JP2019181577A - 研削装置の回転継手 - Google Patents
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Abstract
Description
研削液が通る前記研削液経路である研削液用配管と、
前記研削液用配管が内部に通された状態で固定される固定ジョイント体と、
前記固定ジョイント体に回転シールを介して回転可能に接続され、前記研削液用配管が内部に通される回転ジョイント体と、
前記固定ジョイント体と前記回転シールと前記回転ジョイント体とに連続するように前記研削液用配管の周辺に形成される前記エア経路と、
を備え、
前記回転ジョイント体における前記研削液用配管を囲む内周面は、前記研削液用配管に通されるOリングが収容される収容部と、前記収容部から前記固定ジョイント体の側に向かうに従って縮径する傾斜面と、を有する。
このような構成により、エア経路に研削液が侵入しようとしても、エア経路からエアが排出されるので、エア経路への研削液の侵入を抑制することができる。そのため、内部への研削液の侵入を抑制でき、シール部材(例えば、回転シール)の損傷を抑制することができる。また、Oリングは、回転ジョイント体の回転に伴って回転するが、エアによって押し広げられ、研削液用配管と略非接触の状態となる。そのため、Oリングが研削液用配管に擦れ難く、結果として、Oリングの損傷を抑制することができる。
2 研削液用配管
3 固定ジョイント体、3a 第1の接続部、3b 第1の収容部、3c 第2の収容部、3d 第2の接続部、3e 第3の収容部
4 回転ジョイント体、4a 嵌入部、4b 第1の収容部、4c 岐路、4d 分岐路、4e 第2の収容部、4f 傾斜面
10 配管
11 固定部材
12 ロータリージョイント
12a 第1のシール部材、12d 貫通部
12b 第2のシール部材、12e 貫通部、12f 凹部
12c スプリング
13 軸受
14 Oリング
AR1 第1のエア経路
AR2 第2のエア経路
AR3 第3のエア経路
LR 研削液経路
Claims (1)
- ワークを研削する研削装置に用いられ、研削液経路とエア経路とを備える回転継手であって、
研削液が通る前記研削液経路である研削液用配管と、
前記研削液用配管が内部に通された状態で固定される固定ジョイント体と、
前記固定ジョイント体に回転シールを介して回転可能に接続され、前記研削液用配管が内部に通される回転ジョイント体と、
前記固定ジョイント体と前記回転シールと前記回転ジョイント体とに連続するように前記研削液用配管の周辺に形成される前記エア経路と、
を備え、
前記回転ジョイント体における前記研削液用配管を囲む内周面は、前記研削液用配管に通されるOリングが収容される収容部と、前記収容部から前記固定ジョイント体の側に向かうに従って縮径する傾斜面と、を有する、研削装置の回転継手。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018070794A JP2019181577A (ja) | 2018-04-02 | 2018-04-02 | 研削装置の回転継手 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018070794A JP2019181577A (ja) | 2018-04-02 | 2018-04-02 | 研削装置の回転継手 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019181577A true JP2019181577A (ja) | 2019-10-24 |
Family
ID=68338867
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018070794A Withdrawn JP2019181577A (ja) | 2018-04-02 | 2018-04-02 | 研削装置の回転継手 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019181577A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07328918A (ja) * | 1994-06-01 | 1995-12-19 | Sinto Brator Co Ltd | 平面研磨機の研磨液供給装置 |
WO2002056356A1 (fr) * | 2001-01-15 | 2002-07-18 | Nikon Corporation | Procede de polissage, dispositif de polissage, et dispositif semi-conducteur permettant de produire ledit procede |
US20030027506A1 (en) * | 2001-08-06 | 2003-02-06 | Herb John D. | Apparatus for distributing a fluid through a polishing pad |
JP2014009720A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Rix Corp | ロータリジョイント |
-
2018
- 2018-04-02 JP JP2018070794A patent/JP2019181577A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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