JPH07328918A - 平面研磨機の研磨液供給装置 - Google Patents
平面研磨機の研磨液供給装置Info
- Publication number
- JPH07328918A JPH07328918A JP12032994A JP12032994A JPH07328918A JP H07328918 A JPH07328918 A JP H07328918A JP 12032994 A JP12032994 A JP 12032994A JP 12032994 A JP12032994 A JP 12032994A JP H07328918 A JPH07328918 A JP H07328918A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- polishing liquid
- compressed gas
- discharge port
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転継手のシール部材の交換時期を遅らせる
こと。 【構成】 研磨ディスク１の上面に、遊離砥粒を含んだ
研磨液を供給する平面研磨機の研磨液供給装置である。
固定管７は、研磨ディスク１の上面中央部に研磨液吐出
口８を形成する。ディスク軸２は、固定管７の外側に同
芯状に配設され、研磨液吐出口８の周囲に圧縮気体吐出
口１０を形成する。また、ディスク軸２は、その内周面
と固定管７の外周面とで圧縮気体通路９を形成する。回
転継手１１は、ディスク軸２と連結され、圧縮気体が導
入される。
こと。 【構成】 研磨ディスク１の上面に、遊離砥粒を含んだ
研磨液を供給する平面研磨機の研磨液供給装置である。
固定管７は、研磨ディスク１の上面中央部に研磨液吐出
口８を形成する。ディスク軸２は、固定管７の外側に同
芯状に配設され、研磨液吐出口８の周囲に圧縮気体吐出
口１０を形成する。また、ディスク軸２は、その内周面
と固定管７の外周面とで圧縮気体通路９を形成する。回
転継手１１は、ディスク軸２と連結され、圧縮気体が導
入される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平面研磨機の研磨液供
給装置に関する。
給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】遊離砥粒を含んだ研磨液を研磨ディスク
の上面に供給しながらワークを研磨加工する平面研磨機
がある。
の上面に供給しながらワークを研磨加工する平面研磨機
がある。
【０００３】従来、この種の平面研磨機における研磨液
供給装置は、図４及び図５に概略的に示すように、研磨
ディスク１の上面中央部に研磨液吐出口２７ａを形成す
る回転管２７と、この回転管２７と連結され、研磨液が
導入される回転継手２８とを備えている。
供給装置は、図４及び図５に概略的に示すように、研磨
ディスク１の上面中央部に研磨液吐出口２７ａを形成す
る回転管２７と、この回転管２７と連結され、研磨液が
導入される回転継手２８とを備えている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来装
置においては、回転継手２８のシール部材２９が研磨液
の遊離砥粒と接触し摩耗するため、シール部材２９の交
換が比較的頻繁に行なわれていた。
置においては、回転継手２８のシール部材２９が研磨液
の遊離砥粒と接触し摩耗するため、シール部材２９の交
換が比較的頻繁に行なわれていた。
【０００５】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、回転継手のシール部材の交換時期を
遅らせることができる研磨液供給装置を提供することを
目的とする。
されたものであり、回転継手のシール部材の交換時期を
遅らせることができる研磨液供給装置を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、研磨ディスク
の上面に、遊離砥粒を含んだ研磨液を供給する平面研磨
機の研磨液供給装置において、前記研磨ディスクの上面
中央部に研磨液吐出口を形成する固定管と、前記固定管
の外側に同芯状に配設され、前記研磨液吐出口の周囲に
圧縮気体吐出口を形成する回転管であって、その内周面
と前記固定管の外周面とで圧縮気体通路を形成する回転
管と、前記回転管と連結され、圧縮気体が導入される回
転継手と、を備えることを特徴とする。
の上面に、遊離砥粒を含んだ研磨液を供給する平面研磨
機の研磨液供給装置において、前記研磨ディスクの上面
中央部に研磨液吐出口を形成する固定管と、前記固定管
の外側に同芯状に配設され、前記研磨液吐出口の周囲に
圧縮気体吐出口を形成する回転管であって、その内周面
と前記固定管の外周面とで圧縮気体通路を形成する回転
管と、前記回転管と連結され、圧縮気体が導入される回
転継手と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
【発明の作用効果】研磨液は、固定管を経て研磨液吐出
口から研磨ディスクの上面に供給される。ここで、固定
管は、固定された部材であり回転継手に連結する必要性
が無いため、固定管には回転継手が連結されていない。
口から研磨ディスクの上面に供給される。ここで、固定
管は、固定された部材であり回転継手に連結する必要性
が無いため、固定管には回転継手が連結されていない。
【０００８】一方、圧縮気体は、回転継手、回転管を経
て圧縮気体吐出口から吐出される。ここで、圧縮気体吐
出口から吐出される圧縮気体は、研磨液吐出口から吐出
した研磨液を上方へ押し上げ、研磨液が圧縮気体吐出口
から回転管の内部へ浸入するのを防止する作用をする。
て圧縮気体吐出口から吐出される。ここで、圧縮気体吐
出口から吐出される圧縮気体は、研磨液吐出口から吐出
した研磨液を上方へ押し上げ、研磨液が圧縮気体吐出口
から回転管の内部へ浸入するのを防止する作用をする。
【０００９】従って、回転管に連結された回転継手のシ
ール部材が、圧縮気体吐出口から浸入してきた研磨液と
接触することはなく、遊離砥粒によるシール部材の摩耗
を防止することができる。このため、シール部材の交換
時期を大幅に遅らせることができる。
ール部材が、圧縮気体吐出口から浸入してきた研磨液と
接触することはなく、遊離砥粒によるシール部材の摩耗
を防止することができる。このため、シール部材の交換
時期を大幅に遅らせることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１１】図１は、一実施例に係る研磨液供給装置が
組み込まれた平面研磨機の概略構成を示している。
組み込まれた平面研磨機の概略構成を示している。
【００１２】図１において、１は、研磨ディスク、２
は、研磨ディスク１の回転軸であるディスク軸、３は、
ディスク軸２を例えば図示矢印Ａ方向へ回転する駆動装
置を表わしている。研磨ディスク１の上面には、中央部
に貫通孔４ａが形成された研磨パッド４が添着されてお
り、研磨パッド４の上には、水平方向に揺動運動される
ワーク５が下方へ押圧されて載置されている。
は、研磨ディスク１の回転軸であるディスク軸、３は、
ディスク軸２を例えば図示矢印Ａ方向へ回転する駆動装
置を表わしている。研磨ディスク１の上面には、中央部
に貫通孔４ａが形成された研磨パッド４が添着されてお
り、研磨パッド４の上には、水平方向に揺動運動される
ワーク５が下方へ押圧されて載置されている。
【００１３】ディスク軸２の軸芯部には、上下方向の貫
通孔６が形成され、この貫通孔６の内部には、貫通孔６
と間隔をもって固定管７が配設されている。固定管７の
上端側の開口部は、研磨ディスク１の上面中央部に開口
し、研磨液吐出口８を形成している。
通孔６が形成され、この貫通孔６の内部には、貫通孔６
と間隔をもって固定管７が配設されている。固定管７の
上端側の開口部は、研磨ディスク１の上面中央部に開口
し、研磨液吐出口８を形成している。
【００１４】ディスク軸２は、本発明にいう回転管を構
成するものであり、その貫通孔６の内周面と固定管７の
外周面とで圧縮気体通路９を形成するとともに、図３か
ら明らかなように、圧縮気体通路９の一端が研磨液吐出
口８の周囲に開口して圧縮気体吐出口１０を形成してい
る。
成するものであり、その貫通孔６の内周面と固定管７の
外周面とで圧縮気体通路９を形成するとともに、図３か
ら明らかなように、圧縮気体通路９の一端が研磨液吐出
口８の周囲に開口して圧縮気体吐出口１０を形成してい
る。
【００１５】ディスク軸２は回転継手１１に連結されて
いる。回転継手１１は、図２に示すように構成され、上
下方向に中空なハウジング１２を備える。このハウジン
グ１２には、その中空部に連通する圧縮気体導入口１３
が形成されている。
いる。回転継手１１は、図２に示すように構成され、上
下方向に中空なハウジング１２を備える。このハウジン
グ１２には、その中空部に連通する圧縮気体導入口１３
が形成されている。
【００１６】また、ハウジング１２の中空部には、上方
から中空円筒状の回転部材１４が挿入されている。この
回転部材１４は、その上端部に雄ねじ部１４ａを有し、
この雄ねじ部１４ａが、ディスク軸２の下端部に形成さ
れた雌ねじ部（図示せず。）に螺合されるなどして、デ
ィスク軸２と一体化されている。また、回転部材１４
は、ボールベアリング１５，１５によりハウジング１２
に対し回転可能とされている。
から中空円筒状の回転部材１４が挿入されている。この
回転部材１４は、その上端部に雄ねじ部１４ａを有し、
この雄ねじ部１４ａが、ディスク軸２の下端部に形成さ
れた雌ねじ部（図示せず。）に螺合されるなどして、デ
ィスク軸２と一体化されている。また、回転部材１４
は、ボールベアリング１５，１５によりハウジング１２
に対し回転可能とされている。
【００１７】回転部材１４の中空部及びその下方に位置
するハウジング１２の中空部には、上記固定管７の下部
が挿入されており、固定管７は、その下端部に形成され
た雄ねじ部７ａが、ハウジング１２の下端部の内周面に
形成された雌ねじ部１２ａに螺合され、さらにナット１
６で締め付けることによって、ハウジング１２と一体化
されている。ハウジング１２の下端部の外周面には、雄
ねじ部１２ｂが形成されており、この雄ねじ部１２ｂ
に、屈曲管１７の内周面に形成された雌ねじ部１７ａが
螺合して屈曲管１７が連結されている。この屈曲管１７
には、外部から、遊離砥粒（例えば、酸化セリウム粒
体）を含んだ研磨液が導入される。
するハウジング１２の中空部には、上記固定管７の下部
が挿入されており、固定管７は、その下端部に形成され
た雄ねじ部７ａが、ハウジング１２の下端部の内周面に
形成された雌ねじ部１２ａに螺合され、さらにナット１
６で締め付けることによって、ハウジング１２と一体化
されている。ハウジング１２の下端部の外周面には、雄
ねじ部１２ｂが形成されており、この雄ねじ部１２ｂ
に、屈曲管１７の内周面に形成された雌ねじ部１７ａが
螺合して屈曲管１７が連結されている。この屈曲管１７
には、外部から、遊離砥粒（例えば、酸化セリウム粒
体）を含んだ研磨液が導入される。
【００１８】図２中の他の符号１８は、スプリング、１
９は、スプリング受け、２０は、Ｏリング、２１は、シ
ールリング、２２は、回り止めピン、２３及び２４はＣ
形止め輪、２５は、スペーサ、２６は、ベントホールを
表わしている。
９は、スプリング受け、２０は、Ｏリング、２１は、シ
ールリング、２２は、回り止めピン、２３及び２４はＣ
形止め輪、２５は、スペーサ、２６は、ベントホールを
表わしている。
【００１９】次に、上記のように構成された研磨液供給
装置の動作を説明する。
装置の動作を説明する。
【００２０】屈曲管１７に導入されてきた研磨液は、固
定管７の内部を通って研磨液吐出口８から吐出され、研
磨パッド４の上面を浸す。一方、圧縮気体導入口１３か
らハウジング１２の内部に導入されてきた圧縮気体（例
えば、圧縮空気）は、固定管７の外周面と回転部材１４
及びディスク軸２の各内周面とで形成される空間即ち圧
縮気体通路９を経て圧縮気体吐出口１０から吐出され
る。この圧縮気体吐出口１０から吐出される圧縮気体
は、研磨液吐出口８から吐出した研磨液を僅かに上方へ
押し上げる程度の、大気圧よりも大きな圧力となるよう
予め設定してあり、研磨液は、圧縮気体吐出口１０から
圧縮気体通路９へ浸入することはない。なお、ワーク５
が、水平揺動運動中に研磨ディスク１の上面中央部に位
置するときには、圧縮気体吐出口１０から吐出した圧縮
気体は、研磨パッド４の上面に予め形成されている逃げ
溝４ｂを通って外部に流出されるため、ワーク５の下面
と圧縮気体吐出口１０及び研磨液吐出口８とで形成され
る空間、即ち、研磨パッド４の貫通孔４ａが高圧状態に
なるのを回避することができる。
定管７の内部を通って研磨液吐出口８から吐出され、研
磨パッド４の上面を浸す。一方、圧縮気体導入口１３か
らハウジング１２の内部に導入されてきた圧縮気体（例
えば、圧縮空気）は、固定管７の外周面と回転部材１４
及びディスク軸２の各内周面とで形成される空間即ち圧
縮気体通路９を経て圧縮気体吐出口１０から吐出され
る。この圧縮気体吐出口１０から吐出される圧縮気体
は、研磨液吐出口８から吐出した研磨液を僅かに上方へ
押し上げる程度の、大気圧よりも大きな圧力となるよう
予め設定してあり、研磨液は、圧縮気体吐出口１０から
圧縮気体通路９へ浸入することはない。なお、ワーク５
が、水平揺動運動中に研磨ディスク１の上面中央部に位
置するときには、圧縮気体吐出口１０から吐出した圧縮
気体は、研磨パッド４の上面に予め形成されている逃げ
溝４ｂを通って外部に流出されるため、ワーク５の下面
と圧縮気体吐出口１０及び研磨液吐出口８とで形成され
る空間、即ち、研磨パッド４の貫通孔４ａが高圧状態に
なるのを回避することができる。
【００２１】以上説明したように、本実施例によると、
ディスク軸（回転管）２に連結された回転継手１１のシ
ールリング２２（シール部材）が、圧縮気体吐出口１０
から浸入してきた研磨液と接触することはなく、遊離砥
粒によるシール部材２２の摩耗を防止することができ
る。このため、シール部材２２の交換時期を大幅に遅ら
せることができる。
ディスク軸（回転管）２に連結された回転継手１１のシ
ールリング２２（シール部材）が、圧縮気体吐出口１０
から浸入してきた研磨液と接触することはなく、遊離砥
粒によるシール部材２２の摩耗を防止することができ
る。このため、シール部材２２の交換時期を大幅に遅ら
せることができる。
【図１】一実施例に係る研磨液供給装置が組み込まれた
平面研磨機の概略構成図
平面研磨機の概略構成図
【図２】回転継手の断面図
【図３】研磨ディスクの上面中心部付近の断面図
【図４】従来装置が組み込まれた平面研磨機の概略構成
図
図
【図５】従来装置の主要部の断面図
１ 研磨ディスク ２ ディスク軸（回転管） ７ 固定管 ８ 研磨液吐出口 ９ 圧縮気体通路 １０ 圧縮気体吐出口 １１ 回転継手 ２１ シールリング（シール部材）
Claims (1)
- 【請求項１】 研磨ディスクの上面に、遊離砥粒を含ん
だ研磨液を供給する平面研磨機の研磨液供給装置におい
て、 前記研磨ディスクの上面中央部に研磨液吐出口を形成す
る固定管と、 前記固定管の外側に同芯状に配設され、前記研磨液吐出
口の周囲に圧縮気体吐出口を形成する回転管であって、
その内周面と前記固定管の外周面とで圧縮気体通路を形
成する回転管と、 前記回転管と連結され、圧縮気体が導入される回転継手
と、 を備えることを特徴とする平面研磨機の研磨液供給装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12032994A JP3240545B2 (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | 平面研磨機の研磨液供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12032994A JP3240545B2 (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | 平面研磨機の研磨液供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07328918A true JPH07328918A (ja) | 1995-12-19 |
| JP3240545B2 JP3240545B2 (ja) | 2001-12-17 |
Family
ID=14783568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12032994A Expired - Fee Related JP3240545B2 (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | 平面研磨機の研磨液供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3240545B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0897778A1 (en) * | 1997-08-15 | 1999-02-24 | Disco Corporation | Apparatus and method for machining workpieces by flushing working liquid to the tool-and-workpiece interface |
| JP2019181577A (ja) * | 2018-04-02 | 2019-10-24 | トヨタ自動車株式会社 | 研削装置の回転継手 |
-
1994
- 1994-06-01 JP JP12032994A patent/JP3240545B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0897778A1 (en) * | 1997-08-15 | 1999-02-24 | Disco Corporation | Apparatus and method for machining workpieces by flushing working liquid to the tool-and-workpiece interface |
| EP1110669A2 (en) * | 1997-08-15 | 2001-06-27 | Disco Corporation | Apparatus and method for cutting workpieces by flushing working liquid to the tool-and-workpiece interface |
| EP1110669A3 (en) * | 1997-08-15 | 2001-12-05 | Disco Corporation | Apparatus and method for cutting workpieces by flushing working liquid to the tool-and-workpiece interface |
| KR100486137B1 (ko) * | 1997-08-15 | 2005-07-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공장치 및 가공방법 |
| JP2019181577A (ja) * | 2018-04-02 | 2019-10-24 | トヨタ自動車株式会社 | 研削装置の回転継手 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3240545B2 (ja) | 2001-12-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010821 |
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