JPH0736527A

JPH0736527A - 形状測定方法および装置

Info

Publication number: JPH0736527A
Application number: JP5155432A
Authority: JP
Inventors: Hideki Tanaka; 秀規田中; Yasuo Okazawa; 康夫岡沢; Kenzo Sato; 賢蔵佐藤
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1993-06-25
Filing date: 1993-06-25
Publication date: 1995-02-07

Abstract

(57)【要約】【構成】被測定物の外形に沿って予め決められた各測定
点に対して測定端子７０を相対移動させて、該測定端子
から得られる出力と、各測定点ごとの測定端子の位置を
測長計９１により測定して、各測定点について、それら
の位置と測定端子の出力とから位置を求めることによ
り、被測定物の形状を求める。この場合において、測定
端子７０を被測定物の目的の測定点に対して相対移動さ
せつつ、測定端子の出力を、予め定めたタイミングで、
逐次取り込むと共に、上記タイミングに同期して、測定
端子の位置を測定する。各測定点について、測定端子出
力および位置データに基づいて、測定端子出力が所定の
値となる時の測定端子の位置を求める。この時の測定端
子の位置に基づいて、被測定物の形状を求める。【効果】使用する測定端子の精度、感度および非直線性
の影響を受けずに測定が行なえて、正確な形状測定がで
きる。また、本発明によれば、測定端子の出力が安定す
るまでの待ち時間を必要とせず、測定時間を短縮するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、測長計とプローブとを
有し、被測定物の形状測定方法および装置に係り、例え
ば、工作機械等で加工されるワークの形状を測定するこ
とに好適な形状測定方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】被測定物の形状測定を行なう装置とし
て、従来の形状測定装置は、被測定物に対して相対移動
可能に設けられて、被測定物の相対位置関係を検出する
測定端子（プローブ）と、この測定端子について、基準
位置（原点位置）からの距離を測定する測長計とを有す
る。この形状測定装置では、測定端子を被測定物の計測
すべき面に突き当たる位置に移動させて、被測定物に測
定端子が当接した状態での当該測定端子に生じている変
位を読み取る。この変位と、測長計による当該測定端子
の原点からの距離（座標）とに基づいて、被測定物の測
定端子が当接している位置の座標を求める。このような
操作を、被測定物の外周について適当な間隔で行なうこ
とにより、被測定物の外周の形状が座標の集合として求
まる。

【０００３】図５は、従来の形状測定の手順の一例を示
す。すなわち、まず、形状測定を行なうための原点位置
の座標を測定する（ステップ５０１）。次に、測定端子
を、被測定物の理想的な形状に対応する目的の測定点に
移動させる（ステップ５０２）。ここで、測定端子の振
動等が停止して、安定状態となった後、測定端子の出力
を読み取る（ステップ５０３）。測定端子の出力を、距
離に換算して、理想的な形状に対する誤差を求める（ス
テップ５０４）。以上の手順を予め定めた測定点につい
て行ない、測定点数が目的の点数となったとき、測定を
終了する（ステップ５０５）。各測定点についての誤差
を出力する（ステップ５０６）。この誤差と理想形状の
座標とに基づいて、被測定物の形状を求めることができ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の形状測定装置は、測定端子の出力値を用いて、被測定
物の形状を求めているので、測定端子の感度や、非直線
性が、測定値に直接影響するという問題がある。また、
測定端子自体の精度が、測定値に直接影響する。

【０００５】さらに、測定端子は、それを目的位置まで
移動して、停止させる場合、慣性により、出力値が振動
する。このため、停止した位置での出力値そのものを用
いる場合には、出力が安定するまで測定を待つ必要があ
る。そのため、測定に時間がかかるという問題がある。

【０００６】本発明の目的は、使用する測定端子の精
度、感度および非直線性の影響を受けずに測定が行なえ
て、正確な形状測定ができる形状測定方法および装置を
提供することにある。

【０００７】また、本発明の他の目的は、測定端子の出
力が安定するまでの待ち時間を必要とせず、測定時間を
短縮することができる形状測定方法および装置を提供す
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の一態様によれば、被測定物の外形に沿って
予め決められた各測定点に対して測定端子を相対移動さ
せて、該測定端子から得られる出力と、各測定点ごとの
測定端子の位置を測定して、各測定点について、それら
の位置と測定端子の出力とから位置を求めることによ
り、被測定物の形状を求める形状測定方法において、測
定端子を被測定物の目的の測定点に対して相対移動させ
つつ、測定端子の出力を、予め定めたタイミングで、逐
次取り込むと共に、上記タイミングに同期して、測定端
子の位置を測定し、各測定点について、測定端子出力お
よび位置データに基づいて、測定端子出力が所定の値と
なる時の測定端子の位置を求め、この時の測定端子の位
置に基づいて、被測定物の形状を求めることを特徴とす
る形状測定方法が提供される。

【０００９】また、本発明の他の態様によれば、被測定
物に対して相対移動可能に設けられて、被測定物の相対
位置関係を検出する測定端子と、この測定端子の位置を
測定する位置測定手段と、測定端子を、被測定物に対し
て相対移動させる移動機構とを有する形状測定装置にお
いて、測定端子を被測定物の目的の測定点に対して相対
移動させているとき、測定端子の出力を、予め定めたタ
イミングで、逐次取り込むと共に、上記タイミングに同
期して、位置測定手段から出力される位置データを取り
込むデータ入力手段と、上記取り込まれた測定端子出力
および位置測定手段の位置データを記憶する記憶手段
と、記憶された測定端子出力および位置データを記憶手
段から読みだして、測定端子出力が所定の値となる時の
測定端子の位置を求める位置算出手段とを備えることを
特徴とする形状測定装置が提供される。

【００１０】上記形状測定装置は、被測定物の理論形状
を表わす位置データを各測定点毎に予め記憶する理論形
状記憶手段と、上記各測定点ごとに、測定された位置と
理論形状の位置データとの誤差を求める誤差算出手段と
をさらに有することができる。

【００１１】また、測定端子の出力を取り込む、予め定
めたタイミングは、時間および距離のいずれかを単位と
して定めることができる。

【００１２】上記した各態様において、測定端子出力が
所定の値となるときの所定の値は、測定端子出力の出力
レンジの範囲内で、好ましい値を選ぶことができる。具
体的には、例えば、０とすることができる。

【００１３】

【作用】本発明では、測定端子を被測定物の目的の測定
点に対して相対移動させつつ、測定端子の出力を、予め
定めたタイミングで、逐次に取り込む。このタイミング
は、時間または移動距離を単位として決められる。この
単位を細かくすることにより、精度を上げることができ
る。また、このタイミングに同期して、測定端子の位置
を測定する。この測定は、位置測定手段により、例え
ば、予め定められた原点を基準として測定される。測定
端子の出力および位置測定手段の出力は、例えば、記憶
手段に記憶される。

【００１４】次に、各測定点について、測定端子出力お
よび位置データに基づいて、測定端子出力が所定の値
（以下、０であるとして説明する）となる時の測定端子
の位置を求める。この位置は、測定端子の出力がちょう
ど０であるときは、その時の位置測定手段の値、０でな
いときは、その前後の位置測定手段の値を、例えば、補
間して得られる値、または、０に近いときの位置測定手
段の値とする。具体的には、位置データの変化と測定端
子の出力とを、それぞれ測定回数を入力とする式で表
し、測定端子の出力信号の式の値が±０になる時の測定
回数を用いて、位置データの式から位置データを算出し
た値を、測定点の位置を示す値とする。

【００１５】この測定端子の位置を示すデータに基づい
て、被測定物の形状を求めることができる。

【００１６】このように、本発明では、測定端子の出力
値をそのまま使用するのでなく、０となる時点の検出に
用いる。したがって、測定端子の精度、感度、非直線性
の影響を受けない。

【００１７】また、測定端子を移動する過程において、
出力をサンプリングするので、測定のために測定端子を
停止させる必要がない。そのため、測定端子の出力値
に、停止する場合に生じる振動が発生しない。したがっ
て、従来のように、出力が安定するまで測定を待つ必要
がなく、そのため、短時間に測定が行なえる。

【００１８】なお、本発明は、形状の測定のみならず、
形状の理論値に対する評価を行なうことにも利用でき
る。この場合は、理論形状に対応する位置データと測定
された位置データとの誤差を算出して、被測定物の形状
についての、理論形状との差異を評価することができ
る。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
して説明する。

【００２０】図１に、本発明の測定装置の実施例の構成
の概要を示す。図２に、本実施例のハードウエアシステ
ム構成の一例を示す。また、図３に、本実施例における
機能の概要を示す。

【００２１】図１において、本実施例の形状測定装置
は、形状測定を行なうための位置測定装置６０と、位置
測定装置の制御および測定データの処理を行なう制御装
置１０とを有する。

【００２２】位置測定装置６０は、被測定物５０に対し
て相対移動可能に設けられた、被測定物の相対位置関係
を検出する測定端子７０と、予め定めた原点を基準とし
て、この測定端子７０の位置を測定する位置測定器９０
と、測定端子７０を、被測定物に対して相対移動させる
移動機構８０とを有する。

【００２３】この位置測定装置６０は、本実施例では、
工作機械に設けられている。そのため、移動機構８０
は、工作機械の機構を利用している。すなわち、移動機
構８０は、被測定物５０であるワークを載置するステー
ジ８１と、ステージ８１を移動自在に支持するための支
持台８２と、ステージ８１を必要量移動させるためのス
テージ駆動装置８３と、工具５１および測定端子７０を
支持するためのステージ８４と、ステージ８４を移動自
在に支持するための支持台８５と、ステージ８４を必要
量移動させるためのステージ駆動装置８６とを有する。
ステージ駆動装置８３，８６は、それぞれ制御装置１０
により動作が制御される。ステージ８１，８４とは、互
いに直交する方向に移動される。

【００２４】なお、移動機構は、工作機械のものを利用
せず、独自に有する構成とすることもできる。ただし、
工作機械等において、ワークの形状測定を行なう場合等
においては、その工作機械に位置測定装置を設けて、移
動機構を共用することにより、ワークを測定装置に移す
必要がなくなるので、位置決めなどの手間がかからない
利点がある。

【００２５】測定端子７０は、例えば、差動トランスに
より構成され、中心位置から±の変位量を示す信号を出
力する。測定端子７０は、本実施例では、接触式の例を
示すが、非接触式であってもよい。

【００２６】位置測定器９０は、本実施例では、光学式
の測長計９１が用いられる。すなわち、ステージ８１に
ミラー９４が、ステージ８４にミラー９６がそれぞれ取
り付けられ、前者には、ミラー９２および９３を介し
て、また、後者には、ミラー９５を介して、それぞれ光
線が入射される。本実施例の測長計９１は、ミラー９４
および９６の変位を光学的に測定すると共に、予め定め
た原点を基準とする座標データを出力する。本実施例で
は、工作機械に備え付けられているものを共用している
が、独自に設けてもよい。

【００２７】制御装置１０は、図２に示すように、中央
処理ユニット（ＣＰＵ）１０１と、ＣＰＵ１０１のプロ
グラムおよび各固定データを記憶する第１のメモリ（Ｒ
ＯＭ）１０２と、外部から読み込んだデータ、演算結果
等を格納する第２のメモリ（ＲＡＭ）１０３と、外部の
ホストコンピュータ４０との接続を行なうホストコンピ
ュータインタフェース１０４と、測長計９１との接続を
行なう測長計インタフェース１０５と、ＣＰＵから制御
信号をアナログ信号に変換してステージ駆動装置８３，
８６に出力するＤ／Ａ変換器１０６と、測定端子７０か
らの出力信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器
１０７とを有する。なお、入力装置、表示装置等は、本
実施例では、ホストコンピュータ４０に設けられている
ものを用いる。もちろん、制御装置１０に、入力装置お
よび表示装置を接続する構成としてもよい。

【００２８】制御装置１０は、ＣＰＵ１０１および第
１、第２のメモリ１０２，１０３により、後述する図３
示す各種機能を実行する。

【００２９】すなわち、それ自身の測定動作プログラム
を生成する手段として、測定パラメータ入力部１１と、
測定パラメータ記憶部１２と、測定端子制御プログラム
作成部１３と、測定端子制御プログラム記憶部１４とを
有する。

【００３０】測定パラメータ入力部１１は、例えば、ホ
ストコンピュータ４０において予め作成された、被測定
物の形状を表す式、その式の係数、使用する測定端子の
先端部の半径等の各種値を、ホストコンピュータインタ
フェース１０４を介して取り込む。測定パラメータ記憶
部１２は、第２のメモリ１０３に設けられ、上記測定パ
ラメータを記憶する。測定端子制御プログラム作成部１
３は、第１のメモリ１０２に記憶されているプログラム
に基づいて、第２のメモリ１０３に記憶されている測定
パラメータを参照して、測定端子７０が被測定物の形状
を測定する手順および動作を制御するプログラムを作成
する。測定端子制御プログラム記憶部１４は、第２のメ
モリ１０３に設けられ、作成された測定端子制御プログ
ラムを記憶する。

【００３１】測定パラメータの一例を図４に示す。ここ
では、測定端子のパラメータ、形状を表すパラメータ、
測定条件の一例を示す。

【００３２】測定端子制御プログラムとしては、後述す
る図６および７のフローチャートが示す測定手順を実現
するためのものがある。

【００３３】また、制御装置１０は、測定端子制御プロ
グラムに基づいて、被測定物５０に対し測定端子７０を
相対移動させるための移動指令を作成する移動指令作成
部１５と、移動指令および測長計９１の出力信号に基づ
いて、ステージ駆動装置８３，８６の移動を制御するサ
ーボ制御部１６とを有する。これらは、測定端子を被測
定物の目的の測定点に対して相対移動させる手段として
機能する。

【００３４】さらに、制御装置１０は、測定端子制御プ
ログラムに基づいて、測定パラメータ記憶部１２に記憶
されるパラメータを参照すると共に、移動指令作成部１
５で作成される移動指令とのタイミングを計って測定手
順を制御する測定制御部１７と、測定制御部１７の制御
下に、測定端子７０および測長計９１からの出力データ
を取り込むデータ入力部１８と、この出力データについ
て、位置データの算出を行なう位置データ算出部２０
と、この位置データと予め与えられている被測定物の形
状データとから両者の誤差を算出する誤差算出部２１
と、取り込まれた出力データ、算出された位置データお
よび誤差データをそれぞれ記憶するデータ記憶部１９
と、データ記憶部１９に格納されるデータを出力するデ
ータ出力部２２とを有する。これらは、測定端子の出力
および位置測定器から出力される位置データを、予め定
めたタイミングで逐次取り込むデータ入力手段と、上記
取り込まれた測定端子出力および位置測定器９０の位置
データを記憶する記憶手段と、記憶された測定端子出力
および位置データを記憶手段から読みだして、測定端子
出力が０となる時の測定端子の位置を求める位置算出手
段と、測定された位置データと理論形状との誤差を算出
する誤差算出手段として機能する。

【００３５】測定制御部１７は、指令位置座標データ
と、測定制御プログラムと、測定パラメータデータよ
り、各測定点について、測定開始位置から測定終了位置
までの間を、予め定めたタイミングごとに区切り、デー
タ入力命令をデータ入力部１２に出力し、測定終了位置
に達すると、測定終了信号を位置データ算出部１４に出
力する。本実施例では、タイミングは、微小単位時間ご
とに設定される。ただし、微小単位距離ごとに設定する
こともできる。

【００３６】次に、本実施例による形状測定の動作の一
例について、説明する。

【００３７】形状測定にあたり、必要な測定パラメータ
がすでに入力されて、測定パラメータ記憶部１２に記憶
されているものとする。

【００３８】測定は、先ず、被測定物の形状の原点とな
る位置について、測定端子７０を移動させて、その位置
を測長計９１で測定して、原点となる座標データを出力
する（ステップ６０１）。

【００３９】次に、測定端子制御プログラム作成部１３
は、測定パラメータ記憶部１２よりパラメータデータを
読みだし、そのデータを基に、必要な測定端子制御プロ
グラムを作成して、測定端子制御プログラム記憶部１４
に格納する。その後、移動指令作成部６は、測定端子制
御プログラム記憶部１４から測定端子制御プログラムを
読みだして、移動指令データと指令位置座標データとを
作成する。そして、移動指令データをサーボ制御部１６
に、移動指令データと指令位置座標データを、測定制御
部１７にそれぞれ出力する。サーボ制御部１６は、位置
測定装置６０の移動機構であるステージ駆動装置８３，
８６を制御して、測定端子７０を被測定物に対して相対
移動させて、被測定物の形状の測定を行なわせる。

【００４０】次に、サーボ制御部１６は、移動指令と測
長計９１から出力される座標データとに基づいて、停止
目標位置に向けて、測定端子７０の移動を開始する（ス
テップ６０２）。なお、ここで、測定端子７０の移動と
いう表現は、相対移動であって、便宜上の表現である。
実際には、ステージ８１および８４が移動される。

【００４１】測定制御部１７は、データ入力部１８に対
し、データ入力命令を予め定めたタイミングで逐次出力
する。これを受けて、データ入力部１８は、測定端子７
０の移動中に、測定端子７０の出力と測長計９１の出力
とを、逐次取り込んで、データ記憶部１９に格納する
（ステップ６０３）。なお、この時、データ入力部１８
は、データ記憶部１９に測定回数をも格納する。

【００４２】測定制御部１７は、測定終了信号を位置デ
ータ算出部２０に出力する。これを受けて、位置データ
算出部２０は、データ記憶部１９から記憶されたデータ
を読みだす（ステップ６０４）。位置データ算出部２０
は、読みだした位置データに基づいて、測定端子７０の
ゼロクロス点を求めると共に、この点の位置座標を算出
して、これをデータ記憶部１９に格納する（ステップ６
０５）。この位置座標の算出については後述する。

【００４３】移動指令作成部１５は、測定点数が予め定
められた点数に達したか否か判定する（ステップ６０
６）。達していない場合には、移動指令作成部１５は、
移動指令データと指令位置座標データとを作成して、上
記ステップ６０２からの手順を次の測定点について繰り
返す。一方、すでに、すべての測定点についての測定が
行なわれている場合には、測定を終了して、誤差算出部
２１を起動する。

【００４４】誤差算出部２１は、測定端子制御プログラ
ム記憶部１４から測定点の理論値の位置座標を読みだ
し、また、データ記憶部１９から測定された位置座標を
読みだす。そして、これらのデータに基づいて、測定デ
ータの理論値に対する誤差を算出する（ステップ６０
７）。

【００４５】データ出力部２２は、誤差が必要な場合に
は、誤差データを、また、位置データが必要な場合に
は、位置データをそれぞれ出力する（ステップ６０
８）。

【００４６】次に、位置の算出について、図７を参照し
て説明する。

【００４７】先ず、位置算出部２０は、測定端子７０と
測長器９１のデータをデータ記憶部１９から読み込む
（ステップ７０１）。

【００４８】次に、先ず、測定端子７０の出力データに
ついて、最小二乗法により、回帰直線ｆｐ（Ｘ_D）を求
める（ステップ７０２）。この計算は、測定データ数を
ｎ、測定端子のデータを｛Ｘ_Dk，Ｙ_pk｝、測定回数をＸ
_Dkとして、

【００４９】

【数１】

【００５０】の（１）、（２）式より、

【００５１】

【数２】ｆｐ（Ｘ_D）＝ａ_p0＋ａ_p1Ｘ_D ……（３）として求められる。同様にして、測長計９１のデータ
を、それぞれ｛Ｘ_Dk，Ｙ_mx _k｝、｛Ｘ_Dk，Ｙ_myk｝とする
と、

【００５２】

【数３】ｆ_mx（Ｘ_D）＝ａ_mx0＋ａ_mx1Ｘ_D ｆ_my（Ｘ_D）＝ａ_my0＋ａ_my1Ｘ_D を、それぞれ得る（ステップ７０３）。図８に、測定デ
ータの式および位置データの式の関係を示す。

【００５３】次に、１次式ｆｐ（Ｘ_D）により、仮ゼロ
クロス点、すなわち、測定端子の出力が±０となる点を
算出する（ステップ７０４）。ついで、求めた仮ゼロク
ロス点を中心とする狭い補間範囲を定める（ステップ７
０５）。そして、狭めた補間範囲で、測定端子７０の出
力から再び１次式ｆｐ’（Ｘ_D）を求める（ステップ７
０６）。

【００５４】さらに、ｆｐ’（Ｘ_D）を用いて、ゼロク
ロス点を決定する。また、ｆ_mx（Ｘ_D），ｆ_my（Ｘ_D）か
ら、ゼロクロスした位置座標を求める（ステップ７０
７）。すなわち、ｆｐ’（Ｘ_D）＝０となるＸ_Dの値よ
り、ｆ_mx（Ｘ_D）およびｆ_my（Ｘ_D）を算出する。

【００５５】以上により、位置座標が求められる。この
位置座標は、データ記憶部１９に格納する（ステップ７
０８）。

【００５６】上記実施例では、理論形状に対する被測定
物の測定データの誤差を算出しているが、位置データの
みを算出して、誤差の算出を省略することもできる。図
９に、その場合の測定手順を示す。同図において、ステ
ップ９０１−９０６までは、図６に示すフローチャート
のステップ６０１−６０６と同じである。本実施例で
は、図６のステップ６０７にある誤差データの算出を行
なわずに、位置データのみを出力する（ステップ９０
７）。

【００５７】また、上記各実施例では、各測定点ごと
に、ゼロクロス点を求めて、それをデータ記憶部に記憶
している。しかし、本発明はこれに限られない。例え
ば、すべての測定点について、測定端子の出力および測
長計の出力を収集した後、それぞれの測定点ごとに、ゼ
ロクロス点を求めるようにしてもよい。

【００５８】さらに、上記実施例では、工作機械に適用
する例を示したが、本発明はこれに限定されない。

【００５９】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、使用す
る測定端子の精度、感度および非直線性の影響を受けず
に測定が行なえて、正確な形状測定ができる。

【００６０】また、本発明によれば、測定端子の出力が
安定するまでの待ち時間を必要とせず、測定時間を短縮
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の測定装置の一実施例の構成の概要を示
すブロック図。

【図２】実施例のハードウエアシステム構成の一例を示
すブロック図。

【図３】実施例における機能の概要を示すブロック図。

【図４】実施例において用いられる測定パラメータデー
タの一例を示す説明図。

【図５】従来の形状測定方法の測定手順示すフローチャ
ート。

【図６】実施例の形状測定手順を示すフローチャート。

【図７】実施例において、測定点における測定端子に測
定結果および測長計の測定結果から位置座標データを求
める手順を示すフローチャート。

【図８】本実施例における測定データの式および位置デ
ータの式の関係を示す説明図。

【図９】本発明の他の実施例における形状測定手順を示
すフローチャート。

【符号の説明】

１０…制御装置、１１…測定パラメータ入力部、１２…
測定パラメータ記憶部、１３…測定端子制御プログラム
作成部、１４…測定端子制御プログラム作成部、１５…
移動指令作成部、１６…サーボ制御部、１７…測定制御
部、１８…データ入力部、１９…データ記憶部、２０…
位置データ算出部、２１…誤差算出部、２２…データ出
力部、４０…ホストコンピュータ、５０…被測定物、６
０…位置測定装置、７０…測定端子、８０…移動機構、
８１，８４…ステージ、８２，８５…支持台、８３，８
６…ステージ駆動装置、９０…位置測定器、９１…測長
計、９２−９６…ミラー。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定物の外形に沿って予め決められた各
測定点に対して測定端子を相対移動させて、該測定端子
から得られる出力と、各測定点ごとの測定端子の位置を
測定して、各測定点について、それらの位置と測定端子
の出力とから位置を求めることにより、被測定物の形状
を求める形状測定方法において、測定端子を被測定物の目的の測定点に対して相対移動さ
せつつ、測定端子の出力を、予め定めたタイミングで、
逐次取り込むと共に、上記タイミングに同期して、測定
端子の位置を測定し、各測定点について、測定端子出力および位置データに基
づいて、測定端子出力が所定の値となる時の測定端子の
位置を求め、この時の測定端子の位置に基づいて、被測定物の形状を
求めることを特徴とする形状測定方法。
【請求項２】請求項１において、被測定物の理論形状を表わす位置データを各測定点毎に
予め記憶し、上記各測定点ごとに、測定された位置と理論形状の位置
データとの誤差を求めることを特徴とする形状測定方
法。
【請求項３】請求項１または２において、測定端子の出
力を取り込む、予め定めたタイミングは、時間および距
離のいずれかを単位として定められる、形状測定方法。
【請求項４】被測定物に対して相対移動可能に設けられ
て、被測定物の相対位置関係を検出する測定端子と、こ
の測定端子の位置を測定する位置測定手段と、測定端子
を、被測定物に対して相対移動させる移動機構とを有す
る形状測定装置において、測定端子を被測定物の目的の測定点に対して相対移動さ
せているとき、測定端子の出力を、予め定めたタイミン
グで、逐次取り込むと共に、上記タイミングに同期し
て、位置測定手段から出力される位置データを取り込む
データ入力手段と、上記取り込まれた測定端子出力および位置測定手段の位
置データを記憶する記憶手段と、記憶された測定端子出力および位置データを記憶手段か
ら読みだして、測定端子出力が所定の値となる時の測定
端子の位置を求める位置算出手段とを備えることを特徴
とする形状測定装置。
【請求項５】請求項４において、被測定物の理論形状を表わす位置データを各測定点毎に
予め記憶する理論形状記憶手段と、上記各測定点ごとに、測定された位置と理論形状の位置
データとの誤差を求める誤差算出手段とをさらに有する
ことを特徴とする形状測定装置。
【請求項６】請求項４または５において、測定端子の出
力を取り込む、予め定めたタイミングは、時間および距
離のいずれかを単位として定められる、形状測定装置。