JPH073837Y2 - 超音波モ−タ− - Google Patents
超音波モ−タ−Info
- Publication number
- JPH073837Y2 JPH073837Y2 JP10611887U JP10611887U JPH073837Y2 JP H073837 Y2 JPH073837 Y2 JP H073837Y2 JP 10611887 U JP10611887 U JP 10611887U JP 10611887 U JP10611887 U JP 10611887U JP H073837 Y2 JPH073837 Y2 JP H073837Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- elastic body
- ultrasonic motor
- groove
- processing
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、超音波振動を利用した超音波モーターに関す
るものである。
るものである。
（従来の技術） 弾性体と、弾性体を励振させる為の圧電体とを備えた超
音波モーターは、圧電体により弾性体表面に進行波を発
生させ、この弾性体表面に圧接された移動体を移動させ
るものである。この移動体の駆動効率を向上させる為
に、従来から種々の方法が取られているが、一つの例と
して、第４図に示すように超音波モーターの弾性体10に
櫛歯状の溝10aを等間隔に複数形成しているものがあ
る。この櫛歯状の溝10aの作用により、圧電体11の振動
が増幅されて弾性体10の表面に発生する進行波が効率良
く発生することになる。
音波モーターは、圧電体により弾性体表面に進行波を発
生させ、この弾性体表面に圧接された移動体を移動させ
るものである。この移動体の駆動効率を向上させる為
に、従来から種々の方法が取られているが、一つの例と
して、第４図に示すように超音波モーターの弾性体10に
櫛歯状の溝10aを等間隔に複数形成しているものがあ
る。この櫛歯状の溝10aの作用により、圧電体11の振動
が増幅されて弾性体10の表面に発生する進行波が効率良
く発生することになる。
（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、超音波モーターの弾性体に櫛歯状の溝を
形成するための加工は、弾性体10の振幅が非常に小さい
（数ミクロン程度）為に、その振幅以下の平面度、平行
度を確保しなければ成らず精度の高い加工が要求され
た。そして、超音波モーターの弾性体の材質は、サビに
くく、弾性体と一体となって振動を与える圧電体の材質
（セラミック等）と近似した熱膨張係数を有する難切削
材でなくてはならず、その為に、弾性体10の溝10aを加
工する際には、放電加工あるいは切削加工にしろ加工時
に発生する熱により弾性体10内部に加工歪が残り、前述
した平面度、平行度等を正確に確保することが困難であ
った。従って、弾性体の加工は非常に困難であり、時間
が掛かる作業であるという問題点があった。
形成するための加工は、弾性体10の振幅が非常に小さい
（数ミクロン程度）為に、その振幅以下の平面度、平行
度を確保しなければ成らず精度の高い加工が要求され
た。そして、超音波モーターの弾性体の材質は、サビに
くく、弾性体と一体となって振動を与える圧電体の材質
（セラミック等）と近似した熱膨張係数を有する難切削
材でなくてはならず、その為に、弾性体10の溝10aを加
工する際には、放電加工あるいは切削加工にしろ加工時
に発生する熱により弾性体10内部に加工歪が残り、前述
した平面度、平行度等を正確に確保することが困難であ
った。従って、弾性体の加工は非常に困難であり、時間
が掛かる作業であるという問題点があった。
（問題点を解決するための手段） 上記問題点を解決する為に、本考案では超音波モーター
の弾性体に溝を加工する際に、溝によって出来る突起部
がそれぞれ独立した突起部とならないように突起部の両
側部で連続するように構成した。
の弾性体に溝を加工する際に、溝によって出来る突起部
がそれぞれ独立した突起部とならないように突起部の両
側部で連続するように構成した。
（作用） 本考案では、弾性体の複数の突起部の両側部で連続する
ように、弾性体に溝を形成したので、従来のように溝の
加工時に、それぞれ突起部が独立していないので大幅な
加工歪が発生することがなく、従来に比べて簡単に平面
度、平行度を精度良くだせるように成った。
ように、弾性体に溝を形成したので、従来のように溝の
加工時に、それぞれ突起部が独立していないので大幅な
加工歪が発生することがなく、従来に比べて簡単に平面
度、平行度を精度良くだせるように成った。
（実施例） 第１図〜第３図は、本考案の実施例であり、第１図は超
音波モーターのステータ（圧電体と弾性体との一体物）
の斜視図であり、第２図は前記弾性体の平面図であり、
第３図は前記ステータのAA′矢視断面図である。
音波モーターのステータ（圧電体と弾性体との一体物）
の斜視図であり、第２図は前記弾性体の平面図であり、
第３図は前記ステータのAA′矢視断面図である。
第１図において、超音波モーターのステータは、弾性体
１と、弾性体１を励振させる為の圧電体２とから構成さ
れている。この超音波モーターの弾性体１は、円環形状
に形成されており、この弾性体１には同形状の圧電体２
が接着されている。この圧電体２の振動により弾性体１
の表面に進行波が発生し、弾性体１の表面に圧接される
不図示の移動体が進行波の作用により駆動させられる。
この弾性体１の材質は、セラミック等で構成されている
圧電体２の材質に近似したすなわち、熱膨張係数等の物
理的特性の近似するものから構成されている。従って、
この弾性体１の材質は、難切削材となっている。この弾
性体１には、ほぼ等間隔に溝3a,3b,3c,……が形成され
ている。この弾性体１の溝により、圧電体２の振動が増
幅されて、圧電体１の移動体との圧接面に進行波が効率
よく発生し、超音波モーターの駆動効率の向上に役立つ
ことになる。
１と、弾性体１を励振させる為の圧電体２とから構成さ
れている。この超音波モーターの弾性体１は、円環形状
に形成されており、この弾性体１には同形状の圧電体２
が接着されている。この圧電体２の振動により弾性体１
の表面に進行波が発生し、弾性体１の表面に圧接される
不図示の移動体が進行波の作用により駆動させられる。
この弾性体１の材質は、セラミック等で構成されている
圧電体２の材質に近似したすなわち、熱膨張係数等の物
理的特性の近似するものから構成されている。従って、
この弾性体１の材質は、難切削材となっている。この弾
性体１には、ほぼ等間隔に溝3a,3b,3c,……が形成され
ている。この弾性体１の溝により、圧電体２の振動が増
幅されて、圧電体１の移動体との圧接面に進行波が効率
よく発生し、超音波モーターの駆動効率の向上に役立つ
ことになる。
第２図及び第３図を用いて、弾性体１の溝３について詳
しく説明する。弾性体１の溝３は、弾性体１の外径側に
肉厚t1を有すると共に内径側に肉厚t2を有するように弾
性体１表面に間隔t3で形成されている。この溝３の深さ
は、圧電体２の接着された弾性体１の接着面から高さｈ
を残した深さである。従って、この弾性体１は、溝３に
より形成される突起部４が従来の突起部10bのように独
立して形成されるものではなく、突起部４の両側端にお
いてそれぞれ連結されている。
しく説明する。弾性体１の溝３は、弾性体１の外径側に
肉厚t1を有すると共に内径側に肉厚t2を有するように弾
性体１表面に間隔t3で形成されている。この溝３の深さ
は、圧電体２の接着された弾性体１の接着面から高さｈ
を残した深さである。従って、この弾性体１は、溝３に
より形成される突起部４が従来の突起部10bのように独
立して形成されるものではなく、突起部４の両側端にお
いてそれぞれ連結されている。
弾性体１の溝３を加工する際に即ち、切削加工や放電加
工等の加工時に発生する熱により突起部４及びその周辺
部に加工歪が生じるが、弾性体１の溝３を上述の如く形
成すると、弾性体１の外径側の肉厚部4aと内径側の肉厚
部4bにより突起部４が補強されるので、その加工歪の発
生を押さえることができる。
工等の加工時に発生する熱により突起部４及びその周辺
部に加工歪が生じるが、弾性体１の溝３を上述の如く形
成すると、弾性体１の外径側の肉厚部4aと内径側の肉厚
部4bにより突起部４が補強されるので、その加工歪の発
生を押さえることができる。
そして、弾性体１の外径側に肉厚t1及び内径側に肉厚t3
及び溝３の間隔t3及び厚さｈの寸法をそれぞれ同程度に
することにより、切削加工，放電加工ではなく、焼結
法，プレス加工等の低コストの加工法によっても弾性体
を加工できる。その理由は、弾性体１の寸法の異なる部
分がないので即ち、それぞれの部分の密度が一定してい
るので、加工後の強度の異なる部分が発生するのを防げ
て弾性体１を均一な性質とできる為であり、具体的に
は、圧電体２の振動が弾性体１に伝わった時に弾性体１
の各部分が異なる振動状態となるのを防げる為である。
及び溝３の間隔t3及び厚さｈの寸法をそれぞれ同程度に
することにより、切削加工，放電加工ではなく、焼結
法，プレス加工等の低コストの加工法によっても弾性体
を加工できる。その理由は、弾性体１の寸法の異なる部
分がないので即ち、それぞれの部分の密度が一定してい
るので、加工後の強度の異なる部分が発生するのを防げ
て弾性体１を均一な性質とできる為であり、具体的に
は、圧電体２の振動が弾性体１に伝わった時に弾性体１
の各部分が異なる振動状態となるのを防げる為である。
（考案の効果） 以上のように本考案によれば、弾性体の複数の突起部の
両側部で連続するように、弾性体に溝を形成したので、
従来のように溝の加工時に、それぞれ突起部が独立して
いないので大幅な加工歪が発生することがなく、従来に
比べて簡単に平面度、平行度を精度良くだせるように成
った。
両側部で連続するように、弾性体に溝を形成したので、
従来のように溝の加工時に、それぞれ突起部が独立して
いないので大幅な加工歪が発生することがなく、従来に
比べて簡単に平面度、平行度を精度良くだせるように成
った。
第１図〜第３図は、本考案の実施例であり、第１図は超
音波モーターのステータ（圧電体と弾性体との一体物）
の斜視図であり、第２図は前記弾性体の平面図であり、
第３図は前記ステータのAA′矢視断面図である。 第４図は、従来の超音波モーターのステータの斜視図で
ある。 （主要部分の符号の説明） 1,10……弾性体、２……圧電体、３……溝、４……突起
部、4a,4b……肉厚
音波モーターのステータ（圧電体と弾性体との一体物）
の斜視図であり、第２図は前記弾性体の平面図であり、
第３図は前記ステータのAA′矢視断面図である。 第４図は、従来の超音波モーターのステータの斜視図で
ある。 （主要部分の符号の説明） 1,10……弾性体、２……圧電体、３……溝、４……突起
部、4a,4b……肉厚
Claims (1)
- 【請求項１】弾性体と、弾性体を励振させる為の圧電体
とを備え、超音波振動を利用した超音波モーターにおい
て、 前記弾性体の長手方向にほぼ等間隔で、且つ該長手方向
と直角方向に長い複数の溝を形成し、該弾性体の溝の部
分で見た横断面形状が凹形状であることを特徴とする超
音波モーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10611887U JPH073837Y2 (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 | 超音波モ−タ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10611887U JPH073837Y2 (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 | 超音波モ−タ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6412492U JPS6412492U (ja) | 1989-01-23 |
| JPH073837Y2 true JPH073837Y2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=31339343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10611887U Expired - Lifetime JPH073837Y2 (ja) | 1987-07-10 | 1987-07-10 | 超音波モ−タ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073837Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2623863B2 (ja) * | 1989-10-18 | 1997-06-25 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータ |
| JP2864479B2 (ja) * | 1990-03-22 | 1999-03-03 | 松下電器産業株式会社 | 円環型超音波モータ |
-
1987
- 1987-07-10 JP JP10611887U patent/JPH073837Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6412492U (ja) | 1989-01-23 |
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