JP2019181577A - 研削装置の回転継手 - Google Patents

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【課題】シール部材やパッキンの劣化を抑制することができる研削装置の回転継手を実現する。【解決手段】本発明の一形態に係る研削装置の回転継手1は、研削液が通る研削液経路LRである研削液用配管2と、研削液用配管2が内部に通された状態で固定される固定ジョイント体3と、固定ジョイント体3に回転シールを介して回転可能に接続され、研削液用配管2が内部に通される回転ジョイント体4と、固定ジョイント体3と回転シールと回転ジョイント体4とに連続するように研削液用配管2の周辺に形成されるエア経路と、を備え、回転ジョイント体4における研削液用配管2を囲む内周面は、研削液用配管2に通されるOリング14が収容される収容部と、収容部から固定ジョイント体3の側に向かうに従って縮径する傾斜面4fと、を有する。【選択図】図1

Description

本発明は、研削装置の回転継手に関し、例えば、ワークを研削する研削装置に用いられ、研削液経路とエア経路とを備える回転継手に関する。
半導体ウェハなどのワークを研削するための研削装置において、研削パッドの回転を許容するべく回転継手が用いられており、当該回転継手は、研削液が通る研削液経路及びエアが通るエア経路を備えている。
例えば、特許文献1の回転継手は、第1のジョイント体の内部に第2のジョイント体がパッキンやベアリングを介して回転可能に挿入されており、第1のジョイント体に形成された研削液用経路と第2のジョイント体に形成された研削液経路とがシール機構を介して連続している。
そして、シール機構は、第1のジョイント体に設けられた第1のシール部材と第2のジョイント体に設けられた第2のシール部材とが接触することで、研削液の漏れを抑制しつつ、第2のジョイント体の回転を許容する構成とされている。
特開平11−257496号公報
特許文献1の回転継手においては、第1のシール部材と第2のシール部材との間に研削液が侵入する可能性がある。このとき、研削液には、例えば、砂やダイヤモンドなどの超硬質物質が含まれているので、第1のシール部材と第2のシール部材との間に研削液が侵入すると、第1のシール部材及び第2のシール部材が劣化してしまう。また、第2のジョイント体が回転する際にパッキンの内周面が擦られ、パッキンが劣化してしまう。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、シール部材やパッキンの劣化を抑制することができる研削装置の回転継手を実現する。
本発明の一態様に係る研削装置の回転継手は、ワークを研削する研削装置に用いられ、研削液経路とエア経路とを備える回転継手であって、
研削液が通る前記研削液経路である研削液用配管と、
前記研削液用配管が内部に通された状態で固定される固定ジョイント体と、
前記固定ジョイント体に回転シールを介して回転可能に接続され、前記研削液用配管が内部に通される回転ジョイント体と、
前記固定ジョイント体と前記回転シールと前記回転ジョイント体とに連続するように前記研削液用配管の周辺に形成される前記エア経路と、
を備え、
前記回転ジョイント体における前記研削液用配管を囲む内周面は、前記研削液用配管に通されるOリングが収容される収容部と、前記収容部から前記固定ジョイント体の側に向かうに従って縮径する傾斜面と、を有する。
このような構成により、エア経路に研削液が侵入しようとしても、エア経路からエアが排出されるので、エア経路への研削液の侵入を抑制することができる。そのため、内部への研削液の侵入を抑制でき、シール部材(例えば、回転シール)の損傷を抑制することができる。また、Oリングは、回転ジョイント体の回転に伴って回転するが、エアによって押し広げられ、研削液用配管と略非接触の状態となる。そのため、Oリングが研削液用配管に擦れ難く、結果として、Oリングの損傷を抑制することができる。
本発明によれば、シール部材やパッキンの劣化を抑制することができる研削装置の回転継手を実現できる。
実施の形態の研削装置の回転継手を模式的に示す部分断面図である。 研削装置でワークを搬送する際の本実施の形態の研削装置の回転継手の状態を示す断面図である。 一般的な研削装置の回転継手を模式的に示す部分断面図である。
以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。但し、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。
先ず、本実施の形態の研削装置の回転継手の基本構成を説明する。図1は、本実施の形態の研削装置の回転継手を模式的に示す部分断面図である。なお、以下の説明では、説明を明確にするために、三次元(XYZ)座標系を用いて説明する。
研削装置の回転継手(以下、単に回転継手と省略する場合がある。)1は、半導体ウェハなどのワークを研削する研削装置に用いられ、図1に示すように、研削液用配管2、固定ジョイント体3及び回転ジョイント体4を備えている。
研削液用配管2は、研削液が通る研削液経路LRであり、Z軸方向に配置されている。研削液用配管2は、例えば、円筒形状である。固定ジョイント体3は、例えば、略円柱形状を基本形態としており、第1の接続部3a、第1の収容部3b、第2の収容部3c、第2の接続部3d及び第3の収容部3eを備えている。但し、固定ジョイント体3の形状は、限定されない。
第1の接続部3aは、Z軸方向から見て、固定ジョイント体3の略中央に配置されており、Z軸+側に突出している。このような第1の接続部3aは、研削液を供給するための第1のポンプと接続される。詳細には、第1の接続部3aには、第1のポンプに接続された配管10が接続される。これにより、固定ジョイント体3は、固定されている。
第1の収容部3bは、固定ジョイント体3をZ軸方向に貫通しており、Z軸+側の端部は第1の接続部3aの内部に配置されている。このような第1の収容部3bは、研削液用配管2を収容する。このとき、研削液用配管2のZ軸+側の端部は、固定部材11を介して第1の接続部3aに固定されている。
固定部材11は、例えば、固定部材11の内部にねじ部を有し、当該固定部材11の外周面が第1の接続部3aの内周面に固定されている。そして、固定部材11のねじ部に研削液用配管2のZ軸+側の端部に形成されたねじ部がねじ込まれることで、研削液用配管2が固定ジョイント体3に固定されている。
第2の収容部3cは、第1の収容部3bにおけるZ軸+側の部分を除く他の部分を囲み、ロータリージョイント12を収容する。ロータリージョイント12は、第1のシール部材12a、第2のシール部材(回転シール)12b及びスプリング12cを備えている。
第1のシール部材12aは、Z軸方向に延在する貫通部12dを有する円筒形状を基本形態としており、第2の収容部3cの周面に沿ってZ軸方向に移動可能である。貫通部12dは、研削液用配管2の外径より大きな内径を有し、貫通部12dの内部に研削液用配管2が通されている。
第2のシール部材12bは、第1のシール部材12aに対してZ軸−側に配置されており、第2のシール部材12bのZ軸+側の面が第1のシール部材12aのZ軸−側の面に略面接触している。そして、第2のシール部材12bのZ軸−側の部分は、固定ジョイント体3のZ軸−側の面からZ軸−方向に突出している。つまり、第2のシール部材12bのZ軸−側の部分は、第2の収容部3cの内部に収容されていない。
第2のシール部材12bは、Z軸方向に延在する貫通部12eを有する円筒形状を基本形態としており、第2のシール部材12bのZ軸+側の部分の外周面において周方向に連続する凹部12fを備えている。貫通部12eは、第1のシール部材12aの内径と略等しい内径を有し、貫通部12eの内部に研削液用配管2が通されている。
スプリング12cは、第1のシール部材12aに対してZ軸+側に配置されており、第1のシール部材12aをZ軸−方向に押圧する。これにより、第1のシール部材12aのZ軸−側の面は、第2のシール部材12bのZ軸+側の面と確実に略面接触する。
このような第1のシール部材12a及び第2のシール部材12bの内周面と研削液用配管2の外周面との間に形成された隙間は、固定ジョイント体3のエア経路AR1となる。
第2の接続部3dは、固定ジョイント体3の内部で第2の収容部3cと連通している。このような第2の接続部3dは、エアを供給又は吸引するための第2のポンプと接続される。詳細には、第2の接続部3dは、例えば、第2のポンプに接続された配管が接続される継手である。
第3の収容部3eは、第2の収容部3cのZ軸−側の部分を囲み、軸受13の外周部を収容する。軸受13は、ラジアル軸受であり、軸受13の内周部が第2のシール部材12bの凹部12fに嵌め込まれている。これにより、ロータリージョイント12は、軸受13を介して固定ジョイント体3に支持されている。
回転ジョイント体4は、例えば、略円柱形状を基本形態としており、嵌入部4a、第1の収容部4b及び岐路4cを備えている。嵌入部4aは、回転ジョイント体4のZ軸+側の端部に形成されており、Z軸方向から見て、回転ジョイント体4の略中央に配置されている。但し、回転ジョイント体4の形状は、円錐形状などでもよい。
このような嵌入部4aに第2のシール部材12bのZ軸−側の端部が嵌め込まれることで、回転ジョイント体4は、ロータリージョイント12を介して固定ジョイント体3に回転可能に接続されている。このとき、第2のシール部材12bの中心軸は、回転ジョイント体4の中心軸と略重なるように配置される。
第1の収容部4bは、回転ジョイント体4をZ軸方向に貫通しており、Z軸+側の端部が嵌入部4aの内部に配置されている。そして、第1の収容部4bは、研削液用配管2の外径より大きな内径を有し、第1の収容部4bの内部に研削液用配管2が通されている。このような第1の収容部4bの周面と研削液用配管2の外周面との隙間は、回転ジョイント体4の第1のエア経路AR2となる。
岐路4cは、第1の収容部4bから分岐路4dを介して分岐して回転ジョイント体4のZ軸−側の面まで到達しており、回転ジョイント体4の第2のエア経路AR3となる。このとき、固定ジョイント体3の第2の接続部3d、固定ジョイント体3のエア経路AR1、回転ジョイント体4の第1のエア経路AR2及び第2のエア経路AR3は、連通している。
次に、本実施の形態の回転継手1の回転ジョイント体4の特徴的部分を説明する。本実施の形態の回転ジョイント体4は、さらに第2の収容部4e及び傾斜面4fを備えている。第2の収容部4eは、第1の収容部4bにおける分岐路4dよりZ軸−側の一部を囲むように、回転ジョイント体4における研削液用配管2を囲む内周面に形成されている。
第2の収容部4eの内部には、Oリング(即ち、パッキン)14が収容されている。Oリング14は、研削液用配管2の外径より大きい内径を有し、Oリング14の内部に研削液用配管2が通されている。つまり、Oリング14と研削液用配管2との間は、エアが通過可能な隙間を形成可能である。
傾斜面4fは、第2の収容部4eからZ軸+側に向かうに従って縮径し、第2の収容部4eのZ軸+側の面を形成する。傾斜面4fは、例えば、45°の傾斜角度に設定されるが、Oリング14の径などに応じて、適宜、変更することができる。
次に、本実施の形態の回転継手1を研削装置に用いた場合の当該回転継手1の動作を説明する。ここで、研削装置は、ワークの研削及び搬送が可能な構成とされており、図1は、研削装置でワークを研削する際の本実施の形態の回転継手の状態を示し、図2は、研削装置でワークを搬送する際の本実施の形態の回転継手の状態を示している。
回転ジョイント体4のZ軸−側の端部には、研削パッドが接続される。研削パッドは、研削液用配管2に接続された吐出口、回転ジョイント体4の第1のエア経路AR2に接続された第1の通気口、及び回転ジョイント体4の第2のエア経路AR3に接続された第2の通気口を備えている。
ワークを研削する際には、回転ジョイント体4をモータなどの駆動力によって回転させる。それと共に、図1に示すように、固定ジョイント体3の第1の接続部3aから研削液を供給しつつ、第2の接続部3dからエアを供給する。
これにより、研削液は、研削液用配管2を介して研削パッドの吐出口から吐出される。一方、固定ジョイント体3のエア経路AR1から回転ジョイント体4に供給されたエアは、Oリング14を第2の収容部4eのZ軸−側の面に押し付けつつ、Oリング14と研削液用配管2との隙間に流れ込み、Oリング14を押し広げる。その結果、エアは、Oリング14によって遮断されることなく、回転ジョイント体4の第1のエア経路AR2及び第2のエア経路AR3を介して研削パッドの第1の通気口及び第2の通気口から排出される。
このような状態で研削パッドをワークのZ軸+側の面に押し当てつつ移動させると、ワークのZ軸+側の面を研削することができる。このとき、回転ジョイント体4の第1のエア経路AR2及び第2のエア経路AR3に研削液が侵入しようとしても、第1のエア経路AR2及び第2のエア経路AR3からエアが排出されているので、第1のエア経路AR2及び第2のエア経路AR3への研削液の侵入を抑制することができる。また、固定ジョイント体3の第1の接続部3aの内周面と研削液用配管2の外周面との間は、固定部材11によって塞がれているので、固定ジョイント体3の第2の収容部3cへの研削液の侵入を抑制することができる。これにより、ロータリージョイント12への研削液の侵入を抑制でき、ロータリージョイント12のシール部材の損傷を抑制することができる。
しかも、Oリング14は、回転ジョイント体4の回転に伴って回転するが、上述のようにエアによって押し広げられ、研削液用配管2と略非接触の状態となる。そのため、Oリング14が研削液用配管2に擦れ難く、結果として、Oリング14の損傷を抑制することができる。
一方、ワークを吸着して搬送する際には、図2に示すように、回転ジョイント体4の回転及び研削液の供給を止め、固定ジョイント体3の第2の接続部3dからエアを吸引し、ワークを研削パッドに吸着させる。
ここで、図3は、一般的な研削装置の回転継手を模式的に示す部分断面図である。なお、一般的な回転継手において、本実施の形態の回転継手と等しい部材には等しい符号を付している。
一般的な回転継手100は、図3に示すように、回転ジョイント体4が第2の収容部4eや傾斜面4fを備えておらず、また、Oリング14も備えていない。このとき、回転継手100は、回転ジョイント体4が回転した際に、回転ジョイント体4の第1の収容部4bの周面と研削液用配管2の外周面とが接触して焼き付かないように、第1の収容部4bの周面と研削液用配管2の外周面との間に隙間が確保されている。そのため、ワークを吸引する際に、第2のエア経路AR3だけでなく、第1のエア経路AR2からもエアが吸引され、吸引力が低い。
それに対して、本実施の形態の回転継手1は、図2に示すように、エアによってOリング14は回転ジョイント体4の傾斜面4fに沿ってZ軸+方向に引き上げられる。その結果、Oリング14は傾斜面4fと研削液用配管2との隙間を塞ぎ、大凡、エアは回転ジョイント体4の第2のエア経路AR3のみから吸引される。そのため、一般的な回転継手100に比べて、大きな吸引力を発現させることができる。
このように本実施の形態の回転継手1は、ロータリージョイント12への研削液の侵入を抑制でき、ロータリージョイント12のシール部材の損傷を抑制することができる。また、Oリング14が研削液用配管2に擦れ難く、結果として、Oリング14の損傷を抑制することができる。
しかも、本実施の形態の回転継手1は、一般的な回転継手100に比べて、大きな吸引力を発現させることができる。
本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
1 回転継手
2 研削液用配管
3 固定ジョイント体、3a 第1の接続部、3b 第1の収容部、3c 第2の収容部、3d 第2の接続部、3e 第3の収容部
4 回転ジョイント体、4a 嵌入部、4b 第1の収容部、4c 岐路、4d 分岐路、4e 第2の収容部、4f 傾斜面
10 配管
11 固定部材
12 ロータリージョイント
12a 第1のシール部材、12d 貫通部
12b 第2のシール部材、12e 貫通部、12f 凹部
12c スプリング
13 軸受
14 Oリング
AR1 第1のエア経路
AR2 第2のエア経路
AR3 第3のエア経路
LR 研削液経路

Claims (1)

  1. ワークを研削する研削装置に用いられ、研削液経路とエア経路とを備える回転継手であって、
    研削液が通る前記研削液経路である研削液用配管と、
    前記研削液用配管が内部に通された状態で固定される固定ジョイント体と、
    前記固定ジョイント体に回転シールを介して回転可能に接続され、前記研削液用配管が内部に通される回転ジョイント体と、
    前記固定ジョイント体と前記回転シールと前記回転ジョイント体とに連続するように前記研削液用配管の周辺に形成される前記エア経路と、
    を備え、
    前記回転ジョイント体における前記研削液用配管を囲む内周面は、前記研削液用配管に通されるOリングが収容される収容部と、前記収容部から前記固定ジョイント体の側に向かうに従って縮径する傾斜面と、を有する、研削装置の回転継手。
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