JPH0741304A

JPH0741304A - オゾン発生装置

Info

Publication number: JPH0741304A
Application number: JP18775893A
Authority: JP
Inventors: Michio Nishino; 民智夫西野; Masako Tanaka; 雅子田中; Hisashi Suwahara; 久諏訪原; Hoki Haba; 方紀羽場; Yuji Ishizaka; 雄二石坂
Original assignee: Meidensha Corp; Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Meidensha Corp; Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1993-07-29
Filing date: 1993-07-29
Publication date: 1995-02-10

Abstract

(57)【要約】【目的】製作容易にして、安価で、小型化が可能でし
かも高性能なオゾン発生装置を得る。【構成】順変換部１ａ，逆変換部２ａを含むオゾン発
生装置の電力供給源をＰＡＭ制御，ＰＷＭ制御又はＰＮ
Ｍ制御することにより方形波電流を得るとともに、オゾ
ン生成部１０における電極部を種々改良してオゾン発生
装置の性能を向上させたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はオゾン発生装置およびそ
の電極に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】オゾンは極めて強い酸化力を有し、水の
殺菌、脱臭・脱色等の上下水処理やし尿処理及び食品関
連における殺菌などの多くの用途に使用されている。オ
ゾンの生成法には、紫外線照射法、放射線照射法、プラ
ズマ法、無声放電法及び水の電気分解法等があるが、工
業的には無声放電法が主体である。

【０００３】無声放電法では、高電圧電極と接地電極の
間に空隙が形成されるように誘電体を介在させて電極間
に例えばＡＣ電圧を印加して空隙部で無声放電を発生さ
せ原料となるガス（乾燥空気もしくは酸素）をこの空隙
部に通す事によりオゾンを発生させる方法である。

【０００４】オゾンＯ₃の理論収率はＯ₂→Ｏ＋Ｏ−１１８キロカロリー（吸熱反応）Ｏ＋Ｏ₂→Ｏ₃＋２５キロカロリー（発熱反応）より３Ｏ₂→２Ｏ₃−６８キロカロリーとなり、Ｏ₃を１モル生成するために３４キロカロリー
必要となる。従って理論上の収率は１．２ｋｇＯ₃／Ｋ
Ｗｈとなる。しかし、消費電力に対するオゾンの生成効
率は理論収率に比べて極めて低く数％と過ぎないという
のがオゾン発生装置の現状である。

【０００５】前述のように現状オゾン発生装置のオゾン
生成効率は数％程度で残りの９０数％の電力は熱となり
オゾン生成には寄与していない。オゾンの生成量に影響
を及ぼす主な因子としては、（１）電極の形状、（２）
電極間ギャップの大きさ、（３）誘電体の形状及び材
質、（４）電極の冷却方法、（５）原料ガスの除湿や冷
却方法、（６）印加電圧の波形等が挙げられる。（従来技術Ａ）：オゾン発生装置の電力供給源として電
流波形を方形波にした電流型の高周波インバータが用い
られる。方形波電流源による無声放電は、正弦波電圧源
に比べて、放電期間が長く、放電空隙で消費される電力
が一定である。

【０００６】図１２はかかる電流型インバータを用いた
従来のオゾン発生装置を示すもので、同図において１は
交流電力を直流電力に変換する順変換部、２は、平滑リ
アクトル３とダイオード４を介して順変換部１の直流出
力側に接続され、直流電力を交流電力に変換する逆変換
部、１０は逆変換部２の交流出力側に変圧器５を介して
電気的に接続されたオゾン生成部である。

【０００７】図１２のオゾン発生装置によれば、電圧波
形は図１３の曲線Ｃ₁に示すように正弦波電圧波形とな
り、電流波形は曲線Ｃ₂に示すよう変形した正弦波電流
波形となる。Ｔ₁は放電期間、Ｔ₂は放電休止期間であ
り、放電休止期間Ｔ₂では電圧の勾配が緩やかになると
共に、放電期間では曲線Ｃ₂に示すように電流が減少し
つつ放電が行われ、放電休止期間が全体の１／３位にな
る。

【０００８】（従来技術Ｂ）：現在の大型オゾン発生装
置は（７）冷却の容易性、（８）組立の容易性、（９）
メンテナンスの容易性等の点から同軸円筒管の多管方式
が多く用いられている。その中で高圧電極部は一般には
誘電体管としてガラスに金属コーティングを施したもの
が用いられている。

【０００９】図１４はかかるオゾン発生装置のオゾン生
成部１０を示すもので、１１は金属性の接地電極管、１
２は接地電極管１１内にほぼ同心状に配設されたガラス
等からなる誘電体管、１３は誘電体管１２の内壁面に装
着された金属膜、１４は高電圧を印加するための高圧電
極である。この高圧電極１４としては、金属膜１３を形
成するための金属コーティングには一般にアルミニウム
溶射膜が用いられているが、その厚みが薄いため沿面方
向の体積抵抗が大きく、これを低減する目的で高圧線に
ブラシ状電極を用いている。

【００１０】（従来技術Ｃ）：円筒多管式等のオゾン発
生装置の高圧電極管に引出し線を付けるため、図１５と
図１６に示すように、ブラシ状電極が用いられている。
図１５〜図１６において、１５は高圧電極管、１６は引
出しリード、１７はブラシ状電極である。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】

（課題Ａ）：従来技術Ａでは、電流型インバータは、放
電休止期間が長く放電特性が悪いのに加えて、高インダ
クタンスの平滑リアクトルを必要とするため高圧型イン
バータよりも大型化になるとともに高価なものとなる。

【００１２】（課題Ｂ）：従来技術Ｂでは、腐食の問題
が深刻であり、また放電時の誘電体自身の温度上昇によ
るオゾン発生濃度の低下が問題となっている。しかも、
構造上、水冷による冷却が困難である。ガラス管自体に
おいても高い誘電率の材料が望まれているにも拘わら
ず、誘電率の高い材料は加工性に劣り、設計通りの形状
を得る事が出来ない。また、セラミック管は表１に示す
ように、高い誘電率を期待できるが加工性が悪く、薄く
均一な円筒管を得ることが出来ない。

【００１３】

【表１】

【００１４】（課題Ｃ）：安定な無声放電を発生させる
ためには電極間ギャップ長を数ｍｍ以下にするとともに
ギャップ長を均一にして、放電でギャップ部分で一様に
発生させる必要がある。微小なギャップ部分を均一に保
つことがむずかしく、従って、安定な無声放電が得られ
にくい。オゾン発生装置が大形になる程、この問題が生
じてくる。また、電圧印加中に上昇する電極および誘電
体の温度が、電極間が狭いためにギャップ部分に伝わり
やすく、そのため生成されたオゾンＯ₃が分解して酸素
Ｏ₂に戻ってしまうなどの問題があってオゾンの生成効
率を向上させることがむずかしいというのが現状であ
る。また、ブラシ状電極はブラシ先端と電極管との接触
面積が小さく、製作が容易でない。

【００１５】本発明は上述の各問題点に鑑みてなされた
もので、その目的は製作容易にして、安価で、小型化が
可能でしかも高性能なオゾン発生装置を提供することで
ある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、電力供給源よりオゾン生成部に電力を供
給して、該オゾン生成部で放電させてオゾンを発生させ
るオゾン発生装置において、前記電力供給源を、交流電
力を直流電力に変換する順変換部と、この順変換部の直
流出力電力を交流電力に変換する逆変換部と、この逆変
換部をパルス変調制御するパルス変調制御手段によって
構成したことを特徴とする。

【００１７】また、電力供給源よりオゾン生成部に電力
を供給して、該オゾン生成部で無声放電させてオゾンを
発生させるオゾン発生装置において、前記オゾン生成部
を、電圧を印加すべき電圧印加電極と、この電圧印加電
極に所定間隙を隔てて対設された接地電極と、上記電圧
印加電極に設けた誘電体膜によって構成したことを特徴
とする。

【００１８】さらに、電力供給源よりオゾン生成部に電
力を供給して、該オゾン生成部で無声放電させてオゾン
を発生させるオゾン発生装置において、前記オゾン生成
部を、対向する一対の電極の各対向面にそれぞれ誘電体
を設けるとともに、これらの誘電体間に該誘電体との接
触部の角度が鋭角になるように形成した波形電極を設け
て構成したことを特徴とする。

【００１９】

【作用】請求項１と２のオゾン発生装置においては、電
圧型インバータにより電流型インバータ使用時の電圧波
形を模擬することにより、回路構成は電圧型のまま定電
流源を実現し、方形波電流を供給する。

【００２０】請求項３のオゾン発生装置では、無声放電
法を用いたオゾン発生電極に誘電体として金属にセラミ
クスの膜を熱ＣＶＤにて形成したものを用いる。セラミ
クスの比誘電率は５以上である事が望ましい。

【００２１】コーティング前の金属に強制的に表面酸化
処理を施す事により密着強度を更に上げることができ
る。

【００２２】請求項４〜６のオゾン発生装置では、波形
電極表面と薄板状誘電体とが接触する部分の角度が少な
くとも６０度以下の鋭角となるため、この接触部分近傍
の電界が上昇する。電極間の空隙部分の長さが同じであ
るならば、低い電圧でオゾンが生成するようになる。

【００２３】電極間に設置する固体誘電体として比誘電
率εが大きい材料を用いたり、波形電極と薄板状誘電体
とが接触する部分の角度αをより電界が集中するように
鋭角にすることにより、低い印加電圧で無声放電が発生
するようになる。

【００２４】請求項７のオゾン発生装置では、オゾナイ
ザ用高圧電極管のブラシ状電極に代えて、導電性の繊維
からなる電極を用いることにより、電極管との接触面積
が増大する。

【００２５】

【実施例】以下に本発明の実施例を図１〜図１１を参照
しながら説明する。

【００２６】（実施例Ａ）：図１は本発明の実施例によ
るオゾン発生装置を示すもので図１２のものに対応し、
図１２のものと同一又は相当部分には同一符号が付され
ている。本実施例においては、順変換部１ａの直流出力
段には平滑コンデンサ６を介して逆変換部２ａが接続さ
れ、逆変換部２ａの交流出力段にはフィルタ７を介して
変圧器５が接続されており、これらによって電圧型イン
バータが形成される。

【００２７】図１の装置における電圧型インバータで
は、逆変換部２ａがパルス幅変調（ＰＷＭ）手法、パル
ス振幅変調（ＰＡＭ）手法又はパルス数変調（ＰＮＭ）
手法によって制御される。これにより、電圧型インバー
タにより電流型インバータ使用時の電圧波形を模擬し、
回路構成は電圧型のまま、定電流電源を実現する。かく
して生成された電圧波形をオゾン生成部１０に印加する
ことにより、図２に示すように、電流型インバータを使
用したときと同様な方形波が得られる。図２において曲
線Ｃ₃は電圧波形、曲線Ｃ₄は電流波形であって、電流が
一定の期間Ｔ₁で放電し、期間Ｔ₂は放電休止期間である
がこの期間Ｔ₂では電圧・電流の勾配が急峻である。す
なわち、方形波電流源では、放電していない期間には電
圧の勾配が急になり、再度放電開始するまでの時間は短
縮される。

【００２８】上記実施例によれば、電圧型インバータは
電流型インバータ特有の大型リアクトルを必要としない
ので、小型・軽量にして安価であり、しかも正弦波電圧
源に比べて放電期間が長く、放電空間で消費される電力
が一定で高性能なオゾン発生装置が得られる。

【００２９】（実施例Ｂ）：図３は図１４の従来技術Ｂ
に対応するもので、図１４のものと同一又は相当する部
材には同一符号が付されている。本実施例においては、
図３に示すように、接地電極管１１内にステンレス（Ｓ
ＵＳ）製の高圧電極管１８がほぼ同心状に挿設されてお
り、高圧電極管１８の外周面には熱ＣＶＤによる誘電体
膜１９が形成され、これにより円筒管式オゾン生成部１
０が構成される。

【００３０】前述の課題Ｂを解決するために本提案では
ステンレス管の外側にセラミクスのコーティングを施し
高圧電極管とする車とした。引き続き本案の具体的な説
明にはいる。

【００３１】高圧電極管の作製は熱ＣＶＤ法を用い、図
４に示すような装置を用いた。チャンバー２０はステン
レスよりなる試料ホルダー２１と石英管２２とからな
り、コイル２３に高周波を流し、試料に誘起された電流
により試料を加熱する。試料管の外側には任意量（１０
〜２００ｓｃｃｍ）の反応ガスが流入口から流出口に向
かって流れており任意温度になった試料の表面では反応
ガスの分解が起こりセラミクスの表面薄膜１９が形成さ
れる。反応ガスの種類と、分解反応式及び形成された薄
膜の種類に付いては以下の如くである。

【００３２】２ＡｌＣｌ₃＋３Ｈ₂＋３ＣＯ₂→Ａｌ₂Ｏ₃
＋３ＣＯ＋６ＨＣｌ２ＺｒＣｌ₄＋２Ｈ₂＋２ＣＯ₂→ＺｒＯ₂＋２ＣＯ＋４Ｈ
Ｃｌ２ＴｉＣｌ₄＋２Ｈ₂＋２ＣＯ₂→ＴｉＯ₂＋２ＣＯ＋４Ｈ
Ｃｌ本件に於いて用いたオゾン発生電極用誘電体管の作製方
法及び条件を下に示す。

【００３３】材料；外径４３ｍｍΦ 長さ５００
ｍｍ厚み１．６ｍｍ材質ステンレス（ＳＵＳ３０４）前処理として強制的に表面酸化処理したものを用いると
更に高い密着性が得られる。

【００３４】使用ガス；ＡｌＣ₃ 純度９７％ガス流量；１００ｓｃｃｍ管内圧力；大気圧試料温度；８００℃ 誘導加熱用電源；１７０Ｖ−５１０Ａ−３ｋＨｚ以上の条件下でステンレス上に２ｍｍ厚のＡｌ₂Ｏ₃膜を
生成した。

【００３５】次にこの誘電体管を用いてオゾンを発生さ
せた時の発生量に対する効果を図にて示す。図５には、
印加電圧に対するオゾンの発生量を示すが、図から明ら
かなように本案による新型発生管を用いたものは放電開
始電圧が低く同電圧印加で比較した場合には発生量も多
い。これは従来品に使われているガラスの誘電体管は比
誘電率が５〜７程度であるのに対して本案に用いたセラ
ミクスコーティングの管は比誘電率が１０と高く空隙部
にかかる実効電界が上がる事による。従ってセラミクス
にＺｒＯ₂のような高誘電率のものを用いると更にこの
効果は期待できる。

【００３６】図６には印加周波数とオゾンの発生量の関
係を示す。周波数を上げていくとオゾンの発生量は増加
するがある周波数以上になると電力損失による熱上昇
（特に誘電体部に於ける熱上昇）によってオゾンの発生
が妨げられる。しかし本提案による誘電体管は従来品に
比べ誘電体部に接する電極の厚みが厚いために接触抵抗
が少なく又熱容量が大きく更に熱伝導性も良いため高い
周波数までオゾン発生量が上昇傾向にある。

【００３７】従来品の誘電体管はガラス，セラミクス等
であるので割れ等の可能性があったが、本案による電極
は機械強度に於いても優れている。しかも、ステンレス
管は耐腐食性があるため、オゾン雰囲気に於ける連続使
用に対しても問題はない。尚、金属管とコーティング膜
との密着性を上げるために表面を強制的に酸化させたと
ころ、効果があった。

【００３８】（実施例Ｃ）：図７〜図９は図１４の従来
技術Ｃに対応する実施例を示すものである。本実施例に
おいては、前述の課題Ｃを解決するため、電極間の空隙
部分の長さの均一さにそれ程注意を払うことなく、かつ
低い印加電圧でオゾンを発生できて、放電により消費す
る電力も少なく、また、オゾンが発生する空隙部分の温
度上昇も小さいオゾン発生装置を考案した。具体的には
次のようになる。

【００３９】すなわち、図７に示すように、電極間の支
持を兼ねた構造となるような波形電極２４を両電極間に
挟まれた２枚の薄板状弱電体の間に設ける。ただし、そ
の波形電極は両側の２つの電極とは電気的に接触せずに
絶縁されているものとする。また、電極間の空隙部分で
起こる無声放電を発生しやすくするために、電極間に設
置する波形電極と薄板状誘電体とが接触する部分の角度
が鋭角になるような構造にする。このために、電極間に
設置する波形電極として図示７で示したような形状のも
のを採用し、特に図中の角度αが少なくとも６０度以下
になるようにした（図７では、α＝４５度の場合の
例）。

【００４０】オゾン発生部は波形電極と誘電体を両電極
間に挟んだ構造とした。この構造によるオゾン発生器の
具体的な実施例を図８と図９に示す。

【００４１】図８は平行平板型電極構造を示すもので、
２４は波形電極、２５は薄板状誘電体、２６ａ，２６ｂ
は電極、２７は空隙部である。また、図９は同軸円筒型
電極構造を示すもので、同じく２４は波形電極、２６
ａ，２６ｂは円筒電極、２７は空隙部、２８ａ，２８ｂ
は円筒形薄板状誘電体である。

【００４２】図８と図９の電極構造によれば、波形電極
表面と薄板状誘電体とが接触する部分の角度が少なくと
も６０度以下の鋭角となるため、この接触部分近傍の電
界が上昇する。電極間の空隙部分の長さが同じであるな
らば、低い電圧でオゾンが生成するようになる。

【００４３】電極間に設置する固体誘電体として比誘電
率εが大きい材料を用いたり、波形電極と薄板状誘電体
とが接触する部分の角度αをより電界が集中するように
鋭角にすることにより、低い印加電圧で無声放電が発生
するようになる。

【００４４】電極側の空隙部分で無声放電が起こると微
小なストリーマが空隙部分で多数発生し、空隙部分を流
れている原料ガス中の酸素分子Ｏ₂と電子とが衝突し衝
突電離によって酸素原子Ｏや励起酸素分子Ｏ₂＊が生成
し、酸素分子Ｏ₂と反応してオゾンＯ₃が生成される（放
電の化学作用）。図８と図９で示したような構造を用い
ることで、より低い印加電圧で空隙部分に多くの微小な
ストリーマを発生させて多数の電子を生成し、原料ガス
中の酸素分子Ｏ₂と電子とが衝突する確率を増やすこと
ができるようになる。

【００４５】本実施例の図はオゾン発生部のうちの電極
および誘電体のみの部分であり、実際には周囲を密閉し
て乾燥空気もしくは酸素などの原料ガスの流入口とオゾ
ン化ガスの流出口のみとを設けた構造として使用するも
のである。当然ながら電極間に設置する固体誘電体の材
質として、比誘電率εの大きい材料を用いれば、より低
い電圧で無声放電が起こってオゾンが発生するし、ま
た、波形電極の数や、電極の面積を増やせばオゾンの生
成量は増加し、かつ図８と図９の実施例で示した構造の
ものを何段も組み合わせれば、さらに大量のオゾンを生
成できる。冷却用のファンや風冷用のファンを設けた
り、冷却水用の配管等を組込んで冷却すれば、もっと効
率良くオゾンを生成できる。さらに、波形電極２４と誘
電体とを一体成形することにより製作が容易になる。

【００４６】実施例Ｃのオゾン発生装置の電極構造によ
れば、次のような利点が得られる。

【００４７】（ａ）両電極間に設置した薄板状誘電体と
両電極とは電気的に絶縁されている波形電極との接触角
度が鋭角であるために接触部分近傍の電界が増大し、低
い電圧で無声放電が起こり始めてオゾンが発生するよう
になる。従って、電極間への印加電圧を低くでき、電源
も小形となる。

【００４８】（ｂ）オゾンを発生させるために要する放
電消費電力も少なくて済み、オゾン発生効率も向上す
る。

【００４９】（ｃ）誘電体と鋭角に接するように電極間
に設置した多くの波形電極と誘電体とで挟まれた部分で
無声放電を起こさせるために、電極間の短い一定ギャッ
プ中で放電させる従来タイプの無声放電利用のオゾン発
生装置に比べて、空隙部分の長さの均一さらーに関して
注意を払う必要はなく、従って比較的簡単に製作でき
る。

【００５０】（ｄ）一定ギャップ中で放電させる従来タ
イプの無声放電利用のオゾン発生装置の場合、印加電圧
が空隙長と原料ガス圧力で狭まる放電開始電圧に到達す
るまで、オゾンの発生はなく、また、一度放電開始電圧
に至れば、それ以上電圧を上昇してもオゾン発生量は増
えない。すなわちオゾン発生量を印加電圧の大きさでは
制御しにくい。これに対して本実施例の場合、低い電圧
からオゾンが発生し始め、印加電圧の上昇に伴ってオゾ
ン発生量も増加していく特性があり、オゾン濃度および
オゾン発生量を印加電圧の大きさで簡単に制御できる。

【００５１】（実施例Ｄ）：図１０と図１１は図１５と
図１６に示す従来技術Ｄに対応する実施例を示すもの
で、図１５と図１６に示すものと同一又は相当部分には
同一符号が付されている。本実施例では、ブラシ状電極
の代わりに、ステンレス鋼などの金属繊維または炭素繊
維などの綿状導電繊維２９を用いたもので、電極管１５
との接触面積が大きくなるとともに、製作が容易であ
る。

【００５２】

【発明の効果】本発明は上述の如くであって、電力供給
源において電圧型インバータ等の逆変換部をパルス変調
して方型波電流を得るものであるから小型，軽量にして
安価なオゾン発生装置を得ることができると共に、オゾ
ン生成部における電極構造を種々改良したから高性能な
オゾン発生装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例によるオゾン発生装置のブロッ
ク図。

【図２】図１のオゾン発生装置の電力供給源の出力電圧
・電流波形図。

【図３】本発明の実施例によるオゾン発生装置のオゾン
生成部における電極部の正断面図。

【図４】図３の電極部の製造方法を示す断面図。

【図５】図３の電極部の特性図。

【図６】図３の電極部の特性図。

【図７】本発明の実施例によるオゾン発生装置のオゾン
生成部における電極部原理図。

【図８】本発明の実施例によるオゾン生成部における電
極部の断面図。

【図９】本発明の実施例によるオゾン生成部における電
極部の断面図。

【図１０】本発明の実施例によるオゾン生成部の正断面
図。

【図１１】図１０のオゾン生成部の側断面図。

【図１２】従来のオゾン発生装置の回路図。

【図１３】図１２のオゾン発生装置の電力供給源の出力
電圧・電流特性図。

【図１４】従来のオゾン発生装置のオゾン生成部におけ
る電極部の正断面図。

【図１５】従来のオゾン生成部の正断面図。

【図１６】図１５のオゾン生成部の側断面図。

【符号の説明】

１ａ…順変換部２ａ…逆変換部５…変圧器６…平滑コンデンサ７…フィルタ１０…オゾン生成部１１…接地電極管１４…高圧電極１８…高圧電極管１９…誘電体膜２４…波形電極２５…薄板状誘電体２６ａ，２６ｂ…電極２７…空隙部２８ａ，２８ｂ…円管形薄板状誘電体２９…綿状導電性繊維電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者羽場方紀東京都品川区大崎２丁目１番17号株式会社明電舎内 (72)発明者石坂雄二東京都品川区大崎２丁目１番17号株式会社明電舎内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電力供給源よりオゾン生成部に電力を供
給して、該オゾン生成部で放電させてオゾンを発生させ
るオゾン発生装置において、前記電力供給源を、交流電
力を直流電力に変換する順変換部と、この順変換部の直
流出力電力を交流電力に変換する逆変換部と、この逆変
換部をパルス変調制御するパルス変調制御手段によって
構成したことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項２】請求項１のオゾン発生装置において、前
記逆変換部を電圧型インバータによって構成し、前記パ
ルス変調制御手段がパルス幅変調制御，パルス振幅制御
又はパルス数変調制御であることを特徴とするオゾン発
生装置。
【請求項３】電力供給源よりオゾン生成部に電力を供
給して、該オゾン生成部で無声放電させてオゾンを発生
させるオゾン発生装置において、前記オゾン生成部を、
電圧を印加すべき電圧印加電極と、この電圧印加電極に
所定間隙を隔てて対設された接地電極と、上記電圧印加
電極に設けた誘電体膜によって構成したことを特徴とす
るオゾン発生装置。
【請求項４】電力供給源よりオゾン生成部に電力を供
給して、該オゾン生成部で無声放電させてオゾンを発生
させるオゾン発生装置において、前記オゾン生成部を、
対向する一対の電極の各対向面にそれぞれ誘電体を設け
るとともに、これらの誘電体間に該誘電体との接触部の
角度が鋭角になるように形成した波形電極を設けて構成
したことを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項５】請求項４のオゾン発生装置において、前
記波形電極と誘電体との接触部の角度が６０°以下であ
ることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項６】請求項４のオゾン発生装置において、前
記誘電体と波形電極を一体に成形したことを特徴とする
オゾン発生装置。
【請求項７】電力供給源よりオゾン生成部に電力を供
給して、該オゾン生成部で放電させてオゾンを発生させ
るオゾン発生装置において、前記オゾン生成部が導電性
の繊維からなる電極を有することを特徴とするオゾン発
生装置。