JPH07326693A - Bgaパッケージ用コンタクタ - Google Patents
Bgaパッケージ用コンタクタInfo
- Publication number
- JPH07326693A JPH07326693A JP11656694A JP11656694A JPH07326693A JP H07326693 A JPH07326693 A JP H07326693A JP 11656694 A JP11656694 A JP 11656694A JP 11656694 A JP11656694 A JP 11656694A JP H07326693 A JPH07326693 A JP H07326693A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bga
- contactor
- contact
- bga package
- contacts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Connecting Device With Holders (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】接触子の交流抵抗分を小さく、高速度テストに
対応できるBGAパッケージコンタクタを提供すること
にある。 【構成】複数のBGA端子7が配置されたBGAパッケ
ージ6を載置することにより、前記BGA端子7に電気
的に接続される複数の接触子13を備えたBGAパッケ
ージ用コンタクタにおいて、前記接触子13は、インピ
ーダンス整合されたプリント基板11に立設された導電
性ピン14と、この導電性ピン14に嵌合されるととも
に端面に前記BGA端子7と接触する接触面を有する軸
方向に伸縮自在な導電性のベローズスプリング15とか
ら構成されていることを特徴とする。
対応できるBGAパッケージコンタクタを提供すること
にある。 【構成】複数のBGA端子7が配置されたBGAパッケ
ージ6を載置することにより、前記BGA端子7に電気
的に接続される複数の接触子13を備えたBGAパッケ
ージ用コンタクタにおいて、前記接触子13は、インピ
ーダンス整合されたプリント基板11に立設された導電
性ピン14と、この導電性ピン14に嵌合されるととも
に端面に前記BGA端子7と接触する接触面を有する軸
方向に伸縮自在な導電性のベローズスプリング15とか
ら構成されていることを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、BGA(ボール・グ
リッド・アレイ)パッケージICの電気的特性を検査す
る検査装置に用いるBGAパッケージ用コンタクタに関
する。
リッド・アレイ)パッケージICの電気的特性を検査す
る検査装置に用いるBGAパッケージ用コンタクタに関
する。
【0002】
【従来の技術】BGA(ボール・グリッド・アレイ)パ
ッケージICの電気的特性を検査する検査装置に用いて
いる従来のBGAソケットは、一般に、図4に示すよう
に構成されている。すなわち、1はソケット本体で、こ
のソケット本体1にはプリント基板2が設けられてい
る。
ッケージICの電気的特性を検査する検査装置に用いて
いる従来のBGAソケットは、一般に、図4に示すよう
に構成されている。すなわち、1はソケット本体で、こ
のソケット本体1にはプリント基板2が設けられてい
る。
【0003】ガイド枠10には複数の接触子3が整列し
た状態に設けられており、接触子3は接触時のマイクロ
ワイピングと安定した接触力を生み出すために、導電性
板ばねを略C字状に湾曲した湾曲部4を有しており、こ
の湾曲部4を介して端子ピン5に接続されている。さら
に、端子ピン5はプリント基板2に植設されている。
た状態に設けられており、接触子3は接触時のマイクロ
ワイピングと安定した接触力を生み出すために、導電性
板ばねを略C字状に湾曲した湾曲部4を有しており、こ
の湾曲部4を介して端子ピン5に接続されている。さら
に、端子ピン5はプリント基板2に植設されている。
【0004】そして、前記プリント基板2の上面に被検
査用のBGAパッケージ6が載置され、このBGAパッ
ケージ6の下面に設けられた複数のボール状のBGA端
子7が前記接触子3に接触して電気的に導通するように
なっている。また、ソケット本体1には押えプレート8
が枢支ピン9によって枢支されており、この押えプレー
ト8によってBGAパッケージ6を上方から押えること
により、下面のBGA端子7が接触子3に接触し、電気
的に導通するようになっている。
査用のBGAパッケージ6が載置され、このBGAパッ
ケージ6の下面に設けられた複数のボール状のBGA端
子7が前記接触子3に接触して電気的に導通するように
なっている。また、ソケット本体1には押えプレート8
が枢支ピン9によって枢支されており、この押えプレー
ト8によってBGAパッケージ6を上方から押えること
により、下面のBGA端子7が接触子3に接触し、電気
的に導通するようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
接触子3は、導電性板ばねによって形成され、しかも略
C字状に湾曲した湾曲部4を有しているため、長さが長
くなり、自己インダクタンスが高い。このため、交流抵
抗分が高周波パルスに歪、遅れ、反射等の弊害を起し、
高速度テストに障害となっていた。
接触子3は、導電性板ばねによって形成され、しかも略
C字状に湾曲した湾曲部4を有しているため、長さが長
くなり、自己インダクタンスが高い。このため、交流抵
抗分が高周波パルスに歪、遅れ、反射等の弊害を起し、
高速度テストに障害となっていた。
【0006】また、プリント基板2にはBGAパッケー
ジ6の多数のBGA端子7の配列に合わせて接触子3を
配置する必要があるが、接触子3の湾曲部4が大きなス
ペースを占有しているため、湾曲部4相互が接触しない
ように配置し、組み立てることが困難で、組立てに多く
の工数がかかり、コストアップの原因となっている。
ジ6の多数のBGA端子7の配列に合わせて接触子3を
配置する必要があるが、接触子3の湾曲部4が大きなス
ペースを占有しているため、湾曲部4相互が接触しない
ように配置し、組み立てることが困難で、組立てに多く
の工数がかかり、コストアップの原因となっている。
【0007】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、接触子のインダクタ
ンスを小さくし、かつプリント基板をインピーダンス整
合させることで高速度テストに対応できるとともに、組
立ての容易化を図ることができるBGAパッケージ用コ
ンタクタを提供することにある。
もので、その目的とするところは、接触子のインダクタ
ンスを小さくし、かつプリント基板をインピーダンス整
合させることで高速度テストに対応できるとともに、組
立ての容易化を図ることができるBGAパッケージ用コ
ンタクタを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明は前記目的を達
成するために、請求項1は、複数のBGA端子が配置さ
れたBGAパッケージを載置することにより、前記BG
A端子に電気的に接続される複数の接触子を備えたBG
Aパッケージ用コンタクタにおいて、前記接触子は、プ
リント基板に立設された導電性ピンと、この導電性ピン
に嵌合されるとともに端面に前記BGA端子と接触する
接触面を有する軸方向に伸縮自在な導電性のベローズス
プリングとから構成されていることを特徴とする。
成するために、請求項1は、複数のBGA端子が配置さ
れたBGAパッケージを載置することにより、前記BG
A端子に電気的に接続される複数の接触子を備えたBG
Aパッケージ用コンタクタにおいて、前記接触子は、プ
リント基板に立設された導電性ピンと、この導電性ピン
に嵌合されるとともに端面に前記BGA端子と接触する
接触面を有する軸方向に伸縮自在な導電性のベローズス
プリングとから構成されていることを特徴とする。
【0009】請求項2は、複数のBGA端子が配置され
たBGAパッケージを載置することにより、前記BGA
端子に電気的に接続される複数の接触子を備えたBGA
パッケージ用コンタクタにおいて、前記接触子は、プリ
ント基板に立設され端部にすり割り有する導電性ピン
と、この導電性ピンのすり割りを有する端部に着脱可能
に嵌合されるとともに端面に前記BGA端子と接触する
接触面を有する軸方向に伸縮自在な導電性のベローズス
プリングとから構成されていることを特徴とする。
たBGAパッケージを載置することにより、前記BGA
端子に電気的に接続される複数の接触子を備えたBGA
パッケージ用コンタクタにおいて、前記接触子は、プリ
ント基板に立設され端部にすり割り有する導電性ピン
と、この導電性ピンのすり割りを有する端部に着脱可能
に嵌合されるとともに端面に前記BGA端子と接触する
接触面を有する軸方向に伸縮自在な導電性のベローズス
プリングとから構成されていることを特徴とする。
【0010】請求項3は、複数のBGA端子が配置され
たBGAパッケージを載置することにより、前記BGA
端子に電気的に接続される複数の接触子を備えたBGA
パッケージ用コンタクタにおいて、前記接触子は、プリ
ント基板に立設された同一外径、同一高さの導電性ピン
と、この導電性ピンに嵌合されるとともに端面に前記B
GA端子と接触する接触面を有し、かつ同一内径、同一
高さで軸方向に伸縮自在な導電性のベローズスプリング
とから構成されていることを特徴とする。
たBGAパッケージを載置することにより、前記BGA
端子に電気的に接続される複数の接触子を備えたBGA
パッケージ用コンタクタにおいて、前記接触子は、プリ
ント基板に立設された同一外径、同一高さの導電性ピン
と、この導電性ピンに嵌合されるとともに端面に前記B
GA端子と接触する接触面を有し、かつ同一内径、同一
高さで軸方向に伸縮自在な導電性のベローズスプリング
とから構成されていることを特徴とする。
【0011】
【作用】BGA端子が配置されたBGAパッケージを複
数の接触子を備えたBGAパッケージ用コンタクタに載
置すると、BGA端子が接触子を構成するベローズスプ
リングの接触面に接触して電気的に導通状態となり、B
GAパッケージの電気的特性を検査することができる。
数の接触子を備えたBGAパッケージ用コンタクタに載
置すると、BGA端子が接触子を構成するベローズスプ
リングの接触面に接触して電気的に導通状態となり、B
GAパッケージの電気的特性を検査することができる。
【0012】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図1〜図3はBGAパッケージ用コンタクタ
を示すもので、11はGND11aを有するプリント基
板である。このプリント基板11にはXY方向に整列さ
れた多数のスルホール12が設けられており、これらス
ルホール12には接触子13が設けられている。
説明する。図1〜図3はBGAパッケージ用コンタクタ
を示すもので、11はGND11aを有するプリント基
板である。このプリント基板11にはXY方向に整列さ
れた多数のスルホール12が設けられており、これらス
ルホール12には接触子13が設けられている。
【0013】接触子13は、同一構造であり、それぞれ
導電性ピン14と導電性のベローズスプリング15とか
ら構成されている。導電性ピン14は、例えば燐青銅ま
たはベリリウム銅等からなる円柱体で、表面が金メッキ
されている。この導電性ピン14の上端部が小径部14
aに、下端部が大径部14bに形成され、この大径部1
4bが前記スルホール12に挿入されているとともに、
下端部はプリント基板11の裏面から下方へ突出してい
る。
導電性ピン14と導電性のベローズスプリング15とか
ら構成されている。導電性ピン14は、例えば燐青銅ま
たはベリリウム銅等からなる円柱体で、表面が金メッキ
されている。この導電性ピン14の上端部が小径部14
aに、下端部が大径部14bに形成され、この大径部1
4bが前記スルホール12に挿入されているとともに、
下端部はプリント基板11の裏面から下方へ突出してい
る。
【0014】さらに、導電性ピン14の下端部は半田1
6によってスルホール12に電気的に導通状態に固定さ
れている。また、導電性ピン14の小径部14aはプリ
ント基板11の表面から上方へ突出しており、この小径
部14aにすり割り17が形成され、縮径方向に弾性変
形できるように形成されている。
6によってスルホール12に電気的に導通状態に固定さ
れている。また、導電性ピン14の小径部14aはプリ
ント基板11の表面から上方へ突出しており、この小径
部14aにすり割り17が形成され、縮径方向に弾性変
形できるように形成されている。
【0015】前記ベローズスプリング15は、例えばニ
ッケルに金メッキを施した薄肉の有頭円筒体で、その端
面に接触面15aを有し、外周部には断面が波状の伸縮
部15bが形成されているとともに、下端部には前記導
電性ピン14の小径部14aに嵌合する嵌合部15cが
設けられている。
ッケルに金メッキを施した薄肉の有頭円筒体で、その端
面に接触面15aを有し、外周部には断面が波状の伸縮
部15bが形成されているとともに、下端部には前記導
電性ピン14の小径部14aに嵌合する嵌合部15cが
設けられている。
【0016】このベローズスプリング15は前記伸縮部
15bによって軸方向に伸縮自在であり、接触面15a
に下方への押圧力が加わった時に弾性的に圧縮され、押
圧力が解除された時に弾性的に元の状態に伸長するよう
になっている。そして、このベローズスプリング15の
嵌合部15cの内径は、前記導電性ピン14の小径部1
4aの外径と同一もしくは小径に形成されていて、嵌合
部15cを小径部14aに密に嵌合することにより、導
電性ピン14に対してベローズスプリング15が固定的
に保持され、また抜き取ることができるようになってい
る。
15bによって軸方向に伸縮自在であり、接触面15a
に下方への押圧力が加わった時に弾性的に圧縮され、押
圧力が解除された時に弾性的に元の状態に伸長するよう
になっている。そして、このベローズスプリング15の
嵌合部15cの内径は、前記導電性ピン14の小径部1
4aの外径と同一もしくは小径に形成されていて、嵌合
部15cを小径部14aに密に嵌合することにより、導
電性ピン14に対してベローズスプリング15が固定的
に保持され、また抜き取ることができるようになってい
る。
【0017】前述のように多数本の接触子13が配置さ
れたプリント基板11の表面には接触子群を囲繞するよ
うにガイド枠18が設けられ、このガイド枠18の内周
部には被検査用のBGAパッケージ6の周縁部を支持す
る支持段部19およびこの支持段部19の上部にガイド
用のテーパ面20が設けられている。
れたプリント基板11の表面には接触子群を囲繞するよ
うにガイド枠18が設けられ、このガイド枠18の内周
部には被検査用のBGAパッケージ6の周縁部を支持す
る支持段部19およびこの支持段部19の上部にガイド
用のテーパ面20が設けられている。
【0018】BGAパッケージ6の下面には多数のボー
ル状のBGA端子7が設けられており、これらはプリン
ト基板11の接触子13と同一の配列状態で、BGAパ
ッケージ6をガイド枠18をガイドとしてコンタクト部
に載置することにより、BGA端子7が接触子13のベ
ローズスプリング15の接触面15aに接触して電気的
に導通するようになっている。
ル状のBGA端子7が設けられており、これらはプリン
ト基板11の接触子13と同一の配列状態で、BGAパ
ッケージ6をガイド枠18をガイドとしてコンタクト部
に載置することにより、BGA端子7が接触子13のベ
ローズスプリング15の接触面15aに接触して電気的
に導通するようになっている。
【0019】したがって、BGAパッケージ6の電気的
特性を検査する際には、BGAパッケージ6のBGA端
子7を下面にしてコンタクト部に載置すると、BGAパ
ッケージ6のBGA端子7が接触子13のベローズスプ
リング15の接触面15aに接触する。
特性を検査する際には、BGAパッケージ6のBGA端
子7を下面にしてコンタクト部に載置すると、BGAパ
ッケージ6のBGA端子7が接触子13のベローズスプ
リング15の接触面15aに接触する。
【0020】この状態で、BGAパッケージ6を下方へ
押圧すると、BGAパッケージ6のBGA端子7が接触
子13のベローズスプリング15の接触面15aを下方
に押圧し、ベローズスプリング15の伸縮部15aが圧
縮されるため、BGA端子7と接触子13との接触が一
層確実となり、接触子13の高さおよびBGA端子7の
突出量に多少のバラツキがあっても、ベローズスプリン
グ15がそのバラツキを吸収するため、すべてのBGA
端子7と接触子13とが接触して電気的に導通する。
押圧すると、BGAパッケージ6のBGA端子7が接触
子13のベローズスプリング15の接触面15aを下方
に押圧し、ベローズスプリング15の伸縮部15aが圧
縮されるため、BGA端子7と接触子13との接触が一
層確実となり、接触子13の高さおよびBGA端子7の
突出量に多少のバラツキがあっても、ベローズスプリン
グ15がそのバラツキを吸収するため、すべてのBGA
端子7と接触子13とが接触して電気的に導通する。
【0021】したがって、BGAパッケージ6の電気的
特性を検査する際に、BGAパッケージ6のBGA端子
7を下面にしてコンタクト部に載置するだけで、高速に
テストできる。また、接触子13のベローズスプリング
15は、外径が0.9mm、高さ寸法が2mm程度であ
り、インダクタンスが0.3nH程度と低いため、波形
歪、遅れを防止でき、高速テストが可能である。
特性を検査する際に、BGAパッケージ6のBGA端子
7を下面にしてコンタクト部に載置するだけで、高速に
テストできる。また、接触子13のベローズスプリング
15は、外径が0.9mm、高さ寸法が2mm程度であ
り、インダクタンスが0.3nH程度と低いため、波形
歪、遅れを防止でき、高速テストが可能である。
【0022】なお、BGAパッケージ6には種々のタイ
プがあり、BGA端子7の個数、配列も様々であるが、
BGAパッケージ6のタイプによってプリント基板11
に対する接触子13の個数、配列を変更することにより
対応できる。
プがあり、BGA端子7の個数、配列も様々であるが、
BGAパッケージ6のタイプによってプリント基板11
に対する接触子13の個数、配列を変更することにより
対応できる。
【0023】また、接触子13は、導電性ピン14に対
してベローズスプリング15が着脱可能に設けられてい
るから、ベローズスプリング15が破損した場合、新し
いベローズスプリング15を導電性ピン14に装着すれ
ばよく、メンテナンスも容易になる。
してベローズスプリング15が着脱可能に設けられてい
るから、ベローズスプリング15が破損した場合、新し
いベローズスプリング15を導電性ピン14に装着すれ
ばよく、メンテナンスも容易になる。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、プリント基板に立設した導電性ピンにBGAパッケ
ージのBGA端子と接触する接触面を有する軸方向に伸
縮自在な導電性のベローズスプリングを設けることによ
り、BGAパッケージを載置することにより、BGA端
子に接触子が電気的に接続し、BGAパッケージの電気
的特性を検査することができる。また、ベローズスプリ
ングを用いることにより、接触子のインダクタンスを小
さく、高速度テストに対応できる。
ば、プリント基板に立設した導電性ピンにBGAパッケ
ージのBGA端子と接触する接触面を有する軸方向に伸
縮自在な導電性のベローズスプリングを設けることによ
り、BGAパッケージを載置することにより、BGA端
子に接触子が電気的に接続し、BGAパッケージの電気
的特性を検査することができる。また、ベローズスプリ
ングを用いることにより、接触子のインダクタンスを小
さく、高速度テストに対応できる。
【0025】しかも、BGAパッケージを下方へ押圧す
ると、BGAパッケージのBGA端子がベローズスプリ
ングの接触面を下方に押圧し、ベローズスプリングの伸
縮部が圧縮されるため、BGA端子と接触子との接触が
一層確実となり、接触子の高さおよびBGA端子の突出
量に多少のバラツキがあっても、ベローズスプリングが
そのバラツキを吸収するため、すべてのBGA端子と接
触子とが接触して電気的に導通し、検査の信頼性を向上
できる。
ると、BGAパッケージのBGA端子がベローズスプリ
ングの接触面を下方に押圧し、ベローズスプリングの伸
縮部が圧縮されるため、BGA端子と接触子との接触が
一層確実となり、接触子の高さおよびBGA端子の突出
量に多少のバラツキがあっても、ベローズスプリングが
そのバラツキを吸収するため、すべてのBGA端子と接
触子とが接触して電気的に導通し、検査の信頼性を向上
できる。
【0026】また、プリント基板に立設した導電性ピン
にベローズスプリングを嵌合して接触子を構成すること
により、コンタクタの小形化を図ることができ、また組
立て、作業性も向上し、コストダウンを図ることができ
るという種々の効果を奏する。
にベローズスプリングを嵌合して接触子を構成すること
により、コンタクタの小形化を図ることができ、また組
立て、作業性も向上し、コストダウンを図ることができ
るという種々の効果を奏する。
【図1】この発明の一実施例を示すBGAパッケージ用
コンタクタの縦断正面図。
コンタクタの縦断正面図。
【図2】同実施例のBGAパッケージ用コンタクタの平
面図。
面図。
【図3】同実施例の接触子を拡大して示す縦断正面図。
【図4】従来のBGAパッケージ用コンタクタの縦断正
面図。
面図。
6…BGAパッケージ 7…BGA端子 11…プリント基板 13…接触子 14…導電性ピン 15…ベローズスプリング
Claims (3)
- 【請求項1】 複数のBGA端子が配置されたBGAパ
ッケージを載置することにより、前記BGA端子に電気
的に接続される複数の接触子を備えたBGAパッケージ
用コンタクタにおいて、 前記接触子は、プリント基板に立設された導電性ピン
と、この導電性ピンに嵌合されるとともに端面に前記B
GA端子と接触する接触面を有する軸方向に伸縮自在な
導電性のベローズスプリングとから構成されていること
を特徴とするBGAパッケージ用コンタクタ。 - 【請求項2】 複数のBGA端子が配置されたBGAパ
ッケージを載置することにより、前記BGA端子に電気
的に接続される複数の接触子を備えたBGAパッケージ
用コンタクタにおいて、 前記接触子は、プリント基板に立設され端部にすり割り
有する導電性ピンと、この導電性ピンのすり割りを有す
る端部に着脱可能に嵌合されるとともに端面に前記BG
A端子と接触する接触面を有する軸方向に伸縮自在な導
電性のベローズスプリングとから構成されていることを
特徴とするBGAパッケージ用コンタクタ。 - 【請求項3】 複数のBGA端子が配置されたBGAパ
ッケージを載置することにより、前記BGA端子に電気
的に接続される複数の接触子を備えたBGAパッケージ
用コンタクタにおいて、 前記接触子は、プリント基板に立設された同一外径、同
一高さの導電性ピンと、この導電性ピンに嵌合されると
ともに端面に前記BGA端子と接触する接触面を有し、
かつ同一内径、同一高さで軸方向に伸縮自在な導電性の
ベローズスプリングとから構成されていることを特徴と
するBGAパッケージ用コンタクタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11656694A JPH07326693A (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | Bgaパッケージ用コンタクタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11656694A JPH07326693A (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | Bgaパッケージ用コンタクタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07326693A true JPH07326693A (ja) | 1995-12-12 |
Family
ID=14690287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11656694A Pending JPH07326693A (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | Bgaパッケージ用コンタクタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07326693A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997016849A1 (en) * | 1995-11-02 | 1997-05-09 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ball grid array integrated circuit socket |
KR100278766B1 (ko) * | 1998-04-25 | 2001-01-15 | 정문술 | 마이크로비지에이(μBGA)타입소자용캐리어모듈 |
JP2017092300A (ja) * | 2015-11-12 | 2017-05-25 | 株式会社リコー | ソケットガイド、ソケット、及びソケットの製造方法 |
JP2019138768A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | 株式会社村田製作所 | プローブ |
-
1994
- 1994-05-30 JP JP11656694A patent/JPH07326693A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997016849A1 (en) * | 1995-11-02 | 1997-05-09 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ball grid array integrated circuit socket |
KR100278766B1 (ko) * | 1998-04-25 | 2001-01-15 | 정문술 | 마이크로비지에이(μBGA)타입소자용캐리어모듈 |
JP2017092300A (ja) * | 2015-11-12 | 2017-05-25 | 株式会社リコー | ソケットガイド、ソケット、及びソケットの製造方法 |
JP2019138768A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | 株式会社村田製作所 | プローブ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100734296B1 (ko) | 자체 클리닝 기능이 있는 검사장치용 소켓핀 및 이를포함하는 검사장치 | |
JP4060919B2 (ja) | 電気的接続装置、接触子製造方法、及び半導体試験方法 | |
JP3414593B2 (ja) | 導電性接触子 | |
JP3527724B2 (ja) | Icソケット及びic試験装置 | |
JP4328145B2 (ja) | 集積回路テストプローブ | |
CN100567995C (zh) | 检查装置的插口 | |
KR19990076475A (ko) | 테스트 소켓 | |
KR100640626B1 (ko) | 포고 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓 | |
JP2901603B1 (ja) | 電子部品導電シート | |
KR101483757B1 (ko) | 전기접속용 커넥터 | |
JP3342789B2 (ja) | 導電性接触子 | |
KR100202326B1 (ko) | Ic 소켓 | |
JPH07326693A (ja) | Bgaパッケージ用コンタクタ | |
JPH09219267A (ja) | Bga・ic試験用コンタクト・ソケット | |
KR100787087B1 (ko) | 최종시험공정에서의 반도체 특성 시험용 소켓 핀 | |
JP2000227441A (ja) | プリント基板検査用プローブユニット | |
KR200345867Y1 (ko) | 검사용 탐침장치 | |
KR200247732Y1 (ko) | 칩 검사장치 | |
KR20200091067A (ko) | 전기적 검사용 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓 | |
KR100450976B1 (ko) | 검사용 탐침장치 | |
JP7374037B2 (ja) | ポゴブロック | |
JPH0566243A (ja) | Lsi評価用治具 | |
KR200182523Y1 (ko) | 검사용 탐침장치 | |
KR200247733Y1 (ko) | 칩 검사용 소켓장치 | |
KR20170119469A (ko) | 전기 단자 테스트용 메쉬형 컨택 핀 |