JPH0738930U

JPH0738930U - 真空容器内温度測定用端子、真空容器内温度測定用コネクタ、及びこれらを連結してなる真空容器内温度測定用コネクタセット

Info

Publication number: JPH0738930U
Application number: JP6929093U
Authority: JP
Inventors: 成治廣木; 哲也阿部; 義夫村上; 謙加藤; 幸夫三浦; 幹夫林; 幸雄生原
Original assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Priority date: 1993-12-24
Filing date: 1993-12-24
Publication date: 1995-07-14
Anticipated expiration: 2008-12-24
Also published as: JP2601558Y2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】真空下での放出ガスの発生も少なく、電気的
な接続の信頼性も高い、真空容器内温度測定用端子を提
供する。【構成】真空容器内側の気密を保持しながら、真空容
器の内側と外側とを電気的に接続する真空容器内温度測
定用端子であって、前記真空容器内温度測定用端子が、
筒状の金属製スリーブ１内の内部空間に挿入され、且
つ、先端部が真空容器の内側方向に突出し、他端部が真
空容器の外側方向に突出した、少なくとも１対の熱電対
材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂ及び金属製スリーブ１
との間に介在し、且つ、熱電対材料製電気信号導入棒２
ａ、２ｂを保持する共に熱電対材料製電気信号導入棒２
ａ、２ｂと金属製スリーブ１とを電気的に絶縁するセラ
ミックス体３から成ることを特徴とするもの。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、真空容器内の温度を熱電対を利用して測定するための真空容器内温度測定用端子、該真空容器内温度測定用端子に電気的・機械的に接続するための、真空容器内側用又は真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネクタ（以下、「真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ」、または「真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネクタ」という。）、及びこれらの真空容器内温度測定用コネクタを前記真空容器内温度測定用端子を介してそれぞれ嵌合に連結してなる真空容器内温度測定用コネクタセット（以下、「真空容器内温度測定用コネクタセット」という。）に関し、特に核融合装置や加速器等のように高線量の放射線が発生し、しかも超高真空を扱う機器に使用され、高温ベーキングに耐え、長期間放射線に曝されても電気的・機械的特性が劣化せず、しかも真空下での放出ガスが著しく少なく、真空容器内の温度を高精度で測定可能な、真空容器内温度測定用端子、真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ、真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネクタ、及び真空容器内温度測定用コネクタセットに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、真空容器内の温度を熱電対を利用して測定するために、例えば第４図に示すような熱電対付き真空端子１０が使用されている。この熱電対付き真空端子１０は、真空容器に溶接等で固定される金属製スリーブ１１と、この金属製スリーブ１１の内部空間に挿入され、かつ先端部が真空容器内側方向に突出し、他端部が真空容器の外側方向にも突出しているＮｉ、ｋｏｖａｒ等の金属製電気信号導入棒１２と、該金属製電気信号導入棒１２の先端部にロー付けされた熱電対板１３ａ、１３ｂと、金属製電気信号導入棒１２の他端部にロー付けされた熱電対板１４ａ、１４ｂと、前記金属製電気信号導入棒１２と前記金属製スリーブ１１との間に介在し、且つ、前記金属製電気信号導入棒１２を保持すると共に両者間を電気的に絶縁しているセラミックス製の絶縁体１５とから構成されている。

【０００３】而して、熱電対板１３ａ、１３ｂに熱電対を形成するようにそれぞれ熱電対線をカシメ等で結線し、一方、熱電対板１４ａ、１４ｂにそれぞれ補償導線をカシメ等で取り付け、真空容器内の温度を熱電対を使用して測定するものである。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記従来の熱電対付き真空端子及び該端子を使用した真空容器内の温度測定法にあっては、熱電対からの起電力は異種金属材質の電気信号導入棒及び異種金属材質の線材を経由して伝送されるため、伝送路の途上で異種材料接触電位差損失が生じ、大きな測定誤差を生じていた。

【０００５】また、真空容器の内側における熱電対線と熱電対付き真空端子１０先端部の熱電対板１３ａ、１３ｂとの締結作業、真空容器の外側における補償導線と熱電対付き真空端子１０他端部の熱電対板１４ａ、１４ｂとの締結作業も数が増えるに従い煩雑となり、また保守等のためにこれらを一時的に着脱する場合、前もって位置関係を一本ずつ確認しておかなければならず、この確認作業を怠ると誤配線の危険性もあった。更に、これら一連の保守作業を放射線場で緊急に行わねばならない場合では、作業に時間がかかってしまい、またこれらの作業を無人ロボットで行なわせようとしても工程が複雑で困難であった。

【０００６】本考案は上記課題を解決するために考案されたものであり、真空容器内の温度を高精度で測定可能であり、着脱が極めて容易であり、高放射線場に長時間曝されても電気的・機械的特性の劣化がなく、３００℃以上の繰り返し長時間ベーキングにも耐え、超高真空下での放出ガスの発生も少なく、電気的な接続の信頼性も高い、真空容器内温度測定用端子、真空容器の内側用の真空容器内温度測定用接続コネクタ、真空容器の外側用の真空容器内温度測定用コネクタ、及び真空容器内温度測定用コネクタセットを提供するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく考案によれば、真空容器内側の気密を保持しながら、真空容器の内側と外側とを電気的に接続する真空容器内温度測定用端子１３０であって、前記真空容器内温度測定用端子が、イ）筒状の金属製スリーブ１；ロ）前記金属製スリーブ１内の内部空間に挿入され、且つ、先端部が真空容器の内側方向に突出し、他端部が真空容器の外側方向に突出した、少なくとも１対の熱電対材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂ；及びハ）前記熱電対材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂと前記金属製スリーブ１との間に介在し、且つ、前記熱電対材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂを保持する共に前記熱電対材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂと前記金属製スリーブ１とを電気的に絶縁するセラミックス体３；から成ることを特徴とするものが提供される。

【０００８】また、この真空容器内温度測定用端子１３０は、該端子の両端面嵌合部の幾何学的形状を同一とすることによって、真空容器内温度測定用端子に接続する、真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタと真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネクタとを共用することが可能となる。

【０００９】セラミックス体３は、Ａ１₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂及びＭｇＯから成る群から選択される少なくとも１種の酸化物系セラミックス焼結体から成るか、又はＳｉ₃Ｎ₄やＳｉＣ等の非酸化物系セラミックス焼結体から成る。セラミックス体３の材質をこのように特定することが電気絶縁性、耐熱性及び耐放射線性の点から好ましい。また、セラミックス体３の相対焼結密度は９５％以上が好ましい。相対焼結密度が９５％以下ではセラミックス体３の内部にポアが多量に存在し、該ポア中に存在するＮ₂ガスやＯ₂ガスが放射線の照射によりＮＯｘ等の腐食性ガスに変化し好ましくないからである。

【００１０】また本考案によれば、上記の真空容器内温度測定用端子１３０に電気的・機械的に接続するための、真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ１１０であって、前記真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタが、イ）前記真空容器内温度測定用端子１３０の金属製スリーブ１に嵌合可能に形成された筒状の金属製スリーブ４；ロ）前記金属製スリーブ４内の内部空間に挿入され、且つ、先端部が前記真空容器内温度測定用端子１３０の熱電対材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂに嵌合可能に形成され、他端部がセラミックス製の絶縁被覆材により被覆された熱電対線７ａ、７ｂが結線可能に形成された、少なくとも１対の熱電対材料製電気信号導入棒５ａ、５ｂ；及びハ）前記熱電対材料製電気信号導入棒５ａ、５ｂと前記金属製スリーブ４との間に介在し、且つ、前記熱電対材料製電気信号導入棒５ａ、５ｂを保持すると共に前記熱電対材料製電気信号導入棒５ａ、５ｂと前記金属製スリーブ４とを電気的に絶縁するセラミックス体６；から成り、更に、前記少なくとも１対の熱電対材料製電気信号導入棒５ａ、５ｂの各々が、電気的・機械的に連結されることとなる前記真空容器内温度測定用端子１３０の熱電対材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂと同種の熱電対材料でそれぞれ形成されている、ことを特徴とするものが提供される。

【００１１】ここに、前記金属製スリーブ４は、真空容器内温度測定用端子１３０の金属製スリーブ１と機械的に嵌合可能（本明細書において「嵌合可能」とは、必要に応じて装着又は脱着可能なことをいう）となるように形成されるものであるが、必要であれば更に電気的にも接続可能となるよう形成するものである。

【００１２】尚、この真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ１１０を使用するに際しては、各々の熱電対材料製電気信号導入棒５ａ、５ｂには各々同種の熱電対材料で形成された熱電対線７ａ、７ｂをカシメ等の適宜手段で異種材料接触電位差損失なく結線するものである。

【００１３】また、上記セラミックス製の絶縁被覆材は、Ａ１₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂及びＭｇＯから成る群から選択される少なくとも１種の酸化物系セラミックスから成るか、又はＳｉ₃Ｎ₄やＳｉＣ等の非酸化物系セラミックスから成る。セラミックス製の絶縁被覆材の材質をこのように特定することが電気絶縁性、耐熱性及び耐放射線性の点から好ましい。

【００１４】上記セラミックス体６は、Ａ１₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂及びＭｇＯから成る群から選択される少なくとも１種の酸化物系セラミクス焼結体から成るか、又はＳｉ₃Ｎ₄やＳｉＣ等の非酸化物系セラミックス焼結体から成る。セラミックス体６の材質をこのように特定することが電気絶縁性、耐熱性及び耐放射線性の点から好ましい。また、セラミックス体６の相対焼結密度は９５％以上が好ましい。相対焼結密度が９５％以下ではセラミックス体６の内部にポアが多量に存在し、該ポア中に存在するＮ₂ガスやＯ₂ガスが放射線の照射によりＮＯｘ等の腐食性ガスに変化し好ましくないからである。

【００１５】更に、本考案によれば、上記の真空容器内温度測定用端子１３０に電気的・機械的に接続するための、真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネクタ１２０であって、前記真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネクタが、イ）前記真空容器内温度測定用端子１３０の金属製スリーブ１に嵌合可能に形成された筒状の金属製スリーブ４’；ロ）前記金属製スリーブ４’内の内部空間に挿入され、且つ、先端部が前記真空容器内温度測定用端子１３０の熱電対材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂに嵌合可能に形成され、他端部が絶縁被覆材により被覆された熱電対線７ａ’、７ｂ’ 又は補償導線が結線可能に形成された、少なくとも１対の熱電材料製電気信号導入棒５ａ’、５ｂ’；及びハ）前記熱電対材料製電気信号導入棒５ａ’、５ｂ’と前記金属製スリーブ４ ’との間に介在し、且つ、前記熱電対材料製電気信号導入棒５ａ’、５ｂ’を保持すると共に前記熱電対材料製電気信号導入棒５ａ’、５ｂ’と前記金属製スリーブ４’とを電気的に絶縁するセラミックス体６’；から成り、更に、前記少なくとも１対の熱電材料製電気信号導入棒（５ａ’、５ｂ’）の各々が、電気的・機械的に連結されることとなる前記真空容器内温度測定用端子１３０の熱電対材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂと同種の熱電対材料でそれぞれ形成されている、ことを特徴とするものが提供される。

【００１６】この真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネクタを使用するに際しては、各々の熱電対材料製電気信号導入棒５ａ’、５ｂ’には各々同種の熱電対材料で形成された熱電対線をカシメ等の適宜手段で異種材料接触電位差損失なく結線するか、又は補償電線を結線するものであるが、本考案の目的、即ち真空容器内の温度を精度よく測定するためには熱電対線を上記の如く結線するのが好ましい。

【００１７】尚、上記絶縁被覆材はセラミックス製であることが好ましく、更に、セラミックス製の絶縁被覆材は、Ａ１₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂及びＭｇＯから成る群から選択される少なくとも１種の酸化物系セラミックスから成るか、又はＳｉ₃Ｎ₄やＳｉＣ等の非酸化物系セラミックスから成るものが好ましい。セラミックス製の絶縁被覆材の材質をこのように特定することが電気絶縁性、耐熱性及び耐放射線性の点から好ましい。

【００１８】上記セラミックス体６’は、Ａ１₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂及びＭｇＯから成る群から選択される少なくとも１種の酸化物系セラミックス焼結体から成るか、又はＳｉ₃ Ｎ₄やＳｉＣ等の非酸化物系セラミックス焼結体から成る。セラミックス体６’ の材質をこのように特定することが電気絶縁性、耐熱性及び耐放射線性の点から好ましい。また、セラミックス体６’の相対焼結密度は９５％以上が好ましい。相対焼結密度が９５％以下ではセラミックス体６’の内部にポアが多量に存在し、該ポア中に存在するＮ₂、Ｏ₂ガスが放射線の照射によりＮＯ_X等の腐食性ガスに変化し好ましくないからである。

【００１９】上記の真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ１１０のみ、又は上記の真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネクタ１２０のみを上記の真空容器内温度測定用端子１３０に接続して使用することも可能であるが、温度測定精度の向上等のためには、該真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ１１０と該真空容器外側の真空容器内温度測定用コネクタ１２０をそれぞれ該真空容器内温度測定用端子１３０に接続して使用することが好ましい。

【００２０】即ち、本考案によれば、上記の真空容器内温度測定用端子１３０の一端面に、上記の真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ１１０を嵌合可能に連結してなると共に、該真空容器内温度測定用端子１３０の他端面に、上記の真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネクタ１２０を嵌合可能に連結してなることを特徴とする真空容器内温度測定用コネクタセットが提供される。ここに本考案の目的を効率よく達成するためには、上記真空容器内温度測定用コネクタセットにおいて、セラミック体３、セラミックス体６及びセラミックス体６’がＡ１₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂及びＭｇＯから成る群から選択される少なくとも１種の酸化物系セラミックス焼結体から成るか、又は非酸化物系セラミックス焼結体から成ることが好ましい。

【００２１】以下実施例に基づいて本考案を詳細に説明する。

【００２２】

【実施例１】図１は、本考案による真空容器内温度測定用端子の一例を示す図である。１は、筒状のアルミニウム合金製スリーブである。２ａは、前記スリーブ１の内部空間に挿入され、先端部は真空容器の内側方向に突出し、他端部は真空容器の外側方向に突出した、銅（Ｃｕ）製の電気信号導入棒であり、２ｂは、前記スリーブ１の内部空間に挿入され、先端部は真空容器の内側方向に突出し、他端部は真空容器の外側方向に突出した、コンスタンタン製の電気信号導入棒である。３は、前記熱電対材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂと前記スリーブ１との間に介在し、前記熱電対材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂを保持すると共に、前記熱電対材料製電気信号導入棒２ａ、２ｂと前記スリーブ１とを電気的に絶縁するアルミナ質セラミックス焼結体（Ａ１₂Ｏ₃の含有量；９９．５ｗｔ％、相対密度；９７．５％）である。

【００２３】尚、アルミニウム合金製スリーブ１、銅（Ｃｕ）製の電気信号導入棒２ａ、コンスタンタン製の電気信号導入棒２ｂ、アルミナ質セラミックス焼結体３とはロー付けにより気密に接合されている。

【００２４】

【実施例２】図２は、本考案による、真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ１１０の一例を示す図であり、該真空容器内温度測定用コネクタは真空容器内温度測定用端子１３０に電気的・機械的に接続するためのものである。

【００２５】４は、真空容器内温度測定用端子１３０の金属製スリーブ１に嵌合可能に形成された筒状のアルミニウム合金製スリーブである。５ａは、前記金属製スリーブ４内の内部空間に挿入され、先端部が真空容器内温度測定用端子１３０の銅（Ｃｕ）製電気信号導入棒２ａに嵌合可能に形成された銅（Ｃｕ）製の電気信号導入棒である。５ｂは、前記金属製スリーブ４内の内部空間に挿入され、先端部が真空容器内温度測定用端子１３０のコンスタンタン製電気信号導入棒２ｂと嵌合可能に形成されたコンスタンタン製電気信号導入棒である。６は、前記熱電対材料製電気信号導入棒５ａ、５ｂと前記スリーブ４との間に介在し、前記熱電対材料製電気信号導入棒５ａ、５ｂを保持すると共に、前記熱電対材料製電気信号導入棒５ａ、５ｂと前記スリーブ４とを電気的に絶縁するアルミナ質セラミックス焼結体（Ａ１₂Ｏ₃の含有量；９９．５ｗｔ％、相対密度；９７．５％）である。

【００２６】尚、使用に際しては、電気信号導入棒５ａの他端部にはＡ１₂Ｏ₃又はＳｉＯ₂ を主成分とするセラミックス長繊維製の絶縁被覆材により被覆された銅（Ｃｕ）線を結線し、電気信号導入棒５ｂの他端部にはＡ１₂Ｏ₃又はＳｉＯ₂を主成分とするセラミックス長繊維製の絶縁被覆材により被覆されたコンスタンタン線が結線されており、銅（Ｃｕ）線とコンスタンタン線により一対の熱電対を形成する。

【００２７】

【実施例３】図３は、本考案による、真空容器内温度測定用コネクタセットの一例を示す図である。真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ１１０と真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネクタ１２０とを、真空容器内温度測定用端子１３０を介して嵌合可能に連結されている。真空容器内温度測定用端子１３０は実施例１記載のものであり、真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ１１０は実施例２記載のものである。

【００２８】而して、真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ１１０の銅（Ｃｕ）製電気信号導入棒５ａと、真空容器内温度測定用端子１３０の銅（Ｃｕ）製電気信号導入棒２ａと、真空容器外側用の真空容器内測定用コネクタ１２０の銅（Ｃｕ）製電気信号導入棒５ａ’とが電気的に連結されている。

【００２９】一方、真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネクタ１１０のコンスタンタン製電気信号導入棒５ｂと、真空容器内温度測定用端子１３０のコンスタンタン製電気信号導入棒２ｂと、真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネクタ１２０のコンスタンタン製電気信号導入棒５ｂ’とが電気的に連結されている。

【００３０】従って、銅（Ｃｕ）線とコンスタンタン線により、一対の熱電対を形成し、熱電対の起電力を異種材料接触電位差損失なく伝送し得る。

【００３１】尚、この真空容器内温度測定用コネクタセットにおける真空容器内温度測定用端子の両端面嵌合部の幾何学的形状は、同一である。

【００３２】

【実施例４】１２５０℃であることが別の手段で確認されている真空容器内の温度を、実施例３記載の真空容器内温度測定用コネクタセットを使用して測定したところ、１２５０℃との測定結果が得られ、測定誤差なく正確に測定することができた。

【００３３】一方、第４図に示す従来の方法で同様に上記真空容器内の温度を測定したところ、１２２０℃との測定結果が得られ、測定誤差は３０℃であった。尚、上記従来法における電気信号導入棒１２の材質は共にニッケル（Ｎｉ）、熱電対板１３ａ及び熱電対板１４ａの材質は共に銅、熱電対板１３ｂ及び熱電対板１４ｂの材質は共にコンスタンタン、熱電対板１３ａに結線される熱電対線の材質は銅、熱電対板１３ｂに結線される熱電対線の材質はコンスタンタン、補償導線の材質は共に銅線であった。

【００３４】

【考案の効果】

以上詳述したように、本考案によれば、熱電対の起電力が異種材料接触電位差損失なく伝送されるので真空容器内の温度を高精度で測定可能であり、着脱が極めて容易であり、高放射線場に長時間曝されても電気的・機械的特性の劣化がなく、３００℃以上の繰り返し長時間ベーキングにも耐え、超高真空下での放出ガスの発生も少なく、電気的な接続の信頼性も高い、真空容器内温度測定用端子、真空容器の内側と外側に関係なく極めて簡単に着脱作業が行える真空容器内温度測定用接続コネクタ、及び真空容器内温度測定用コネクタセットを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による真空容器内温度測定用端子の一例
を示す図である。

【図２】本考案による真空容器内側用の真空容器内温度
測定用コネクタの一例を示す図である。

【図３】真空容器内温度測定用コネクタセットの一例を
示す図である。

【図４】従来技術を示す図である。

【符号の説明】

１、４、４’、１１金属製スリーブ２ａ、２ｂ、５ａ、５ｂ、５ａ’、５ｂ’ 熱電対材料
製電気信号導入棒３、６、６’ セラミックス体７ａ、７ｂ、７ａ’、７ｂ’ 熱電対線１０熱電対付き真空端子１２金属製電気信号導入棒１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂ熱電対板１５セラミックス製絶縁体１００真空容器１１０真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネク
タ１２０真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネク
タ１３０真空容器内温度測定用端子

フロントページの続き (72)考案者村上義夫茨城県那珂郡那珂町向山字中原801番地の１日本原子力研究所那珂研究所内 (72)考案者加藤謙千葉県船橋市豊富町585 住友セメント株式会社新材料事業部内 (72)考案者三浦幸夫千葉県船橋市豊富町585 住友セメント株式会社新材料事業部内 (72)考案者林幹夫千葉県船橋市豊富町585 住友セメント株式会社新材料事業部内 (72)考案者生原幸雄千葉県船橋市豊富町585 住友セメント株式会社新材料事業部内

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】真空容器内側の気密を保持しながら、真
空容器の内側と外側とを電気的に接続する真空容器内温
度測定用端子（１３０）であって、前記真空容器内温度
測定用端子が、イ）筒状の金属製スリーブ（１）；ロ）前記金属製スリーブ（１）内の内部空間に挿入さ
れ、且つ、先端部が真空容器の内側方向に突出し、他端
部が真空容器の外側方向に突出した、少なくとも１対の
熱電対材料製電気信号導入棒（２ａ、２ｂ）；及びハ）前記熱電対材料製電気信号導入棒（２ａ、２ｂ）と
前記金属製スリーブ（１）との間に介在し、且つ、前記
熱電対材料製電気信号導入棒（２ａ、２ｂ）を保持する
と共に前記熱電対材料製電気信号導入棒（２ａ、２ｂ）
と前記金属製スリーブ（１）とを電気的に絶縁するセラ
ミックス体（３）；から成ることを特徴とする前記真空容器内温度測定用端
子。
【請求項２】セラミックス体（３）が、Ａ１₂Ｏ₃、Ｓ
ｉＯ₂及びＭｇＯから成る群から選択される少なくとも
１種の酸化物系セラミックス焼結体から成るか、又は非
酸化物系セラミックス焼結体から成ることを特徴とす
る、請求項１に記載の真空容器内温度測定用端子。
【請求項３】請求項１または請求項２記載の真空容器
内温度測定用端子（１３０）に電気的・機械的に接続す
るための、真空容器内側用の真空容器内温度測定用コネ
クタ（１１０）であって、前記真空容器内側用の真空容
器内温度測定用コネクタが、イ）前記真空容器内温度測定用端子（１３０）の金属製
スリーブ（１）に嵌合可能に形成された筒状の金属製ス
リーブ（４）；ロ）前記金属製スリーブ（４）内の内部空間に挿入さ
れ、且つ、先端部が前記真空容器内温度測定用端子（１
３０）の熱電対材料製電気信号導入棒（２ａ、２ｂ）に
嵌合可能に形成され、他端部がセラミックス製の絶縁被
覆材により被覆された熱電対線（７ａ、７ｂ）が結線可
能に形成された、少なくとも１対の熱電対材料製電気信
号導入棒（５ａ、５ｂ）；及びハ）前記熱電対材料製電気信号導入棒（５ａ、５ｂ）と
前記金属製スリーブ（４）との間に介在し、且つ、前記
熱電対材料製電気信号導入棒（５ａ、５ｂ）を保持する
と共に前記熱電対材料製電気信号導入棒（５ａ、５ｂ）
と前記金属製スリーブ（４）とを電気的に絶縁するセラ
ミックス体（６）；から成り、更に、前記少なくとも１対の熱電対材料製電気信号導入
棒（５ａ、５ｂ）の各々が、電気的・機械的に連結され
ることとなる前記真空容器内温度測定用端子（１３０）
の熱電対材料製電気信号導入棒（２ａ、２ｂ）と同種の
熱電対材料でそれぞれ形成されている、ことを特徴とする前記真空容器内側用の真空容器内温度
測定用コネクタ。
【請求項４】セラミックス体（６）は、Ａ１₂Ｏ₃、Ｓ
ｉＯ₂及びＭｇＯから成る群から選択される少なくとも
１種の酸化物系セラミックス焼結体から成るか、又は非
酸化物系セラミックス焼結体から成ることを特徴とす
る、請求項３に記載の真空容器内側用の真空容器内温度
測定用コネクタ。
【請求項５】請求項１または請求項２記載の真空容器
内温度測定用端子（１３０）に電気的・機械的に接続す
るための、真空容器外側用の真空容器内温度測定用コネ
クタ（１２０）であって、前記真空容器外側用の真空容
器内温度測定用コネクタが、イ）前記真空容器内温度測定用端子（１３０）の金属製
スリーブ（１）に嵌合可能に形成された筒状の金属製ス
リーブ（４’）；ロ）前記金属製スリーブ（４’）内の内部空間に挿入さ
れ、且つ、先端部が前記真空容器内温度測定用端子（１
３０）の熱電対材料製電気信号導入棒（２ａ、２ｂ）に
嵌合可能に形成され、他端部が絶縁被覆材により被覆さ
れた熱電対線（７ａ’、７ｂ’）又は補償導線が結線可
能に形成された、少なくとも１対の熱電対材料製電気信
号導入棒（５ａ’、５ｂ’）；及びハ）前記熱電対材料製電気信号導入棒（５ａ’、５
ｂ’）と前記金属製スリーブ（４’）との間に介在し、
且つ、前記熱電対材料製電気信号導入棒（５ａ’、５
ｂ’）を保持すると共に前記熱電対材料製電気信号導入
棒（５ａ’、５ｂ’）と前記金属製スリーブ（４’）と
を電気的に絶縁するセラミックス体（６’）；から成
り、更に、前記少なくとも１対の熱電対材料製電気信号導入
棒（５ａ’、５ｂ’）の各々が、電気的・機械的に連結
されることとなる前記真空容器内温度測定用端子（１３
０）の熱電対材料製電気信号導入棒（２ａ、２ｂ）と同
種の熱電対材料でそれぞれ形成されている、ことを特徴とする前記真空容器外側用の真空容器内温度
測定用コネクタ。
【請求項６】セラミックス体（６’）は、Ａ１₂Ｏ₃、
ＳｉＯ₂及びＭｇＯから成る群から選択される少なくと
も１種の酸化物系セラミックス焼結体から成るか、又は
非酸化物系セラミックス焼結体から成ることを特徴とす
る、請求項５に記載の真空容器外側用の真空容器内温度
測定用コネクタ。
【請求項７】請求項１又は請求項２に記載の真空容器
内温度測定用端子（１３０）の一端面に、請求項３又は
請求項４に記載の真空容器内側用の真空容器内温度測定
用コネクタ（１１０）を嵌合可能に連結してなると共
に、前記真空容器内温度測定用端子（１３０）の他端面に、
請求項５又は請求項６に記載の真空容器外側用の真空容
器内温度測定用コネクタ（１２０）を嵌合可能に連結し
てなることを特徴とする真空容器内温度測定用コネクタ
セット。