 따라서 이동할 수 있는 지지구조 및 포지셔너를 갖는 장치 테스트 시스템을 제공한다. 또한 대체로 원형의 통로를 형성하고 일측에 만 플랜지를 가지고 있는 케이블 피벗 하우징을 포함하며, 상기 통로의 일측은 부분적으로 폐쇄되어 있고 타측은 완전히 개방되어 있다. 2개의 접속한 반쪽을 갖는 테스트헤드 어댑터는 하우징의 통로에 회전가능하게 위치한다. 또한 상기 테스트 시스템은 테스트 헤드의 회전 이동을 가능하게 하는 테스트 헤드 어댑터 링에 부착된 테스트 헤드와; 테스트 케비닛과; 상기 테스트 캐비닛과 테스트 헤드간에 연결되고 테스트 헤드 어댑터 링을 관통하는 케이블과; 케이블 지지대를 포함한다.
상기의 일반적인 설명과 다음의 상세한 설명은 전형적인 것이고, 발명을 한정하지 않는다는 것을 이해하여야 한다.
도면에 있어서,
제1도는 본 발명에 따라 구성된 전자 장치 테스트 시스템의 사시도이다. 상기 시스템은, 참고로 여기에 포함된 미합중국 특허 제4,893,074호 및 4,589,815호에 기재된 내용과 일반적으로 유사하다.
상기 시스템은 수직방향(제1도의 y축 방향)의 주축(10)과 포지셔너(positioner)(12)를 유지하는 지지구조(도시하지 않음)를 포함한다. 포지셔너(12)는 y축 방향의 축(10)을 따라 수직으로 이동할 수 있고, θy 방향의 축(10)에 대하여 회전할 수 있다. 포지셔너(12)는 메인록(16)을 사용하여 메인 록 칼라(14)를 단단히 조임으로 축(10)에 대하여 고정될 수 있다. 포지셔너(12)는 메인 아암(18), 팔뚝 조립(forearm assembly)(20), 및 리스트 조립(wrist assembly)(22)을 포함한다. 팔뚝 조립(20)은 y축 방향의 축(10)을 따라서 수직으로 움직일 수 있도록 팔뚝 대 블록(34)에 있는 메인 아암(18)에 부착된다. 팔뚝 조립(20)은 주축(10)을 따라서 수직축으로부터 z축 방향에 배치된 수직 엘보 축(28)을 갖는다. 팔뚝 조립(20)은 메인 아암(18)에 관련한 축(28)에 대하여 θy방향으로 회전할 수 있다. 엘 보록(32)에 의해서 작용되는 록 칼라(30)는 축(28)위의 팔뚝조립(20)을 고정시킨다.
리스트 조립(22)은 교대로 팔뚝 조립(20)에 부착된다. 리스트 조립(22)은 수직 리스트 축(38)을 관통하여 배치한 원형부를 갖는 리스트 하우징(36), 및 블록면을 포함한다. 리스트 하우징(36)의 원형부 및 블록면은 단일 주조로서 형성할 수 있다. 또한 수직 리스트 축(38)은 엘보축(28)과 주축(10)으로부터 z 축 방향에 배치된다. 3개의 분리된 축(10,28,38)에 대하여 회전 가능한 결합은 테스트 헤드(56)(제2a도 참조)가 x축 및 z축을 따라 위치되도록 한다. 리스트 조립(22)은 만약 수직 리스트 록(40)에 의해서 적소에 로크되지 않으면 수직 리스트 축(38)에 대하여 θy 방향으로 회전할 수 있다.
또한 리스트 조립(22)은 z축(제1도 참조)에 대하여 회전할 수 있다. 이러한 회전을 방지하기 위한, 수평 리스트 록(42)은 리스트 조립(22)의 수평 리스트 축(44)을 고정시키는데 사용할 수 있다. 케이블 피벗 어댑터(46)는 통상적인 스크루, 볼트, 핀 등에 의해서 수평 리스트 축(44)에 부착된다.
제2a도에서 도시한 바와 같이, 케이블 피벗 어댑터(46)는 플랜지(48)를 통하여 수평 리스트축(44)에 부착된다. 케이블 피벗 어댑터(46)는 플랜지(48)와 빔(50)을 포함한다. 빔(50)은 일단이 플랜지(48)에 부착되고 (예를 들면, 통합주조로 형성 또는 용접되고), 타단이 케이블 피벗 하우징(52)에 부착되어 있으며(스크루, 볼트 등을 통하여), 그것에 의해서 플랜지(48)와 케이블 피벗 하우징(52)을 연결한다. 케이블 피벗 하우징(52)은 테스트 헤드 어댑터 링(54)을 유지하고, 링(52)이 아래의 방법으로 하우징(52)내에서 θx 방향으로 회전하도록 한다. 테스트 헤드(56)는 아래에 설명한 여러 가능한 방법으로 링(54)에 부착되고 링(54)이 테스트 헤드(56)에서 이동을 변환하도록 한다.
테스트 헤드(56)는 테스트 될 시스템의 전자 인터페이스 부품(커넥터, 포고핀, 인쇄 회로판 등)(도시하지 않음)과 상호작용 한다. 테스트 헤드(56)와 시스템 간의 도킹(docking) 및 언도킹(undocking)작용동안 손실 및 초과 마모로부터 부서지기 쉬운 전자 인터페이스 부품을 보호하기 위하여는, 이러한 작용동안 테스트 헤드의 운동이 전자 인터페이스 부품의 운동축과 정확하게 일렬로 되어야 한다. 따라서, 테스트 헤드(56)는 도킹 및 언도킹 작용동안 카티젼 좌표 시스템의 6방향 자유운동도의 모두에 정확하고 쉽게 이동할 수 있어야 한다. 제1도에서 도시한 바와 같이, 이 6방향 자유도는 x(수평 : 좌에서 우), y(수직), 및 z(수평 : 안 및 밖)축의 선형운동과, θx, θy, 및 θz 방향의 각 축에 대한 회전과, 전기 인터페이스 부품이 장착된 인터페이스판 평면의 중심에 관계한 회전을 포함한다.
본 발명은 포지셔너(12)와 테스트 헤드 어댑터 링(52)의 설계에 있어서 운동의 각축에 장치 테스트 시스템의 소자의 균형을 주의 깊게 확실히 함에 의해서 6방향 운동의 자유도를 달성한다.
일반적으로 다수위 개개의 케이블(도시하지 않음)로 구성된 케이블은 테스트 헤드 어댑터 링(54)을 통하여 테스트 헤드(56)가지 연장한다. 테스트 헤드(56)로부터 생성된 전자신호 및 파워는 테스트 캐비닛(도시하지 않음)으로부터 이 캐이블을 따라 전달 된다. 케이블을 운반하기 위하여, 텔레스코프 케이블 지지대(58)를 제공한다. 지지대(5)는 자유운동을 가능하게 하는 각 단위에 구면 베어링을 갖는다.
제2b도 및 제3b도에서 도시한 바와 같이, 케이블 피벗 하우징(52)은 테스트 헤드 어댑터 링(54)을 부분적으로만 둘러쌓다. 하우징(52)은 2개의 수평 캠 피동차(64)가 속에 삽입된 (x 방향으로)2개의 구멍(62)을 갖는 립(60)을 갖는다. 수평 캠 피동차(64)에 수직한, 3 방사 캠 피동차(66)는 케이블 피벗 하우징(52)의 내측 방사면(68)내에 삽입된다. 테스트 헤드(56)를 면하는 하우징(52)의 벽(70)은 개방되고 : 벽(70)은 하우징(52)의 반대측 상의 립(60)과 비슷한 립(lip) 또는 플랜지를 포함하지 않는다.
케이블 피벗 하우징(52)은 테스트 헤드 어댑터 링(54),지지 링(54)과 결합하고, 링(54)을 하우징(52)내에서 회전하도록 하며, 테스트 헤드(52)에서 포지셔너(12)의 위치 고정운동을 변환한다. 테스트 헤드 어댑터 링(54)은, 제2b도 및 제3b도에서 도시한 바와 같이 분할 링, 일반적으로는 스틸튜우빙 처럼 형성된다. 분할 링은 장부맞춤핀(76)은 반쪽 링(74)에 형성되고 반쪽 링(72)내의 통로(도시하지 않음)와 맞물린다. 장부 맞춤핀(76)은, 뒤틀림 및 회전 하중으로 인하여, 캔틸레버힘이 뒤틀림 반쪽링(72,74)에 미치기 때문에 심한 하중에 지탱한다.
링 리테이너(78)가 장부맞춤핀(76)위에 위치하고, 반쪽 링(72,74)이 결합될 때 생긴 접촉부위에 위치한다. 링 리테이너(78)는 통상적으로 스크루, 핀, 볼트 등(80)을 사용하여 반쪽 링(72,74)위에 놓인다. 그리고 링 리테이너(78)는 장부맞춤핀(76)을 유지한다. 제2b도 및 제3b도에서 도시한 바와 같이 2개의 링 리테이너(78)만이 보여질 지라도, 부가 리테이너가 제공될 수 있다. 예를 들면 한쌍의 부가 링 리테이너를 가이드(82)의 저면에 위치할 수 있다, 장부맞춤핀(76) 및 링 리테이너(78)을 통하여, 반쪽링(72,74)이 정확하게 고착된다.
반쪽링(72,74)이 결합될 때, 가이드(82)가 맞은 편 측벽(70)내에 있는 테스트 헤드 어댑터 링(54)의 외측 둘레에 형성된다. 링(54)이 케이블 피벗 하우징(52)내측에 위치할 때 수평 캠 피동차(64)는 가이드(82)와 맞물린다. 유사하게, 방사홈(84)이 링(54)의 원주 둘레에 형성된다. 링(54)이 하우징(52)의 내측에 위치할 때 홈(84)은 방사 캠 피동차(66)와 맞물린다.
공지의 분할 링과 같지 않은 테스트 헤드 어댑터 링(54)은 개방된다. 종래의 폐쇄된 분할링의 벽(70)은 대향 벽상의 립(60)에 대응하는 립을 갖는다. 립(60)과 같은 립은 2개의 수평캠 피동차(대향 캠 피동차(64))을 운반한다. 대향 가이드(82)는 벽(70)에 인접한 측면 내에 있는 테스트 헤드 어댑터 링(54)의 외측 둘레에 형성된다. 링(54)이 케이블 피벗 하우징(52)의 내측에 위치할 때 수평 캠 대향 피동차(64)는 대향 가이드와 맞물린다. 그리고 종래의 분할링은 방사홈(84)과 방사 캠 피동차(66)를 가지고 있지 않다.
수평 캠 피동차(64)와 방사 캠 피동차(66)는 니이들 베어링을 포함한 완전한 장치를 형성하는 표준 하드웨어이다. 이와 같은 캠 피동차는, 테스트 헤드 어댑터 링(54)과 같은 고 하중 운반부에 유용할 지라도 종래의 케이블 피벗 배열에 사용된 대직경 볼 베어링에 비하여 비싸다.
본 발명에 따라서는, 2 수평 캠 피동차(64) 및 3 방사 캠 피동차(60)가 바람직하다. 수평 캠 피동차(64)는 방사 캠 피동차(66)에 수직으로 배치된다. 더구나, 2 수평 캠 피동차(64) 및 3 방사 캠 피동차(66)의 2개는 2 수평 방사 캠 피동차 쌍 간의 중심에 배치된 3 방사 캠 피동차(66)와 함께, 가상축, 교선을 따라서 선형으로 배치된다.
이와 같은 캠 피동차 배열은 정열 오차한계 요구를 최소화 하기 때문에 효과적이다. 테스트 어댑터 링(54)에 부가된 캔틸레버하중을 분배하기 위하여는, 캠 피동차가 일직선으로 되어야 한다. 3 수평 캠 피동차(64)가 사용된다면, 예를 들면, 방사 캠 피동차(66)에 결과적으로 수직으로 되어야 만 할 뿐만 아니라, 하중을 적절히 나누도록 일직선으로 되어야 한다. 2 수평 캠 피동차(64)가 사용되므로, 그들의 수직이 중요하지 않고 정열 오차한계가 보다 쉽게 만난다.
테스트 헤드(56)는 여러방법으로 테스트 헤드 어댑터 링(54)에 장착될 수 있다. 테스트 헤드(56)와 링(54)간에 부착된 3실시예가 도면에 설명된다. 제2b도에 있어서, 테스트 헤드 대판(86)은 테스트 헤드 어댑터 링(54)의 내측면(88)에 부착될 수 있다. 테스트 헤드 대판(test head mount)(86)내의 통로(92)와 맞물리는 방사 스크루, 핀 등은 테스트 헤드 대판(86)을 위치 조정하는 데에 사용할 수 있다.
로드(94)는 일단이 테스트 헤드에 부착되고, 테스트 헤드 대판(86)에 부착된 다(일체화 될 수 있다). 로드(94)는 테스트 헤드 대판(86)을 지나서 까지 연장하고 타단이 케이블 지지대(58)에 부착된다.
제3도는 테스트 헤드(56)와 테스트 헤드 어댑터 링(54)간의 교차 부착을 보여준다. 실시예에서, 테스트 헤드를 지지하는 크레이들, 하이네스, 또는 요크(96)는 테스트 헤드 대판(86) 및 로드(94)와 같은 부가구조를 사용함 없이 링(54)에 직접 부착된다. 종래의 스크로, 볼트, 핀 등(98)은 소자를 부착하는데 사용될 수 있다. 제3b도에 있어서, 회전동안 케이블 피벗 하우징(52)과 요크(96)간의 핀치점(pinch point)의 형성을 방지하기 위하여 링(54)과 요크(96)간에 스페이서 설치할 수 있다.
제4도는 테스트 헤드(56)와 태스트 헤드 어댑터 링(54)간의 부착물의 제3실시예를 도시한다. 돌기부(102)는 테스트 헤드(56)에 형성된다. 돌기부(102)는 종래의 방법에 의해서, 링(54)에 직접 부착될 수 있다.
제2(제13a도) 및 제3(제4도) 실시예에 있어서, 테스트 헤드(56)는 테스트 헤드(56)와 매우 밀접하게 부착된 테스트 헤드 어댑터 링(54)의 표면(104)에 직접 고착된다. 제2a도에서 도시한 제1실시예와 같은 방법으로, 공지의 분할링 케이블 피벗은 케이블 피벗의 내측면(88)에만 장착된다. 이것은 공지의 케이블 피벗이 폐쇄되기 때문이며, 그러나 본 발명의 케이블 피벗 하우징(52)의 벽(70)은 개방되고, 테스트 헤드 어댑터 링(54)의 표면(104)에서 호출할 수 있다.
이 현상으로, 표면(104)의 두께가 충분히 크다면, 테스트 헤드(56)를 공지된 분할링 케이블 피벗내에 있는 테스트 헤드 어댑터 링(54)의 표면(104)에 직접 부착가능하다. 표면(104)은 노출 될 수 있도록 벽(70)에 형성된 립에 초과하여 연장해야 한다. 더욱이, 원주 가이드가 공진된 분할링 케이블 피벗 내의 표면(104)에 형성되므로, 표면(104)의 두께는 가이드의 형성과 테스트 헤드(56)의 부착에 대해서 충분하여야 한다.
표면(104)의 두께는 시스템의 전체 결합구에 잘 맞으나, 최소화되어야 한다. 따라서, 테스트 헤드(56)을 공진된 분할링 케이블 피벗 내에 테스트 헤드 어댑터 링(54)의 표면 (104)에 직접 부착할 수 없다. 캔틸레버 하중의 무게중심이 링(54)의 중심을 통과하도록 링(54)의 외측직경은 테스트 헤드(54)의 두께보다도 작아야 한다. 더우기, 도킹을 갖는 인터페이스가 큰 핸들러에서 방지되도록, 특히 링(54)이 테스트 헤드(56)의 정상에 위치한 도킹 판의 정상표면 아래에 있도록, 외측직경이 작게 유지되어야 한다. 테스트 헤드 어댑터 링(54)의 외측 직경이 속박되어 있고, 표면(104)의 두께가 증가함으로 링(54)의 내측 직경은 저감되나; 내측직경이 비교적 큰 케이블을 테스트 헤드(56)에서 통과시키기에 충분하다. 개방된 케이블 피벗 하우징(52)을 설치함에 의해서, 본 발명은 결과적으로 장착이점은 얻을 수 있으나 보다 엷은 표면(104)을 포함할 수 있다.
수납 가능한 핸들링에 대하여, 다른 부품 중에서, 케이블 및 테스트 헤드(56)에 의해서 형성된 캔틸레버가 테스트 헤드 어댑터 링(54)에서 균형 잡히는 것이 중요하다. 캔틸레버 하중의 무게 중심(Cg)은, 만약 케이블이 Cg 에 대하여 대칭적으로 테스트 헤드(56)에 접속될 수 없다면, 대칭적으로 정렬될 수 없다(케이블이 소정의 설계로 테스트 헤드(56)의 가장자리에 부착될 수 있는 것을 나타냄). 이와 같은 조정불량은 균형의 어려움을 악화시킬 수 있다.
제1도는 균형을 달성하는 한 방법을 도시한다. 스프링 조립(106)은 스프링 하우징9108)을 통하여 리스트 하우징(36)에 부착된다. 하우징(108)의 내측에 있는 2개의 분리 스프링은 캔틸레버 하중을 보상하기 위해서 제공한다. 케이블 피벗 하우징(52)의 하중측(양 x축 방향)에 있는 스프링 하우징(108)은 디스크 스프링(도시하지 않음)을 포함한다. 디스크 스프링은 피스톤(도시하지 않음)에 의해서 안내되고 디스크 스프링 스크루(110)에 의해서 설치된다. 짐발핀(112)은 스프링 조립(106)의 디스크 스프링 및 피스톤 조립을 리스트 조립(22)에 접속시킨다. 케이블 피벗 하우징(52)의 하중 측의 맞은편(음 x축 방향)의 스프링 하우징(108)은 코일 스프링(도시하지 않음)을 함유한다. 코일 또는 압축 스프링은 피스톤(도시하지 않음)에 의해서 안내되고, 코일 스르핑 스크루(114)에 의해서 조정된다. 짐발핀(gimbal pin)(도시하지 않음)은 스프링 조립(106)의 코일 스프링 및 피스톤 조립을 리스트 조립(22)에 연결한다. 코일 스프링은 디스크 스프링 내의 고유의 한계 오차를 보상하고 눈금을 측정하는데 사용된다.
제1, 2a 및 2b, 3a, 및 3b, 및 4도에서 도시한 본 발명의 실시예는 캔틸레버하중의 균형을 위하여 스프링 조립(106)을 사용한다. 제5도에서 도시한 바와 같이, 스프링 조립을 사용함 없이, 오프셋 위치에서 테스트 헤드 어댑터 링(54)을 제공함에 의해서, 하중이 균형잡혀 질 수 있다. 하중의 무게중심이 x 축 방향 링(54)중심을 통과하고, z 축 방향의 플랜지(48)중심을 통과하는 것을 확실히 하기 위하여, 빔(50)이 z형 구조로 형성된다. 선택적으로, 하중은 스프링 조립을 사용함 없이 제3도에 도시한 바와 같이 요크(96)의 아암을 통하여 Cg 축에 Cg 피벗을 설치함에 의해서 균형 잡힐 수 있다.
도면에서는 상술하지 않았지만, 일반적으로 본 발명의 케이블 피벗의 부분으로 나타낸 종래의 케이블 피벗 록 노브가 있다. 이러한 록 노브는 케이블 피벗 하우징(52)에 통상적으로 위치하고 테스트 헤드 어댑터 링(54)을 록 링(54)과 맞물릴 수 있다.
본 발명이, 지지구조, 포지셔너, 일측면이 완전히 개방된 대체로 원통인 통로를 형성하는 케이블 피벗 하우징, 분할 테스트 헤드 어댑터 링, 테스트 헤드, 테스트 캐비닛, 케이블 지지대로 구성되는 장치 테스트 시스템에 예시된 바와 여기서 기술하였지만, 기술된 설명에 결코 한정하지는 않는다. 여러 가지 변경과 변형을 그 발명의 정신 및 그 범위로부터 이탈함 없이 할 수 있음은 당업자에게는 당연하다. 특히, 예를 들면, 테스트 헤드 어댑터 링은 두 반쪽 내에서 분할 된 것 처럼 보이고; 그것은 다수의 다른 면에서 분할 될 수 있다.

Claims (11)

  1. 전자장치를 측정하는 장치 테스트 시스템에 있어서, 가동 포지셔너, 대체로 원형 통로를 형성하는 내측 방사면을 포함하는 반원 케이블 피벗 하우징 및 상기 통로의 상기 일측이 부분적으로 폐쇄되고 대향측이 완전히 개방되도록 상기 하우징의 일측 상에서만 있는 립, 상기 케이블 피벗 하우징을 상기 포지셔너에 부착하는 수단, 제1반쪽 및 제2반쪽을 갖는 테스트 헤드 어댑터 링, 상기 테스트 헤드 어댑터 링의 상기 제1반쪽을 상기 테스트 헤드 어댑터 링의 상기 제2반쪽에 접속하는 수단, 상기 테스트 헤드 어댑터 링을 상기 케이블 피벗 하우징의 상기 대체로 원형인 통로 내에 회전가능하게 위치시키는 수단, 테스트 헤드, 상기 테스트 헤드를 상기 테스트 헤드의 축방향 이동을 위하여 상기 테스트 헤드 어댑터 링에 부착하는 수단, 및 상기 테스트 헤드에 접속되고 상기 테스트 헤드 어댑터 링을 관통하는 케이블을 구비하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 접속 수단은, (a) 상기 테스트 헤드 어댑터 링의 상기 제1반쪽에 다수의 통로를 각각 갖는 한쌍의 가장자리, (b) 상기 테스트 헤드 어댑터 링의 상기 제1 반쪽 및 상기 제2반쪽이 연결하는 이음매를 형성하고, 상기 통로를 맞물리도록 상기 테스트 헤드 어댑터 링의 상기 제2반쪽에 형성된 다수의 대응 장부 맞춤핀, 및 (c) 상기 이음매 위의 상기 테스트 헤드 어댑터 링에 부착되고 상기 장부 맞춤핀을 상기 통로에 유지하는 한쌍 이상의 링 리테이너를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 회전 가능한 위치 조정 수단은, (a) 상기 표면 내에 형성된 가이드를 갖는 상기 케이블 피벗 하우징의 측면에 상기 립과 인접한 상기 테스트 헤드 어댑터링의 표면, (b) 방사 홈을 갖는 상기 테스트 헤드 어댑터 링의 원주, (c) 상기 가이드를 맞물리도록 상기 케이블 피벗 하우징의 상기 립에 위치한 다수의 방사 캠 피동체, 및 (d) 상기 방사 홈을 맞물리도록 상기 케이블 피벗 하우징의 상기 내측 방사면에 위치한 방사 캠 피동체를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 수평 캠 피동체는 상기 방사 캠 피동체에 수직으로 위치하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 두 개의 수평 캠 피동체와 3 방사캠 피동체가 있는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 2 수평 캠 피동체와 상기 3 방사캠 피동체의 두 개가 가상의 교선을 따라서 직선으로 배치된 것을 특징으로 하는 장치 테스트 시스템.
  7. 제1항에 있어서, 상기 부착수단은, (a) 상기 테스트 헤드 어댑터 링에 형성된 내측면, (b) 상기 테스트 헤드 어댑터 링의 상기 내측면에 부착된 테스트 헤드대와, (c) 일단상의 상기 테스트 헤드에 부착되고 상기 테스트 헤드 대를 맞물리는 로드를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 시스템.
  8. 제1항에 있어서, 상기 부착수단이 상기 테스트 헤드어댑터 링에 직접 부착된 상기 테스트 헤드를 지지하고 적어도 부분적으로 둘러싸고 있는 요크를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 시스템.
  9. 제1항에 있어서, 상기 부착 수단은 상기 테스트 헤드 상에 형성되고, 상기 테스트 헤드 어댑터 링에 직접 접속된 돌기부를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치 테스트 시스템.
  10. 제1항에 있어서, 상기 테스트 헤드 어댑터 링의 외측 직경이 상기 테스트 헤드의 두께보다도 작은 것을 특징으로 하는 장치 테스트 시스템.
  11. 제1항에 있어서, 상기 테스트 헤드어댑터 링에 의해서 운반되는 캔틸레버 하중의 무게 중심이 상기 분할링 케이블 피벗의 중심을 관통하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.
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SG (1) SG44493A1 (ko)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5600258A (en) * 1993-09-15 1997-02-04 Intest Corporation Method and apparatus for automated docking of a test head to a device handler
US5440943A (en) * 1993-09-15 1995-08-15 Intest Corporation Electronic test head manipulator
US6057695A (en) * 1993-09-15 2000-05-02 Intest Corporation Method and apparatus for automated docking of a test head to a device handler
US5561386A (en) * 1994-02-23 1996-10-01 Fujitsu Limited Chip tester with improvements in handling efficiency and measurement precision
EP0811167B1 (en) * 1995-02-23 2001-09-05 Aesop Inc. Manipulator for automatic test equipment test head
US5608334A (en) * 1995-04-20 1997-03-04 Intest Corporation Device testing system with cable pivot and method of installation
US5606262A (en) * 1995-06-07 1997-02-25 Teradyne, Inc. Manipulator for automatic test equipment test head
MY138984A (en) 2000-03-01 2009-08-28 Intest Corp Vertical counter balanced test head manipulator
KR100368574B1 (ko) * 2000-06-22 2003-01-24 메카텍스 (주) 피씨 베이스 모듈아이씨 테스트 핸들러의 위치변환장치
US6975105B2 (en) 2000-09-20 2005-12-13 Intest Ip Corporation Side supports with adjustable center of gravity
KR100393744B1 (ko) * 2000-12-02 2003-08-02 하나제약 주식회사 1,2,3,9-테트라하이드로-9-메틸-3-[(2-메틸-1h-이미다졸-1-일)메틸]-4h-카바졸-4-온의 제조방법
US6766996B1 (en) 2001-07-16 2004-07-27 Reid-Ashman Manufacturing, Inc. Manipulator
DE60238767D1 (de) * 2001-07-16 2011-02-10 Intest Corp System und verfahren zur ankopplung eines prüfkopfs
US6646431B1 (en) 2002-01-22 2003-11-11 Elite E/M, Inc. Test head manipulator
DE20214629U1 (de) 2002-09-20 2002-11-21 Esmo Ag Verschiebbare Befestigungsplatte
EP2104862B1 (en) * 2006-12-29 2012-08-08 inTEST Corporation Test head positioning system and method
TWI490513B (zh) 2006-12-29 2015-07-01 Intest Corp 用於使負載沿平移軸線平移之負載定位系統以及使負載達到平衡之方法
US8212578B1 (en) 2008-03-17 2012-07-03 Intest Corporation Test head positioner system
US8981807B2 (en) 2010-07-27 2015-03-17 Intest Corporation Positioner system and method of positioning
US20140317453A1 (en) 2011-07-12 2014-10-23 Intest Corporation Method and apparatus for docking a test head with a peripheral
CN103274127B (zh) * 2013-06-19 2015-11-25 苏州信亚科技有限公司 Led灯搁置结构
CN105680293A (zh) * 2016-04-20 2016-06-15 国网新疆电力公司阿克苏供电公司 一种高效网线头排线工具
DE102017118980B4 (de) * 2017-04-23 2018-11-08 Franka Emika Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur elektrischen Prüfung eines elektrischen Bauteils
CN116593863B (zh) * 2023-05-09 2023-12-22 上海捷策创电子科技有限公司 一种用于芯片测试的滑轨式探针接口板的锁紧装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3128887A (en) * 1960-02-25 1964-04-14 Mechanical manipulators for the displacement of
US4080851A (en) * 1977-04-19 1978-03-28 The Raymond Lee Organization, Inc. Variable racket wrench
US4160207A (en) * 1977-06-27 1979-07-03 Haines Fred E Printed circuit board tester with removable head
US4517512A (en) * 1982-05-24 1985-05-14 Micro Component Technology, Inc. Integrated circuit test apparatus test head
US4588346A (en) * 1982-08-25 1986-05-13 Intest Corporation Positioner for maintaining an object in a substantially weightless condition
US4705447A (en) * 1983-08-11 1987-11-10 Intest Corporation Electronic test head positioner for test systems
US4527942A (en) * 1982-08-25 1985-07-09 Intest Corporation Electronic test head positioner for test systems
US4650391A (en) * 1985-02-25 1987-03-17 Amp Incorporated Electrical connector pick-up station
US4665360A (en) * 1985-03-11 1987-05-12 Eaton Corporation Docking apparatus
DE3615941A1 (de) * 1986-05-12 1987-11-19 Willberg Hans Heinrich Geraet zum pruefen von elektronischen bauelementen, insbesondere ic's
EP0308348B1 (fr) * 1987-09-17 1993-02-10 Schlumberger Industries Appareil manipulateur de tête de test pour équipement de test automatique
US4893074A (en) * 1988-05-13 1990-01-09 Intest Corporation Electronic device testing system

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Publication number Publication date
ATE135114T1 (de) 1996-03-15
EP0468906A3 (en) 1992-08-19
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KR920003064A (ko) 1992-02-29
EP0468906B1 (en) 1996-03-06
DE69117608T2 (de) 1996-11-07
SG44493A1 (en) 1997-12-19
US5030869A (en) 1991-07-09
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DE69117608D1 (de) 1996-04-11
JP2546937B2 (ja) 1996-10-23

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