CN211828704U - 真空吸盘轴机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种真空吸盘轴机构，包括基座和转动连接于基座的主轴，主轴上设有旋转导气装置，主轴内设有与其同轴设置的负压腔，负压腔连通于旋转导气装置，以实现负压腔通过旋转导气装置连通于外界的负压源，主轴的自由端设有具有弹性的接触部件，接触部件上设有连通于负压腔的负压抽吸孔，具有弹性的接触部件可避免划伤晶圆，该真空吸盘轴机构利用负压腔内的负压将晶圆吸附在接触部件上，使得晶圆能够跟随主轴一同旋转，使晶圆的加工精度更高。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工领域，特别是涉及一种真空吸盘轴机构。
背景技术
在某些集成电路的制造过程中，需要对晶圆的边缘进行打磨修整，一般采用晶圆磨边机对晶圆实施磨边加工，具体地，晶圆磨边机采用相应的夹具装夹晶圆，并采用砂轮对晶圆的边缘进行打磨修整。目前的装夹方式有多种，卡盘形式较为常见，然而卡盘装夹容易损坏脆弱的晶圆，而且由于需要对晶圆的边缘进行打磨，因此卡盘装夹会与砂轮产生干涉，因此卡盘装夹不可取。当然，也可采用上下设置的两个夹持部件对晶圆的两个端面进行夹持，以免与砂轮产生干涉，然而，为了对晶圆的整个边缘进行打磨，还需要对晶圆进行旋转操作，这导致夹持部件需要多次对晶圆进行装夹，极易产生定位误差。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种真空吸盘轴机构，以解决现有的装夹机构无法适配晶圆的磨边加工的问题。
基于此，本实用新型提供了一种真空吸盘轴机构，包括基座和转动连接于所述基座的主轴，所述主轴上设有旋转导气装置，所述主轴内设有负压腔，所述负压腔连通于所述旋转导气装置，所述主轴的自由端设有具有弹性的接触部件，所述接触部件上设有连通于所述负压腔的负压抽吸孔。
作为优选的，还包括固定连接于所述基座的轴套，所述主轴穿设于所述轴套且二者转动连接。
作为优选的，所述旋转导气装置包括连接环和连接槽，所述连接环上开设有连接于负压源的负压接口，所述连接槽环绕地设于所述主轴的外侧壁，且所述连接槽内开设有连通于所述负压腔的连接孔；所述主轴可转动地穿设于所述连接环，所述连接槽的开口和所述连接环的内侧壁相对设置，所述连接槽和连接环之间形成空腔。
作为优选的，所述连接槽的侧边设有套接于所述主轴的密封环，所述密封环的外侧壁可滑动地抵接于所述连接环的内侧壁。
作为优选的，还包括固定连接于所述基座的电动机，所述电动机的转轴连接于所述主轴。
作为优选的，所述基座上设有固定套筒，所述主轴穿设于所述固定套筒，且所述电动机固定连接于所述固定套筒的端部。
作为优选的，所述固定套筒的侧壁上设有贯通于其内部和外部的让位缺口。
作为优选的，所述接触部件的端部设有多个环绕所述负压抽吸孔设置的接触块，相邻的两个所述接触块和所述接触部件的端部形成凹槽。
作为优选的，所述接触部件的端部上还设有一个或多个导气槽，所述导气槽贯通于相邻的两个所述凹槽。
作为优选的，所述基座和主轴之间设有一个或多个深沟球轴承。
本实用新型的真空吸盘轴机构，包括基座和转动连接于基座的主轴，主轴上设有旋转导气装置，主轴内设有与其同轴设置的负压腔，负压腔连通于旋转导气装置，以实现负压腔通过旋转导气装置连通于外界的负压源，主轴的自由端设有具有弹性的接触部件，接触部件上设有连通于负压腔的负压抽吸孔，具有弹性的接触部件可避免划伤晶圆，该真空吸盘轴机构利用负压腔内的负压将晶圆吸附在接触部件上，使得晶圆能够跟随主轴一同旋转，使晶圆的加工精度更高。
附图说明
图1是本实用新型实施例的真空吸盘轴机构的装配状态示意图；
图2是本实用新型实施例的真空吸盘轴机构的爆炸示意图；
图3是本实用新型实施例的真空吸盘轴机构的主轴结构示意图；
图4是本实用新型实施例的真空吸盘轴机构的接触部件的结构示意图。
其中，1、主轴；11、接触部件；111、负压抽吸孔；112、接触块；113、凹槽；114、导气槽；2、旋转导气装置；21、连接环；211、负压接口；22、连接槽；221、连接孔；23、密封环；3、轴套；4、电动机；5、固定套筒；51、让位缺口；6、深沟球轴承。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
结合图1至图4所示，示意性地显示了本实用新型的真空吸盘轴机构，包括基座和转动连接于基座的主轴1，基座和主轴1之间设有一个或多个深沟球轴承6，深沟球轴承6采用的是密封型深沟球轴承6，能防止灰尘进入轴承，也能防止轴承内的润滑脂逸出。主轴1上设有旋转导气装置2，主轴1内设有与其同轴设置的负压腔，负压腔连通于旋转导气装置2，负压腔可通过旋转导气装置2连通于外界的负压源，且旋转导气装置2并不会干涉主轴1相对基座转动。主轴1的自由端设有具有弹性的接触部件11，接触部件11上设有连通于负压腔的负压抽吸孔111，具有弹性的接触部件11可避免划伤晶圆。负压腔内产生的负压可通过负压抽吸孔111将晶圆吸附在接触部件11的端面，使得晶圆紧密连接于接触部件11，防止晶圆脱离主轴1。
如图2和图3所示，真空吸盘轴机构还包括固定连接于基座的轴套3，主轴1穿设于轴套3且二者转动连接，上述的深沟球轴承6安装在轴套3内。
进一步的，旋转导气装置2包括连接环21和连接槽22，连接环21上开设有连接于负压源的负压接口211，连接槽22环绕地设于主轴1的外侧壁，且连接槽22的底壁上开设有连通于负压腔的连接孔221。主轴1可转动地穿设于连接环21，连接槽22的开口和连接环21的内侧壁相对设置，连接槽22和连接环21之间形成空腔，气体流动的流向为：由负压抽吸孔111经负压腔、连接孔221、空腔和负压接口211流至负压源。
如图2，为了提升旋转导气装置2的密封性，连接槽22的侧边设有套接于主轴1的密封环23，密封环23的外侧壁可滑动地抵接于连接环21的内侧壁，密封环23可采用现有的O形圈，其价格便宜、性能可靠且安装简单，可大幅提升旋转导气装置2的密封性，进而提升该真空吸盘轴机构的吸附力。
基座上还设有电动机4，电动机4转轴连接于主轴1，用于驱动主轴1自转。基座上还设有固定套筒5，主轴1穿设于固定套筒5，且电动机4固定连接于固定套筒5的端部，固定套筒5可用于将电动机4安装在基座上。其中，固定套筒5的侧壁上设有贯通于其内部和外部的让位缺口51，该让位缺口51用于让位于负压管，负压管的一端连接于旋转导气装置2的负压接口211，另一端连接于负压源。
结合图4所示，接触部件11的端部设有多个环绕负压抽吸孔111设置的接触块112，相邻的两个接触块112和所述接触部件11的端部形成凹槽113，具体地，接触部件11的端部上还设有一个或多个导气槽114，导气槽114贯通于相邻的两个凹槽113，这使得凹槽113和导气槽114均贯通于负压抽吸孔111，使得吸附力在晶圆上分布得更为均匀。
综上所述，本实用新型的真空吸盘轴机构，包括基座和转动连接于基座的主轴1，主轴1上设有旋转导气装置2，主轴1内设有与其同轴设置的负压腔，负压腔连通于旋转导气装置2，以实现负压腔通过旋转导气装置2连通于外界的负压源，主轴1的自由端设有具有弹性的接触部件11，接触部件11上设有连通于负压腔的负压抽吸孔111，具有弹性的接触部件11可避免划伤晶圆，该真空吸盘轴机构利用负压腔内的负压将晶圆吸附在接触部件11上，使得晶圆能够跟随主轴1一同旋转，使晶圆的加工精度更高。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种真空吸盘轴机构，其特征在于，包括基座和转动连接于所述基座的主轴，所述主轴上设有旋转导气装置，所述主轴内设有负压腔，所述负压腔连通于所述旋转导气装置，所述主轴的自由端设有具有弹性的接触部件，所述接触部件上设有连通于所述负压腔的负压抽吸孔。
2.根据权利要求1所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，还包括固定连接于所述基座的轴套，所述主轴穿设于所述轴套且二者转动连接。
3.根据权利要求1所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，所述旋转导气装置包括连接环和连接槽，所述连接环上开设有连接于负压源的负压接口，所述连接槽环绕地设于所述主轴的外侧壁，且所述连接槽内开设有连通于所述负压腔的连接孔；所述主轴可转动地穿设于所述连接环，所述连接槽的开口和所述连接环的内侧壁相对设置，所述连接槽和连接环之间形成空腔。
4.根据权利要求3所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，所述连接槽的侧边设有套接于所述主轴的密封环，所述密封环的外侧壁可滑动地抵接于所述连接环的内侧壁。
5.根据权利要求1所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，还包括固定连接于所述基座的电动机，所述电动机的转轴连接于所述主轴。
6.根据权利要求5所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，所述基座上设有固定套筒，所述主轴穿设于所述固定套筒，且所述电动机固定连接于所述固定套筒的端部。
7.根据权利要求6所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，所述固定套筒的侧壁上设有贯通于其内部和外部的让位缺口。
8.根据权利要求1所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，所述接触部件的端部设有多个环绕所述负压抽吸孔设置的接触块，相邻的两个所述接触块和所述接触部件的端部形成凹槽。
9.根据权利要求8所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，所述接触部件的端部上还设有一个或多个导气槽，所述导气槽贯通于相邻的两个所述凹槽。
10.根据权利要求1所述的真空吸盘轴机构，其特征在于，所述基座和主轴之间设有一个或多个深沟球轴承。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202020898604.3U CN211828704U (zh) | 2020-05-25 | 2020-05-25 | 真空吸盘轴机构 |
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN113400186A (zh) * | 2021-07-20 | 2021-09-17 | 深圳市科源信科技有限公司 | 一种石英晶振片研磨架 |
| CN115241114A (zh) * | 2022-08-17 | 2022-10-25 | 常熟市兆恒众力精密机械有限公司 | 一种晶圆盘夹具 |
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2020
- 2020-05-25 CN CN202020898604.3U patent/CN211828704U/zh active Active
Cited By (3)
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