JPH07332953A - 回転多面鏡の角度誤差測定方法及びこれに用いる測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】オートコリメータの光軸の傾きや回転ステージ
上における回転多面鏡の配設状態に関係なく、回転多面
鏡の分割角度誤差Δα及び傾斜角度誤差Δβを正確に測
定することができ、且つ、安価に実施することができる
回転多面鏡の角度誤差測定方法を提供する。 【構成】回転多面鏡１０に形成された複数の反射鏡面１
１〜１４のうち、互いに隣接する第一及び第二の反射鏡
面１１，１２が形成する角度の二等分線を主回転ステー
ジ３０の法線に合致させて、上記回転多面鏡１０を上記
主回転ステージ３０上に配設する第一の工程と、オート
コリメータ４０によって上記第一の反射鏡面１１の水平
方向角度θ₁を測定する第二の工程と、上記主回転ステ
ージ３０を１８０°回転させ、上記オートコリメータ４
０によって上記第二の反射鏡面１２の水平方向角度θ₂
を測定する第三の工程と、測定された水平方向角度θ₁
及びθ₂との和を演算し、これを上記第一の反射鏡面１
１と第二の反射鏡面１２との間に存在する傾斜角度誤差
Δβとする第四の工程とから構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばレーザープリン
タ等の走査光学系に用いられる回転多面鏡の角度誤差測
定方法に係り、詳細には、反射鏡面の傾斜角度誤差並び
に分割角度誤差を測定するための方法及びその装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】図１に示すように、回転多面鏡１では互
いに隣接する反射鏡面２の法線が形成する分割角度α
と、反射鏡面２と底面３の法線とが形成している傾斜角
度β（通常はβ＝０°）が厳密に定められている。これ
ら角度に誤差が存在すると反射鏡面２で偏向した光ビー
ムがふらつき、例えばレーザープリンタでは走査ライン
のバラツキ等から鮮明な画像を形成することが不可能と
なるからである。

【０００３】そこで、従来から回転多面鏡の製作段階に
おいて、上記分割角度α及び傾斜角度βの測定が行われ
ている。従来の測定方法はといえば、図２に示すよう
に、回転ステージ４上に回転多面鏡１を載置すると共
に、オートコリメータ５の測定光を反射鏡面２に向かっ
て射出し、上記回転ステージ４を回転多面鏡１の分割角
度αずつ回転させて、各反射鏡面２についてオートコリ
メータ５の水平方向角度を読み取り、この読み取り値の
差から分割角度誤差Δαを算出していた。また、同時に
各反射鏡面２についてオートコリメータ５の垂直方向角
度を読み取り、この読み取り値の差から傾斜角度誤差Δ
βを算出していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この従来の方法では、
分割角度誤差Δαの測定誤差は回転ステージの指定回転
角度に対する回転誤差及びオートコリメータの測定誤差
のみである。このため、高い回転位置決め精度を備えた
回転ステージを使用すれば、分割角度誤差Δαの測定誤
差を１秒以内に抑えることができる。しかし、傾斜角度
誤差Δβの測定誤差は回転多面鏡を載置した面に対する
オートコリメータの光軸の傾きであり、この傾きを補正
することは困難である。

【０００５】回転多面鏡の傾斜角度誤差を測定する他の
方法としては、例えば特開平１−６３９１６号公報に示
されるように、回転多面鏡を実際に回転させて光ビーム
を反射させ、光ビームの振れ幅から反射鏡面の動的面倒
れ角度を測定するものが知られている。しかし、この測
定方法では回転多面鏡の回転精度によって測定値が大き
く変化することから、実際の傾斜角度誤差Δβを測定す
るものではない。

【０００６】また、他の方法としては、特開昭６３−１
７９３１４号公報に示されるように、回転多面鏡の内部
に測定光を入射させると共に、この入射光を底面と反射
鏡面で反射させた後に出射させ、この出射測定光から反
射鏡面の傾斜角度を測定する方法も知られている。しか
し、この測定方法では、例えばプラスチック製の回転多
面鏡のように内部の屈折率が複雑に変化しているものに
ついては測定値に誤差が生じ易く、また例えば金属性の
回転多面鏡のように透明体でないものについては適用で
きないといった欠点がある。

【０００７】一方、図２に示す測定方法においては、極
めて高精度に製作された回転多面鏡原器を測定すること
によってオートコリメータの光軸の傾きを補正すること
もできるが、原器の製作にコストが嵩むといった欠点が
ある。また、回転多面鏡の分割角度α及び傾斜角度βが
異なる毎に別々の原器を必要とするため、複数の種類の
回転多面鏡を測定しようとすれば、それだけコストが嵩
むことになる。

【０００８】更に、回転多面鏡を回転ステージ上に載置
するときに回転多面鏡の底面と被載置面との間に塵等が
挟まると、それだけで測定した傾斜角度βに誤差が生じ
ることになる。このことは原器を測定する場合であって
も同じであり、原器を測定したからといってオートコリ
メータの光軸の傾きを補正できる保証はない。

【０００９】本発明はこのような問題点に鑑みなされた
ものであって、その目的とするところは、オートコリメ
ータの光軸の傾きや回転ステージ上における回転多面鏡
の配設状態に関係なく、回転多面鏡の分割角度誤差Δα
及び傾斜角度誤差Δβを正確に測定することができ、且
つ、安価に実施することができる回転多面鏡の角度誤差
測定方法を提供することにある。

【００１０】また、本発明の他の目的はこの測定方法を
効率良く実施するための測定装置を提供することにもあ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の測定方法のうち、回転多面鏡の傾斜角度誤差Δβの
測定方法は、回転多面鏡に形成された複数の反射鏡面の
うち、互いに隣接する第一及び第二の反射鏡面が形成す
る角度の二等分線を回転ステージの法線に合致させて、
上記回転多面鏡を上記回転ステージ上に配設する第一の
工程と、オートコリメータによって上記第一の反射鏡面
の水平方向角度θ₁を測定する第二の工程と、上記回転
ステージを１８０°回転させ、上記オートコリメータに
よって上記第二の反射鏡面の水平方向角度θ₂を測定す
る第三の工程と、測定された水平方向角度θ₁及びθ₂と
の和を演算し、これを上記第一の反射鏡面と第二の反射
鏡面との間に存在する傾斜角度誤差Δβとする第四の工
程とから構成される。

【００１２】また、本発明の測定方法のうち、回転多面
鏡の分割角度誤差Δαの測定方法は、回転多面鏡に形成
された複数の反射鏡面のうち、互いに隣接する第一及び
第二の反射鏡面が形成する角度の二等分線を回転ステー
ジの法線に合致させて、上記回転多面鏡を上記回転ステ
ージ上に配設する第一の工程と、オートコリメータによ
って上記第一の反射鏡面の垂直方向角度ω₁を測定する
第二の工程と、上記回転ステージを１８０°回転させ、
上記オートコリメータによって上記第二の反射鏡面の垂
直方向角度ω₂を測定する第三の工程と、測定された垂
直方向角度ω₁及びω₂との和を演算し、これを上記第一
の反射鏡面と第二の反射鏡面との間に存在する分割角度
誤差Δαとする第四の工程とから構成される。

【００１３】これら測定方法によれば、第一の工程から
第四の工程までを順次行うことにより、互いに隣接する
二つの反射鏡面の分割角度誤差Δα及び傾斜角度誤差Δ
βを夫々測定することができる。回転多面鏡に具備され
た全ての反射鏡面について、互いに隣接する反射鏡面と
の分割角度誤差Δα及び傾斜角度誤差Δβを測定するに
は、第四の工程が終了した後に回転多面鏡をその回転軸
心を中心として分割角度αだけ順次回転させ、その都度
上記測定方法を実施すればよい。

【００１４】また、演算によって求められた傾斜角度誤
差Δβはオートコリメータの光軸の傾きに起因する測定
誤差を含んだものとなるが、全ての反射鏡面の間に存在
する傾斜角度誤差Δβを上記測定方法で求めた後に、こ
れら傾斜角度誤差Δβの総和を反射鏡面数で割った値δ
を演算すれば、この演算値δがオートコリメータの光軸
の傾きに起因する測定誤差である。従って、この演算値
δを用いて演算で求めた傾斜角度誤差Δβを補正すれ
ば、オートコリメータの光軸の傾きに関係なく正確な傾
斜角度誤差Δβ′を求めることができる。このことは、
分割角度誤差Δαの測定についても同じである。

【００１５】一方、これら測定方法を実施するための装
置は、１８０°ずつ回転する主回転ステージと、回転多
面鏡に形成された複数の反射鏡面のうち、互いに隣接す
る第一及び第二の反射鏡面が形成する角度の二等分線を
主回転ステージの法線に合致させて、上記回転多面鏡を
上記主回転ステージ上に配設する多面鏡固定手段と、上
記回転多面鏡の第一又は第二の反射鏡面の角度誤差を測
定するオートコリメータとから構成される。

【００１６】この装置構成は最も基本的なものである
が、上述のように回転多面鏡をその分割角度αずつ回転
させて全ての反射鏡面について傾斜角度誤差Δβを測定
することを考慮すれば、上記多面鏡固定手段は回転多面
鏡をその回転軸心を中心として分割角度αずつ回転させ
ることが可能な副回転ステージを備えたものであること
が望ましい。

【００１７】また、反射鏡面の傾斜角度βは回転多面鏡
の種類によって異なった設定となっているので、各種回
転多面鏡の分割角度α及び傾斜角度βを測定可能とする
ためには、回転多面鏡の底面を上記主回転ステージの法
線に対して任意の角度に傾斜させることが可能なゴニオ
ステージを上記多面鏡固定手段に設けることが望まし
い。

【００１８】

【作用】上記技術的手段によれば、回転多面鏡を回転ス
テージ上に配設する際に、複数の反射鏡面のうち互いに
隣接する第一及び第二の反射鏡面が形成する角度の二等
分線を回転ステージの法線に合致させているので、第一
の反射鏡面をオートコリメータの視野に捕らえた後に回
転ステージを１８０°だけ回転させると、今度は第二の
反射鏡面をオートコリメータの視野に捕らえることがで
きる。

【００１９】従って、第一の反射鏡面についてその水平
方向角度θ₁をオートコリメータで読み出した後、回転
ステージを１８０°だけ回転させ、第二の反射鏡面につ
いてその水平方向角度θ₂をオートコリメータで読み出
す。このとき第一の反射鏡面と第二の反射鏡面とでは、
回転ステージを１８０°回転させたことによって、オー
トコリメータに対する傾斜角度の関係が反転しているの
で、夫々の反射鏡面について読み出した水平方向角度θ
₁及びθ₂の和、すなわちθ₁＋θ₂が第一の反射鏡面と第
二の反射鏡面との傾斜角度誤差Δβとなる。

【００２０】一方、同様にして第一の反射鏡面について
その垂直方向角度ω₁を、第二の反射鏡面についてその
垂直方向角度ω₂をオートコリメータで読み出し、これ
ら垂直方向角度ω₁及びω₂の和、すなわちω₁＋ω₂を求
めると、これが第一の反射鏡面と第二の反射鏡面との分
割角度誤差Δαとなる。

【００２１】この測定方法において、回転ステージに対
する回転多面鏡の傾きに起因する測定誤差は、回転ステ
ージを１８０°回転させたことにより、水平方向角度θ
₁及びθ₂あるいは垂直方向角度ω₁及びω₂の中に互いに
逆符号となって含まれている。従って、この測定誤差は
θ₁及びθ₂の和あるいはω₁及びω₂の和を求める上記演
算によって打ち消されることになる。このため、上記測
定誤差は傾斜角度誤差Δβ及び分割角度誤差Δαの算出
には全く影響を及ぼさない。更に、オートコリメータの
光軸の傾きに起因する測定誤差は、全ての反射鏡面間の
傾斜角度誤差Δβあるいは分割角度誤差Δαの総和を反
射鏡面数で割った演算値δを求めることにより、この測
定誤差を補正することができる。

【００２２】

【実施例】以下、添付図面に基づいて本発明の測定方法
及びこれに用いる測定装置を詳細に説明する。図３は本
発明方法を実施するための装置の概略を示すものであ
る。同図において、符号１０は測定対象である回転多面
鏡、符号２０はこの回転多面鏡１０が固定されたアライ
メント調整ステージ（多面鏡固定手段）、符号３０は回
転軸Ｏの周りに上記アライメント調整ステージ２０を回
転させる主回転ステージ、符号４０は測定位置に設定さ
れた上記回転多面鏡１０の反射鏡面（図３では符号１
１）の水平方向角度θ及び垂直方向角度ωを夫々測定す
るオートコリメータである。また、上記オートコリメー
タ４０の測定光はミラー４１，４２によって反射され、
測定位置に設定された回転多面鏡１０の反射鏡面１１に
入射する。

【００２３】上記主回転ステージ３０及びオートコリメ
ータ４０は振動防止対策が施された剛性の高い定盤５０
の上に設置されている。このように主回転ステージ３０
とオートコリメータ４０とを同一の定盤５０上に設置す
ることにより、外部振動に対して回転多面鏡１０とオー
トコリメータ４０とに同一の振動周期が現れるため、オ
ートコリメータ４０による測定精度の低下を防止するこ
とができる。

【００２４】図４は上記アライメント調整ステージ２０
の詳細を示すものである。同図において、符号２１は回
転多面鏡１０をその回転軸心を中心として指定角度ずつ
回転させる副回転ステージ、符号２２は回転多面鏡１０
を副回転ステージ２１と共に傾斜させ、回転多面鏡１０
の底面を上記主回転ステージ３０の法線に対して任意の
角度に設定する角度調整用ゴニオステージ、符号２３は
回転多面鏡１０の配設高さを調整する高さ調整ステー
ジ、符号２４は主回転ステージ３０上における回転多面
鏡１０の水平方向位置を調整するＸ−Ｙステージであ
る。

【００２５】オートコリメータ４０によって反射鏡面１
１の水平方向角度θ及び垂直方向角度ωを夫々測定する
場合、図５に示すように、上記ゴニオステージ２２を主
回転ステージ３０の法線に対して反射鏡面１１の傾斜角
度βだけ傾けて使用する。これにより、オートコリメー
タの光軸を動かすことなく、傾斜角度βの異なる各種回
転多面鏡について測定を行うことができる。

【００２６】次に、この測定装置を用いて行う本発明の
測定方法について説明する。説明を容易にするため、こ
こでは傾斜角度β＝０の回転多面鏡１０を例に挙げて説
明する。先ず、上記副回転ステージ２１に回転多面鏡１
０を固定する。このとき回転多面鏡１０の回転軸心は副
回転ステージ２１の回転軸に一致させておく。次いで、
上記副回転ステージ２１を回転させ、互いに隣接する回
転多面鏡１０の第一及び第二の反射鏡面１１，１２が形
成する角度の二等分線を主回転ステージ３０の法線に合
致させる。これにより第一の反射鏡面１１が測定位置に
設定されたことになる（図３に示す状態）。但し、この
状態でオートコリメータ４０が第一の反射鏡面１１の水
平方向角度θ及び垂直方向角度ωを測定できないとき
は、高さ調整ステージ２３、Ｘ−Ｙステージ２４あるい
はゴニオステージ２２を調整し、オートコリメータ４０
による測定が行えるようにする。

【００２７】このような回転多面鏡の位置決め作業にお
いて、回転多面鏡１０の第一及び第二の反射鏡面１１，
１２が形成する角度の二等分線を主回転ステージ３０の
法線に合致させる理由は、主回転ステージ３０を１８０
°回転させる前後で互いに隣接する二つの反射鏡面の水
平方向角度θ及び垂直方向角度ωを測定するためであ
る。すなわち図６に示すように、第一の反射鏡面１１が
オートコリメータ４０の視野に捉えられている状態から
主回転ステージ３０を１８０°回転させると、第二の反
射鏡面１２をオートコリメータ４０の視野に捉えること
ができるのである。

【００２８】但し、多面鏡１０が主回転ステージ３０の
回転軸Ｏから水平方向に距離ｄだけ変位している場合に
は、主回転ステージ３０を１８０°回転させた後であっ
ても多面鏡１０は距離ｄだけ変位しているので、上記多
面鏡１０の変位量ｄはオートコリメータ４０の視野幅の
１／２以下でなければならない。従って、上記変位量ｄ
を小さく抑えるためには、図４に示すように、主回転ス
テージ３０の回転軸Ｏが第一及び第二の反射鏡面１１，
１２が形成する角度の二等分線と略合致するのが好まし
い。

【００２９】また、互いに隣接する第一及び第二の反射
鏡面１１，１２の形成する角度の二等分線が主回転ステ
ージ３０の法線に合致したか否かは、主回転ステージ３
０を１８０°反転させることによって確認することがで
きる。すなわち、この二等分線が主回転ステージ３０の
法線に合致していないときは、図７に示すように、主回
転ステージ３０の回転後における多面鏡１０の位置（実
線で表示）が回転前における多面鏡１０の位置（破線で
表示）と完全に重ならないので、オートコリメータ４０
で読み取った第一の反射鏡面１１の垂直方向角度ω₁と
第二の反射鏡面１２の垂直方向角度ω₂とが大きく異な
ることになる。

【００３０】従って、主回転ステージ３０を１８０°反
転させて第一の反射鏡面１１の垂直方向角度ω₁と第二
の反射鏡面１２の垂直方向角度ω₂とを読み取り、仮に
これら読取値が大きく異なる場合には更に副回転ステー
ジ２１を回転させ、再度ω₁及びω₂の値を読み取る。そ
して、この読取値ω₁及びω₂が一致していれば、第一及
び第二の反射鏡面１１，１２の形成する角度の二等分線
が主回転ステージ３０の法線に合致していることにな
る。尚、ここでω₁及びω₂は完全に一致する必要はな
く、略合致していればその誤差分は傾斜角度誤差を算出
する際に打ち消されてしまう。

【００３１】このようにして回転多面鏡１０の位置決め
が終了したら、先ずオートコリメータ４０の視野に捉え
られている第一の反射鏡面１１について水平方向角度θ
₁及び垂直方向角度ω₁を読み取る。読み取りが終了した
ら主回転ステージ３０を１８０°回転させ、第二の反射
鏡面１２について水平方向角度θ₂及び垂直方向角度ω₂
を読み取る。

【００３２】第一の反射鏡面１１と第二の反射鏡面１２
とでは、主回転ステージ３０を１８０°回転させたこと
によって、オートコリメータ４０に対する傾斜角度の関
係が反転しているので、夫々の反射鏡面１１，１２につ
いて読み出した水平方向角度の和、すなわちθ₁＋θ₂が
第一の反射鏡面１１と第二の反射鏡面１２との傾斜角度
誤差Δβ₁₂である。

【００３３】これに続けて第二の反射鏡面１２と第三の
反射鏡面１３との傾斜角度誤差Δβ ₂₃を算出するために
は、副回転ステージ２１を分割角度αだけ回転させ、第
二の反射鏡面１２及び第三の反射鏡面１３について同様
な測定を繰り返せば良い。そして、第二の反射鏡面１２
について新たに得られた水平方向角度θ２と第三の反射
鏡面１３について得られたθ３との和、すなわちθ２＋
θ３が第二の反射鏡面１２と第三の反射鏡面１３との傾
斜角度誤差Δβ₂₃となる。

【００３４】以下は同様にして副回転ステージ２１を分
割角度αだけ回転させ、その度毎に第三の反射鏡面１３
と第四の反射鏡面１４との傾斜角度誤差Δβ₃₄を、第四
の反射鏡面１４と第一の反射鏡面１１との傾斜角度誤差
Δβ₄₁を測定する。これにより回転多面鏡に具備された
全ての反射鏡面について、互いに隣接する反射鏡面との
傾斜角度誤差Δβを測定することができる。

【００３５】また、これら傾斜角度誤差Δβはオートコ
リメータの光軸の傾きに起因する測定誤差δ_bを含んだ
ものなので、正確な傾斜角度誤差Δβ′を求めるために
は上記測定誤差δ_bを求めて傾斜角度誤差Δβを補正す
る必要がある。測定誤差δ_bは全ての反射鏡面１１，１
２，１３，１４の間の傾斜角度誤差Δβの総和、すなわ
ちΔβ₁₂＋Δβ₂₃＋Δβ₃₄＋Δβ₄₁を求め、これを反射
鏡面の面数で割ることで求められる。従って、正確な傾
斜角度誤差Δβ′は測定した傾斜角度誤差Δβと測定誤
差δ_bとの差、すなわちΔβ′＝Δβ−δ_bとなる。

【００３６】一方、各反射鏡面の分割角度誤差Δαにつ
いては、各反射鏡面について読み取った垂直方向角度ω
の和が分割角度誤差Δαになる。例えば、主回転ステー
ジ２１を１８０°回転させる前に読み取った第一の反射
鏡面１１の垂直方向角度ω₁と、１８０°回転させた後
に読み取った第二の反射鏡面１２の垂直方向角度ω₂と
の和、すなわちω₁＋ω₂が第一の反射鏡面１１と第二の
反射鏡面１２との分割角度誤差Δα₁₂になる。

【００３７】従って、傾斜角度誤差Δβを測定したとき
と同様にして、副回転ステージ２１を分割角度αだけ回
転させながら、その度毎に第二の反射鏡面１２と第三の
反射鏡面１３との分割角度誤差Δα₃₄を、第三の反射鏡
面１３と第四の反射鏡面１４との分割角度誤差Δα
₃₄を、第四の反射鏡面１４と第一の反射鏡面１１との分
割角度誤差Δα₄₁を測定する。これにより回転多面鏡に
具備された全ての反射鏡面について、互いに隣接する反
射鏡面との分割角度誤差Δαを測定することができる。
このような分割角度誤差Δαの測定は、各反射鏡面の傾
斜角度誤差Δβを測定していく過程の中で同時に行うこ
とができる。

【００３８】また、これら分割角度誤差Δαはオートコ
リメータの光軸の傾きに起因する測定誤差δ_aを含んだ
ものなので、正確な分割角度誤差Δα′を求めるために
は傾斜角度誤差Δβ′と同様に上記測定誤差δ_aを求め
て分割角度誤差Δαを補正する必要がある。測定誤差δ
_aは全ての反射鏡面１１，１２，１３，１４の間の分割
角度誤差Δαの総和、すなわちΔα₁₂＋Δα₂₃＋Δα₃₄
＋Δα₄₁を求め、これを反射鏡面の面数で割ることで求
められる。従って、正確な分割角度誤差Δα′は測定し
た分割角度誤差Δαと測定誤差δ_aとの差、すなわちΔ
α′＝Δα−δ_aとなる。

【００３９】そして、以上のような傾斜角度誤差Δβの
測定方法によれば、主回転ステージ３０を１８０°回転
させる前後において互いに隣接する反射鏡面の水平方向
角度、例えばθ₁及びθ₂を測定しているので、主回転ス
テージ３０に対する回転多面鏡１０の傾きに起因する測
定誤差は夫々の測定値の中に互いに逆符号となって含ま
れている。このため、これら測定誤差は傾斜角度誤差Δ
βを求めるθ₁＋θ₂の演算によって打ち消され、傾斜角
度誤差Δβの算出には全く影響を及ぼすことがない。

【００４０】また、分割角度誤差Δαの測定についても
同様な関係が成立するので、副回転ステージ２１の回転
精度は分割角度誤差Δαの算出に一切影響を及ぼさな
い。

【００４１】従って、本発明の測定方法によれば、回転
多面鏡の分割角度誤差Δα及び傾斜角度誤差Δβを高精
度に測定できるものである。

【００４２】尚、以上の説明は回転多面鏡１０の傾斜角
度β＝０のときを想定しているが、β≠０の場合は、図
８に示すように主回転ステージ３０を１８０°回転させ
る前後において、測定する反射鏡面１１，１２のオート
コリメータ４０に対する姿勢が異なったものとなってし
まう。従って、オートコリメータ４０による測定値は、
これを各反射鏡面１１，１２の夫々の姿勢に対応した値
に座標変換する必要があり、座標変換した値を用いて傾
斜角度誤差Δβ及び分割角度誤差Δαを求める必要があ
る。

【００４３】

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の回転
多面鏡の角度誤差測定方法によれば、オートコリメータ
の光軸の傾きや回転ステージに対する回転多面鏡の傾き
に起因する測定誤差は、傾斜角度誤差Δβの算出の際に
打ち消され、当該傾斜角度誤差Δβの算出には全く影響
を及ぼさないので、オートコリメータの光軸の傾きや回
転ステージ上における回転多面鏡の配設状態に関係な
く、回転多面鏡の分割角度誤差Δα及び傾斜角度誤差Δ
βを正確に測定することができる。

【００４４】また、回転多面鏡原器を用いる必要がない
ので、安価に回転多面鏡の分割角度誤差Δα及び傾斜角
度誤差Δβを測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 回転多面鏡の分割角度α及び傾斜角度βを定
義する図である。

【図２】 従来の測定方法を示す図である。

【図３】 本発明の測定方法に用いる測定装置を示す概
略図である。

【図４】 アライメント調整ステージの詳細を示す図で
ある。

【図５】 アライメント調整ステージの使用例を示す図
である。

【図６】 主回転ステージを１８０°回転させる前後に
おけるオートコリメータの視野を示す図である。

【図７】 回転多面鏡の不適当な配設状態を示す図であ
る。

【図８】 回転多面鏡の傾斜角度β≠０の場合におい
て、主回転ステージを１８０°回転させる前後における
回転多面鏡の姿勢を示す図である。

【符号の説明】

１０…回転多面鏡、１１…第一の反射鏡面、１２…第二
の反射鏡面、２０…アライメント調整ステージ（多面鏡
固定手段）、３０…主回転ステージ、４０…オートコリ
メータ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転多面鏡に形成された複数の反射鏡面
   のうち、互いに隣接する第一及び第二の反射鏡面が形成
   する角度の二等分線を回転ステージの法線に合致させ
   て、上記回転多面鏡を上記回転ステージ上に配設する工
   程と、 オートコリメータによって上記第一の反射鏡面の水平方
   向角度θ₁を測定する工程と、 上記回転ステージを１８０°回転させ、上記オートコリ
   メータによって上記第二の反射鏡面の水平方向角度θ₂
   を測定する工程と、 測定された水平方向角度θ₁及びθ₂との和を演算し、こ
   れを上記第一の反射鏡面と第二の反射鏡面との間に存在
   する傾斜角度誤差Δβとする工程と、 から構成されることを特徴とする回転多面鏡の角度誤差
   測定方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の測定方法において、回転
   多面鏡をその回転軸心を中心として反射鏡面の分割角度
   αだけ回転させ、互いに隣接する二つの反射鏡面の傾斜
   角度誤差Δβを順次演算していくことを特徴とする回転
   多面鏡の角度誤差測定方法。
3. 【請求項３】 請求項２記載の測定方法において、全て
   の反射鏡面の間に存在する傾斜角度誤差Δβを演算した
   後に、これら傾斜角度誤差Δβの総和を反射鏡面数で割
   った値を演算し、この演算値を各反射鏡面間の傾斜角度
   誤差Δβの補正値とすることを特徴とする回転多面鏡の
   角度誤差測定方法。
4. 【請求項４】 回転多面鏡に形成された複数の反射鏡面
   のうち、互いに隣接する第一及び第二の反射鏡面が形成
   する角度の二等分線を回転ステージの法線に合致させ
   て、上記回転多面鏡を上記回転ステージ上に配設する工
   程と、 オートコリメータによって上記第一の反射鏡面の垂直方
   向角度ω₁を測定する工程と、 上記回転ステージを１８０°回転させ、上記オートコリ
   メータによって上記第二の反射鏡面の垂直方向角度ω₂
   を測定する工程と、 測定された垂直方向角度ω₁及びω₂との和を演算し、こ
   れを上記第一の反射鏡面と第二の反射鏡面との間に存在
   する分割角度誤差Δαとする工程と、 から構成されることを特徴とする回転多面鏡の角度誤差
   測定方法。
5. 【請求項５】 請求項４記載の測定方法において、回転
   多面鏡をその回転軸心を中心として反射鏡面の分割角度
   αだけ回転させ、互いに隣接する二つの反射鏡面の分割
   角度誤差Δαを順次演算していくことを特徴とする回転
   多面鏡の角度誤差測定方法。
6. 【請求項６】 請求項５記載の測定方法において、全て
   の反射鏡面の間に存在する分割角度誤差Δαを演算した
   後に、これら分割角度誤差Δαの総和を反射鏡面数で割
   った値を演算し、この演算値を各反射鏡面間の分割角度
   誤差Δαの補正値とすることを特徴とする回転多面鏡の
   角度誤差測定方法。
7. 【請求項７】 １８０°ずつ回転する主回転ステージ
   と、回転多面鏡に形成された複数の反射鏡面のうち、互
   いに隣接する第一及び第二の反射鏡面が形成する角度の
   二等分線を主回転ステージの法線に合致させて、上記回
   転多面鏡を上記主回転ステージ上に配設する多面鏡固定
   手段と、上記回転多面鏡の第一又は第二の反射鏡面の角
   度誤差を測定するオートコリメータとから構成されるこ
   とを特徴とする回転多面鏡の角度誤差測定装置。
8. 【請求項８】 請求項７記載の測定装置において、上記
   多面鏡固定手段は、回転多面鏡の底面を上記主回転ステ
   ージの法線に対して任意の角度に傾斜させるゴニオステ
   ージと、回転多面鏡をその回転軸心を中心として分割角
   度αずつ回転させる副回転ステージとを備えていること
   を特徴とする回転多面鏡の角度誤差測定装置。