JP2597779Y2

JP2597779Y2 - テストヘッド・スライド機構

Info

Publication number: JP2597779Y2
Application number: JP1993057926U
Authority: JP
Inventors: 良二加藤
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1993-09-30
Filing date: 1993-09-30
Publication date: 1999-07-12
Anticipated expiration: 2008-09-30
Also published as: JPH0743940U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】半導体試験装置においてテストヘ
ッドを床面に対し平行移動し、多数のケーブルを積載し
たテストヘッド・スライド機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来技術を半導体試験装置を例にして説
明する。試験装置本体とデバイス試験部であるテストヘ
ッド部との間には、デバイスのピン数に対応して多数の
信号ケーブルが接続されている。近年とみにＶＬＳＩデ
バイスなどに見られるように、デバイスのピン数は増加
の一途をたどり、これに伴いこのケーブル量も増加しそ
の重量も多大なものになってきている。一方、テストヘ
ッド部は使用者側でハンドラやプローバなどと組み合わ
せて使用されるために、テストヘッド低面部にキャスタ
を設けケーブルの届く範囲で移動できる構造となってい
る。

【０００３】この状況下でテストヘッド部を移動する方
法を図５，図６，図７に示す。図５は、ある人がテスト
ヘッドを移動させ、それに伴い、他の複数人がケーブル
を持ち上げて一緒になってケーブルを移動する状態を示
している。図６はテストヘッドは固定したままに置き、
ハンドラやプローバなど周辺装置の方を移動させる方法
を示している。又、図７はケーブルをテンショナーで支
えながら、テストヘッドを移動する状態を示している。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】ケーブル量が多大にな
るとその重量たるものは膨大なものとなり、これに伴い
上記に説明した従来方法では以下にあげる問題を有す
る。（１）ケーブル量が増加するとケーブルは自由に曲げる
ことが難しく、ケーブルに無理な曲げや張力が掛かり、
ケーブルの破損が発生する。（２）ケーブルの重量の増加に伴い、多数の人手を必要
とする。（３）テンショナーを用いた場合、滑車近傍のケーブル
に自重により大きな張力が掛かり、断線するケーブルが
発生する。（４）周辺装置の方を移動させると、移動の際に発生す
る振動などにより長年機械的精密度を保つのに不適切で
ある。本考案はこれらの問題を解決するための装置を提
供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】２組の装置間のケーブル
２３をケーブル処理リンク機構２１上に積載する。リン
ク機構２１は２組の梯子形状或いはコロコン形状のケー
ブル支え１９，２０からなり、お互いの一端を繋ぎ合わ
せこの点をＢ点３２とする。２組のケーブル支え１９，
２０はＢ点３２を中心として回転できる構造とする。更
にＢ点３２はできるだけ線で支えるのではなく、ある程
度半径のある円筒形状の構造物２２で支える。次に１組
のケーブル支え１９は、その他端を可動するテストヘッ
ド１２の一端に接続する。この点をＡ点３１とする。該
ケーブル支えはＡ点３１を中心に回転できる構造とす
る。他の１組のケーブル支え２０の他端は試験装置本体
１１側の床面に固定された装置の一端に接続する。この
点をＣ点３３とする。該ケーブル支え２０はＣ点３３を
中心として回転できる構造とする。

【０００６】テストヘッド支持台１３にはモータ１４を
取付け、支持台１３の側面内側にはモータに連結され、
モータによって正転逆転するピニオンギヤ１５を配置す
る。さらに支持台１３側面内側にはリニアガイド１６を
複数取り付ける。テストヘッド１２側面にはラック１８
を取付け、更に両側面にはレール１７を取付る。

【０００７】

【作用】テストヘッド支持台１３に取り付けられたモー
タ１４が正転したとき、テストヘッド１２は外側（試験
装置本体１１から遠ざかる方向）に移動し、逆転したと
きは内側（試験装置本体１１に近ずく方向）に移動する
ものとする。モータ１４が作動し正転すると、これに連
結されたピニオンギヤ１５が正転する。ピニオンギヤ１
５はテストヘッド１２に取り付けられたラック１８とか
み合っている。テストヘッドを移動させるのはこのピニ
オンギヤの回転力をラックに伝え直線運動力に変換する
ことによる。これによりラック１８を外側に押し出す。
即ちテストヘッド１２も外側に床面に対し平行に移動す
る。リニアガイド１６とリニアガイド１６のコの字状の
くぼみ部分に合致したレール１７とはテストヘッド１７
本体を支え、且つ、その作用により摩擦係数を小さく
し、モータ１４による動力のみでテストヘッド１２の移
動を容易にする。

【０００８】モータ１４が逆転するとピニオンギヤ１５
の回転方向も逆になり、テストヘッド１２は内側に戻
る。ケーブル処理リンク機構２１は、大量の重たいケー
ブル２３を全体で支える。ケーブル処理リンク機構２１
の一端にあるＡ点３１はテストヘッド１２の移動に追随
して、床面に対し平行に外側或いは内側に移動する。Ａ
点３１の移動に伴い、Ｂ点３２もその中心をＣ点３３と
し半径はケーブル支え２０の長さとした円周上を移動す
る。テストヘッド１２が外側へ最大限移動したとき、Ｂ
点３２を中心としてＡ点３１Ｃ点３３間は約１３０度に
開き、またテストヘッド１２が内側に最大限移動したと
きは、Ｂ点３２を中心としてＡ点３１Ｃ点３３間は約３
０度の角度を持った逆Ｖ字型状態となる。

【０００９】このような動作をするケーブル処理リンク
機構２１上に大量のケーブル２３を積載する。ケーブル
２３はリンク機構２１の動作に追随してＢ点３２を支点
として開いたり閉じたりする動作をする。Ｂ点３２にあ
る円筒形構造物２２は支点が一辺に集中するのを防止す
る。このような構造によりリンク機構２１が停止してい
るときでも動作中である時でも、ケーブル２３は移動す
ることなく、その自重はケーブル支え１９，２０全体に
分散して支えられている。従って、ケーブル２３はテス
トヘッド１２との接続部などの箇所で大きな張力が働く
ことや、又、Ｂ点３２の可動部でも極端な張力が働くこ
とを防止する。

【００１０】

【実施例】実施例を図１と図２とを用いて説明する。図
１はケーブル処理リンク機構２１が閉じた状態を示して
おり、テストヘッド１２も内側に引っ込んでいる状態を
示す。テストヘッド支持台１３とＣ点を有する固定台は
床面に固定される。テストヘッド支持台１３にはモータ
１４が取り付けられ、さらにモータ軸にはピニオンギヤ
１５を連結し、これを支持台１３側板の内側に向けて配
置する。更に支持台１３の両側板内側には上下２列に複
数個のリニアガイド１６を取り付ける。このリニアガイ
ド１６は図３に示すようにコの字型形状をしており、こ
のくぼみ形状に合致するレール１７をテストヘッド１２
の両側板の上下に、リニアガイド１６に合致する位置に
取り付ける。テストヘッド１２の側板にはピニオンギヤ
１５にかみ合う状態にラック１８が取り付けられる。こ
の様子を図４に示す。ピニオンギヤ１５が回転すること
によりラック１８へ動力を伝達する。モータ１４が正転
するとテストヘッド１２は外側へ、逆転すると内側へと
移動する。

【００１１】ケーブルリンク機構２１は２つのケーブル
支え１９，２０と筒型形状物２２とから構成される。ケ
ーブル支え１９と２０との一端は接続されこれをＢ点３
２とする。Ｂ点３２を中心にして筒型形状物２２を設け
る。ケーブル支え１９と２０とはこのＢ点３２を中心と
して自由に回転できる。この筒型形状物２２はケーブル
が極端に折れ曲がるのを防止する。ケーブル支え１９の
他端はテストヘッド１２の一端に接続され、この点をＡ
点３１とする。ケーブル支え１９はＡ点３１を中心とし
て自由に回転できる。もう１つのケーブル支え２０の他
端は固定点Ｃ点３３に接続され、ケーブル支え２０はＣ
点３３を中心に自由に回転できる。この状態で試験装置
本体１１から出て来ているケーブル２３はリンク機構２
１上に載せられ、テストヘッド１２に接続される。ケー
ブル全重量はリンク機構２１上に分散されて支えられて
いる。従って、テストヘッド接続部などの箇所で、ケー
ブル重量が加わり過大な張力が働いている所はない。

【００１２】図２はモータ１４が動作して、テストヘッ
ド１２が外側に送り出されたときの状態を示している。
この場合モータ１４に連結されたピニオンギヤ１５が回
転することによりテストヘッド１２側面に取り付けられ
たラック１８を送り出すことによりテストヘッド１２が
一緒に移動する。さらにリニアガイド１６とレール１７
により摩擦が低減されて、小さな動力による移動を助け
ている。テストヘッド１２が外側へ移動するに従いケー
ブル処理リンク機構２１は、ケーブル２３を積載したま
まで逆Ｖ字型形状を開いていく格好で動作する。このと
きテストヘッド１２の移動量に必要なケーブル長をリン
ク機構２１で保持しているため、テストヘッド１２の移
動に対しリンク機構の形状は変化するが、ケーブル２３
自体の移動は生じない。従って過大な張力がかかること
もなく、破損や断線を低減できる。

【００１３】

【考案の効果】本考案は上述の通り構成されるので、次
に記載する効果を奏する。（１）ケーブル自体の重量による過大な張力がかかるこ
とを低減できたので、それによる破損や断線の発生を防
止できる。（２）テストヘッドの移動量に必要なケーブル長はリン
ク機構上で保持しているため、テストヘッドの移動に対
しリンク機構の形状は変化するがケーブル自体は動かな
い。従って、破損や断線を防止できる。（３）テストヘッドおよびリンク機構の動作はモータの
駆動によっておこなわれるため、人手を介することがな
くなり、省力化が計られ安全性も高められた。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１で移動前の状態を示す側面図である。

【図２】実施例１で移動後の状態を示す側面図である。

【図３】駆動部の詳細を示す断面図である。

【図４】駆動部のピニオンギヤとラックとを、より詳細
に示す斜視図である。

【図５】従来方法において人手による方法を示す概念図
である。

【図６】従来方法において周辺装置を移動する場合の概
念図である。

【図７】従来方法においてテンショナーを用いた場合の
概念図である。

【符号の説明】

１１試験装置本体１２テストヘッド１３テストヘッド支持台１４モータ１５ピニオンギヤ１６リニアガイド１７レール１８ラック１９ケーブル支え２０ケーブル支え２１ケーブル処理リンク機構２２円筒形状物２３ケーブル３１Ａ点３２Ｂ点３３Ｃ点

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】半導体試験装置で、床面に固定された試
験装置本体と、本体とは独立して置かれたテストヘッド
とにおいて、テストヘッド支持台（１３）に取り付けた
モータ（１４）とモータに連結したピニオンギヤ（１
５）と、支持台（１３）両側面内側に取り付けた複数個
のリニアガイド（１６）と、該リニアガイドのコの字型
のくぼみ部分に合致するテストヘッド（１２）両側面上
に取り付けたレール（１７）と、更に側面上に取り付け
たラック（１８）との構成により、テストヘッド（１
２）が床面に対し平行移動する手段と、２組のケーブル
支え（１９，２０）のお互いの一端を繋ぎ合わせ、この
点を可動点Ｂ点（３２）とし、両ケーブル支え（１９，
２０）はＢ点（３２）を中心として回転する構造をな
し、内１組のケーブル支え（１９）の他端はテストヘッ
ド（１２）の一端Ａ点（３１）に接続し、該ケーブル支
えはＡ点（３１）を中心として回転する構造をなし、他
の１組のケーブル支え（２０）の他端は床面に対し固定
されてあるＣ点（３３）に接続し、該ケーブル支えはＣ
点（３３）を中心として回転する構造からなるケーブル
処理リンク機構（２１）と、を具備していることを特徴
とするテストヘッド・スライド機構。