JPH07311608A - コマンド管理方法 - Google Patents
コマンド管理方法Info
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- JPH07311608A JPH07311608A JP6107400A JP10740094A JPH07311608A JP H07311608 A JPH07311608 A JP H07311608A JP 6107400 A JP6107400 A JP 6107400A JP 10740094 A JP10740094 A JP 10740094A JP H07311608 A JPH07311608 A JP H07311608A
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- Japan
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- command
- group
- name
- input
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- Prior art date
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- Granted
Links
Landscapes
- Projection-Type Copiers In General (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Programmable Controllers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 オペレ―タが装置のコマンドを入力する際の
誤操作を防止し、所望の操作を確実に行なうことのでき
るようなコマンド管理方法を提供する。 【構成】 コマンド群のそれぞれに従った動作が可能な
装置のコマンド管理方法において、ユーザ操作手段から
の指示に応じて前記コマンド群をグループ化すると共に
そのグループにグループ名を付して記憶し、コマンド入
力待ち状態において前記コマンド群内のコマンド名が指
定された時にはそのコマンドを実行させ、コマンド入力
待ち状態において前記グループ名が指定された時にはそ
のグループに含まれるコマンド名を表示手段に表示させ
る。
誤操作を防止し、所望の操作を確実に行なうことのでき
るようなコマンド管理方法を提供する。 【構成】 コマンド群のそれぞれに従った動作が可能な
装置のコマンド管理方法において、ユーザ操作手段から
の指示に応じて前記コマンド群をグループ化すると共に
そのグループにグループ名を付して記憶し、コマンド入
力待ち状態において前記コマンド群内のコマンド名が指
定された時にはそのコマンドを実行させ、コマンド入力
待ち状態において前記グループ名が指定された時にはそ
のグループに含まれるコマンド名を表示手段に表示させ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コマンド群のそれぞれ
に従った動作が可能な装置、例えばＬＳＩ，ＶＬＳＩ等
の半導体デバイスを製造する装置におけるコマンド管理
方法に関し、特に装置の動作に関するコマンドを任意に
グル―プ化して表示可能とし、ユ―ザが装置を容易に操
作できるようにしたコマンド管理方法に関する。
に従った動作が可能な装置、例えばＬＳＩ，ＶＬＳＩ等
の半導体デバイスを製造する装置におけるコマンド管理
方法に関し、特に装置の動作に関するコマンドを任意に
グル―プ化して表示可能とし、ユ―ザが装置を容易に操
作できるようにしたコマンド管理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体製造装置のようなコマンド
群のそれぞれに従った動作が可能な装置では、その高機
能化や高性能化に伴って、装置を動作させる際のコマン
ドが非常に増加してきている。これら数多くのコマンド
はそれぞれ装置の動作を制御する上で重要な役割を果た
すものであり、装置の機能を最大限利用する場合に欠く
ことができないものである。
群のそれぞれに従った動作が可能な装置では、その高機
能化や高性能化に伴って、装置を動作させる際のコマン
ドが非常に増加してきている。これら数多くのコマンド
はそれぞれ装置の動作を制御する上で重要な役割を果た
すものであり、装置の機能を最大限利用する場合に欠く
ことができないものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、その数が多
いことから装置を操作するエンジニアやオペレ―タ等が
それらすべてのコマンド等を記憶することは全く不可能
である。特に半導体製造装置の場合、オペレ―タは半導
体製造装置について主に日常の動作開始および停止の操
作を行なうために配置されている者であり、すべてのコ
マンド等を記憶することは不必要といえる。すなわち、
この場合、すべてのコマンドにより装置を操作するの
は、元来、熟練者であるエンジニアの仕事であり、オペ
レ―タが日常、操作するコマンドはごく一部のもののみ
で充分である。以上のような事情から、例えば、オペレ
―タが日常使用するコマンド以外のコマンドを使用する
ような場合には、朧気な記憶に頼るため、所望のものと
は異なるコマンドを入力してしまうという誤操作がかな
りあった。
いことから装置を操作するエンジニアやオペレ―タ等が
それらすべてのコマンド等を記憶することは全く不可能
である。特に半導体製造装置の場合、オペレ―タは半導
体製造装置について主に日常の動作開始および停止の操
作を行なうために配置されている者であり、すべてのコ
マンド等を記憶することは不必要といえる。すなわち、
この場合、すべてのコマンドにより装置を操作するの
は、元来、熟練者であるエンジニアの仕事であり、オペ
レ―タが日常、操作するコマンドはごく一部のもののみ
で充分である。以上のような事情から、例えば、オペレ
―タが日常使用するコマンド以外のコマンドを使用する
ような場合には、朧気な記憶に頼るため、所望のものと
は異なるコマンドを入力してしまうという誤操作がかな
りあった。
【０００４】通常、これらの誤操作を防止するために
は、オペレ―タ等のユ―ザは熟練者に聞いたりマニュア
ル等に頼らざるを得ない状況にある。これは、装置の操
作上非常に不便である。例えば、装置を操作する際にコ
ンソ―ルの前でオペレ―タがマニュアルを調べながらコ
マンドを入力するような場面がまま見られる。そのよう
な場合、オペレ―タの入力速度は極めて遅くなり、結果
として、装置のスル―プットを落としたりオペレ―タが
コンソ―ルでの操作に集中できずに入力間違いも多くな
る。特に、コマンドは１〜３文字程度の略称となってい
たりコ―ド化されている場合が多く、そのような場合
は、さらに誤操作が多くなるという欠点があった。
は、オペレ―タ等のユ―ザは熟練者に聞いたりマニュア
ル等に頼らざるを得ない状況にある。これは、装置の操
作上非常に不便である。例えば、装置を操作する際にコ
ンソ―ルの前でオペレ―タがマニュアルを調べながらコ
マンドを入力するような場面がまま見られる。そのよう
な場合、オペレ―タの入力速度は極めて遅くなり、結果
として、装置のスル―プットを落としたりオペレ―タが
コンソ―ルでの操作に集中できずに入力間違いも多くな
る。特に、コマンドは１〜３文字程度の略称となってい
たりコ―ド化されている場合が多く、そのような場合
は、さらに誤操作が多くなるという欠点があった。
【０００５】本発明は、上述従来形の問題点に鑑み、コ
マンド群のそれぞれに従った動作が可能な装置におい
て、オペレ―タが装置のコマンドを入力する際の誤操作
を防止し、所望の操作を確実に行なうことのできるよう
なコマンド管理方法を提供することを目的とする。
マンド群のそれぞれに従った動作が可能な装置におい
て、オペレ―タが装置のコマンドを入力する際の誤操作
を防止し、所望の操作を確実に行なうことのできるよう
なコマンド管理方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明では、コマンド群のそれぞれに従った動作が可能
な装置のコマンド管理方法において、ユーザ操作手段か
らの指示に応じて前記コマンド群をグループ化すると共
にそのグループにグループ名を付して記憶し、コマンド
入力待ち状態において前記コマンド群内のコマンド名が
指定された時にはそのコマンドを実行させ、コマンド入
力待ち状態において前記グループ名が指定された時には
そのグループに含まれるコマンド名を表示手段に表示さ
せることを特徴とする。
本発明では、コマンド群のそれぞれに従った動作が可能
な装置のコマンド管理方法において、ユーザ操作手段か
らの指示に応じて前記コマンド群をグループ化すると共
にそのグループにグループ名を付して記憶し、コマンド
入力待ち状態において前記コマンド群内のコマンド名が
指定された時にはそのコマンドを実行させ、コマンド入
力待ち状態において前記グループ名が指定された時には
そのグループに含まれるコマンド名を表示手段に表示さ
せることを特徴とする。
【０００７】前記ユーザ操作手段は例えばキーボードで
あり、このキーボードから前記コマンド名及び前記グル
ープ名を入力することができる。前記グループ化を行な
う際には、前記ユーザ操作手段からの指示に応じて前記
グループにコメントも付して記憶し、前記表示の際には
前記コメントやグループ名も表示するようにしてもよ
い。前記グループに含まれるコマンドは前記ユーザ操作
手段からの指示に応じて変更できるようにしてもよい。
あり、このキーボードから前記コマンド名及び前記グル
ープ名を入力することができる。前記グループ化を行な
う際には、前記ユーザ操作手段からの指示に応じて前記
グループにコメントも付して記憶し、前記表示の際には
前記コメントやグループ名も表示するようにしてもよ
い。前記グループに含まれるコマンドは前記ユーザ操作
手段からの指示に応じて変更できるようにしてもよい。
【０００８】
【作用】これによれば、半導体製造装置等を操作してい
るオペレータにとって必要なコマンドが、コマンド入力
待ち状態においてグループ名を指定するだけで瞬時に表
示されるため、オペレータは、マニュアルや熟練者に頼
ることなく、そのコマンドを容易に且つ必要とするその
瞬間に知ることができる。このため、オペレータの誤操
作が確実に防止され、どのようなオペレータでも常に半
導体製造装置に所望の動作を行なわせることができる。
また、オペレータにとって不明瞭なコマンドの検索も容
易になり、オペレータが全てのコマンドを完全に記憶し
ている必要もなく、装置の使い勝手の格段の向上が図ら
れる。
るオペレータにとって必要なコマンドが、コマンド入力
待ち状態においてグループ名を指定するだけで瞬時に表
示されるため、オペレータは、マニュアルや熟練者に頼
ることなく、そのコマンドを容易に且つ必要とするその
瞬間に知ることができる。このため、オペレータの誤操
作が確実に防止され、どのようなオペレータでも常に半
導体製造装置に所望の動作を行なわせることができる。
また、オペレータにとって不明瞭なコマンドの検索も容
易になり、オペレータが全てのコマンドを完全に記憶し
ている必要もなく、装置の使い勝手の格段の向上が図ら
れる。
【０００９】また、ユーザ操作手段からの指示に応じて
コマンド群がグループ化され、グループ名を付して記憶
されるため、実行レベルのコマンドについてユ―ザの自
由な定義によるグル―プ化が行われる。その際、１つの
実行コマンドが複数のグル―プの構成要素となるように
してもよく、グル―プの名称も自由に付与される。従っ
て、例えば実行コマンドの機能別、名称別、使用者別等
のさまざまな分け方でグル―プ化を行なっておけば、不
明瞭なコマンドを検索する上で非常に有効である。すな
わち、オペレータが装置の操作途中で入力したい所望の
コマンドが不明になったときには、いろいろなグル―プ
名でコマンドの確認を行うことにより、装置の誤操作が
さらに有効に防止される。
コマンド群がグループ化され、グループ名を付して記憶
されるため、実行レベルのコマンドについてユ―ザの自
由な定義によるグル―プ化が行われる。その際、１つの
実行コマンドが複数のグル―プの構成要素となるように
してもよく、グル―プの名称も自由に付与される。従っ
て、例えば実行コマンドの機能別、名称別、使用者別等
のさまざまな分け方でグル―プ化を行なっておけば、不
明瞭なコマンドを検索する上で非常に有効である。すな
わち、オペレータが装置の操作途中で入力したい所望の
コマンドが不明になったときには、いろいろなグル―プ
名でコマンドの確認を行うことにより、装置の誤操作が
さらに有効に防止される。
【００１０】また、これらのコマンドの確認を、オペレ
ータが装置のコンソ―ル等をそのまま使用して行なうよ
うにすることにより、オペレータによるコンソ―ルに対
する一連の操作の流れがマニュアルの参照等で途絶える
ことなく、オペレータがコンソ―ルに集中したままオペ
レータによる操作が続行される。
ータが装置のコンソ―ル等をそのまま使用して行なうよ
うにすることにより、オペレータによるコンソ―ルに対
する一連の操作の流れがマニュアルの参照等で途絶える
ことなく、オペレータがコンソ―ルに集中したままオペ
レータによる操作が続行される。
【００１１】
【実施例】以下、図面に従って本発明の実施例を説明す
る。図１は、本発明の一実施例に係る半導体製造用の投
影露光装置の外観を示す。同図において、１は集積回路
パタ―ンを備えたマスクで、他にマスクアライメントマ
―クやマスク・ウエハ・アライメントマ―クを備えてい
る。２はマスクステ―ジで、マスク１を保持してマスク
１を平面内（ＸＹ方向）及び回転方向（θ方向）に移動
させる。３は縮小投影レンズ、４は感光層を備えるウエ
ハで、マスク・ウエハ・アライメントマ―クとテレビ・
ウエハアライメントマ―クを備えている。５はウエハス
テ―ジである。ウエハステ―ジ５はウエハ４を保持して
それを平面内及び回転方向に移動させるものであり、ま
たウエハ焼付位置（投影野内）とテレビ・ウエハアライ
メント位置間を移動する。６はテレビ・ウエハアライメ
ント用検知装置の対物レンズ、７は撮像管または固体影
像素子、９は双眼ユニットで、投影レンズ３を介してウ
エハ４の表面を観察するために役立つ。１０は照明光学
系およびマスク・ウエハ・アライメント用の検知装置を
収容する上部ユニットである。１１は投影露光装置本体
にコマンドを与えるコンソ―ルのモニタ受像機（コンソ
―ルＣＲＴ）、１２は装置にコマンドを与えたりパラメ
―タを入力するキ―ボ―ドである。
る。図１は、本発明の一実施例に係る半導体製造用の投
影露光装置の外観を示す。同図において、１は集積回路
パタ―ンを備えたマスクで、他にマスクアライメントマ
―クやマスク・ウエハ・アライメントマ―クを備えてい
る。２はマスクステ―ジで、マスク１を保持してマスク
１を平面内（ＸＹ方向）及び回転方向（θ方向）に移動
させる。３は縮小投影レンズ、４は感光層を備えるウエ
ハで、マスク・ウエハ・アライメントマ―クとテレビ・
ウエハアライメントマ―クを備えている。５はウエハス
テ―ジである。ウエハステ―ジ５はウエハ４を保持して
それを平面内及び回転方向に移動させるものであり、ま
たウエハ焼付位置（投影野内）とテレビ・ウエハアライ
メント位置間を移動する。６はテレビ・ウエハアライメ
ント用検知装置の対物レンズ、７は撮像管または固体影
像素子、９は双眼ユニットで、投影レンズ３を介してウ
エハ４の表面を観察するために役立つ。１０は照明光学
系およびマスク・ウエハ・アライメント用の検知装置を
収容する上部ユニットである。１１は投影露光装置本体
にコマンドを与えるコンソ―ルのモニタ受像機（コンソ
―ルＣＲＴ）、１２は装置にコマンドを与えたりパラメ
―タを入力するキ―ボ―ドである。
【００１２】図２は、図１の投影露光装置の電気回路構
成を示すブロック図である。同図において、２１は装置
全体の制御を司る本体ＣＰＵで、マイクロコンピュ―タ
またはミニコンピュ―タ等の中央演算処理装置からな
る。２２はウエハステ―ジ駆動装置、２３はアライメン
ト検出系、２４はレチクルステ―ジ駆動装置、２５は照
明系、２６はシャッタ駆動装置、２７はフォ―カス検出
系、２８はＺ駆動装置で、これらは、本体ＣＰＵ２１に
より制御される。２９は搬送系である。３０はコンソ―
ルユニットで、本体ＣＰＵ２１にこの露光装置の動作に
関する各種のコマンドやパラメ―タを与えるためのもの
である。３１はコンソ―ルＣＰＵ、３２はパラメ―タ等
を記憶する外部メモリである。なお、ＣＲＴ１１および
キ―ボ―ド１２は図１のものと同一である。
成を示すブロック図である。同図において、２１は装置
全体の制御を司る本体ＣＰＵで、マイクロコンピュ―タ
またはミニコンピュ―タ等の中央演算処理装置からな
る。２２はウエハステ―ジ駆動装置、２３はアライメン
ト検出系、２４はレチクルステ―ジ駆動装置、２５は照
明系、２６はシャッタ駆動装置、２７はフォ―カス検出
系、２８はＺ駆動装置で、これらは、本体ＣＰＵ２１に
より制御される。２９は搬送系である。３０はコンソ―
ルユニットで、本体ＣＰＵ２１にこの露光装置の動作に
関する各種のコマンドやパラメ―タを与えるためのもの
である。３１はコンソ―ルＣＰＵ、３２はパラメ―タ等
を記憶する外部メモリである。なお、ＣＲＴ１１および
キ―ボ―ド１２は図１のものと同一である。
【００１３】図３は、コマンドをグル―プ化した様子を
示す階層図である。同図において、最下層は実行コマン
ドである。コマンド入力待ち状態においてこれらのコマ
ンドを入力すると、装置はそのコマンドに従った動作を
行なう。実行コマンドはいくつかまとめてグル―プ化
し、中段に示すようなグル―プ名を付している。１つの
実行コマンドが複数のグル―プに含まれることとしても
よい。
示す階層図である。同図において、最下層は実行コマン
ドである。コマンド入力待ち状態においてこれらのコマ
ンドを入力すると、装置はそのコマンドに従った動作を
行なう。実行コマンドはいくつかまとめてグル―プ化
し、中段に示すようなグル―プ名を付している。１つの
実行コマンドが複数のグル―プに含まれることとしても
よい。
【００１４】次に、図４のフロ―チャ―トおよび図５〜
図９の表示画面例を参照しながら、図１および図２に示
す装置においてコマンドのグル―プを定義する際の動作
を説明する。
図９の表示画面例を参照しながら、図１および図２に示
す装置においてコマンドのグル―プを定義する際の動作
を説明する。
【００１５】この装置においては、電源投入後の初期化
を終了したとき、および所定の動作指令（コマンド）を
実行し終えたとき、コマンド待ち状態となる。つまり、
コンソ―ルＣＰＵ３１はキ―ボ―ド１２におけるキ―操
作を待機し、本体ＣＰＵ２１はコンソ―ルＣＰＵ３１か
らの通信待ち状態となる。そして、この状態でキ―ボ―
ド１２からコマンドのグル―プ定義のためのコマンド
（例えばＧＤ）が入力されると、コンソ―ルＣＰＵ３１
の制御のもとに以下のグル―プ定義処理を開始する。
を終了したとき、および所定の動作指令（コマンド）を
実行し終えたとき、コマンド待ち状態となる。つまり、
コンソ―ルＣＰＵ３１はキ―ボ―ド１２におけるキ―操
作を待機し、本体ＣＰＵ２１はコンソ―ルＣＰＵ３１か
らの通信待ち状態となる。そして、この状態でキ―ボ―
ド１２からコマンドのグル―プ定義のためのコマンド
（例えばＧＤ）が入力されると、コンソ―ルＣＰＵ３１
の制御のもとに以下のグル―プ定義処理を開始する。
【００１６】なお、ここでは予め定義してあるグル―プ
に新たな実行コマンドをメンバとして登録する場合につ
いて説明する。グル―プを新たに定義するのか、また
は、予め存在するグル―プの定義を変更するのかについ
ての区別はグル―プ定義コマンドを入力するときに行な
う。例えば、上記のコマンドＧＤをグル―プ名のパラメ
―タ例えばＡＡを付与して「ＧＤ ＡＡ」と入力したと
き、そのグル―プＡＡの定義の変更とし、パラメ―タ無
しで入力したとき、新たなグル―プの定義とすればよ
い。
に新たな実行コマンドをメンバとして登録する場合につ
いて説明する。グル―プを新たに定義するのか、また
は、予め存在するグル―プの定義を変更するのかについ
ての区別はグル―プ定義コマンドを入力するときに行な
う。例えば、上記のコマンドＧＤをグル―プ名のパラメ
―タ例えばＡＡを付与して「ＧＤ ＡＡ」と入力したと
き、そのグル―プＡＡの定義の変更とし、パラメ―タ無
しで入力したとき、新たなグル―プの定義とすればよ
い。
【００１７】グル―プ定義処理においては、まず、処理
するグル―プの名称、パスワ―ド等をＣＲＴ１１に表示
する（ステップＳ１）。このときの画面表示は図５に示
すようなものである。また、これらのデ―タは外部メモ
リ３２に記憶されている。ここでは、グル―プ名が「Ａ
Ａ」、パスワ―ドが「Ｃａｎｏｎ」、コメントが「ＭＯ
Ｓ」、メンバが「ＯＣ」、「ＷＡ」および「ＲＣ」であ
る。各メンバにはそれぞれコメントが付与されている。
下段の「Ｓｌｅｃｔ Ｎｏ． ｏｒ Ｅｎｄ」はプロン
プトメッセ―ジであり、どの項目を変更するか、あるい
はグル―プ定義処理を終了するかについての入力を促し
ている（ステップＳ２）。ここで、それぞれの項目に付
されているナンバを入力することでそれらを変更するこ
とができる。例えば、「１」を入力するとステップＳ３
およびＳ４においてグル―プ名の変更が可能である。パ
スワ―ドおよびコメントについても同様にステップＳ５
〜Ｓ８で変更できる。図５の画面ではメンバについて処
理するため「４」を入力している（ステップＳ９）。す
ると、画面は図６に示すようなものとなる。この画面で
は、グル―プに関する定義情報は図５と同一だが、下段
のプロンプトメッセ―ジが異なる。このメッセ―ジ「Ｓ
ｅｌｅｃｔ （０：ＡＤＤ，１：ＤＥＬＥＴＥ，Ｅ：Ｅ
ＮＤ）」はメンバを新たに追加するのか、削除するのか
またはメンバの変更処理を終了するのかについての入力
を促している（ステップＳ１０）。この入力後は追加、
削除または終了の別を判別し、追加のときはステップＳ
１１およびＳ１２、削除のときはステップＳ１３および
Ｓ１４でそれぞれの処理を行なう。図６の画面では、メ
ンバの追加を示す「０」を入力している（ステップＳ１
１）。この入力により画面は図７に示すようなものとな
る。下段には「ＡＤＤ（４）」とメッセ―ジが表示さ
れ、４番目のメンバの追加処理を行なっている旨を示し
ている。ここで同図のように、「ＲＡ：Ｃｏｍｍｅｎｔ
Ｄ」を新たなメンバとして入力すると、画面は図８の
ようになり、新規メンバが追加登録される（ステップＳ
１２）。その後、シ―ケンスはステップＳ１０に戻り、
再びメンバの変更処理を続行することができる。メンバ
変更処理を終了する場合は、ステップＳ１０の入力にお
いて、すなわち図８の画面において「Ｅ」を入力し（ス
テップＳ１５）、ステップＳ２に戻る。グル―プの定義
処理を終了する場合は、ステップＳ２において、図９第
のように「Ｅ」を入力する（ステップＳ１６）。これに
より、グル―プの各種定義デ―タは外部メモリ３２に記
憶される。
するグル―プの名称、パスワ―ド等をＣＲＴ１１に表示
する（ステップＳ１）。このときの画面表示は図５に示
すようなものである。また、これらのデ―タは外部メモ
リ３２に記憶されている。ここでは、グル―プ名が「Ａ
Ａ」、パスワ―ドが「Ｃａｎｏｎ」、コメントが「ＭＯ
Ｓ」、メンバが「ＯＣ」、「ＷＡ」および「ＲＣ」であ
る。各メンバにはそれぞれコメントが付与されている。
下段の「Ｓｌｅｃｔ Ｎｏ． ｏｒ Ｅｎｄ」はプロン
プトメッセ―ジであり、どの項目を変更するか、あるい
はグル―プ定義処理を終了するかについての入力を促し
ている（ステップＳ２）。ここで、それぞれの項目に付
されているナンバを入力することでそれらを変更するこ
とができる。例えば、「１」を入力するとステップＳ３
およびＳ４においてグル―プ名の変更が可能である。パ
スワ―ドおよびコメントについても同様にステップＳ５
〜Ｓ８で変更できる。図５の画面ではメンバについて処
理するため「４」を入力している（ステップＳ９）。す
ると、画面は図６に示すようなものとなる。この画面で
は、グル―プに関する定義情報は図５と同一だが、下段
のプロンプトメッセ―ジが異なる。このメッセ―ジ「Ｓ
ｅｌｅｃｔ （０：ＡＤＤ，１：ＤＥＬＥＴＥ，Ｅ：Ｅ
ＮＤ）」はメンバを新たに追加するのか、削除するのか
またはメンバの変更処理を終了するのかについての入力
を促している（ステップＳ１０）。この入力後は追加、
削除または終了の別を判別し、追加のときはステップＳ
１１およびＳ１２、削除のときはステップＳ１３および
Ｓ１４でそれぞれの処理を行なう。図６の画面では、メ
ンバの追加を示す「０」を入力している（ステップＳ１
１）。この入力により画面は図７に示すようなものとな
る。下段には「ＡＤＤ（４）」とメッセ―ジが表示さ
れ、４番目のメンバの追加処理を行なっている旨を示し
ている。ここで同図のように、「ＲＡ：Ｃｏｍｍｅｎｔ
Ｄ」を新たなメンバとして入力すると、画面は図８の
ようになり、新規メンバが追加登録される（ステップＳ
１２）。その後、シ―ケンスはステップＳ１０に戻り、
再びメンバの変更処理を続行することができる。メンバ
変更処理を終了する場合は、ステップＳ１０の入力にお
いて、すなわち図８の画面において「Ｅ」を入力し（ス
テップＳ１５）、ステップＳ２に戻る。グル―プの定義
処理を終了する場合は、ステップＳ２において、図９第
のように「Ｅ」を入力する（ステップＳ１６）。これに
より、グル―プの各種定義デ―タは外部メモリ３２に記
憶される。
【００１８】次に、図１０のフロ―チャ―トおよび図１
１の表示画面例を参照しながら、図１および図２に示す
装置におけるコマンド入力の動作を説明する。
１の表示画面例を参照しながら、図１および図２に示す
装置におけるコマンド入力の動作を説明する。
【００１９】まず、コマンド入力待ち状態からコマンド
が入力されると（ステップＳ２１）実行レベルのコマン
ドかどうかを判別する（ステップＳ２２）。もし、実行
レベルのコマンドのときは、その入力された実行コマン
ドに応じた処理を実行する。実行レベルのコマンドでな
い場合は、グル―プ名かどうかを判別し（ステップＳ２
３）、グル―プ名でもないときはエラ―を表示し（ステ
ップＳ２４）、再びコマンド入力待ちの状態に戻る（ス
テップＳ２１）。ステップＳ２３でグル―プ名の場合
は、グル―プを構成する実行レベルコマンド等のグル―
プのデ―タを外部メモリ３２から読み出しＣＲＴ１１に
一覧表示する（ステップＳ２５）。このときの画面は図
１１のようなものである。同図において、画面の上段に
はコマンド入力エリアがあり、グル―プ名として「Ａ
Ａ」が入力されている。中段には、それに対応してグル
―プ名ＡＡを構成するすべてのコマンドがコメントとと
もに表示されている。このコメントによりコマンドの動
作の概要を知ることができる。その後は、画面を見て実
行コマンドを入力すればよい（ステップＳ２６）。
が入力されると（ステップＳ２１）実行レベルのコマン
ドかどうかを判別する（ステップＳ２２）。もし、実行
レベルのコマンドのときは、その入力された実行コマン
ドに応じた処理を実行する。実行レベルのコマンドでな
い場合は、グル―プ名かどうかを判別し（ステップＳ２
３）、グル―プ名でもないときはエラ―を表示し（ステ
ップＳ２４）、再びコマンド入力待ちの状態に戻る（ス
テップＳ２１）。ステップＳ２３でグル―プ名の場合
は、グル―プを構成する実行レベルコマンド等のグル―
プのデ―タを外部メモリ３２から読み出しＣＲＴ１１に
一覧表示する（ステップＳ２５）。このときの画面は図
１１のようなものである。同図において、画面の上段に
はコマンド入力エリアがあり、グル―プ名として「Ａ
Ａ」が入力されている。中段には、それに対応してグル
―プ名ＡＡを構成するすべてのコマンドがコメントとと
もに表示されている。このコメントによりコマンドの動
作の概要を知ることができる。その後は、画面を見て実
行コマンドを入力すればよい（ステップＳ２６）。
【００２０】なお、ここでは実行コマンドの入力を略称
で行なうようにしているが、図１１に示す一覧表示にお
いてコマンドにナンバを付しておき、そのナンバを入力
することにより実行コマンドと同様な機能を実行するよ
うにもできる。
で行なうようにしているが、図１１に示す一覧表示にお
いてコマンドにナンバを付しておき、そのナンバを入力
することにより実行コマンドと同様な機能を実行するよ
うにもできる。
【００２１】前述したように、本実施例の投影露光装置
においては、実行レベルのコマンドのグル―プをユ―ザ
が自由に定義できる。また、１つの実行コマンドが複数
のグル―プの構成要素となることもできるし、グル―プ
の名称も自由に付与できる。従って、例えば実行コマン
ドの機能別、名称別、使用者別等のさまざまな分け方で
グル―プ化を行なっておけば、不明瞭なコマンドを検索
する上で非常に効果がある。すなわち、ユ―ザが装置の
操作途中で入力したい所望のコマンドが不明になったと
きには、いろいろなグル―プ名でコマンドの確認が行な
えるため、装置の誤操作を防止することができる。ま
た、これらのコマンドの確認はユ―ザがコンソ―ルをそ
のまま使用して行なえるので、ユ―ザはコンソ―ルに対
する一連の操作の流れをマニュアルを参照する等でとぎ
らせることなく、コンソ―ルに集中したまま操作を続行
することができる。
においては、実行レベルのコマンドのグル―プをユ―ザ
が自由に定義できる。また、１つの実行コマンドが複数
のグル―プの構成要素となることもできるし、グル―プ
の名称も自由に付与できる。従って、例えば実行コマン
ドの機能別、名称別、使用者別等のさまざまな分け方で
グル―プ化を行なっておけば、不明瞭なコマンドを検索
する上で非常に効果がある。すなわち、ユ―ザが装置の
操作途中で入力したい所望のコマンドが不明になったと
きには、いろいろなグル―プ名でコマンドの確認が行な
えるため、装置の誤操作を防止することができる。ま
た、これらのコマンドの確認はユ―ザがコンソ―ルをそ
のまま使用して行なえるので、ユ―ザはコンソ―ルに対
する一連の操作の流れをマニュアルを参照する等でとぎ
らせることなく、コンソ―ルに集中したまま操作を続行
することができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、装
置を操作しているオペレータは、マニュアルや熟練者に
頼ることなく、必要なコマンドを容易に且つ必要とする
その瞬間に知ることができる。このため、オペレータの
誤操作を確実に防止することができ、どのようなオペレ
ータでも常に装置に所望の動作を行なわせることができ
る。また、オペレータにとって不明瞭なコマンドの検索
も容易になり、オペレータが全てのコマンドを完全に記
憶している必要もなく、装置の使い勝手を格段に向上す
ることができる。また、実行レベルのコマンドについて
ユ―ザの自由な定義によるグル―プ化を行うことがで
き、その際、１つのコマンドを複数のグル―プの構成要
素とすることもできるため、いろいろなグル―プ名でコ
マンドの確認を行うことにより、装置の誤操作をさらに
有効に防止することができる。また、このようなコマン
ドの確認を、装置のコンソ―ル等をそのまま使用して行
なうようにすることにより、オペレータは、コンソ―ル
に対する一連の操作の流れをマニュアルの参照等で途絶
えさせることなく、コンソ―ルに集中したまま操作を続
行することができる。
置を操作しているオペレータは、マニュアルや熟練者に
頼ることなく、必要なコマンドを容易に且つ必要とする
その瞬間に知ることができる。このため、オペレータの
誤操作を確実に防止することができ、どのようなオペレ
ータでも常に装置に所望の動作を行なわせることができ
る。また、オペレータにとって不明瞭なコマンドの検索
も容易になり、オペレータが全てのコマンドを完全に記
憶している必要もなく、装置の使い勝手を格段に向上す
ることができる。また、実行レベルのコマンドについて
ユ―ザの自由な定義によるグル―プ化を行うことがで
き、その際、１つのコマンドを複数のグル―プの構成要
素とすることもできるため、いろいろなグル―プ名でコ
マンドの確認を行うことにより、装置の誤操作をさらに
有効に防止することができる。また、このようなコマン
ドの確認を、装置のコンソ―ル等をそのまま使用して行
なうようにすることにより、オペレータは、コンソ―ル
に対する一連の操作の流れをマニュアルの参照等で途絶
えさせることなく、コンソ―ルに集中したまま操作を続
行することができる。
【図１】 本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
図である。
図である。
【図２】 図１の投影露光装置の制御回路を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図３】 図１の装置においてコマンドをグル―プ化し
た様子を示す階層図である。
た様子を示す階層図である。
【図４】 図１の装置においてコマンドのグル―プを定
義する際の動作および作用を説明するためのフロ―チャ
―トである。
義する際の動作および作用を説明するためのフロ―チャ
―トである。
【図５】 図１の装置においてコマンドのグル―プを定
義する際の表示画面の第１の例を示す模式図である。
義する際の表示画面の第１の例を示す模式図である。
【図６】 図１の装置においてコマンドのグル―プを定
義する際の表示画面の第２の例を示す模式図である。
義する際の表示画面の第２の例を示す模式図である。
【図７】 図１の装置においてコマンドのグル―プを定
義する際の表示画面の第３の例を示す模式図である。
義する際の表示画面の第３の例を示す模式図である。
【図８】 図１の装置においてコマンドのグル―プを定
義する際の表示画面の第４の例を示す模式図である。
義する際の表示画面の第４の例を示す模式図である。
【図９】 図１の装置においてコマンドのグル―プを定
義する際の表示画面の第５の例を示す模式図である。
義する際の表示画面の第５の例を示す模式図である。
【図１０】 図１の装置においてコマンド入力する際の
動作および作用を説明するためのフロ―チャ―トであ
る。
動作および作用を説明するためのフロ―チャ―トであ
る。
【図１１】 図１の装置においてコマンドを入力する際
の表示画面例を示す模式図である。
の表示画面例を示す模式図である。
１１：モニタ用ＣＲＴ、１２：キ―ボ―ド、２１：本体
ＣＰＵ、３０：コンソ―ル、３１：コンソ―ルＣＰＵ、
３２：外部メモリ。
ＣＰＵ、３０：コンソ―ル、３１：コンソ―ルＣＰＵ、
３２：外部メモリ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｚ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５１６ (72)発明者 綾田 直樹 神奈川県川崎市中原区今井上町53番地キヤ ノン株式会社小杉事業所内
Claims (5)
- 【請求項１】 コマンド群のそれぞれに従った動作が可
能な装置のコマンド管理方法において、ユーザ操作手段
からの指示に応じて前記コマンド群をグループ化すると
共にそのグループにグループ名を付して記憶し、コマン
ド入力待ち状態において前記コマンド群内のコマンド名
が指定された時にはそのコマンドを実行させ、コマンド
入力待ち状態において前記グループ名が指定された時に
はそのグループに含まれるコマンド名を表示手段に表示
させることを特徴とするコマンド管理方法。 - 【請求項２】 前記ユーザ操作手段はキーボードであ
り、このキーボードから前記コマンド名及び前記グルー
プ名を入力することを特徴とする請求項１記載のコマン
ド管理方法。 - 【請求項３】 前記グループ化を行なう際、前記ユーザ
操作手段からの指示に応じて前記グループにコメントも
付して記憶し、前記表示の際には前記コメントも表示す
ることを特徴とする請求項１記載のコマンド管理方法。 - 【請求項４】 前記表示の際には前記グループ名も表示
することを特徴とする請求項１記載のコマンド管理方
法。 - 【請求項５】 前記グループに含まれるコマンドは前記
ユーザ操作手段からの指示に応じて変更可能であること
を特徴とする請求項１項記載のコマンド管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6107400A JP2614188B2 (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | コマンド管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6107400A JP2614188B2 (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | コマンド管理方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60164799A Division JPS6225418A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07311608A true JPH07311608A (ja) | 1995-11-28 |
| JP2614188B2 JP2614188B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=14458195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6107400A Expired - Lifetime JP2614188B2 (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | コマンド管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2614188B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5752487A (en) * | 1980-09-13 | 1982-03-27 | Brother Ind Ltd | Electronic sewing machine |
| JPS59138817A (ja) * | 1983-01-28 | 1984-08-09 | Toshiba Corp | 加熱調理装置 |
-
1994
- 1994-04-25 JP JP6107400A patent/JP2614188B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5752487A (en) * | 1980-09-13 | 1982-03-27 | Brother Ind Ltd | Electronic sewing machine |
| JPS59138817A (ja) * | 1983-01-28 | 1984-08-09 | Toshiba Corp | 加熱調理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2614188B2 (ja) | 1997-05-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |