JPH04346048A - 走査線位置検出装置における受光方法及び装置 - Google Patents
走査線位置検出装置における受光方法及び装置Info
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- JPH04346048A JPH04346048A JP11856891A JP11856891A JPH04346048A JP H04346048 A JPH04346048 A JP H04346048A JP 11856891 A JP11856891 A JP 11856891A JP 11856891 A JP11856891 A JP 11856891A JP H04346048 A JPH04346048 A JP H04346048A
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- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査光学系における走
査線位置の検出に係わる受光方法及び装置であり、特に
、走査線位置検出装置における走査線の曲がり，ピッチ
むらを測定するに適した手段に関するものであり、走査
光学系のレンズ組立，検査調整に適用できるものである
。
査線位置の検出に係わる受光方法及び装置であり、特に
、走査線位置検出装置における走査線の曲がり，ピッチ
むらを測定するに適した手段に関するものであり、走査
光学系のレンズ組立，検査調整に適用できるものである
。
【０００２】
【従来の技術】本発明者等は、近年、走査光学系におけ
る走査線の曲がり，ピッチむらを動的又は静的に測定す
るに適して手段を開発しており、その際、像面上の数個
所にＣＣＤ或いはＰＳＤを配置して、走査光が通過する
位置を検出し、前記走査線の曲がり，ピッチむらを測定
している。
る走査線の曲がり，ピッチむらを動的又は静的に測定す
るに適して手段を開発しており、その際、像面上の数個
所にＣＣＤ或いはＰＳＤを配置して、走査光が通過する
位置を検出し、前記走査線の曲がり，ピッチむらを測定
している。
【０００３】図４において、レーザ光源１からの射出光
ａは、シリンドリカルレンズ２を通過し、ポリゴンミラ
ー３の反射面３ａで反射し、ｆθレンズ４を通過後、像
面Ｚに結像する。像面Ｚ位置の複数個の測定点には、検
出用センサとして夫々ラインセンサ５ａ〜５ｅが紙面に
垂直に配置されている。そのラインセンサは、書込幅Ｈ
に応じて各々の位置や数を変更することができるように
構成されている。
ａは、シリンドリカルレンズ２を通過し、ポリゴンミラ
ー３の反射面３ａで反射し、ｆθレンズ４を通過後、像
面Ｚに結像する。像面Ｚ位置の複数個の測定点には、検
出用センサとして夫々ラインセンサ５ａ〜５ｅが紙面に
垂直に配置されている。そのラインセンサは、書込幅Ｈ
に応じて各々の位置や数を変更することができるように
構成されている。
【０００４】ポリゴンミラー３の回転に応じて、射出光
ａは反射面３ａの反射点３ｂで反射され、反射光ａ１
，ａ２ ，ａ３ ，ａ４ ，ａ５ として、像面Ｚ位置
に配置された各ラインセンサ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，
５ｅを順次横切り、この際、反射光は各ラインセンサの
出力値として検知される。予め設定された基準値と各ラ
インセンサの出力値（紙面に垂直方向の切断する位置で
の）から、走査線の曲がりを測定することができる。
ａは反射面３ａの反射点３ｂで反射され、反射光ａ１
，ａ２ ，ａ３ ，ａ４ ，ａ５ として、像面Ｚ位置
に配置された各ラインセンサ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，
５ｅを順次横切り、この際、反射光は各ラインセンサの
出力値として検知される。予め設定された基準値と各ラ
インセンサの出力値（紙面に垂直方向の切断する位置で
の）から、走査線の曲がりを測定することができる。
【０００５】また、ピッチむらは、ポリゴンミラー３の
各反射面３ａにおけるビーム走査位置を同一のラインセ
ンサで測定したときの各面間の差であり、走査線の曲が
りの測定と同様に、ラインセンサ上での反射光の位置関
係を検出することにより、測定することができる。
各反射面３ａにおけるビーム走査位置を同一のラインセ
ンサで測定したときの各面間の差であり、走査線の曲が
りの測定と同様に、ラインセンサ上での反射光の位置関
係を検出することにより、測定することができる。
【０００６】前述したように従来の測定手段においても
、走査光学系における走査線の曲がり，ピッチむらの測
定はできるが、使用光源（ＬＤ，Ｈｅ−Ｎｅ）が単色光
であるため、ラインセンサの前面ガラスによって干渉縞
が発生し、この干渉縞がノイズとなって出力値に影響を
及ぼす。干渉縞は外部環境（室温、ＬＤ点灯電圧、振動
等）によって大きく変動するため、繰返し測定時の再現
性が著しく低下する。
、走査光学系における走査線の曲がり，ピッチむらの測
定はできるが、使用光源（ＬＤ，Ｈｅ−Ｎｅ）が単色光
であるため、ラインセンサの前面ガラスによって干渉縞
が発生し、この干渉縞がノイズとなって出力値に影響を
及ぼす。干渉縞は外部環境（室温、ＬＤ点灯電圧、振動
等）によって大きく変動するため、繰返し測定時の再現
性が著しく低下する。
【０００７】図５は従来のラインセンサを含む検知部の
図面であり、測定用光ａ０ が平行平面のガラス板９を
透過し、センサ５の前面に達するに際して、平行平面の
ガラス板９を直進してセンサ５の前面に到達する光と平
行平面のガラス板９の裏側９ｂで反射し、更に平行平面
のガラス板９の表側９ａで反射し、センサ５に到達する
光との間や、センサ５の表面５０ で反射し、平行平面
のガラス板９の裏側９ｂで再び反射した光と直進した光
との間において、干渉縞が発生し、この結果、図６に示
すような出力形状となっている。
図面であり、測定用光ａ０ が平行平面のガラス板９を
透過し、センサ５の前面に達するに際して、平行平面の
ガラス板９を直進してセンサ５の前面に到達する光と平
行平面のガラス板９の裏側９ｂで反射し、更に平行平面
のガラス板９の表側９ａで反射し、センサ５に到達する
光との間や、センサ５の表面５０ で反射し、平行平面
のガラス板９の裏側９ｂで再び反射した光と直進した光
との間において、干渉縞が発生し、この結果、図６に示
すような出力形状となっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、ライ
ンセンサの前面に配置した平行平面のガラス板により発
生する干渉縞がラインセンサの出力値に影響を与えるこ
とから、本発明は、前記センサ部分で発生する前記干渉
縞を除去し、測定精度を向上させることを目的とする走
査光学系の走査線位置の検出に係わる受光方法及び装置
を提供するものである。
ンセンサの前面に配置した平行平面のガラス板により発
生する干渉縞がラインセンサの出力値に影響を与えるこ
とから、本発明は、前記センサ部分で発生する前記干渉
縞を除去し、測定精度を向上させることを目的とする走
査光学系の走査線位置の検出に係わる受光方法及び装置
を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、光源からの光を走査して読取り或いは書
込みを行う走査光学系の走査線位置を検出する装置にお
いて、検出位置には検出用センサとその前面にガラス板
を配置してなる受光部を有し、走査線に対して受光部を
所定角傾動し、且つガラス板の前面のスリットの開口幅
を調整し、ガラス板の前後面で生じる干渉縞による測定
誤差を解消することを特徴とするものである。
成するために、光源からの光を走査して読取り或いは書
込みを行う走査光学系の走査線位置を検出する装置にお
いて、検出位置には検出用センサとその前面にガラス板
を配置してなる受光部を有し、走査線に対して受光部を
所定角傾動し、且つガラス板の前面のスリットの開口幅
を調整し、ガラス板の前後面で生じる干渉縞による測定
誤差を解消することを特徴とするものである。
【００１０】また、本発明は、光源からの光を走査して
読取り或いは書込みを行う走査光学系の走査線位置を検
出する装置において、検出位置には検出用センサとその
前面にガラス板を配置してなる受光部を有し、該受光部
は検出用センサの中央位置を軸として、走査線に対して
所定角傾動しうるステージに支持され、且つガラス板前
面には開口幅を調整可能なスリットを備え、ガラス板の
前後面で生じる干渉縞による測定誤差を解消することを
特徴とするものである。
読取り或いは書込みを行う走査光学系の走査線位置を検
出する装置において、検出位置には検出用センサとその
前面にガラス板を配置してなる受光部を有し、該受光部
は検出用センサの中央位置を軸として、走査線に対して
所定角傾動しうるステージに支持され、且つガラス板前
面には開口幅を調整可能なスリットを備え、ガラス板の
前後面で生じる干渉縞による測定誤差を解消することを
特徴とするものである。
【００１１】更に、本発明は、光源からの光を走査して
読取り或いは書込みを行う走査光学系の走査線位置を検
出する装置において、前記受光部において所定角傾動し
た検出用センサの有効径に対して、ガラス板を通過する
走査線がガラス板後面での反射し、その反射光の入射を
阻止するように、開口幅を調整しうるスリットとして、
ガラス板前面に調整可能なマスクを設けることを特徴と
するものである。
読取り或いは書込みを行う走査光学系の走査線位置を検
出する装置において、前記受光部において所定角傾動し
た検出用センサの有効径に対して、ガラス板を通過する
走査線がガラス板後面での反射し、その反射光の入射を
阻止するように、開口幅を調整しうるスリットとして、
ガラス板前面に調整可能なマスクを設けることを特徴と
するものである。
【００１２】
【作用】本発明の構成により、スリット板の開口を通過
した走査光はステージにより所定角度回動した検出部に
入射し、そのガラス板の後面で反射した光はガラス板の
前面で反射して検出用センサに向かうが、該センサの有
効径の範囲外に達し、ガラス板により発生する干渉縞を
無くし、このため、測定精度を向上させることができる
。
した走査光はステージにより所定角度回動した検出部に
入射し、そのガラス板の後面で反射した光はガラス板の
前面で反射して検出用センサに向かうが、該センサの有
効径の範囲外に達し、ガラス板により発生する干渉縞を
無くし、このため、測定精度を向上させることができる
。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図２には、本発明を適用することができる、走査
光学系の走査線曲がり，ピッチむらの測定手段の概略を
示しており、その像面Ｚ位置には、図１に示す、本発明
に係わる受光装置が配置されている。よって、図２は、
従来の測定手段と比べると、受光装置以外は同様な構成
である。
する。図２には、本発明を適用することができる、走査
光学系の走査線曲がり，ピッチむらの測定手段の概略を
示しており、その像面Ｚ位置には、図１に示す、本発明
に係わる受光装置が配置されている。よって、図２は、
従来の測定手段と比べると、受光装置以外は同様な構成
である。
【００１４】レーザ光源１からの射出光ａは、シリンド
リカルレンズ２を通過し、ポリゴンミラー３の反射面３
ａの反射点３ｂで反射し、ｆθレンズ４を通過後、ビー
ムａ１ ，ａ２ ，ａ３ ，ａ４，ａ５ は、像面Ｚに
垂直（紙面に対して垂直）に各測定点に配置されたライ
ンセンサ５ａ〜５ｅ上に順次結像している。各ラインセ
ンサ５は、図１に示す本発明の受光装置からなり、図面
では、センサ５とその前面に配置したガラス板９を支持
した保持枠７を所定角度だけ回動させることができるθ
ステージ６が示されている。センサの位置関係は書込み
幅Ｈに応じて変えることができる。
リカルレンズ２を通過し、ポリゴンミラー３の反射面３
ａの反射点３ｂで反射し、ｆθレンズ４を通過後、ビー
ムａ１ ，ａ２ ，ａ３ ，ａ４，ａ５ は、像面Ｚに
垂直（紙面に対して垂直）に各測定点に配置されたライ
ンセンサ５ａ〜５ｅ上に順次結像している。各ラインセ
ンサ５は、図１に示す本発明の受光装置からなり、図面
では、センサ５とその前面に配置したガラス板９を支持
した保持枠７を所定角度だけ回動させることができるθ
ステージ６が示されている。センサの位置関係は書込み
幅Ｈに応じて変えることができる。
【００１５】本発明において、受光装置の構成を図１に
示しており、その受光装置が従来の図５に示した構成に
おいて、各像高の入射光に応じて、受光部に傾きを与え
るために、センサ５の中心を回転軸１０として所定の角
度θを設定できるθステージ６（図２）が設けられ、そ
の所定の設定角度θに応じて入射光を制限できるマスク
８がガラス板９の前面に設けられている。
示しており、その受光装置が従来の図５に示した構成に
おいて、各像高の入射光に応じて、受光部に傾きを与え
るために、センサ５の中心を回転軸１０として所定の角
度θを設定できるθステージ６（図２）が設けられ、そ
の所定の設定角度θに応じて入射光を制限できるマスク
８がガラス板９の前面に設けられている。
【００１６】本発明のこの受光装置を具体的に説明する
と、コ字状をした支持枠７の中央にセンサ５を固定し、
前記センサ５の前方位置には、支持枠７の環状端７ａに
支持された平行平面のガラス板９が設けられている構成
の受光部において、平行平面のガラス板９の前側面９ａ
に調整できるマスク８を配置すると共に、マスク８を備
えた受光部を前記のようにθステージ６で支持している
。
と、コ字状をした支持枠７の中央にセンサ５を固定し、
前記センサ５の前方位置には、支持枠７の環状端７ａに
支持された平行平面のガラス板９が設けられている構成
の受光部において、平行平面のガラス板９の前側面９ａ
に調整できるマスク８を配置すると共に、マスク８を備
えた受光部を前記のようにθステージ６で支持している
。
【００１７】したがって、像高の入射光に対して受光部
のセンサ５の中心を回転軸１０として角度θだけ傾きを
与えると、測定用の入射光ａ０ は、マスク８の開口８
ａを通過してガラス板９に導かれ、この場合、ガラス板
９とセンサ５と角度θなる傾きを有するから、ガラス板
９の後側面９ｂで反射した光はガラス板９の前側面９ａ
で反射した後、センサ５に向かう光はセンサ５の有効径
５Ａの範囲の外側に達する。マスク８の開口８ａは、ガ
ラス板９の前後面で反射した光が角度θとの関係におい
てセンサ５の有効径５Ａに到達しないような位置に設定
される。
のセンサ５の中心を回転軸１０として角度θだけ傾きを
与えると、測定用の入射光ａ０ は、マスク８の開口８
ａを通過してガラス板９に導かれ、この場合、ガラス板
９とセンサ５と角度θなる傾きを有するから、ガラス板
９の後側面９ｂで反射した光はガラス板９の前側面９ａ
で反射した後、センサ５に向かう光はセンサ５の有効径
５Ａの範囲の外側に達する。マスク８の開口８ａは、ガ
ラス板９の前後面で反射した光が角度θとの関係におい
てセンサ５の有効径５Ａに到達しないような位置に設定
される。
【００１８】よって、ガラス板９の前側面９ａ，後側面
９ｂで反射した光は、センサ５の有効径５Ａの外側に導
かれ、干渉縞の発生を除去し、高精度の測定を可能とす
る。この場合、受光部の傾き角度θ、マスクの開口の位
置、受光部のセンサの有効径の大きさを選択選定するこ
とにより、受光部のガラス面等で反射する光に起因して
発生する干渉縞を除去することができる。
９ｂで反射した光は、センサ５の有効径５Ａの外側に導
かれ、干渉縞の発生を除去し、高精度の測定を可能とす
る。この場合、受光部の傾き角度θ、マスクの開口の位
置、受光部のセンサの有効径の大きさを選択選定するこ
とにより、受光部のガラス面等で反射する光に起因して
発生する干渉縞を除去することができる。
【００１９】また、θステージ６の回転軸１０をセンサ
５の中心と一致させたことにより、θステージ６の回転
時における像面の移動がなく、角度変更後の像面の調整
が不要となり、効率の良い測定が可能となる。図３は本
発明の受光装置によるセンサの出力分布を示す。
５の中心と一致させたことにより、θステージ６の回転
時における像面の移動がなく、角度変更後の像面の調整
が不要となり、効率の良い測定が可能となる。図３は本
発明の受光装置によるセンサの出力分布を示す。
【００２０】実験によれば、入射光に対する角度θは、
６５〜７０度とすることにより、干渉縞によるノイズを
完全に除去することができ、繰り返しバラツキσはθが
９０度の垂直入射の時に比べると、１／３に減少し、繰
り返し測定の再現性を向上させることができる。
６５〜７０度とすることにより、干渉縞によるノイズを
完全に除去することができ、繰り返しバラツキσはθが
９０度の垂直入射の時に比べると、１／３に減少し、繰
り返し測定の再現性を向上させることができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明の構成により、センサの前面に配
置したガラス板による反射に起因する干渉縞の発生を阻
止することができ、測定精度を上げることができる効果
を有する。
置したガラス板による反射に起因する干渉縞の発生を阻
止することができ、測定精度を上げることができる効果
を有する。
【図１】本発明の走査線位置検出装置における受光装置
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図２】図１の本発明の受光装置を使用した走査光学系
の走査線位置の検出装置の概略説明図である。
の走査線位置の検出装置の概略説明図である。
【図３】本発明の受光装置によるセンサの出力分布を示
すグラフである。
すグラフである。
【図４】従来の受光装置を使用した走査光学系の走査線
位置の検出装置の概略説明図である。
位置の検出装置の概略説明図である。
【図５】従来の走査線位置検出装置における受光装置を
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図６】従来の受光装置によるセンサの出力分布を示す
グラフである。
グラフである。
Ｚ 像面
５ 検出用センサ
６ θステージ
８ マスク
９ ガラス板
１０ θステージの回転軸
Claims (3)
- 【請求項１】 光源からの光を走査して読取り或いは
書込みを行う走査光学系の走査線位置を検出する装置に
おいて、検出位置には検出用センサとその前面にガラス
板を配置してなる受光部を有し、走査線に対して受光部
を所定角傾動し、且つガラス板の前面のスリットの開口
幅を調整し、ガラス板の前後面で生じる干渉縞による測
定誤差を解消することを特徴とする走査線位置検出装置
における受光方法。 - 【請求項２】 光源からの光を走査して読取り或いは
書込みを行う走査光学系の走査線位置を検出する装置に
おいて、検出位置には検出用センサとその前面にガラス
板を配置してなる受光部を有し、該受光部は検出用セン
サの中央位置を軸として、走査線に対して所定角傾動し
うるステージに支持され、且つガラス板前面には開口幅
を調整可能なスリットを備え、ガラス板の前後面で生じ
る干渉縞による測定誤差を解消することを特徴とする走
査線位置検出装置における受光装置。 - 【請求項３】 前記受光部において所定角傾動した検
出用センサの有効径に対して、ガラス板を通過する走査
線がガラス板後面での反射し、その反射光の入射を阻止
するように、開口幅を調整しうるスリットとして、ガラ
ス板前面に調整可能なマスクを設けることを特徴とする
請求項２記載の走査線位置検出装置における受光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11856891A JPH04346048A (ja) | 1991-05-23 | 1991-05-23 | 走査線位置検出装置における受光方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11856891A JPH04346048A (ja) | 1991-05-23 | 1991-05-23 | 走査線位置検出装置における受光方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04346048A true JPH04346048A (ja) | 1992-12-01 |
Family
ID=14739820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11856891A Withdrawn JPH04346048A (ja) | 1991-05-23 | 1991-05-23 | 走査線位置検出装置における受光方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04346048A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016114362A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-23 | 株式会社オキサイド | 二重像検査システム |
-
1991
- 1991-05-23 JP JP11856891A patent/JPH04346048A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016114362A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-23 | 株式会社オキサイド | 二重像検査システム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |