JPS62274071A - 高温用保護管及び熱電対 - Google Patents
高温用保護管及び熱電対Info
- Publication number
- JPS62274071A JPS62274071A JP11674786A JP11674786A JPS62274071A JP S62274071 A JPS62274071 A JP S62274071A JP 11674786 A JP11674786 A JP 11674786A JP 11674786 A JP11674786 A JP 11674786A JP S62274071 A JPS62274071 A JP S62274071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermocouple
- pipe
- protection tube
- terminal
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title claims abstract description 16
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 claims description 10
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 8
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019918 CrB2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- DECCZIUVGMLHKQ-UHFFFAOYSA-N rhenium tungsten Chemical compound [W].[Re] DECCZIUVGMLHKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
［ａ業上の利用分野］
本発明は、高温用保護管及び熱電対に係り、耐熱性と耐
酸化性に優れた、高温用保護管及びそれを用いた熱電対
に関する。
酸化性に優れた、高温用保護管及びそれを用いた熱電対
に関する。
［従来の技術］
熱電対は簡単な構成で高精度の温度測定を実施できるこ
とから、温度測定用センサとして従来より極めて幅広い
分野で利用されている。
とから、温度測定用センサとして従来より極めて幅広い
分野で利用されている。
熱電対は一般に第２図に示す如く、熱電対素線１とそれ
を保護する保護管２、熱電対を取り付けるための取付金
具３、コネクタ４で主に構成され、コネクタ４に補償導
線５が接続されている。
を保護する保護管２、熱電対を取り付けるための取付金
具３、コネクタ４で主に構成され、コネクタ４に補償導
線５が接続されている。
（なお、図中６は充填粉末である。）
熱電対素線１には様々な種類のものがあり、高温用では
第１表に示すようなものが知られている。
第１表に示すようなものが知られている。
第 １ 表
ところで、熱電対は高温の酸化雰囲気中で温度測定に使
用されることが多くあり、熱電対の保護管には優れた耐
熱性及び耐酸化性が要求されている。
用されることが多くあり、熱電対の保護管には優れた耐
熱性及び耐酸化性が要求されている。
従来、保護管には￥Ｓ２表に示すようなものが深川され
ている。
ている。
第 ２ 表
［発明が解決しようとする問題点コ
しかしながら、このような従来の保護管の最高使用温度
は約２０００℃であり、タングステンレニウム熱電対の
ように２０００℃以上の温度を測定する熱電対には使用
することができなかった。
は約２０００℃であり、タングステンレニウム熱電対の
ように２０００℃以上の温度を測定する熱電対には使用
することができなかった。
さらに、モリブデン、タンタル、ニオブ等の高温用金属
製保護管では、十分な耐酸化性が得られず、高温かつ酸
化雰囲気で使用することができなかった。
製保護管では、十分な耐酸化性が得られず、高温かつ酸
化雰囲気で使用することができなかった。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、高温かつ酸化雰囲気での使用にも十分に耐え
得る、極めて耐久性に優れた高温用保護管及び熱電対を
提供するものであって、耐熱性基体の内表面及び外表面
にＣＶＤセラミック被膜が形成されてなることを特徴と
する高温用保護管、 及び、 熱電対素線が保護管内に封入されている熱電対において
、該保護管は耐熱性基体の内表面及び外。
得る、極めて耐久性に優れた高温用保護管及び熱電対を
提供するものであって、耐熱性基体の内表面及び外表面
にＣＶＤセラミック被膜が形成されてなることを特徴と
する高温用保護管、 及び、 熱電対素線が保護管内に封入されている熱電対において
、該保護管は耐熱性基体の内表面及び外。
表面にＣＶＤセラミック被膜が形成されてなることを特
徴とする熱電対、 を要旨とするものである。
徴とする熱電対、 を要旨とするものである。
［作用］
耐熱性基体の内表面に形成されたＣＶＤセラミック被膜
は、熱電対素線等の保護管内の部材と保護管との反応等
による保護管や保護管内部材の劣化を防止し、一方、耐
熱性基体の外表面に形成されたＣＶＤセラミック被膜は
、外側の高温酸化雰囲気から、保護管を保護する。この
ため、本発明の保護管は極めて耐熱性と耐酸化性に優れ
たものとなる。
は、熱電対素線等の保護管内の部材と保護管との反応等
による保護管や保護管内部材の劣化を防止し、一方、耐
熱性基体の外表面に形成されたＣＶＤセラミック被膜は
、外側の高温酸化雰囲気から、保護管を保護する。この
ため、本発明の保護管は極めて耐熱性と耐酸化性に優れ
たものとなる。
［実施例］
以下に本発明の高温用保護管及び熱電対について図面を
参照して詳細に説明する。
参照して詳細に説明する。
第１図は本発明の高温用保護管１０と、この保護管１０
を装着してなる本発明の熱電対を示す断面図である。
を装着してなる本発明の熱電対を示す断面図である。
第１図に示す本発明の高温用保護管１０は、一端が封じ
られた通常の熱電対用保護管と同様の形状を有するもの
であり、耐熱性基体１１の内表面及び、外表面にＣＶＤ
法によりセラミック被膜１２．１３が形成されて構成さ
れている。
られた通常の熱電対用保護管と同様の形状を有するもの
であり、耐熱性基体１１の内表面及び、外表面にＣＶＤ
法によりセラミック被膜１２．１３が形成されて構成さ
れている。
基体材質には黒鉛、Ｗ、Ｒｅなどの高融点金属や高融点
セラミックの粉末焼結晶を用いることができる。また、
ＣＶＤ法によるセラーミック被膜にはＣｒＢ２．ＴｉＢ
２などの高融点セラミックを用いることができる。
セラミックの粉末焼結晶を用いることができる。また、
ＣＶＤ法によるセラーミック被膜にはＣｒＢ２．ＴｉＢ
２などの高融点セラミックを用いることができる。
本発明の高温用保護管は、第１図に示すような熱電対用
に限られず、高温用ヒータ、その他各様の高温雰囲気で
使用される機器の保護管として効果的に使用可能である
。
に限られず、高温用ヒータ、その他各様の高温雰囲気で
使用される機器の保護管として効果的に使用可能である
。
次に、本発明の高温用保護管１ｏを装着した本発明の熱
電対２１について説明する。
電対２１について説明する。
本発明の熱電対２１は、第１図に示す如く、上述のよう
な本発明の保護管１０内に熱電対素線１４が封入されて
なり、熱電対素線は絶縁管１５に被覆されており、保護
管１ｏの開口部において、端子箱１９内の端子板１７に
ある端子１８に固定されている。
な本発明の保護管１０内に熱電対素線１４が封入されて
なり、熱電対素線は絶縁管１５に被覆されており、保護
管１ｏの開口部において、端子箱１９内の端子板１７に
ある端子１８に固定されている。
保護管内部２０は真空又は不活性ガス雰囲気とされ、ま
た、保護管の開口部に設けられた取付金具１６、端子板
１７、端子１８、端子箱１９は、各々、ろう付接合され
ている。
た、保護管の開口部に設けられた取付金具１６、端子板
１７、端子１８、端子箱１９は、各々、ろう付接合され
ている。
このように、開口部の各部の接合をろう付接合すること
により、その内部を気密に保つことができる。
により、その内部を気密に保つことができる。
［発明の効果］
以上詳述した通り、本発明の高温用保護管は、耐熱性基
体の内、外表面にＣＶＤセラミック被膜が形成されてな
るものであって、極めて耐熱性、耐酸化性に優れている
。このため、本発明の高温用保護管は、熱電対や高温用
ヒータの保護管として、高温の酸化雰囲気中において使
用することができ、熱電対素線等の内部部材を確実に保
護することができる。
体の内、外表面にＣＶＤセラミック被膜が形成されてな
るものであって、極めて耐熱性、耐酸化性に優れている
。このため、本発明の高温用保護管は、熱電対や高温用
ヒータの保護管として、高温の酸化雰囲気中において使
用することができ、熱電対素線等の内部部材を確実に保
護することができる。
しかして、このような本発明の高温用保護管を装着して
なる熱電対によれば、高温の酸化雰囲気においても、そ
の著しく優れた耐熱性、耐酸化性により、長期間安定か
つ正確な検出を行なうことが可能とされる。
なる熱電対によれば、高温の酸化雰囲気においても、そ
の著しく優れた耐熱性、耐酸化性により、長期間安定か
つ正確な検出を行なうことが可能とされる。
第１図は本発明の高温用保護管と、この保護管を装着し
てなる本発明の熱電対を示す断面図、第２図は一般的な
熱電対の断面図である。 １０・・・保護管、 １１・・・耐熱性基体、１
２．１３・・・ＣＶＤセラミック被膜、１４・・・熱電
対素線、 １５・・・絶縁管、１６・・・取付金具
。
てなる本発明の熱電対を示す断面図、第２図は一般的な
熱電対の断面図である。 １０・・・保護管、 １１・・・耐熱性基体、１
２．１３・・・ＣＶＤセラミック被膜、１４・・・熱電
対素線、 １５・・・絶縁管、１６・・・取付金具
。
Claims (4)
- （１）耐熱性基体の内表面及び外表面にＣＶＤセラミッ
ク被膜が形成されてなることを特徴とする高温用保護管
。 - （２）熱電対素線が保護管内に封入されている熱電対に
おいて、該保護管は耐熱性基体の内表面及び外表面にＣ
ＶＤセラミック被膜が形成されてなることを特徴とする
熱電対。 - （３）保護管はその開口部に取付金具及び端子箱を有し
、熱電対素線は該端子箱内の端子板にある端子に固定さ
れており、保護管と取付金具、取付金具と端子箱、端子
箱と端子板、端子板と端子は、それぞれろう付により結
合され、保護管内が気密に保たれていることを特徴とす
る特許請求の範囲第２項に記載の熱電対。 - （４）保護管内は真空又は不活性ガス雰囲気であること
を特徴とする特許請求の範囲第２項又は第３項に記載の
熱電対。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11674786A JPS62274071A (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | 高温用保護管及び熱電対 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11674786A JPS62274071A (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | 高温用保護管及び熱電対 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62274071A true JPS62274071A (ja) | 1987-11-28 |
Family
ID=14694765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11674786A Pending JPS62274071A (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | 高温用保護管及び熱電対 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62274071A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62292685A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-19 | 東芝セラミックス株式会社 | 溶融金属用浸漬保護管 |
| JPH0523079U (ja) * | 1991-09-06 | 1993-03-26 | 川崎炉材株式会社 | 熱電対装置 |
| JP2002022554A (ja) * | 2000-07-03 | 2002-01-23 | Ulvac Japan Ltd | 高温用熱電対及びその製造方法 |
| JP2003197546A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 熱処理装置およびシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
| WO2015041315A1 (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-26 | 株式会社フルヤ金属 | 熱電対及びその製造方法 |
-
1986
- 1986-05-21 JP JP11674786A patent/JPS62274071A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62292685A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-19 | 東芝セラミックス株式会社 | 溶融金属用浸漬保護管 |
| JPH0523079U (ja) * | 1991-09-06 | 1993-03-26 | 川崎炉材株式会社 | 熱電対装置 |
| JP2002022554A (ja) * | 2000-07-03 | 2002-01-23 | Ulvac Japan Ltd | 高温用熱電対及びその製造方法 |
| JP2003197546A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 熱処理装置およびシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法 |
| WO2015041315A1 (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-26 | 株式会社フルヤ金属 | 熱電対及びその製造方法 |
| JPWO2015041315A1 (ja) * | 2013-09-20 | 2017-03-02 | 株式会社フルヤ金属 | 熱電対及びその製造方法 |
| US10281337B2 (en) | 2013-09-20 | 2019-05-07 | Furuya Metal Co., Ltd. | Thermocouple and manufacturing method for same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2525974B2 (ja) | 半導体ウエハ―加熱装置 | |
| JPS62274071A (ja) | 高温用保護管及び熱電対 | |
| US8497759B2 (en) | Leadless media protected fast response RTD sensor and method for making the same | |
| JPH0467619B2 (ja) | ||
| JP3572312B2 (ja) | セラミックシース型熱電対 | |
| US4045247A (en) | Thermocouples of tantalum and rhenium alloys for more stable vacuum-high temperature performance | |
| JP2601558Y2 (ja) | 真空容器内温度測定用コネクタセット | |
| JPH09113372A (ja) | 多点測温素子 | |
| JP3325384B2 (ja) | 熱処理炉用温度測定装置 | |
| JP3329189B2 (ja) | セラミックシース型熱電対 | |
| JPH1183639A (ja) | 金属溶湯測温用熱電対 | |
| JPS62189701A (ja) | 炭化硅素焼結体サ−ミスタ | |
| JP2002022554A (ja) | 高温用熱電対及びその製造方法 | |
| JPH0633387Y2 (ja) | 熱電対 | |
| JP3627317B2 (ja) | 熱電対の構造 | |
| JPH1114465A (ja) | 熱電対の構造 | |
| JP2735797B2 (ja) | 高温白金測温抵抗素子 | |
| CA2501260A1 (en) | Extended temperature range emf device | |
| US7026908B2 (en) | Extended temperature range thermal variable-resistance device | |
| JPS63300924A (ja) | 熱電温度計 | |
| US3381253A (en) | High speed wide range surface sensor thermistor | |
| JP3550828B2 (ja) | 熱電対の構造 | |
| JP3627316B2 (ja) | 熱電対の構造 | |
| JP3306425B2 (ja) | 高温測温用セラミック熱電対 | |
| JPS5965741A (ja) | シリコン感圧装置 |