JPH07307113A - マイクロ波用誘電体セラミックス - Google Patents
マイクロ波用誘電体セラミックスInfo
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- JPH07307113A JPH07307113A JP6097437A JP9743794A JPH07307113A JP H07307113 A JPH07307113 A JP H07307113A JP 6097437 A JP6097437 A JP 6097437A JP 9743794 A JP9743794 A JP 9743794A JP H07307113 A JPH07307113 A JP H07307113A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 比誘電率（εr ）が大きく、共振周波数の温
度係数（τｆ）が、０ｐｐｍ／℃付近になるようにした
組成比率でも、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が非常に大きい値を有
するマイクロ波用誘電体セラミックスを提供する。 【構成】 酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化コバルト（Ｃ
ｏＯ）、酸化ニオブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）よりなる主成分の組
成式が、 （ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚ で表され、ｘ、ｙ、ｚがそれぞれモル％で、５９．５≦
ｘ≦６１．８モル％、１９．１≦ｙ≦２０．６モル％、
１９．１≦ｚ≦２０．１モル％の範囲にあり、前記主成
分１モルに対して、副成分として、０．１モル以下（但
し、０モルを含まず）の二酸化チタン（ＴｉＯ2 ）及び
０．００８モル以下（但し、０モルを含まず）の酸化ニ
ッケル（ＮｉＯ）を添加してなることを特徴とするマイ
クロ波用誘電体セラミックス。
度係数（τｆ）が、０ｐｐｍ／℃付近になるようにした
組成比率でも、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が非常に大きい値を有
するマイクロ波用誘電体セラミックスを提供する。 【構成】 酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化コバルト（Ｃ
ｏＯ）、酸化ニオブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）よりなる主成分の組
成式が、 （ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚ で表され、ｘ、ｙ、ｚがそれぞれモル％で、５９．５≦
ｘ≦６１．８モル％、１９．１≦ｙ≦２０．６モル％、
１９．１≦ｚ≦２０．１モル％の範囲にあり、前記主成
分１モルに対して、副成分として、０．１モル以下（但
し、０モルを含まず）の二酸化チタン（ＴｉＯ2 ）及び
０．００８モル以下（但し、０モルを含まず）の酸化ニ
ッケル（ＮｉＯ）を添加してなることを特徴とするマイ
クロ波用誘電体セラミックス。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波用誘電体セ
ラミックスに係り、特に、大きな比誘電率（εr ）を持
ち、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、かつ組成を変化させる
ことにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を、０ｐｐ
ｍ／℃を中心にして、任意の値に変化させることができ
るマイクロ波用誘電体セラミックスに関するものであ
る。
ラミックスに係り、特に、大きな比誘電率（εr ）を持
ち、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、かつ組成を変化させる
ことにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を、０ｐｐ
ｍ／℃を中心にして、任意の値に変化させることができ
るマイクロ波用誘電体セラミックスに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、マイクロ波用の誘電体共振器や誘
電体フィルタが、自動車電話、携帯電話、衛星放送の受
信機に数多く用いられている。このような用途に用いら
れる誘電体材料は、比誘電率（εr ）及び無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が大きく、かつ、組成を変えることにより、共振周
波数の温度係数（τｆ）が０ｐｐｍ／℃を中心にして、
正又は負の任意の値に設定できるものが望まれていた。
従来このような誘電体セラミックスとしては、ＢａＯ−
ＴｉＯ2 系、ＺｒＯ2 −ＳｎＯ−ＴｉＯ2 系等があっ
た。
電体フィルタが、自動車電話、携帯電話、衛星放送の受
信機に数多く用いられている。このような用途に用いら
れる誘電体材料は、比誘電率（εr ）及び無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が大きく、かつ、組成を変えることにより、共振周
波数の温度係数（τｆ）が０ｐｐｍ／℃を中心にして、
正又は負の任意の値に設定できるものが望まれていた。
従来このような誘電体セラミックスとしては、ＢａＯ−
ＴｉＯ2 系、ＺｒＯ2 −ＳｎＯ−ＴｉＯ2 系等があっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の誘電体セラミックスでは、共振周波数の温度係
数（τｆ）が、０ｐｐｍ／℃付近の値を示すものでは、
比誘電率（εr ）に関しては満足できる値であるもの
の、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は十分大きいとはいえなかった。
そのために、これらの材料を使用したデバイスを組み込
んだ装置は、送受信においてロスが大きくなる等の不都
合を有し、十分満足できる特性を有しているとは言えな
かった。
た従来の誘電体セラミックスでは、共振周波数の温度係
数（τｆ）が、０ｐｐｍ／℃付近の値を示すものでは、
比誘電率（εr ）に関しては満足できる値であるもの
の、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は十分大きいとはいえなかった。
そのために、これらの材料を使用したデバイスを組み込
んだ装置は、送受信においてロスが大きくなる等の不都
合を有し、十分満足できる特性を有しているとは言えな
かった。
【０００４】本発明は、これらを改善するために成され
たものであり、比誘電率（εr ）が大きく、共振周波数
の温度係数（τｆ）が、０ｐｐｍ／℃付近になるように
した組成比率でも、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が非常に大きい値
を有するマイクロ波用誘電体セラミックスを提供するこ
とを目的とする。
たものであり、比誘電率（εr ）が大きく、共振周波数
の温度係数（τｆ）が、０ｐｐｍ／℃付近になるように
した組成比率でも、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が非常に大きい値
を有するマイクロ波用誘電体セラミックスを提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のマイクロ波用誘電体セラミックスは、酸化
バリウム（ＢａＯ）、酸化コバルト（ＣｏＯ）、酸化ニ
オブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）よりなる主成分の組成式が、 （ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚ で表され、ｘ，ｙ，ｚがそれぞれモル％で、５９．５≦
ｘ≦６１．８モル％、１９．１≦ｙ≦２０．６モル％、
１９．１≦ｚ≦２０．１モル％の範囲にあり、 （１）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００８モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化ニッケル（ＮｉＯ）を添加して成ること
を特徴とする。
に、本発明のマイクロ波用誘電体セラミックスは、酸化
バリウム（ＢａＯ）、酸化コバルト（ＣｏＯ）、酸化ニ
オブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）よりなる主成分の組成式が、 （ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚ で表され、ｘ，ｙ，ｚがそれぞれモル％で、５９．５≦
ｘ≦６１．８モル％、１９．１≦ｙ≦２０．６モル％、
１９．１≦ｚ≦２０．１モル％の範囲にあり、 （１）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００８モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化ニッケル（ＮｉＯ）を添加して成ること
を特徴とする。
【０００６】（２）前記主成分１モルに対して、副成分
として、０．１モル以下（但し、０モルを含まず）の二
酸化チタン（ＴｉＯ2 ）及び０．００３モル以下（但
し、０モルを含まず）の酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）
を添加してなることを特徴とする。 （３）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００５モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）を添加してなることを
特徴とする。
として、０．１モル以下（但し、０モルを含まず）の二
酸化チタン（ＴｉＯ2 ）及び０．００３モル以下（但
し、０モルを含まず）の酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）
を添加してなることを特徴とする。 （３）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００５モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）を添加してなることを
特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明によれば、主成分を前述の組成式で表さ
れる組成とし、 （１）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００８モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化ニッケル（ＮｉＯ）を添加することによ
り、マイクロ波領域において、比誘電率（εr ）及び無
負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、共振周波数の温度係数（τ
ｆ）を、正又は負の任意の値に容易に変化させることが
できる。
れる組成とし、 （１）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００８モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化ニッケル（ＮｉＯ）を添加することによ
り、マイクロ波領域において、比誘電率（εr ）及び無
負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、共振周波数の温度係数（τ
ｆ）を、正又は負の任意の値に容易に変化させることが
できる。
【０００８】特に、本発明の（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＮｉＯを添加した
誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０モル
％、ｚ＝２０モル％の付近、特に、ＢａＯがやや過剰の
ｘ＝６０．７モル％、ｙ＝１９．６モル％、ｚ＝１９．
６モル％にＴｉＯ2 を０．００５モル、ＮｉＯを０．０
０２モル添加した組成において、最も大きな無負荷Ｑ
（Ｑｕ）を得ることができ、また、ＴｉＯ2 及びＮｉＯ
の添加量を変えることにより、共振周波数の温度係数
（τｆ）を、負から正の値へと任意に変化させることが
できる。
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＮｉＯを添加した
誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０モル
％、ｚ＝２０モル％の付近、特に、ＢａＯがやや過剰の
ｘ＝６０．７モル％、ｙ＝１９．６モル％、ｚ＝１９．
６モル％にＴｉＯ2 を０．００５モル、ＮｉＯを０．０
０２モル添加した組成において、最も大きな無負荷Ｑ
（Ｑｕ）を得ることができ、また、ＴｉＯ2 及びＮｉＯ
の添加量を変えることにより、共振周波数の温度係数
（τｆ）を、負から正の値へと任意に変化させることが
できる。
【０００９】更に、共振周波数の温度係数（τｆ）を、
０ｐｐｍ／℃付近となる組成とした場合でも、無負荷Ｑ
（Ｑｕ）が非常に大きい値を持っている。このため、マ
イクロ波用の誘電体共振器、誘電体フィルタの小型化、
低損失化が達成できる。 （２）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）、及び０．００３モル以下（但し、０モル
を含まず）の酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）を添加する
ことにより、マイクロ波領域において、比誘電率
（εr ）及び無負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、共振周波数の
温度係数（τｆ）を、正又は負の任意の値に容易に変化
させることができる。
０ｐｐｍ／℃付近となる組成とした場合でも、無負荷Ｑ
（Ｑｕ）が非常に大きい値を持っている。このため、マ
イクロ波用の誘電体共振器、誘電体フィルタの小型化、
低損失化が達成できる。 （２）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）、及び０．００３モル以下（但し、０モル
を含まず）の酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）を添加する
ことにより、マイクロ波領域において、比誘電率
（εr ）及び無負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、共振周波数の
温度係数（τｆ）を、正又は負の任意の値に容易に変化
させることができる。
【００１０】特に、本発明の（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＩｎ2 Ｏ3 を添加
した誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０
モル％、ｚ＝２０モル％の付近、特にＢａＯがやや過剰
のｘ＝６０．７モル％、ｙ＝１９．６モル％、ｚ＝１
９．６モル％にＴｉＯ2 を０．００５モル、Ｉｎ2 Ｏ3
を０．００１モル添加した組成において、最も大きな無
負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ることができ、また、ＴｉＯ2 及び
Ｉｎ2 Ｏ3 の添加量を変えることにより、共振周波数の
温度係数（τｆ）を、０ｐｐｍ／℃を中心として、その
付近の正又は負の任意の値に変化させることができる。
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＩｎ2 Ｏ3 を添加
した誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０
モル％、ｚ＝２０モル％の付近、特にＢａＯがやや過剰
のｘ＝６０．７モル％、ｙ＝１９．６モル％、ｚ＝１
９．６モル％にＴｉＯ2 を０．００５モル、Ｉｎ2 Ｏ3
を０．００１モル添加した組成において、最も大きな無
負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ることができ、また、ＴｉＯ2 及び
Ｉｎ2 Ｏ3 の添加量を変えることにより、共振周波数の
温度係数（τｆ）を、０ｐｐｍ／℃を中心として、その
付近の正又は負の任意の値に変化させることができる。
【００１１】更に、共振周波数の温度係数（τｆ）を、
０ｐｐｍ／℃付近となる組成とした場合でも、無負荷Ｑ
（Ｑｕ）が非常に大きい値を持っている。このため、マ
イクロ波用の誘電体共振器、誘電体フィルタの小型化、
低損失化が達成できる。 （３）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００５モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）を添加することによ
り、マイクロ波領域において、比誘電率（εr ）及び無
負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、その組成を変えることによ
り、共振周波数の温度係数（τｆ）を、０ｐｐｍ／℃を
中心として、その付近の正又は負の任意の値に容易に変
化させることができる。
０ｐｐｍ／℃付近となる組成とした場合でも、無負荷Ｑ
（Ｑｕ）が非常に大きい値を持っている。このため、マ
イクロ波用の誘電体共振器、誘電体フィルタの小型化、
低損失化が達成できる。 （３）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００５モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）を添加することによ
り、マイクロ波領域において、比誘電率（εr ）及び無
負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、その組成を変えることによ
り、共振周波数の温度係数（τｆ）を、０ｐｐｍ／℃を
中心として、その付近の正又は負の任意の値に容易に変
化させることができる。
【００１２】特に、本発明の（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＦｅ2 Ｏ3 を添加
した誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０
モル％、ｚ＝２０モル％の付近、特に、ＢａＯがやや過
剰のｘ＝６１．４モル％、ｙ＝１９．３モル％、ｚ＝１
９．３モル％に、ＴｉＯ2 を０．００５モル、Ｆｅ2Ｏ
3 を０．００１モル添加した組成において、最も大きな
無負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ることができる。
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＦｅ2 Ｏ3 を添加
した誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０
モル％、ｚ＝２０モル％の付近、特に、ＢａＯがやや過
剰のｘ＝６１．４モル％、ｙ＝１９．３モル％、ｚ＝１
９．３モル％に、ＴｉＯ2 を０．００５モル、Ｆｅ2Ｏ
3 を０．００１モル添加した組成において、最も大きな
無負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ることができる。
【００１３】また、ＴｉＯ2 及びＦｅ2 Ｏ3 の添加量を
変えることにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を、
０ｐｐｍ／℃を中心として、その付近の正又は負の任意
の値に変化させることができる。更に、共振周波数の温
度係数（τｆ）を、０ｐｐｍ／℃付近となる組成とした
場合でも、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が非常に大きい値を持って
いる。このため、マイクロ波用の誘電体共振器、誘電体
フィルタの小型化、低損失化が達成できる。
変えることにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を、
０ｐｐｍ／℃を中心として、その付近の正又は負の任意
の値に変化させることができる。更に、共振周波数の温
度係数（τｆ）を、０ｐｐｍ／℃付近となる組成とした
場合でも、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が非常に大きい値を持って
いる。このため、マイクロ波用の誘電体共振器、誘電体
フィルタの小型化、低損失化が達成できる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例について順次に説明す
る。まず、本発明の第１実施例について詳細に説明す
る。出発原料には、化学的に高純度の炭酸バリウム（Ｂ
ａＯ）、酸化コバルト（ＣｏＯ）、酸化ニオブ（Ｎｂ2
Ｏ5 ）、二酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化ニッケル（Ｎ
ｉＯ）を使用し、下記に示す表１の、試料Ｎｏ．１〜Ｎ
ｏ．１５の組成に成るように正確に秤量した。引き続き
プラスチック製のポットミルとジルコニアボールを用
い、純水と共に２０時間湿式混合した。
る。まず、本発明の第１実施例について詳細に説明す
る。出発原料には、化学的に高純度の炭酸バリウム（Ｂ
ａＯ）、酸化コバルト（ＣｏＯ）、酸化ニオブ（Ｎｂ2
Ｏ5 ）、二酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化ニッケル（Ｎ
ｉＯ）を使用し、下記に示す表１の、試料Ｎｏ．１〜Ｎ
ｏ．１５の組成に成るように正確に秤量した。引き続き
プラスチック製のポットミルとジルコニアボールを用
い、純水と共に２０時間湿式混合した。
【００１５】この混合物を脱水し、乾燥した後、マグネ
シア容器を用いて、空気中で１２００℃の温度で３時間
仮焼した。この仮焼物を上記混合工程と同様な方法にて
湿式粉砕し、その後、脱水し、乾燥し、微粒子の粉体を
得た。この粉体にバインダを添加して十分に粉体と混合
し造粒粉とした。この造粒粉を金型と油圧プレスを用い
て、成形圧力１〜３ｔ／ｃｍ2 で、直径２０ｍｍ、高さ
１２ｍｍの円板状の成形体を作製した。
シア容器を用いて、空気中で１２００℃の温度で３時間
仮焼した。この仮焼物を上記混合工程と同様な方法にて
湿式粉砕し、その後、脱水し、乾燥し、微粒子の粉体を
得た。この粉体にバインダを添加して十分に粉体と混合
し造粒粉とした。この造粒粉を金型と油圧プレスを用い
て、成形圧力１〜３ｔ／ｃｍ2 で、直径２０ｍｍ、高さ
１２ｍｍの円板状の成形体を作製した。
【００１６】このようにして得られた成形体を、マグネ
シア製の容器に入れて、１３５０〜１５００℃の温度で
５時間空気中で焼成して誘電体セラミックスを得た。こ
の誘電体セラミックスを所定の周波数になるように研磨
した後、誘電特性を下記の方法で測定した。この誘電体
セラミックスの比誘電率（εr ）及び無負荷Ｑ（Ｑｕ）
は、ハッキ・コールマン法により測定した。また、共振
周波数の温度係数（τｆ）は、２０℃における共振周波
数ｆ（２０）を基準として、−４０℃と８０℃の温度に
おける、それぞれの共振周波数ｆ（−４０），ｆ（８
０）と、温度差ΔＴ〔ここでは−４０℃と８０℃でΔＴ
＝１２０℃〕から、下記の式（１）に従い求めた。な
お、これらの測定における測定周波数は約５ＧＨｚであ
った。
シア製の容器に入れて、１３５０〜１５００℃の温度で
５時間空気中で焼成して誘電体セラミックスを得た。こ
の誘電体セラミックスを所定の周波数になるように研磨
した後、誘電特性を下記の方法で測定した。この誘電体
セラミックスの比誘電率（εr ）及び無負荷Ｑ（Ｑｕ）
は、ハッキ・コールマン法により測定した。また、共振
周波数の温度係数（τｆ）は、２０℃における共振周波
数ｆ（２０）を基準として、−４０℃と８０℃の温度に
おける、それぞれの共振周波数ｆ（−４０），ｆ（８
０）と、温度差ΔＴ〔ここでは−４０℃と８０℃でΔＴ
＝１２０℃〕から、下記の式（１）に従い求めた。な
お、これらの測定における測定周波数は約５ＧＨｚであ
った。
【００１７】 τｆ＝｛ｆ（８０）−ｆ（４０）｝／｛ｆ（２０）×１２０｝ …（１） 試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１５に示された各組成の誘電特性
の測定結果を次の表１に示す。
の測定結果を次の表１に示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】なお、表１において、＊印を付けた試料Ｎ
ｏ．は、本発明の範囲外の比較例であり、それ以外の試
料Ｎｏ．が本発明の実施例の範囲のものである。主成分
の組成に関して、表１に示す結果によれば、ＢａＯは５
９．５モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．１及びＮ
ｏ．１５に示すように、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくな
り、６１．８モル％を越えると、試料Ｎｏ．７に示すよ
うに、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、不適当で
ある。
ｏ．は、本発明の範囲外の比較例であり、それ以外の試
料Ｎｏ．が本発明の実施例の範囲のものである。主成分
の組成に関して、表１に示す結果によれば、ＢａＯは５
９．５モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．１及びＮ
ｏ．１５に示すように、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくな
り、６１．８モル％を越えると、試料Ｎｏ．７に示すよ
うに、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、不適当で
ある。
【００２０】また、ＣｏＯは、１９．１モル％より少な
くなると、試料Ｎｏ．７に示すように、無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり、２０．６モル％を越えると、試料Ｎ
ｏ．１５に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さ
くなり、不適当である。更に、Ｎｂ2 Ｏ5 は、１９．１
モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．７に示すように、
無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、２０．１モル％を越え
ると、試料Ｎｏ．１に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり不適当である。
くなると、試料Ｎｏ．７に示すように、無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり、２０．６モル％を越えると、試料Ｎ
ｏ．１５に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さ
くなり、不適当である。更に、Ｎｂ2 Ｏ5 は、１９．１
モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．７に示すように、
無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、２０．１モル％を越え
ると、試料Ｎｏ．１に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり不適当である。
【００２１】したがって、ＢａＯは５９．５〜６１．８
モル％の範囲、ＣｏＯは１９．１〜２０．６モル％の範
囲、Ｎｂ2 Ｏ5 は１９．１〜２０．１モル％の範囲がそ
れぞれ好適な範囲である。また、主成分１モルに対する
副成分としてのＴｉＯ2 については、試料Ｎｏ．８〜１
２に示すように、添加量が増していくと、比誘電率（ε
r ）は、増加傾向を示し、しかも十分大きな値を示す。
また、共振周波数の温度係数（τｆ）は、ＴｉＯ2 の添
加量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での−９．５ｐｐ
ｍ／℃から、０．５モル（試料Ｎｏ．１２）での６１．
０ｐｐｍ／℃へと、プラスの勾配を持って大きくなる。
モル％の範囲、ＣｏＯは１９．１〜２０．６モル％の範
囲、Ｎｂ2 Ｏ5 は１９．１〜２０．１モル％の範囲がそ
れぞれ好適な範囲である。また、主成分１モルに対する
副成分としてのＴｉＯ2 については、試料Ｎｏ．８〜１
２に示すように、添加量が増していくと、比誘電率（ε
r ）は、増加傾向を示し、しかも十分大きな値を示す。
また、共振周波数の温度係数（τｆ）は、ＴｉＯ2 の添
加量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での−９．５ｐｐ
ｍ／℃から、０．５モル（試料Ｎｏ．１２）での６１．
０ｐｐｍ／℃へと、プラスの勾配を持って大きくなる。
【００２２】更に、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は、ＴｉＯ2 の添
加量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での７，０００か
ら０．１モル（試料Ｎｏ．１１）での４，５００へと小
さくなり、ＴｉＯ2 添加量が、０．５モル（試料Ｎｏ．
１２）になると、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は２，１００と急激
に小さくなり、本発明の目的に合わなくなる。したがっ
て、ＴｉＯ2 の添加量は０．１モルまでが適切である。
加量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での７，０００か
ら０．１モル（試料Ｎｏ．１１）での４，５００へと小
さくなり、ＴｉＯ2 添加量が、０．５モル（試料Ｎｏ．
１２）になると、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は２，１００と急激
に小さくなり、本発明の目的に合わなくなる。したがっ
て、ＴｉＯ2 の添加量は０．１モルまでが適切である。
【００２３】また、主成分１モルに対する副成分として
のＮｉＯについては、試料Ｎｏ．２〜７に示すように、
添加量が増していくと、比誘電率（εr ）は、ＮｉＯ添
加量０．００３モル（試料Ｎｏ．４）での３３．７の極
大値を示すが、ＮｉＯ添加量０．００１モル〜０．０１
モルの範囲量で３２．５以上の十分大きな値である。ま
た、共振周波数の温度係数（τｆ）は、ＮｉＯ添加量
０．００１モル（試料Ｎｏ．２）の−３．０ｐｐｍ／℃
から、０．００８モル（試料Ｎｏ．６）での−７．５ｐ
ｐｍ／℃へと、小さなマイナスの勾配を持って変化す
る。また、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は、ＮｉＯの添加量０．０
０１モル（試料Ｎｏ．２）での６，４００から０．００
８モル（試料Ｎｏ．６）での３，５００と小さくなり、
ＮｉＯ添加量が０．０１モル（試料Ｎｏ．７）になる
と、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は５００と急激に小さくなり、本
発明の目的に合わなくなる。
のＮｉＯについては、試料Ｎｏ．２〜７に示すように、
添加量が増していくと、比誘電率（εr ）は、ＮｉＯ添
加量０．００３モル（試料Ｎｏ．４）での３３．７の極
大値を示すが、ＮｉＯ添加量０．００１モル〜０．０１
モルの範囲量で３２．５以上の十分大きな値である。ま
た、共振周波数の温度係数（τｆ）は、ＮｉＯ添加量
０．００１モル（試料Ｎｏ．２）の−３．０ｐｐｍ／℃
から、０．００８モル（試料Ｎｏ．６）での−７．５ｐ
ｐｍ／℃へと、小さなマイナスの勾配を持って変化す
る。また、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は、ＮｉＯの添加量０．０
０１モル（試料Ｎｏ．２）での６，４００から０．００
８モル（試料Ｎｏ．６）での３，５００と小さくなり、
ＮｉＯ添加量が０．０１モル（試料Ｎｏ．７）になる
と、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は５００と急激に小さくなり、本
発明の目的に合わなくなる。
【００２４】したがって、ＮｉＯの添加量は０．００８
モルまでが適切である。以上の表１から明らかなよう
に、本発明の（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ
5 ）ｚに、ＴｉＯ2 とＮｉＯを添加した誘電体セラミッ
クスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０モル％、ｚ＝２０モ
ル％の付近、特にＢａＯがやや過剰のｘ＝６０．７モル
％、ｙ＝１９．６モル％、ｚ＝１９．６モル％に、Ｔｉ
Ｏ2 を０．００５モル、ＮｉＯを０．００２モル添加し
た組成において、最も大きな無負荷Ｑ（Ｑｕ）を得るこ
とができ、また、ＴｉＯ2 及びＮｉＯの添加量を変える
ことにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を、負から
正の値へと任意に変化させることができる。
モルまでが適切である。以上の表１から明らかなよう
に、本発明の（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ
5 ）ｚに、ＴｉＯ2 とＮｉＯを添加した誘電体セラミッ
クスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０モル％、ｚ＝２０モ
ル％の付近、特にＢａＯがやや過剰のｘ＝６０．７モル
％、ｙ＝１９．６モル％、ｚ＝１９．６モル％に、Ｔｉ
Ｏ2 を０．００５モル、ＮｉＯを０．００２モル添加し
た組成において、最も大きな無負荷Ｑ（Ｑｕ）を得るこ
とができ、また、ＴｉＯ2 及びＮｉＯの添加量を変える
ことにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を、負から
正の値へと任意に変化させることができる。
【００２５】次に、本発明の第２実施例について詳細に
説明する。出発原料には、化学的に高純度の炭酸バリウ
ム（ＢａＯ）、酸化コバルト（ＣｏＯ）、酸化ニオブ
（Ｎｂ2 Ｏ5 ）、二酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化イン
ジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）を使用し、下記に示す表２の、試
料Ｎｏ．の組成に成るように正確に秤量した。引き続き
プラスチック製のポットミルとジルコニアボールを用
い、純水と共に２０時間湿式混合した。
説明する。出発原料には、化学的に高純度の炭酸バリウ
ム（ＢａＯ）、酸化コバルト（ＣｏＯ）、酸化ニオブ
（Ｎｂ2 Ｏ5 ）、二酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化イン
ジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）を使用し、下記に示す表２の、試
料Ｎｏ．の組成に成るように正確に秤量した。引き続き
プラスチック製のポットミルとジルコニアボールを用
い、純水と共に２０時間湿式混合した。
【００２６】この混合物を脱水し、乾燥した後、マグネ
シア容器を用いて、空気中で１２００℃の温度で３時間
仮焼した。この仮焼物を上記混合工程と同様な方法にて
湿式粉砕し、その後、脱水し、乾燥し、微粒子の粉体を
得た。この粉体にバインダを添加して十分に粉体と混合
し造粒粉とした。この造粒粉を金型と油圧プレスを用い
て、成形圧力１〜３ｔ／ｃｍ2 で、直径２０ｍｍ、高さ
１２ｍｍの円板状の成形体を作製した。
シア容器を用いて、空気中で１２００℃の温度で３時間
仮焼した。この仮焼物を上記混合工程と同様な方法にて
湿式粉砕し、その後、脱水し、乾燥し、微粒子の粉体を
得た。この粉体にバインダを添加して十分に粉体と混合
し造粒粉とした。この造粒粉を金型と油圧プレスを用い
て、成形圧力１〜３ｔ／ｃｍ2 で、直径２０ｍｍ、高さ
１２ｍｍの円板状の成形体を作製した。
【００２７】このようにして得られた成形体を、マグネ
シア製の容器に入れて、１３５０〜１５００℃の温度で
５時間空気中で焼成して、誘電体セラミックスを得た。
この誘電体セラミックスを所定の周波数になるように研
磨した後、誘電特性を下記の方法で測定した。この誘電
体セラミックスの比誘電率（εr ）及び無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）は、ハッキ・コールマン法により測定した。また、
共振周波数の温度係数（τｆ）は、２０℃における共振
周波数ｆ（２０）を基準として、−４０℃と８０℃の温
度における、それぞれの共振周波数ｆ（−４０），ｆ
（８０）と温度差ΔＴ〔ここでは、−４０℃と８０℃で
ΔＴ＝１２０℃〕から、下記の式（２）に従い求めた。
なお、これらの測定における測定周波数は約５ＧＨｚで
あった。
シア製の容器に入れて、１３５０〜１５００℃の温度で
５時間空気中で焼成して、誘電体セラミックスを得た。
この誘電体セラミックスを所定の周波数になるように研
磨した後、誘電特性を下記の方法で測定した。この誘電
体セラミックスの比誘電率（εr ）及び無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）は、ハッキ・コールマン法により測定した。また、
共振周波数の温度係数（τｆ）は、２０℃における共振
周波数ｆ（２０）を基準として、−４０℃と８０℃の温
度における、それぞれの共振周波数ｆ（−４０），ｆ
（８０）と温度差ΔＴ〔ここでは、−４０℃と８０℃で
ΔＴ＝１２０℃〕から、下記の式（２）に従い求めた。
なお、これらの測定における測定周波数は約５ＧＨｚで
あった。
【００２８】 τｆ＝｛ｆ（８０）−ｆ（−４０）｝／｛ｆ（２０）×１２０｝ …（２） 試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１６に示された各組成の誘電特性
の測定結果を次の表２に示す。
の測定結果を次の表２に示す。
【００２９】
【表２】
【００３０】なお、表２において、＊印を付けた試料Ｎ
ｏ．は、本発明の範囲外の比較例であり、それ以外の試
料Ｎｏ．が本発明の実施例の範囲のものである。主成分
の組成に関して、表２に示す結果によれば、ＢａＯは５
９．５モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．１及びＮ
ｏ．１５に示すように、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくな
り、６１．８モル％を越えると、試料Ｎｏ．７に示すよ
うに、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、不適当で
ある。
ｏ．は、本発明の範囲外の比較例であり、それ以外の試
料Ｎｏ．が本発明の実施例の範囲のものである。主成分
の組成に関して、表２に示す結果によれば、ＢａＯは５
９．５モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．１及びＮ
ｏ．１５に示すように、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくな
り、６１．８モル％を越えると、試料Ｎｏ．７に示すよ
うに、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、不適当で
ある。
【００３１】また、ＣｏＯは、１９．１モル％より少な
くなると、試料Ｎｏ．７に示すように、無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり、２０．６モル％を越えると、試料Ｎ
ｏ．１５に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さ
くなり、不適当である。更に、Ｎｂ2 Ｏ5 は、１９．１
モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．７に示すように、
無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、２０．１モル％を越え
ると、試料Ｎｏ．１に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり不適当である。
くなると、試料Ｎｏ．７に示すように、無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり、２０．６モル％を越えると、試料Ｎ
ｏ．１５に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さ
くなり、不適当である。更に、Ｎｂ2 Ｏ5 は、１９．１
モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．７に示すように、
無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、２０．１モル％を越え
ると、試料Ｎｏ．１に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり不適当である。
【００３２】したがって、ＢａＯは５９．５〜６１．８
モル％の範囲、ＣｏＯは１９．１〜２０．６モル％の範
囲、Ｎｂ2 Ｏ5 は１９．１〜２０．１モル％の範囲がそ
れぞれ好適な範囲である。また、主成分１モルに対する
副成分としてのＴｉＯ2 については、試料Ｎｏ．８〜１
２に示すように、添加量が増していくと、比誘電率（ε
r ）は増加傾向を示し、しかも十分大きな値を示す。ま
た、共振周波数の温度係数（τｆ）は、ＴｉＯ2 の添加
量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での−４．２ｐｐｍ
／℃から、０．５モル（試料Ｎｏ．１２）での８２．０
ｐｐｍ／℃へと、プラスの勾配を持って大きくなる。
モル％の範囲、ＣｏＯは１９．１〜２０．６モル％の範
囲、Ｎｂ2 Ｏ5 は１９．１〜２０．１モル％の範囲がそ
れぞれ好適な範囲である。また、主成分１モルに対する
副成分としてのＴｉＯ2 については、試料Ｎｏ．８〜１
２に示すように、添加量が増していくと、比誘電率（ε
r ）は増加傾向を示し、しかも十分大きな値を示す。ま
た、共振周波数の温度係数（τｆ）は、ＴｉＯ2 の添加
量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での−４．２ｐｐｍ
／℃から、０．５モル（試料Ｎｏ．１２）での８２．０
ｐｐｍ／℃へと、プラスの勾配を持って大きくなる。
【００３３】更に、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は、ＴｉＯ2 の添
加量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での５，８００か
ら０．１モル（試料Ｎｏ．１１）での３，３００へと小
さくなり、ＴｉＯ2 添加量が０．５モル（試料Ｎｏ．１
２）になると、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は１，５００と急激に
小さくなり、本発明の目的に合わなくなる。したがっ
て、ＴｉＯ2 の添加量は０．１モルまでが適切である。
加量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での５，８００か
ら０．１モル（試料Ｎｏ．１１）での３，３００へと小
さくなり、ＴｉＯ2 添加量が０．５モル（試料Ｎｏ．１
２）になると、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は１，５００と急激に
小さくなり、本発明の目的に合わなくなる。したがっ
て、ＴｉＯ2 の添加量は０．１モルまでが適切である。
【００３４】また、主成分１モルに対する副成分として
のＩｎ2 Ｏ3 については、試料Ｎｏ．２〜７に示すよう
に、添加量が増していくと、比誘電率（εr ）はＩｎ2
Ｏ3添加量０．００１モル（試料Ｎｏ．２）の３２．７
からＩｎ2 Ｏ3 添加量０．００３モル（試料Ｎｏ．６）
での３０．８へと僅かに小さくなるが、Ｉｎ2 Ｏ3 添加
量０．００１モル〜０．００３モルの範囲量で３０以上
の十分大きな値である。また、共振周波数の温度係数
（τｆ）は、Ｉｎ2 Ｏ3 添加量０．００１モル（試料Ｎ
ｏ．２）の５．２ｐｐｍ／℃から、０．００３モル（試
料Ｎｏ．６）での１．８ｐｐｍ／℃へと、小さなマイナ
スの勾配を持って変化する。
のＩｎ2 Ｏ3 については、試料Ｎｏ．２〜７に示すよう
に、添加量が増していくと、比誘電率（εr ）はＩｎ2
Ｏ3添加量０．００１モル（試料Ｎｏ．２）の３２．７
からＩｎ2 Ｏ3 添加量０．００３モル（試料Ｎｏ．６）
での３０．８へと僅かに小さくなるが、Ｉｎ2 Ｏ3 添加
量０．００１モル〜０．００３モルの範囲量で３０以上
の十分大きな値である。また、共振周波数の温度係数
（τｆ）は、Ｉｎ2 Ｏ3 添加量０．００１モル（試料Ｎ
ｏ．２）の５．２ｐｐｍ／℃から、０．００３モル（試
料Ｎｏ．６）での１．８ｐｐｍ／℃へと、小さなマイナ
スの勾配を持って変化する。
【００３５】更に、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は、Ｉｎ2 Ｏ3 の
添加量０．００１モル（試料Ｎｏ．２）での５，０００
から０．００３モル（試料Ｎｏ．６）での３，０００へ
と小さくなり、Ｉｎ2 Ｏ3 添加量が０．０１モル（試料
Ｎｏ．７）になると、Ｑｕは４５０と急激に小さくな
り、本発明の目的に合わなくなる。したがって、Ｉｎ2
Ｏ3 の添加量は０．００３モルまでが適切である。
添加量０．００１モル（試料Ｎｏ．２）での５，０００
から０．００３モル（試料Ｎｏ．６）での３，０００へ
と小さくなり、Ｉｎ2 Ｏ3 添加量が０．０１モル（試料
Ｎｏ．７）になると、Ｑｕは４５０と急激に小さくな
り、本発明の目的に合わなくなる。したがって、Ｉｎ2
Ｏ3 の添加量は０．００３モルまでが適切である。
【００３６】以上の表２から明らかなように、本発明の
（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、Ｔ
ｉＯ2 とＩｎ2 Ｏ3 を添加した誘電体セラミックスは、
ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０モル％、ｚ＝２０モル％の付
近、特にＢａＯがやや過剰のｘ＝６０．７モル％、ｙ＝
１９．６モル％、ｚ＝１９．６モル％に、ＴｉＯ2 を
０．００５モル、Ｉｎ2 Ｏ3 を０．００１モル添加した
組成において、最も大きな無負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ること
ができ、また、ＴｉＯ2 及びＩｎ2 Ｏ3 の添加量を変え
ることにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を、０ｐ
ｐｍ／℃を中心として、その付近の正又は負の任意の値
に変化させることができる。
（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、Ｔ
ｉＯ2 とＩｎ2 Ｏ3 を添加した誘電体セラミックスは、
ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０モル％、ｚ＝２０モル％の付
近、特にＢａＯがやや過剰のｘ＝６０．７モル％、ｙ＝
１９．６モル％、ｚ＝１９．６モル％に、ＴｉＯ2 を
０．００５モル、Ｉｎ2 Ｏ3 を０．００１モル添加した
組成において、最も大きな無負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ること
ができ、また、ＴｉＯ2 及びＩｎ2 Ｏ3 の添加量を変え
ることにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を、０ｐ
ｐｍ／℃を中心として、その付近の正又は負の任意の値
に変化させることができる。
【００３７】次に、本発明の第３実施例について詳細に
説明する。出発原料には、化学的に高純度の炭酸バリウ
ム（ＢａＯ）、酸化コバルト（ＣｏＯ）、酸化ニオブ
（Ｎｂ2 Ｏ5 ）、二酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化鉄
（Ｆｅ 2 Ｏ3 ）を使用し、下記に示す表３の、試料Ｎ
ｏ．１〜Ｎｏ．１５の組成に成るように正確に秤量し
た。引き続きプラスチック製のポットミルとジルコニア
ボールを用い、純水と共に２０時間湿式混合した。
説明する。出発原料には、化学的に高純度の炭酸バリウ
ム（ＢａＯ）、酸化コバルト（ＣｏＯ）、酸化ニオブ
（Ｎｂ2 Ｏ5 ）、二酸化チタン（ＴｉＯ2 ）、酸化鉄
（Ｆｅ 2 Ｏ3 ）を使用し、下記に示す表３の、試料Ｎ
ｏ．１〜Ｎｏ．１５の組成に成るように正確に秤量し
た。引き続きプラスチック製のポットミルとジルコニア
ボールを用い、純水と共に２０時間湿式混合した。
【００３８】この混合物を脱水し、乾燥した後、マグネ
シア容器を用いて、空気中で１２００℃の温度で３時間
仮焼した。この仮焼物を上記混合工程と同様な方法にて
湿式粉砕し、その後、脱水し、乾燥し、微粒子の粉体を
得た。この粉体にバインダを添加して十分に粉体と混合
し造粒粉とした。この造粒粉を金型と油圧プレスを用い
て、成形圧力１〜３ｔ／ｃｍ2 で、直径２０ｍｍ、高さ
１２ｍｍの円板状の成形体を作製した。
シア容器を用いて、空気中で１２００℃の温度で３時間
仮焼した。この仮焼物を上記混合工程と同様な方法にて
湿式粉砕し、その後、脱水し、乾燥し、微粒子の粉体を
得た。この粉体にバインダを添加して十分に粉体と混合
し造粒粉とした。この造粒粉を金型と油圧プレスを用い
て、成形圧力１〜３ｔ／ｃｍ2 で、直径２０ｍｍ、高さ
１２ｍｍの円板状の成形体を作製した。
【００３９】このようにして得られた成形体をマグネシ
ア製の容器に入れて、１４００〜１５５０℃の温度で５
時間空気中で焼成して誘電体セラミックスを得た。この
誘電体セラミックスを所定の周波数になるように研磨し
た後、誘電特性を下記の方法で測定した。この誘電体セ
ラミックスの比誘電率（εr ）及び無負荷Ｑ（Ｑｕ）
は、ハッキ・コールマン法により測定した。また、共振
周波数の温度係数（τｆ）は、２０℃における共振周波
数ｆ（２０）を基準として、−４０℃と８０℃の温度に
おける、それぞれの共振周波数ｆ（−４０），ｆ（８
０）と温度差ΔＴ〔ここでは、−４０℃と８０℃でΔＴ
＝１２０℃〕から、下記の式（３）に従い求めた。な
お、これらの測定における測定周波数は約５ＧＨｚであ
った。
ア製の容器に入れて、１４００〜１５５０℃の温度で５
時間空気中で焼成して誘電体セラミックスを得た。この
誘電体セラミックスを所定の周波数になるように研磨し
た後、誘電特性を下記の方法で測定した。この誘電体セ
ラミックスの比誘電率（εr ）及び無負荷Ｑ（Ｑｕ）
は、ハッキ・コールマン法により測定した。また、共振
周波数の温度係数（τｆ）は、２０℃における共振周波
数ｆ（２０）を基準として、−４０℃と８０℃の温度に
おける、それぞれの共振周波数ｆ（−４０），ｆ（８
０）と温度差ΔＴ〔ここでは、−４０℃と８０℃でΔＴ
＝１２０℃〕から、下記の式（３）に従い求めた。な
お、これらの測定における測定周波数は約５ＧＨｚであ
った。
【００４０】 τｆ＝｛ｆ（８０）−ｆ（−４０）｝／｛ｆ（２０）×１２０｝ …（３） 試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１５に示された各組成の誘電特性
の測定結果を次の表３に示す。
の測定結果を次の表３に示す。
【００４１】
【表３】
【００４２】なお、表３において、＊印を付けた試料Ｎ
ｏ．は、本発明の範囲外の比較例であり、それ以外の試
料Ｎｏ．が本発明の実施例の範囲のものである。主成分
の組成に関して、表３に示す結果によれば、ＢａＯは５
９．５モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．１及びＮ
ｏ．１５に示すように、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくな
り、６１．８モル％を越えると、試料Ｎｏ．７に示すよ
うに、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、不適当で
ある。
ｏ．は、本発明の範囲外の比較例であり、それ以外の試
料Ｎｏ．が本発明の実施例の範囲のものである。主成分
の組成に関して、表３に示す結果によれば、ＢａＯは５
９．５モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．１及びＮ
ｏ．１５に示すように、無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくな
り、６１．８モル％を越えると、試料Ｎｏ．７に示すよ
うに、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、不適当で
ある。
【００４３】また、ＣｏＯは、１９．１モル％より少な
くなると、試料Ｎｏ．７に示すように、無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり、２０．６モル％を越えると、試料Ｎ
ｏ．１５に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さ
くなり、不適当である。更に、Ｎｂ2 Ｏ5 は、１９．１
モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．７に示すように、
無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、２０．１モル％を越え
ると、試料Ｎｏ．１に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり不適当である。
くなると、試料Ｎｏ．７に示すように、無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり、２０．６モル％を越えると、試料Ｎ
ｏ．１５に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さ
くなり、不適当である。更に、Ｎｂ2 Ｏ5 は、１９．１
モル％より少なくなると、試料Ｎｏ．７に示すように、
無負荷Ｑ（Ｑｕ）が小さくなり、２０．１モル％を越え
ると、試料Ｎｏ．１に示すように、やはり無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）が小さくなり不適当である。
【００４４】したがって、ＢａＯは５９．５〜６１．８
モル％の範囲、ＣｏＯは１９．１〜２０．６モル％の範
囲、Ｎｂ2 Ｏ5 は１９．１〜２０．１モル％の範囲がそ
れぞれ好適な範囲である。また、主成分１モルに対する
副成分としてのＴｉＯ2 については、試料Ｎｏ．８〜１
２に示すように、添加量が増していくと、比誘電率（ε
r ）は増加傾向を示し、しかも十分大きな値を示す。ま
た、共振周波数の温度係数（τｆ）は、ＴｉＯ2 の添加
量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での−７．５ｐｐｍ
／℃から、０．５モル（試料Ｎｏ．１２）での８８．５
ｐｐｍ／℃へと、プラスの勾配を持って大きくなる。
モル％の範囲、ＣｏＯは１９．１〜２０．６モル％の範
囲、Ｎｂ2 Ｏ5 は１９．１〜２０．１モル％の範囲がそ
れぞれ好適な範囲である。また、主成分１モルに対する
副成分としてのＴｉＯ2 については、試料Ｎｏ．８〜１
２に示すように、添加量が増していくと、比誘電率（ε
r ）は増加傾向を示し、しかも十分大きな値を示す。ま
た、共振周波数の温度係数（τｆ）は、ＴｉＯ2 の添加
量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での−７．５ｐｐｍ
／℃から、０．５モル（試料Ｎｏ．１２）での８８．５
ｐｐｍ／℃へと、プラスの勾配を持って大きくなる。
【００４５】更に、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は、ＴｉＯ2 の添
加量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での７，４００か
ら０．１モル（試料Ｎｏ．１１）での４，７００へと小
さくなり、ＴｉＯ2 添加量が０．５モル（試料Ｎｏ．１
２）になると、Ｑｕは２，２００と急激に小さくなり、
本発明の目的に合わなくなる。したがって、ＴｉＯ2 の
添加量は０．１モルまでが適切である。
加量０．００５モル（試料Ｎｏ．８）での７，４００か
ら０．１モル（試料Ｎｏ．１１）での４，７００へと小
さくなり、ＴｉＯ2 添加量が０．５モル（試料Ｎｏ．１
２）になると、Ｑｕは２，２００と急激に小さくなり、
本発明の目的に合わなくなる。したがって、ＴｉＯ2 の
添加量は０．１モルまでが適切である。
【００４６】また、主成分１モルに対する副成分として
のＦｅ2 Ｏ3 については、試料Ｎｏ．２〜７に示してい
るように、添加量が増していくと、比誘電率（εr ）
は、Ｆｅ2 Ｏ3 添加量０．００３モル（試料Ｎｏ．５）
での３３．９の極大値を示すが、Ｆｅ2 Ｏ3 添加量０．
００１モル〜０．０１モルの範囲量で３３．１以上の十
分大きな値である。また、共振周波数の温度係数（τ
ｆ）は、Ｆｅ2 Ｏ3 添加量０．０００５モル（試料Ｎ
ｏ．２）の−３．５ｐｐｍ／℃から、０．００５モル
（試料Ｎｏ．６）での１８．９ｐｐｍ／℃へと、プラス
の勾配を持って変化する。
のＦｅ2 Ｏ3 については、試料Ｎｏ．２〜７に示してい
るように、添加量が増していくと、比誘電率（εr ）
は、Ｆｅ2 Ｏ3 添加量０．００３モル（試料Ｎｏ．５）
での３３．９の極大値を示すが、Ｆｅ2 Ｏ3 添加量０．
００１モル〜０．０１モルの範囲量で３３．１以上の十
分大きな値である。また、共振周波数の温度係数（τ
ｆ）は、Ｆｅ2 Ｏ3 添加量０．０００５モル（試料Ｎ
ｏ．２）の−３．５ｐｐｍ／℃から、０．００５モル
（試料Ｎｏ．６）での１８．９ｐｐｍ／℃へと、プラス
の勾配を持って変化する。
【００４７】また、無負荷Ｑ（Ｑｕ）は、Ｆｅ2 Ｏ3 の
添加量０．０００５モル（試料Ｎｏ．２）での６，２０
０から０．００５モル（試料Ｎｏ．６）での４，２００
へと小さくなり、Ｆｅ2 Ｏ3 の添加量が、０．０１モル
（試料Ｎｏ．７）になると、Ｑｕは５００と急激に小さ
くなり、本発明の目的に合わなくなる。したがって、Ｆ
ｅ2 Ｏ3 の添加量は０．００５モルまでが適切である。
添加量０．０００５モル（試料Ｎｏ．２）での６，２０
０から０．００５モル（試料Ｎｏ．６）での４，２００
へと小さくなり、Ｆｅ2 Ｏ3 の添加量が、０．０１モル
（試料Ｎｏ．７）になると、Ｑｕは５００と急激に小さ
くなり、本発明の目的に合わなくなる。したがって、Ｆ
ｅ2 Ｏ3 の添加量は０．００５モルまでが適切である。
【００４８】以上の表３から明らかなように、本発明の
（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、Ｔ
ｉＯ2 とＦｅ2 Ｏ3 を添加した誘電体セラミックスは、
ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０モル％、ｚ＝２０モル％の付
近、特にＢａＯがやや過剰のｘ＝６１．４モル％、ｙ＝
１９．３モル％、ｚ＝１９．３モル％に、ＴｉＯ2 を
０．００５モル、Ｆｅ2 Ｏ3 を０．００１モル添加した
組成において、最も大きな無負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ること
ができ、また、ＴｉＯ2 及びＦｅ2 Ｏ3 の添加量を変え
ることにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を、０ｐ
ｐｍ／℃を中心として、その付近の正又は負の任意の値
に変化させることができる。
（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、Ｔ
ｉＯ2 とＦｅ2 Ｏ3 を添加した誘電体セラミックスは、
ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０モル％、ｚ＝２０モル％の付
近、特にＢａＯがやや過剰のｘ＝６１．４モル％、ｙ＝
１９．３モル％、ｚ＝１９．３モル％に、ＴｉＯ2 を
０．００５モル、Ｆｅ2 Ｏ3 を０．００１モル添加した
組成において、最も大きな無負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ること
ができ、また、ＴｉＯ2 及びＦｅ2 Ｏ3 の添加量を変え
ることにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を、０ｐ
ｐｍ／℃を中心として、その付近の正又は負の任意の値
に変化させることができる。
【００４９】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能で
あり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００５０】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、次に示すような効果を奏することができる。 （１）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００８モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化ニッケル（ＮｉＯ）を添加することによ
り、マイクロ波領域において、比誘電率（εr ）及び無
負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、共振周波数の温度係数（τ
ｆ）を、正又は負の任意の値に容易に変化させることが
できる。
よれば、次に示すような効果を奏することができる。 （１）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００８モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化ニッケル（ＮｉＯ）を添加することによ
り、マイクロ波領域において、比誘電率（εr ）及び無
負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、共振周波数の温度係数（τ
ｆ）を、正又は負の任意の値に容易に変化させることが
できる。
【００５１】特に、本発明の（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＮｉＯを添加した
誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０モル
％、ｚ＝２０モル％の付近、特にＢａＯがやや過剰のｘ
＝６０．７モル％、ｙ＝１９．６モル％、ｚ＝１９．６
モル％にＴｉＯ2 を０．００５モル、ＮｉＯを０．００
２モル添加した組成において、最も大きな無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）を得ることができ、また、ＴｉＯ2 及びＮｉＯの添
加量を変えることにより、共振周波数の温度係数（τ
ｆ）を、負から正の値へと任意に変化させることができ
る。
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＮｉＯを添加した
誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０モル
％、ｚ＝２０モル％の付近、特にＢａＯがやや過剰のｘ
＝６０．７モル％、ｙ＝１９．６モル％、ｚ＝１９．６
モル％にＴｉＯ2 を０．００５モル、ＮｉＯを０．００
２モル添加した組成において、最も大きな無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）を得ることができ、また、ＴｉＯ2 及びＮｉＯの添
加量を変えることにより、共振周波数の温度係数（τ
ｆ）を、負から正の値へと任意に変化させることができ
る。
【００５２】更に、共振周波数の温度係数（τｆ）を、
０ｐｐｍ／℃付近となる組成とした場合でも、無負荷Ｑ
（Ｑｕ）が非常に大きい値を持っている。このため、マ
イクロ波用の誘電体共振器、誘電体フィルタの小型化、
低損失化が達成できる。 （２）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００３モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）を添加するこ
とにより、マイクロ波領域において、比誘電率（εr ）
及び無負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、共振周波数の温度係数
（τｆ）を、正又は負の任意の値に容易に変化させるこ
とができる。
０ｐｐｍ／℃付近となる組成とした場合でも、無負荷Ｑ
（Ｑｕ）が非常に大きい値を持っている。このため、マ
イクロ波用の誘電体共振器、誘電体フィルタの小型化、
低損失化が達成できる。 （２）前記主成分１モルに対して、副成分として、０．
１モル以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン
（ＴｉＯ2 ）及び０．００３モル以下（但し、０モルを
含まず）の酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）を添加するこ
とにより、マイクロ波領域において、比誘電率（εr ）
及び無負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、共振周波数の温度係数
（τｆ）を、正又は負の任意の値に容易に変化させるこ
とができる。
【００５３】特に、本発明の（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＩｎ2 Ｏ3 を添加
した誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０
モル％、ｚ＝２０モル％の付近、特にＢａＯがやや過剰
のｘ＝６０．７モル％、ｙ＝１９．６モル％、ｚ＝１
９．６モル％にＴｉＯ2 を０．００５モル、Ｉｎ2 Ｏ3
を０．００１モル添加した組成において、最も大きな無
負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ることができる。また、ＴｉＯ2 及
びＩｎ2 Ｏ3 の添加量を変えることにより、共振周波数
の温度係数（τｆ）を、０ｐｐｍ／℃を中心として、そ
の付近の正又は負の任意の値に変化させることができ
る。
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＩｎ2 Ｏ3 を添加
した誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０
モル％、ｚ＝２０モル％の付近、特にＢａＯがやや過剰
のｘ＝６０．７モル％、ｙ＝１９．６モル％、ｚ＝１
９．６モル％にＴｉＯ2 を０．００５モル、Ｉｎ2 Ｏ3
を０．００１モル添加した組成において、最も大きな無
負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ることができる。また、ＴｉＯ2 及
びＩｎ2 Ｏ3 の添加量を変えることにより、共振周波数
の温度係数（τｆ）を、０ｐｐｍ／℃を中心として、そ
の付近の正又は負の任意の値に変化させることができ
る。
【００５４】（３）前記主成分１モルに対して、副成分
として、０．１モル以下（但し、０モルを含まず）の二
酸化チタン（ＴｉＯ2 ）及び０．００５モル以下（但
し、０モルを含まず）の酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）を添加す
ることにより、マイクロ波領域において、比誘電率（ε
r ）及び無負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、その組成を変える
ことにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を正又は負
の任意の値に容易に変化させることができる。
として、０．１モル以下（但し、０モルを含まず）の二
酸化チタン（ＴｉＯ2 ）及び０．００５モル以下（但
し、０モルを含まず）の酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）を添加す
ることにより、マイクロ波領域において、比誘電率（ε
r ）及び無負荷Ｑ（Ｑｕ）が大きく、その組成を変える
ことにより、共振周波数の温度係数（τｆ）を正又は負
の任意の値に容易に変化させることができる。
【００５５】特に、本発明の（ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＦｅ2 Ｏ3 を添加
した誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０
モル％、ｚ＝２０モル％の付近、特に、ＢａＯがやや過
剰のｘ＝６１．４モル％、ｙ＝１９．３モル％、ｚ＝１
９．３モル％に、ＴｉＯ2 を０．００５モル、Ｆｅ2Ｏ
3 を０．００１モル添加した組成において、最も大きな
無負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ることができる。
ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚに、ＴｉＯ2とＦｅ2 Ｏ3 を添加
した誘電体セラミックスは、ｘ＝６０モル％、ｙ＝２０
モル％、ｚ＝２０モル％の付近、特に、ＢａＯがやや過
剰のｘ＝６１．４モル％、ｙ＝１９．３モル％、ｚ＝１
９．３モル％に、ＴｉＯ2 を０．００５モル、Ｆｅ2Ｏ
3 を０．００１モル添加した組成において、最も大きな
無負荷Ｑ（Ｑｕ）を得ることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０４Ｂ 35/46 Ｈ０１Ｐ 7/10 (72)発明者 小野 英輝 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化コバルト
（ＣｏＯ）、酸化ニオブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）よりなる主成分
の組成式が、 （ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚ で表され、ｘ、ｙ、ｚがそれぞれモル％で、 ５９．５≦ｘ≦６１．８モル％、 １９．１≦ｙ≦２０．６モル％、 １９．１≦ｚ≦２０．１モル％の範囲にあり、 前記主成分１モルに対して、副成分として、０．１モル
以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン（ＴｉＯ
2 ）及び０．００８モル以下（但し、０モルを含まず）
の酸化ニッケル（ＮｉＯ）を添加してなることを特徴と
するマイクロ波用誘電体セラミックス。 - 【請求項２】 酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化コバルト
（ＣｏＯ）、酸化ニオブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）よりなる主成分
の組成式が、 （ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚ で表され、ｘ、ｙ、ｚがそれぞれモル％で、 ５９．５≦ｘ≦６１．８モル％、 １９．１≦ｙ≦２０．６モル％、 １９．１≦ｚ≦２０．１モル％の範囲にあり、 前記主成分１モルに対して、副成分として、０．１モル
以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン（ＴｉＯ
2 ）及び０．００３モル以下（但し、０モルを含まず）
の酸化インジウム（Ｉｎ2 Ｏ3 ）を添加してなることを
特徴とするマイクロ波用誘電体セラミックス。 - 【請求項３】 酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化コバルト
（ＣｏＯ）、酸化ニオブ（Ｎｂ2 Ｏ5 ）よりなる主成分
の組成式が、 （ＢａＯ）ｘ・（ＣｏＯ）ｙ・（Ｎｂ2 Ｏ5 ）ｚ で表され、ｘ、ｙ、ｚがそれぞれモル％で、 ５９．５≦ｘ≦６１．８モル％、 １９．１≦ｙ≦２０．６モル％、 １９．１≦ｚ≦２０．１モル％の範囲にあり、 前記主成分１モルに対して、副成分として、０．１モル
以下（但し、０モルを含まず）の二酸化チタン（ＴｉＯ
2 ）及び０．００５モル以下（但し、０モルを含まず）
の酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）を添加してなることを特徴とす
るマイクロ波用誘電体セラミックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06097437A JP3113494B2 (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | マイクロ波用誘電体セラミックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06097437A JP3113494B2 (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | マイクロ波用誘電体セラミックス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07307113A true JPH07307113A (ja) | 1995-11-21 |
| JP3113494B2 JP3113494B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=14192343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06097437A Expired - Fee Related JP3113494B2 (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | マイクロ波用誘電体セラミックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3113494B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7057334B2 (ja) * | 2019-10-29 | 2022-04-19 | キヤノントッキ株式会社 | 基板保持ユニット、基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置および電子デバイスの製造方法 |
-
1994
- 1994-05-11 JP JP06097437A patent/JP3113494B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3113494B2 (ja) | 2000-11-27 |
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