JPH0733850Y2 - 低温液化ガス用濾過器 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、低温液化ガス用濾過器に関し、詳しくは、内
外二重殻構造の断熱容器からなる低温液化ガス用濾過器
に関する。

〔従来の技術〕

半導体工業等の極微量のパーティクルの存在も問題とな
る用途に低温液化ガス、例えば液化窒素，液化酸素，液
化アルゴン等を用いる際には、該液化ガス中のパーティ
クルを除去するための濾過操作を行っている。

第２図及び第３図は、従来の一般的な低温液化ガス用濾
過器を示すもので、いずれも外槽１の内部に内槽２を配
置し、内外槽間を真空断熱した二重殻構造を採用してい
る。外槽１及び内槽２は、それぞれ上部体1a,2aと下部
体1b,2bとにより形成されており、上部体1a,2aと下部体
1b,2bとは、両者の接合面外周に形成したフランジ3,3で
着脱可能に結合されている。内槽２の内部には通液孔4a
を有する仕切板（濾材支持板）４が形成されており、該
仕切板４の中央部には、支持脚5aと該支持脚5a上部の押
え板5bとからなる濾材固定具５が立設されている。ま
た、内槽２の底板中央には濾過後の液化ガスを導出する
出口管６が設けられており、該出口管６は、外槽１底部
に設けられた貫通金物７を介して外槽下部体1bを貫通し
ている。また内槽２内に設けられる濾材８は、前記通液
孔4aを閉塞するように仕切板４上に載置され、濾材固定
具５の押え板5b下部との間に設けられるスプリング９に
より固定されている。この濾材８は、内外槽1,2の上部
体1a,2aと下部体1b,2bとを前記フランジ3,3で分割して
交換するように形成されている。

そして第２図に示す低温液化ガス用濾過器の液化ガス導
入用の入口管10は、外槽側壁に設けられた貫通金物11を
介して外槽下部体1bを貫通し、内槽下部体2bの側壁に連
通している。また、構造上内槽２上部のパージを入口管
10,出口管６では行えないため、入口管10,出口管６の他
に内槽頂部に開口するパージ管12が内外槽を貫通して設
けられている。一方、第３図に示す低温液化ガス用濾過
器では、外槽頂部にノズルフランジ14を設けて入口管15
に貫通させるとともにルーズフランジ16及びノズル金物
17を設け、該ルーズフランジ16とノズル金物17との間に
Ｏリング18,18を配置して気密性を図っている。

〔考案が解決しようとする課題〕

上記従来の低温液化ガス用濾過器において、第２図に示
す構造では、入口管10の位置の関係から両槽のフランジ
３の形成位置が高くなるために内外槽1,2の容積が大き
くなり、内槽２内のガス溜り空間（上部空間）が大きく
なってしまう。このガス溜り空間が大きいということ
は、高純度及びパーティクル無しを要求される半導体工
業向け液化ガスの濾過器として用いるには大きな障害と
なる。さらにこの種の濾過器では、高清浄度及び放出ガ
スの低減を図るために、内槽２の内面に鏡面仕上げを施
しているが、内槽２の容積が大きいと鏡面仕上げを行う
ための研磨のコストが高くなってしまう。加えて、処理
液を濾材８に均等に流入させることができず、濾材８の
性能を十分に生かすことができなかった。

また、第３図に示す濾過器では、入口管15を内槽２の頂
部に設けているため、内槽２の容積を小さくでき、パー
ジ管も不要にできるが、両槽を上下に分割する際にルー
ズフランジ16,Oリング18を取外さなければならず、内部
に設けた濾材８の交換が面倒であるという欠点を有して
いる。加えて、低温液化ガス導入時の内槽２の熱収縮
が、入口管15のノズル金物17の軸方向の移動となり、気
密度を低下させないためには、ルーズフランジ16のＯリ
ング取付け溝の加工精度やノズル金物17の組立て精度が
高いことが要求され、製造コストも高くなる。

そこで本考案は、槽容積が小さく、ガス溜りを極小にで
き、しかも内槽内の濾材の交換も容易で、かつ低コスト
で製作することのできる低温液化ガス用濾過器を提供す
ることを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記した目的を達成するために、本考案の低温液化ガス
用濾過器は、それぞれ上部体と下部体とを着脱可能に結
合して形成した外槽と内槽とからなり、内槽の内部に濾
材を交換可能に配設した低温液化ガス用濾過器におい
て、濾過後の低温液化ガスの出口管を、前記外槽下部体
を貫通させて内槽下部体の底板中央部に連通させ、低温
液化ガスの入口管を、前記外槽下部体及び内槽下部体の
底部、及び濾材支持板を貫通させて内槽上部体の天板部
近傍中央に開口させるとともに、前記濾材を内槽下部体
に設けた濾材支持板と内槽上部体に設けた濾材固定具と
により挟持したことを特徴としている。

〔作用〕

上記のごとく、入口管及び出口管の取付け位置を槽底部
とすることにより上下部体の分割位置の制限がなくな
り、内槽容積を小さくでき、研磨面積も小さくできる。
また濾材の保持を内槽下部体の濾材支持板と内槽上部体
の濾材固定具とで行うことにより、従来濾材中央に立設
していた濾材固定具を不要とし、前記入口管を槽中央部
に立上がらせて内槽上部体の天板部近傍中央に開口させ
ることができるので、ガス溜りもほとんど無くすことが
でき、パージ管を不要にできる。

〔実施例〕

以下、本考案の一実施例を第１図に基づいて説明する。

本考案の低温液化ガス用濾過器20は、従来と同様に、外
槽21の内部に内槽22を配置し、内外槽間を真空断熱した
二重殻構造を採用している。外槽21及び内槽22は、それ
ぞれフランジ23,23で着脱可能に結合される上部体21a,2
2aと下部体21b,22bとにより形成されており、両者の接
合部には、気密性を保持するためのＯリング24が設けら
れている。

上記内槽下部体22bの上部開口部には、通液孔25aを有す
る水平方向の仕切板（濾材支持板）25が形成され、内槽
上部体22aの天板部内周には、濾材固定用の押え棒（濾
材固定具）26,26が複数本形成されている。濾材27は、
前記通液孔25aを閉塞するように仕切板25上に載置さ
れ、該仕切板25と前記押え棒26との間に挟持されて内槽
22内に保持されている。

そして液化ガス導入導出用の入口管28と出口管29は、外
槽下部体21bの底部に設けた貫通金物30を介して外槽下
部体21bを貫通し、内槽下部体22bの底部に連通してい
る。即ち、出口管29は槽軸方向中心線上に配置されて内
槽下部体22bの底部に開口し、入口管28は出口管29に隣
接して両槽の底部を貫通し、内槽下部体22b内で屈曲し
て槽軸方向中心線上に位置した後、さらに前記仕切板25
と濾材27の中心部を立上がって内槽上部体22aの天板部
近傍まで至り、天板部の僅かに下部で開口している。

尚、上記入口管28の屈曲部は、管内の液の流通を妨げ
ず、かつ濾過後の液の流通も妨げないようにできるだけ
滑かに屈曲させることが望ましいが、内槽下部体22bの
上下寸法を考慮して設定する。また、同様に入口管28の
開口部と内槽上部体22aの天板部との距離は、入口管28
から吐出する液の流れを妨げない距離を保ちつつ、天板
部周囲に液溜り部を形成しないように設定することが望
ましい。これらの各部の寸法は、濾過する液量等により
適宜に設定することが可能である。

また、出口管29は、内槽22内及び内容物を洗浄，パージ
する際の不純物の抜け口となるため、液や不純物を完全
に抜出すことができるように、内槽下部体22bの最下部
に配置されている。

このように低温液化ガス用濾過器20を形成することによ
り、フランジ23の位置制限がなくなり、両槽を小さく形
成することができ、内槽22内の研磨面積を小さくして製
作コストを低減できる。また、濾材27の保持を内槽下部
体22bの仕切板25と内槽上部体22aの押え棒26とで行うこ
とにより、従来濾材中央に立設させていた濾材固定具を
不要とし、前記入口管28を内槽中央部に立上がらせるこ
とができるので、入口管28を内槽上部体22aの天板部近
傍中央に開口させることができ、内槽上部体22aの容積
減少とも相俟ってガス溜りをほとんど無くせるととも
に、パージ管を設ける必要もなくなる。

さらに外槽下部体21bを貫通する入口管28及び出口管29
を、一つの貫通金物30で貫通させたので、該貫通部の処
理も容易となり、部品点数や組立て工数の低減も図るこ
とができる。また、各部の低温熱収縮に対して十分に対
応することができ、収縮を考慮した精密な加工，組立て
が不要となる。

加えて、フランジ23部分の密封は、一般的なＯリングを
用いるだけで十分であり、特別な加工を必要としない。
さらに内部の濾材27の交換も、両槽の上部体21a,22aを
フランジ23,23から分解して取外すだけで良く、容易に
行うことができる。

尚、上記実施例では、入口管と出口管とを独立させて外
槽底部を貫通させたが、例えば出口管の内部に入口管を
収納した二重管とし、両管を一体として槽底部中央を貫
通させることも、本考案の範囲内である。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案の低温液化ガス用濾過器
は、出口管を外槽下部体を貫通させて内槽下部体の底板
中央部に連通させ、入口管を外槽下部体，内槽下部体の
底部及び濾材支持板を貫通させて内槽の天板部近傍中央
に開口させるとともに、前記濾材を内槽下部体に設けた
濾材支持板と内槽上部体に設けた濾材固定具とにより挟
持したから、内槽容積を小さくでき、研磨面積を小さく
できるとともに、入口管を槽中央部に立上がらせて内槽
上部体の天板部近傍中央に開口させることができるの
で、ガス溜りもほとんど無くすことができ、パージ管を
不要にできる。

さらに各部の低温熱収縮に対して十分に対応することが
でき、収縮を考慮した精密な加工，組立てが不要とな
り、上部体と下部体との間の密封も、一般的なＯリング
を用いるだけで十分であり、特別な加工を必要としな
い。また、内部の濾材の交換も、両槽の上部体をフラン
ジから分解して取外すだけで良く、容易に行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す低温液化ガス用濾過器
の断面図、第２図及び第３図はそれぞれ従来の低温液化
ガス用濾過器の断面図である。 20……低温液化ガス用濾過器、21……外槽、22……内
槽、23……フランジ、24……Ｏリング、25……仕切板、
26……押え棒、27……濾材、28……入口管、29……出口
管、30……貫通金物

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】それぞれ上部体と下部体とを着脱可能に結
   合して形成した外槽と内槽とからなり、内槽の内部に濾
   材を交換可能に配設した低温液化ガス用濾過器におい
   て、濾過後の低温液化ガスの出口管を、前記外槽下部体
   を貫通させて内槽下部体の底板中央部に連通させ、低温
   液化ガスの入口管を、前記外槽下部体及び内槽下部体の
   底部、及び濾材支持板を貫通させて内槽上部体の天板部
   近傍中央に開口させるとともに、前記濾材を内槽下部体
   に設けた濾材支持板と内槽上部体に設けた濾材固定具と
   により挟持したことを特徴とする低温液化ガス用濾過
   器。