JPH0731933B2 - 高周波用誘電体磁器組成物 - Google Patents

高周波用誘電体磁器組成物

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JPH0731933B2
JPH0731933B2 JP2042506A JP4250690A JPH0731933B2 JP H0731933 B2 JPH0731933 B2 JP H0731933B2 JP 2042506 A JP2042506 A JP 2042506A JP 4250690 A JP4250690 A JP 4250690A JP H0731933 B2 JPH0731933 B2 JP H0731933B2
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喜章 井口
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、高周波用誘電体磁器組成物に関し、更に詳細
には、例えば誘電体共振器等の誘電体の材料として使用
される高周波用誘電体磁器組成物に関するものである。
(従来の技術) 例えば、マイクロ波回路用の誘電体共振器に使用される
誘電体磁器すなわち高周波用誘電体磁器は、低周波用の
誘電体磁器と比べて基本的電気特性への次のような厳し
い要求がされている。
すなわち、第一に、素子の小型化ため、適度に大きな比
誘電率εを備えていること、第二に、高周波(マイク
ロ波)周波数領域における誘電損失が小さく、品質係数
Qが高いこと、第三に、比誘電率の温度係数が小さく
(温度高安定性)、しかもNPO(誘電率の温度変化率が
0%であるという意味)付近で任意の値が選択できるこ
と等が挙げられる。ここで、本明細書における温度係数
は直接測定できて一般的に用いられている共振周波数の
温度係数を用いることとする。
従来、このような高周波用誘電体磁器の材料として使用
される組成物としては、高周波領域において、高いQの
得られるBa(Zn1/3Ta2/3)O3のような複合ペロブスカイ
ト系酸化物や、高い比誘電率の得られるZrO2−SnO2−Ti
O2系(特公昭54−35678号公報参照)、ZrO2−La2O3−Ti
O2系(特公昭61−17081号公報参照)およびZrO2−CeO2
−TiO2系(特公昭61−17085号公報参照)等が知られて
いる。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上記のBa(Zn1/3Ta2/3)O3のような複合
ペロブスカイト系酸化物でできた磁器は、Qが10,000〜
20,000と極めて高く、Qの点では満足のゆくものである
が、比誘電率εがいずれも35以下と小さく、これを用
いて誘電体共振器を製造した場合、装置が大型化してし
まう。更に、Nb2O5やTa2O5等の高価な物質を主成分の一
部として用いており、またこれらの物質は難焼結性で焼
成温度が1500〜1700℃と高いことから、製造コストが極
めて高くなるという問題がある。
一方、上記ZrO2−SnO2−TiO2系、ZrO2−La2O3−TiO2
およびZrO2−CeO2−TiO2系磁器組成物でできた磁器は、
用いられている物質それ自体が安価であり、焼成温度も
低いため、該磁器を用いて製造した装置も安価になると
ともに、比誘電率εが35〜40と比較的高く、これらの
点では満足のゆくものであるが、Q値が7,000以下のも
のも多く、Q値の点では改良が望まれていた。
すなわち、従来の磁器組成物でできた磁器は、比誘電率
εとQのうちいずれか一方が上がると、他方が下がる
という傾向があり、双方を満足するものはなかった。
そこで、本発明は、新たな主成分系により、安価に製造
することができ、比誘電率εおよびQを向上させるこ
とができ、そして共振周波数の温度係数τfが小さく、
しかもこのτfをNPOを中心に自由に変化させることが
できる高周波用誘電体磁器組成物を提供することを目的
とするものである。
(課題を解決するための手段) 本発明の高周波用誘電体磁器組成物は、TiO246〜58mol
%、ZrO234〜44mol%、CeO20.5〜9.5mol%、SnO20.5〜
9.5mol%からなる主成分に対し、副成分として、Cr
2O3、Al2O3、SiO2の少なくとも1種を前記主成分に対し
て総量で0.01〜1.0重量%添加したことを特徴とするも
のである。
(作 用) 磁器組成物の成分およびその組成比をそれぞれ上記のよ
うに選択した理由は、TiO2、ZrO2、CeO2、SnO2が安価で
あり、該組成の材料を用いて形成された誘電体磁器のい
ずれにおいても、比誘電率εが35以上、Qが7,000以
上、また、共振周波数の温度係数τfが−30〜+30ppm/
℃の範囲内であって小さく、しかもこの範囲内で任意に
変化させることができるようにするためである。換言す
ると、上記各成分の組成比が本発明の範囲以外になる
と、これらの目標値が達成できないからである。
(実施例) 以下、本発明の好ましい実施例による高周波用誘電体磁
器組成物について説明する。
試料の作製にあたって、原料として高純度のTiO2、Zr
O2、CeO2、SnO2、Cr2O3、Al2O3、SiO2を第1表の組成比
率となるようにそれぞれ秤量し、それらを20時間湿式混
合した。次いで、脱水、乾燥し、得らた混合物を空気中
に1100℃で2時間仮焼した後、粉砕し、これれにバイン
ダを加えて、よく混合した。こうして得られた混合物を
3ton/cm2の圧力で直径12mm、厚さ6mmの円板形に加圧成
型し、この成型物を温度1360℃の空気雰囲気中で4時間
焼成し、磁器試料を得た。
このようにして作製した磁器試料のそれぞれについて、
25℃、7GHzにおける比誘電率ε、Qおよび共振周波数
の温度係数τfの各電気的特性を測定し、その結果を第
1表に示した。ここで、共振周波数の温度係数τfは、
25℃〜85℃の温度範囲における共振周波数を測定し、1
℃当りに換算して求めた。
なお、第1表中、*印を付したものは本発明の範囲外の
ものであり、それ以外の全てのものが本発明の範囲内の
ものである。
第1表から明らかなように、本発明の高周波用誘電体磁
器組成物における組成の限定理由は次の通りである。
TiO2が、試料4のように46mol%未満であると、比誘電
率εとQが小さくなり、一方、試料48のように58mol
%を超えると、温度係数τfがプラス側に大きくなり過
ぎる。
ZrO2が、試料50のように34mol未満であると、Qが小さ
くなり、試料8のように44mol%を超えると、温度係数
τfがプラス側に大きくなり過ぎる。
CeO2が、試料15、16、23、40、43のように、0.5mol%未
満または9.5mol%を超えると、Qが小さくなる。
SnO2が、試料15、16、23、41、42のように、0.5mol%未
満または9.5mol%を超えると、Qが小さくなる。
Cr2O3、Al2O3、SiO2のうち少なくとも一種以上からなる
成分の総量が、試料30、31、32のように0.01重量%未満
であると、その添加効果がみられず、すなわちQが向上
せず、一方、試料33、34、35のように1.0重量%を超え
ると、比誘電率εが小さくなるとともに、試料33、34
ではQも小さくなり、また試料34では温度係数τfがマ
イナス側で大きくなり過ぎる。
(発明の効果) 以上のように、本発明の高周波用誘電体磁器組成物は、
これを用いて誘電体磁器を製造したとき、高い誘電率に
おいて温度特性が安定で大きなQを示す優れた効果を持
つ。したがって、本発明の高周波用誘電体磁器組成物を
用いることにより、高周波領域で使用する誘電体共振器
や誘電体フィルタなどのマイクロ波回路素子を良好な状
態で製造することができる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】TiO246〜58mol%、ZrO234〜44mol%、CeO2
    0.5〜9.5mol%、SnO20.5〜9.5mol%からなる主成分に対
    し、副成分として、Cr2O3、Al2O3、SiO2の少なくとも1
    種を前記主成分に対して総量で0.01〜1.0重量%添加し
    たことを特徴とする高周波用誘電体磁器組成物。
JP2042506A 1990-02-26 1990-02-26 高周波用誘電体磁器組成物 Expired - Lifetime JPH0731933B2 (ja)

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