JPH0737744A

JPH0737744A - 電子部品およびその製造方法

Info

Publication number: JPH0737744A
Application number: JP5199176A
Authority: JP
Inventors: Hidekazu Maeda; 田英一前; Motoi Nishii; 井基西; Yoshihiro Nishinaga; 永良博西; Katsuhisa Imada; 田勝久今
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1993-07-16
Filing date: 1993-07-16
Publication date: 1995-02-07

Abstract

(57)【要約】【目的】小型で、信頼性の高い電子部品を提供する。【構成】電子部品としてのアレイタイプのノイズフィ
ルタ１０は、直方体状の４つの磁性体部分１２ａ，１２
ｂ，１２ｃおよび１２ｄを含む。磁性体部分１２ａ〜１
２ｄの内部には、インダクタ用電極がそれぞれ形成され
る。磁性体部分１２ａ〜１２ｄは、たとえばエポキシ系
接着材などの樹脂またはガラスからなる接合層２０ａ，
２０ｂおよび２０ｃによって、接合される。磁性体部分
１２ａ〜１２ｄの一端部には外部電極２２ａ，２２ｂ，
２２ｃおよび２２ｄがスパッタにより形成され、磁性体
部分１２ａ〜１２ｄの他端部には外部電極２４ａ，２４
ｂ，２４ｃおよび２４ｄがスパッタにより形成される。
これらの外部電極２２ａ〜２２ｄおよび２４ａ〜２４ｄ
は、磁性体部分１２ａ〜１２ｄの内部のインダクタ用電
極にそれぞれ接続される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は電子部品およびその製
造方法に関し、特に複数のインダクタを有し、たとえば
アレイタイプのノイズフィルタなどとして用いられる電
子部品およびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図９はこの発明の背景となる従来のアレ
イタイプのノイズフィルタの一例を示す透視図である。
このノイズフィルタ１は、矩形の磁性体基板２を含む。
磁性体基板２の内部には、４組のインダクタ用電極３
ａ，３ｂ，３ｃおよび３ｄが形成される。また、磁性体
基板２の一端面には、４つの外部電極４ａ，４ｂ，４ｃ
および４ｄが形成され、これらの外部電極４ａ〜４ｄ
は、インダクタ用電極３ａ〜３ｄの一端にそれぞれ接続
される。さらに、磁性体基板２の他端面には、４つの外
部電極５ａ，５ｂ，５ｃおよび５ｄが形成され、これら
の外部電極５ａ〜５ｄは、インダクタ用電極３ａ〜３ｄ
の他端にそれぞれ接続される。したがって、このノイズ
フィルタ１は、図１０に示すように、外部電極４ａ〜４
ｄと外部電極５ａ〜５ｄとの間に、４つのインダクタン
スを有する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】近年、回路基板の狭ピ
ッチ化が進展するにともなって、図９に示すノイズフィ
ルタ１において、外部電極間の幅が狭くなるとともに、
磁性体基板２の内部のインダクタ用電極間の距離も狭く
なってきている。ところが、そのようにインダクタ用電
極間の距離を狭くすると、内部の磁力線を図１１に示す
ように、インダクタ用電極の周囲に発生する磁力線がそ
れに接近する他のインダクタ用電極に交差するので、接
近するインダクタ用電極間で結合が生じて、隣のインダ
クタ用電極に流れている信号に悪影響を与える場合があ
る。また、インダクタ用電極間の距離が狭くなると、接
近するインダクタ用電極間の絶縁抵抗が小さくなり、接
近するインダクタ用電極間に電圧差が生じた場合に、そ
れらの間で短絡を起こす可能性がある。したがって、従
来のノイズフィルタ１では、そのサイズや実用範囲が大
幅に限定されることになる。

【０００４】それゆえに、この発明の主たる目的は、小
型で、信頼性の高い電子部品を提供することである。

【０００５】この発明の他の目的は、小型で、信頼性の
高い電子部品の製造方法を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明にかかる電子部
品は、複数の磁性体部分と、それぞれが複数の磁性体部
分の内部に形成される複数のインダクタ用電極と、複数
の磁性体部分の間に形成され、複数の磁性体部分を接合
するための樹脂またはガラスからなる接合層と、複数の
インダクタ用電極に接続される複数の外部電極とを含
む、電子部品である。

【０００７】この発明にかかる電子部品の製造方法は、
それぞれの内部にインダクタ用電極を有する複数の磁性
体部分を準備する工程と、複数の磁性体部分を樹脂また
はガラスからなる接合層で接合する工程と、複数のイン
ダクタ用電極に接続される複数の外部電極をスパッタで
形成する工程とを含む、電子部品の製造方法である。

【０００８】

【作用】接合層によって、複数の磁性体部分間におい
て、インダクタ用電極間の結合が小さくなり、かつ、イ
ンダクタ用電極間の絶縁抵抗が大きくなる。

【０００９】

【発明の効果】この発明によれば、複数のインダクタ用
電極間の結合が小さくなりかつ複数のインダクタ用電極
間の絶縁抵抗が大きくなるので、インダクタ用電極間の
距離を狭くしても、隣のインダクタ用電極に流れる信号
に悪影響を与えにくくなり、かつ、接近するインダクタ
用電極間で短絡を起こしにくくなる。したがって、この
発明によれば、小型で、信頼性の高い電子部品が得られ
る。

【００１０】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。

【００１１】

【実施例】図１はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
る。電子部品としてのアレイタイプのノイズフィルタ１
０は、直方体状の４つの磁性体部分１２ａ，１２ｂ，１
２ｃおよび１２ｄを含む。この実施例では、これらの磁
性体部分１２ａ〜１２ｄが同一の内部構造を有するの
で、特に、１つの磁性体部分１２ａの内部構造について
詳しく説明する。

【００１２】磁性体部分１２ａは、図２に示すように、
たとえばＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライトなどの磁性体材
料からなり積層される矩形の３枚の磁性体シート１４
ａ，１４ｂおよび１４ｃを含む。

【００１３】磁性体シート１４ａの一方主面には、図２
に示すように、たとえばＡｇまたはＡｇ−Ｐｄなどの電
極材料からなる略Ｊ字形のインダクタ用電極１６ａが形
成される。この場合、インダクタ用電極１６ａは、その
一端が磁性体シート１４ａの一方主面の中央に形成さ
れ、その他端が磁性体シート１４ａの一方主面の長手方
向における一端に形成される。

【００１４】さらに、中央の磁性体シート１４ｂの一方
主面には、図２に示すように、たとえばＡｇまたはＡｇ
−Ｐｄなどの電極材料からなる略Ｊ字形のインダクタ用
電極１６ｂが形成される。この場合、インダクタ用電極
１６ｂは、その一端が磁性体シート１４ｂの一方主面の
中央に形成され、その他端が磁性体シート１４ｂの一方
主面の長手方向における他端に形成される。

【００１５】また、磁性体シート１４ｂの中央にはスル
ーホール１８が形成され、このスルーホール１８を介し
て、一方のインダクタ用電極１６ａの一端と他方のイン
ダクタ用電極１６ｂの一端とが接続される。

【００１６】なお、一方のインダクタ用電極１６ａは、
磁性体シート１４ａの一方主面の中央から長手方向にお
ける他端にわたって略Ｊ字形にされ、かつ、他方のイン
ダクタ用電極１６ｂは、磁性体シート１４ｂの一方主面
の中央から長手方向における一端にわたって略Ｊ字形に
形成されてもよい。すなわち、これらのインダクタ用電
極１６ａおよび１６ｂは、互いに逆に形成されてもよ
い。

【００１７】磁性体部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃおよび
１２ｄは、図１に示すように、たとえばエポキシ系接着
材などの樹脂またはガラスからなる接合層２０ａ，２０
ｂおよび２０ｃによって、接合される。この場合、磁性
体部分１２ａ〜１２ｄは、それらの磁性体シートが積層
されるように、接合される。

【００１８】また、磁性体部分１２ａ，１２ｂ，１２ｃ
および１２ｄの一端部には、たとえばＡｇまたはＡｇ−
Ｐｄなどの電極材料からなる外部電極２２ａ，２２ｂ，
２２ｃおよび２２ｄがそれぞれスパッタで形成される。
この場合、外部電極２２ａ〜２２ｄは、磁性体部分１２
ａ〜１２ｄの内部のそれぞれのインダクタ用電極１６ａ
の他端にそれぞれ接続される。

【００１９】同様に、磁性体部分１２ａ，１２ｂ，１２
ｃおよび１２ｄの他端部には、外部電極２４ａ，２４
ｂ，２４ｃおよび２４ｄがそれぞれ形成される。この場
合、外部電極２４ａ〜２４ｄは、磁性体部分１２ａ〜１
２ｄの内部のそれぞれのインダクタ用電極１６ｂの他端
にそれぞれ接続される。

【００２０】なお、上述のように、インダクタ用電極１
６ａとインダクタ用電極１６ｂとを互い逆に形成した場
合には、磁性体部分１２ａ〜１２ｄの内部のそれぞれの
インダクタ用電極１６ａは外部電極２４ａ〜２４ｄに接
続され、磁性体部分１２ａ〜１２ｄの内部のそれぞれの
インダクタ用電極１６ｂは外部電極２２ａ〜２２ｄに接
続される。

【００２１】このノイズフィルタ１０では、１つの磁性
体部分１２ａの内部に、２つのインダクタ用電極１６ａ
および１６ｂなどで、１つのインダクタが形成される。
同様に、他の３つの磁性体部分１２ｂ〜１２ｄの内部
に、３つのインダクタがそれぞれ形成される。したがっ
て、このノイズフィルタ１０は、図３に示すように、外
部電極２２ａ〜２２ｄと外部電極２４ａ〜２４ｄとの間
に、４つのインダクタンスを有する。

【００２２】また、このノイズフィルタ１０では、磁性
体部分１２ａ〜１２ｄが樹脂またはガラスからなる接合
層２０ａ〜２０ｃで接合されているので、内部の磁力線
を図４に示すように、磁性体部分１２ａ〜１２ｄ間にお
いて、インダクタ用電極の周囲に発生する磁力線がその
インダクタ用電極に接近する他のインダクタ用電極にほ
とんど交差せず、インダクタ用電極間の結合が小さくな
る。さらに、接合層２０ａ〜２０ｃによって、磁性体部
分１２ａ〜１２ｄ間において、インダクタ用電極間の絶
縁抵抗が大きくなる。そのため、このノイズフィルタ１
０では、それを小型にするために、磁性体部分１２ａ〜
１２ｄ間において、インダクタ用電極間の距離や外部電
極間の距離を狭くしても、隣のインダクタ用電極に流れ
る信号に悪影響を与えにくくなり、かつ、接近するイン
ダクタ用電極間で短絡を起こしにくくなって、信頼性が
高くなる。

【００２３】次に、このノイズフィルタ１０の製造方法
の一例について説明する。

【００２４】まず、図５に示すように、たとえばＮｉ−
Ｚｎ−Ｃｕ系フェライトなどの磁性体材料からなり積層
される３枚の磁性体グリーンシート１５ａ，１５ｂおよ
び１５ｃが準備される。これらの磁性体グリーンシート
１５ａ〜１５ｃは、焼成後に複数の磁性体部分１２ａと
なるべきものである。そのため、これらの磁性体グリー
ンシート１５ａ〜１５ｃは、それぞれ、横辺が磁性体部
分１２ａの長手方向の長さのたとえば数倍ないし数十倍
の長さを有し、縦辺が磁性体部分１２ａの幅方向の長さ
のたとえば数倍ないし数十倍の長さを有する。これらの
磁性体グリーンシート１５ａ〜１５ｃは、それぞれ、た
とえばドクターブレード法または引き上げ法などのシー
ト成形方法によって形成される。なお、これらの磁性体
グリーンシート１５ａ〜１５ｃは焼成後にカットされる
が、カットされる部分を図５に１点鎖線で示す。

【００２５】磁性体グリーンシート１５ａの一方主面に
は、図５に示すように、たとえばＡｇまたはＡｇ−Ｐｄ
などの電極材料を塗布することによって、複数のインダ
クタ用電極１６ａが形成される。なお、この場合、隣接
する２つのインダクタ用電極１６ａの一方は略Ｊ字形に
形成されるが、それと対称に他方は略Ｊ字形に形成され
る。

【００２６】さらに、磁性体グリーンシート１５ｂの一
方主面には、図５に示すように、たとえばＡｇまたはＡ
ｇ−Ｐｄなどの電極材料を塗布することによって、複数
のインダクタ用電極１６ｂが形成される。なお、この場
合、隣接する２つのインダクタ用電極１６ｂの一方は略
Ｊ字形に形成されるが、それと対称に他方は略Ｊ字形に
形成される。

【００２７】また、磁性体グリーンシート１５ｂには、
複数のスルーホール１８が形成され、それらのスルーホ
ール１８を介して、インダクタ用電極１６ａの端部とイ
ンダクタ用電極１６ｂの端部とが接続される。

【００２８】そして、それらの磁性体グリーンシート１
５ａ〜１５ｃを積層し圧着し同時に焼成することによっ
て、図６に示すように、複数の磁性体部分１２ａとなる
第１の親基板１３ａが形成される。

【００２９】同様にして、複数の磁性体部分１２ｂとな
る第２の親基板１３ｂと、複数の磁性体部分１２ｃとな
る第３の親基板１３ｃと、複数の磁性体部分１２ｄとな
る第４の親基板１３ｄとが形成される。なお、第２〜第
４の親基板１３ｂ〜１３ｄは、それぞれ、第１の親基板
１３ａと同一の内部構造を有する。

【００３０】次に、第１，第２，第３および第４の親基
板１３ａ，１３ｂ，１３ｃおよび１３ｄは、図７に示す
ように、たとえばエポキシ系接着材などの樹脂またはガ
ラスからなる接合層２０ａ，２０ｂおよび２０ｃによっ
て、積層され接合される。

【００３１】そして、第１〜第４の親基板１３ａ〜１３
ｄおよび接合層２０ａ〜２０ｃは図７の１点鎖線で示す
部分でカットされ、図８に示すチップ１１が形成され
る。

【００３２】最後に、チップ１１の両端部に、たとえば
ＡｇまたはＡｇ−Ｐｄなどの電極材料をスパッタするこ
とによって、外部電極２２ａ〜２２ｄおよび２４ａ〜２
４ｄがそれぞれ形成される。

【００３３】上述のノイズフィルタの製造方法では、複
数のノイズフィルタ１０のための磁性体部分１２ａ〜１
２ｄと、インダクタ用電極１６ａおよび１６ｂと、接合
層２０ａ〜２０ｃとがそれぞれ一度に形成されるので、
複数のノイズフィルタ１０を効率よく製造することでき
る。

【００３４】なお、上述の実施例において、複数の磁性
体部分間においてインダクタ用電極間の結合をさらに小
さくしかつインダクタ用電極間の絶縁抵抗をさらに大き
くするためには、隣接する磁性体部分の間にたとえばア
ルミナなどの絶縁体からなる絶縁体層が接合層で接合さ
れてもよい。

【００３５】また、上述の実施例では４つの磁性体部分
を有するが、この発明では磁性体部分の数は４つ限らず
たとえば２つ、３つあるいは５つ以上であってもよい。

【００３６】さらに、上述の実施例では２層に積層され
る２つのインダクタ用電極などで１つのインダクタが構
成されているが、この発明では、単層のインダクタ用電
極などで１つのインダクタが構成されてもよく、あるい
は、３層以上に積層される３つ以上のインダクタ用電極
などで１つのインダクタが構成されてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す斜視図である。

【図２】図１に示す実施例に用いられる磁性体部分の内
部構造を示す分解斜視図である。

【図３】図１に示す実施例の回路図である。

【図４】図１に示す実施例の内部の磁力線を示す図解図
である。

【図５】図１に示す実施例に用いられる磁性体部分を形
成する工程の一例を示す斜視図である。

【図６】図１に示す実施例に用いられる複数の磁性体部
分となる第１の親基板を示す斜視図である。

【図７】図１に示す実施例に用いられるチップを形成す
る工程の一例を示す斜視図である。

【図８】図１に示す実施例に用いられるチップを示す斜
視図である。

【図９】この発明の背景となる従来のアレイタイプのノ
イズフィルタの一例を示す透視図である。

【図１０】図９に示すノイズフィルタの回路図である。

【図１１】図９に示すノイズフィルタの内部の磁力線を
示す図解図である。

【符号の説明】

１０ノイズフィルタ１１チップ１２ａ〜１２ｄ磁性体部分１３ａ〜１３ｄ親基板１４ａ〜１４ｃ磁性体シート１５ａ〜１５ｃ磁性体グリーンシート１６ａ，１６ｂインダクタ用電極１８スルーホール２０ａ〜２０ｃ接合層２２ａ〜２２ｄ，２４ａ〜２４ｄ外部電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者今田勝久京都府長岡京市天神２丁目26番10号株式会社村田製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の磁性体部分、それぞれが前記複数の磁性体部分の内部に形成される複
数のインダクタ用電極、前記複数の磁性体部分の間に形成され、前記複数の磁性
体部分を接合するための樹脂またはガラスからなる接合
層、および前記複数のインダクタ用電極に接続される複
数の外部電極を含む、電子部品。
【請求項２】それぞれの内部にインダクタ用電極を有
する複数の磁性体部分を準備する工程、前記複数の磁性体部分を樹脂またはガラスからなる接合
層で接合する工程、および前記複数のインダクタ用電極
に接続される複数の外部電極をスパッタで形成する工程
を含む、電子部品の製造方法。