JPH0742800A - ダブルハンドリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体ウェハ、液晶ガラス基板などの移載に利
用されるダブルハンドリング装置の構成を簡素にすると
ともに、小型化、コストダウンを実現させる。 【構成】ダブルアーム部の駆動モータ１の軸に外部から
のＯＮ／ＯＦＦ自在のクラッチを備えた２個の駆動プー
リを２ａ，２ｂ取付け、各駆動・制御する構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェハ、液晶ガ
ラス基板などの移載に利用されるダブルハンドリング装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体ウェハ・液晶ガラス基板な
どのハンドリング装置は、ハンドリング時間を短縮させ
て装置全体の高い稼動率が要求される中で、従来のシン
グルアームに加え、ダブルアームを有するダブルハンド
リング装置が必要とされている。

【０００３】以下、図面を参照しながら、上述した従来
のダブルハンドリング装置について説明する。図３は、
従来のダブルハンドリング装置の一例を示すものであ
る。図３において、１は駆動モータで、そのモータ軸に
駆動プーリ２を取りつけてあり、駆動プーリ２には伝達
ベルト３が掛けられ、伝達ベルト３には対象製品をハン
ドリングするアーム５が連結してある。図中の４は従動
プーリである。そしてこれらを２セット備えてダブルハ
ンドリング装置を構成している。

【０００４】以上のように構成されたダブルハンドリン
グ装置について、以下、その詳細な動作について説明す
る。図３において、駆動モータ１を回転させることによ
って、駆動プーリ２を駆動させ、伝達ベルト３によって
従動プーリ４を回転させる。それによって伝達ベルト３
に連結されたアーム５が駆動され対象製品を移載する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにダブルハンドリング装置を構成すると、２つの駆
動モータ１を装備することから装置全体が大型化する他
に、２つの駆動モータ１を駆動・制御する装置を要し、
コストアップにもつながっている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明のダブルハンドリング装置は、駆動モータ
と、前記駆動モータに取り付けられ、外部からＯＮ／Ｏ
ＦＦ自在のクラッチ付の２つの駆動プーリと、前記駆動
プーリのクラッチとＯＮ／ＯＦＦのタイミングを同じく
したクラッチ付の従動プーリと、前記２つの駆動プーリ
・従動プーリに掛けられた２つの伝達ベルト、前記２つ
の伝達ベルトと連結された対象製品を移載するアームと
で構成されるものである。

【０００７】

【作用】この構成において、２つの駆動プーリ、従動プ
ーリそれぞれのクラッチをＯＮ／ＯＦＦさせて、伝達ベ
ルに連結された製品を移載するアームを１つのモータで
駆動・制御することができることとなる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の一実施例のダブルハンドリン
グ装置について、図１および図２を参照しながら説明す
る。なお従来例として示したものと同一構成部材には同
じ符号を付して説明する。図１において、１は駆動モー
タであり、そのモータ軸にはクラッチを備えた駆動プー
リ２を連結してある。この駆動プーリ２には伝達ベルト
３を掛けてあり、伝達ベルト３はクラッチを備えた従動
プーリ４によって駆動されるようになっている。前記駆
動ベルト３には対象製品をハンドリングするアーム５を
連結してあり、また従動プーリ４の軸には位置検出エン
コーダ６が設けられている。

【０００９】図２は前記実施例におけるダブルハンドリ
ング装置を模式的に表わしたものである。ここでクラッ
チを備えた駆動プーリ２はクラッチを備えたａ軸駆動プ
ーリ２ａと、クラッチを備えたｂ軸駆動プーリ２ｂより
なり、それぞれにａ軸の伝達ベルト３ａとｂ軸の伝達ベ
ルト３ｂを掛け合わせている。そしてクラッチを備えた
従動プーリ４と、位置検出エンコーダ６はａ軸、ｂ軸の
両軸に取り付けられている。

【００１０】以上のように構成されたダブルハンドリン
グ装置について以下図２を用いてその動作を説明する。
ａ軸の伝達ベルト３ａを駆動するためには、駆動モータ
１と駆動プーリ２ａをクラッチによって継ぎ、従動プー
リ４をクラッチを開放して回転させる。また、ｂ軸の伝
達ベルト３ｂを駆動するためには、駆動モータ１と駆動
プーリ２ｂをクラッチによって継ぎ、従動プーリ４をク
ラッチを結合させて固定する。また、他方の従動部に位
置検出エンコーダ６を取り付け、駆動モータ１を駆動・
制御する。

【００１１】以上のように本実施例によれば、図３の従
来のダブルハンドリング装置と比較して、１つのモータ
で２つのアームを駆動・制御することができる。なお、
伝達ベルト３はワイヤとしてもよく、位置検出エンコー
ダ６は両軸で１つとしてモータ１内蔵としてもよい。

【００１２】

【発明の効果】前記実施例の説明より明らかなように、
本発明は１つの駆動モータ軸に外部からのＯＮ／ＯＦＦ
自在のクラッチを備えた駆動プーリを２個取り付け、１
つの駆動モータで２つのアームを駆動・制御することに
よって、アーム部が小さくなり、ハンドリング装置全体
を小型化、シンプル化でき、かつ大幅なコストダウンを
実現する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のダブルハンドリング装置の
斜視図

【図２】同ダブルハンドリング装置を模式的に表わす断
側面図

【図３】従来のダブルハンドリング装置の斜視図

【符号の説明】

１ 駆動モータ ２ クラッチを備えた駆動プーリ ３ 伝達ベルト ４ クラッチを備えた従動プーリ ５ アーム ６ 位置検出エンコーダ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 １つの駆動モータと、前記駆動モータの
   軸に設けられた駆動プーリと、前記駆動プーリに掛けら
   れた伝達ベルトと、伝達ベルトに係合する従動プーリ
   と、伝達ベルトに連結されたアームよりなり、前記駆動
   プーリは外部からＯＮ／ＯＦＦ自在のクラッチをもつ２
   つの駆動プーリよりなり、伝達ベルトは前記クラッチ付
   の２つの駆動プーリにそれぞれれ掛けられた２つの伝達
   ベルトよりなり、アームは２つの伝達ベルトに連結され
   た２つのアームよりなるダブルハンドリング装置。
2. 【請求項２】 従動プーリは２つの伝達ベルトに係合す
   るとともにそれぞれ外部よりＯＮ／ＯＦＦ自在のクラッ
   チをもつ２つの従動プーリよりなり、前記２つの従動プ
   ーリの軸にエンコーダに取りつけられた請求項１記載の
   ダブルハンドリング装置。