JPH07302108A

JPH07302108A - コンピュータシミュレーション付きｎｃ制御微細加工方法とこの方法に用いる装置

Info

Publication number: JPH07302108A
Application number: JP7048440A
Authority: JP
Inventors: Takao Inoue; 孝夫井上; Takeshi Masaki; 健正木; Taijiro Yoshioka; 泰次郎吉岡; Shinko Muro; 真弘室
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1994-03-11
Filing date: 1995-03-08
Publication date: 1995-11-14
Anticipated expiration: 2017-02-18
Also published as: JP3257327B2

Abstract

(57)【要約】【目的】ミリ以下の微小な形状に対しても、加工の進
行が肉眼で観察することができ、加工途中での修正も簡
単に行えるコンピュータシミュレーション付きＮＣ制御
微細加工方法とこの方法に用いる装置を提供する。【構成】ＣＡＤから得られる設計データとデータベー
スに予め蓄積されている加工条件とに基づき加工プログ
ラムを作成する工程と、加工現場から加工状態情報を得
る工程と、前記加工プログラムと加工状態情報に基づき
加工状態のシミュレーションを行う工程と、前記加工プ
ログラムと加工状態シミュレーションに基づき加工命令
を作成する工程とを備え、この加工命令に基づき前記Ｎ
Ｃ制御を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、微小な形状たとえば
ミリ以下の微小な形状を加工する等の目的で行われると
きに便利なコンピュータシミュレーション付きＮＣ制御
微細加工方法とこの方法に用いる装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＮＣ制御のマシニングセンターを用いて
切削加工または放電加工を行う場合、これまでは、図９
に示されるように、ＣＡＤから得られる設計データをＣ
ＡＭで加工情報に変換し、この加工情報をオンラインま
たはオフラインで前記マシニングセンターに伝えて加工
を行うようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな加工方法で１ミリ以下の微細な加工を行うとき、加
工物の結晶粒界や不純物等、従来であれば問題にならな
かった微細物であっても加工の進行に影響を与えること
があり、オープンループ的加工指令だけでは予め設計し
たとおりの加工が進まず修正が必要となることがあるの
に、加工対象が微細であるだけに従来のごとき目視観察
を行うことができず、加工の進行途中での修正もできな
い、と言う問題があった。一方、加工物を加工装置から
取り外して計測し再加工すると言うようなことも考えら
れるが、加工物が微小であるだけに、それも簡単にはで
きない。

【０００４】そこで、この発明の課題は、微小な形状た
とえばミリ以下の微小な形状に対しても、加工の進行が
肉眼で観察できるとともに、必要に応じて加工音でも知
覚することができ、加工途中での修正も簡単に行えるコ
ンピュータシミュレーション付きＮＣ制御微細加工方法
とこの方法に用いる装置を提供することを課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
のこの発明の概要は、図１に示すようであり、ＮＣマシ
ーンが働く加工現場の加工状態情報を検査認識して加工
状況のコンピュータシミュレーションを行い、これをＣ
ＡＭの加工命令に反映させるようにするものである。こ
の発明は、以下に述べるコンピュータシミュレーション
付きＮＣ制御微細加工方法とこの方法に用いる加工装置
を提供する。

【０００６】すなわち、この発明にかかるコンピュータ
シミュレーション付きＮＣ制御微細加工方法は、ＮＣ制
御により微細加工を行う方法であって、ＣＡＤから得ら
れる設計データとデータベースに予め蓄積されている加
工条件とに基づき加工プログラムを作成する工程と、加
工現場から加工状態情報を得る工程と、前記加工プログ
ラムと加工状態情報に基づき加工状態のシミュレーショ
ンを行う工程と、前記加工プログラムと加工状態シミュ
レーションに基づき加工命令を作成する工程とを備え、
この加工命令に基づき前記ＮＣ制御を行うことを特徴と
する。

【０００７】この場合、加工プログラムの作成にあた
り、加工現場からの加工状態情報をも参照するようにし
たり、加工条件としての工具寸法形状情報と加工現場か
ら２．５次元あるいは３次元情報として得られる被加工
物および／または加工工具の寸法形状情報を参照して残
存する加工量が最小となるように設計したりすることが
好ましい。

【０００８】この発明にかかるコンピュータシミュレー
ション付きＮＣ制御微細加工方法は、加工状態情報に基
づき加工異常状態を診断する工程をも備えていたり、加
工工具を整形する工程をも備え、加工現場から得られる
加工状態情報に基づき工具の整形を行うことがある。

【０００９】前記加工状態情報は、たとえば、加工現場
の加工音情報、加工装置駆動電流情報、ならびに、被加
工物および／または加工工具の寸法形状情報のうちの少
なくとも一つである。

【００１０】この発明にかかるＮＣ制御微細加工装置
は、上記のコンピュータシミュレーション付きＮＣ制御
微細加工方法を実施するために、被加工物に対し加工を
施す加工工具と、この加工工具を駆動する駆動手段と、
この駆動手段を制御するＮＣ制御手段と、画面が表示機
能のほかに命令指示機能をも有する表示命令手段と、前
記各手段を統合的に制御するコントロールシェルとを備
え、前記表示命令手段は、ＣＡＤデータと加工条件と加
工プログラムと加工現場情報と加工状態シミュレーショ
ン結果とをそれぞれ表示することができるとともに前記
コントロールシェルに対する命令を指示することもでき
るようになっていることを特徴とする。

【００１１】前記コントロールシェルは、たとえば、Ｃ
ＡＤから得られる設計データをＮＣ制御のための情報に
変換するタスクと、予めデータベースに蓄積されている
加工条件情報を参照するタスクと、この加工条件情報と
前記変換されたＮＣ制御情報とに基づき加工プログラム
を作成するタスクと、加工現場から加工状態情報を得る
タスクと、この加工状態情報と前記加工プログラムとに
基づき加工状態のシミュレーションを行うタスクと、こ
のシミュレーションの結果と前記加工プログラムとに基
づきＮＣ制御のための加工命令を作成するタスクと、こ
の加工命令に従い加工工具の駆動手段を制御するタスク
とを行うことができるマルチタスクコントロールシェル
である。コントロールシェルは、加工状態情報に基づき
加工異常状態を診断するタスクをも備えていたり、加工
工具の整形手段をも備え、加工現場から得られる加工状
態情報に基づき工具の整形を行うことができるようにな
っていたりすることがある。この装置はまた、加工現場
の加工音情報を採取するサウンドモニターと、加工手段
の駆動電流情報を採取する電流計と、被加工物および／
または加工工具の寸法形状情報を採取する手段とのうち
の少なくとも一つをも備えていることがある。ここに、
被加工物および／または加工工具の寸法形状情報を採取
する手段とはビデオカメラ、レーザー顕微鏡、３次元デ
ジタイザー等の形状認識手段である。

【００１２】この発明が対象とする加工は、たとえば、
切削加工や放電加工である。

【００１３】

【作用】この発明では、ＮＣ制御により微細加工を行う
際に、加工部の加工の進行状況をコンピュータシミュレ
ーションでモニターに表示することができる。さらに、
必要に応じて加工音でも加工部の加工の進行状況を知覚
することができる。

【００１４】

【実施例】以下、この発明の実施例を詳しく説明する
が、この発明は、下記実施例に限るものでない。

【００１５】図２はこの発明にかかるコンピュータシミ
ュレーション付きＮＣ制御微細加工方法の実施例を示
す。図示はしていないが、この方法でも従来と同様、Ｃ
ＡＤを用いて作図を行い、ＣＡＤから得られる図形を示
す設計データをＣＡＭを介して加工工具を動かすために
必要な加工命令に変え、加工装置のＮＣ制御系に送り込
むようにしている。

【００１６】以下、その方法を詳述する。まず、所望の
製品モデルの形状を示す図面、画像等に基づき、ステッ
プＳ１において、システムのＣＡＤ形状作成機能を使用
して、被加工物ワークの最終加工形状を作成する。この
プロセスは通常対話形式で行われるが、他のＣＡＤシス
テムから所定のフォーマットの情報をインターフェース
を介して取り込むこともできる。また、ステップＳ１に
おいては、加工途中の加工形状も作成される。

【００１７】次に、ステップＳ２において、加工手順、
加工条件の設定が行われる。丸穴形状、スリット穴形状
の場合には、各穴毎に設定が行われるが、２.５次元の
輪郭形状加工の場合には、輪郭形状を示す個々のワイヤ
フレームエレメントに加工に必要な連続性と加工の方向
性を与えるためのループ化を行なうとともに、加工割り
込みを入れるための加工形状の分割化（セグメンテーシ
ョン）を行なう。さらに、電極等の加工工具のサイズに
応じた加工経路を設定し、加工プログラムが作成される
が、データベースに予め蓄積されている加工条件を参照
することもできる（ステップＳ３）。ここに、加工条件
とは加工工具の寸法形状、加工速度、切り込み量等の予
条件（最初に与えた条件）を意味する。

【００１８】また、加工プログラムを作成する場合に、
加工条件としての工具寸法形状情報と加工現場から２.
５次元あるいは３次元情報として得られる被加工物およ
び／または加工工具の寸法形状情報を参照して残存する
加工量が最小となるように設計すると良い。たとえば、
図３に示されるように、長四角形の孔の加工を行う場合
に、先ず大円形工具を使用して３個の加工を行い、つぎ
に各円の重なり部分４個の加工を中円形工具を使用して
行い、最後に小円形工具を使用して輪郭部分の加工を行
うようにするのである。

【００１９】次に、ステップＳ２で作成された加工プロ
グラムに基づいて、加工工具を動かすのに必要な加工命
令をステップＳ４で発生させ、ステップＳ５で加工装置
の駆動制御を行なう。

【００２０】ステップＳ６では、加工現場の画像情報等
を基に加工プロセス途中の加工形状の認識判断を行い、
加工形状が目的の加工形状に対し許容範囲にある場合に
は、ステップＳ５の制御を継続する一方、許容加工プロ
セス途中の加工形状が許容できない場合には、加工経路
変更割り込み処理を行なう。すなわち、ステップＳ７に
おいて、現在使用されている加工工具に代わる工具の寸
法形状等の情報をＡＩシステム（データベース）から取
り込むとともに、使用される加工工具のサイズに応じた
加工経路を設定することにより得られる新たな加工プロ
グラムと被加工物や加工工具の寸法形状等の加工状態情
報に基づき加工状態のシミュレーションを行なう。加工
シミュレーションの結果を後述する表示命令手段で確認
しながら、所定の加工形状が得られると判断された場合
には、ステップＳ１に戻って加工形状を作成した後、ス
テップＳ２〜Ｓ５のプロセスが再び行われる。

【００２１】一方、ステップＳ８において、加工装置制
御電流波形等の制御情報を基に、最初に設定した加工送
り速度、放電電圧あるいはコンデンサ容量等の加工条
件、加工手順等の加工状態を検査認識したり、あるい
は、加工現場からの加工音情報、加工工具の画像情報等
を基に、加工工具の再加工や加工工具の消耗に対応した
加工軌跡の修正を行なう必要があるかどうかの検査認識
を行なう。ステップＳ８において異常が認められない場
合には、ステップＳ５に戻り加工プロセス制御を継続す
る一方、異常が認められた場合には、加工状態あるいは
加工軌跡を適宜変更あるいは修正した後、ステップＳ９
において、加工シミュレーションを行なう。その後、加
工スピードの最適化割り込みあるいは加工工具消耗に対
応した割り込み等の加工工程条件及び加工条件変更割り
込み処理を行い、ステップＳ２において、新たな加工プ
ログラムを作成するとともに、ステップＳ４及びステッ
プＳ５のプロセスを再度行なう。

【００２２】上記シミュレーションをするときには、前
述した加工条件情報を参照することもできる。この発明
では、シミュレーション結果を見て、予定した加工の進
行と異なるときは、ループあるいはループの手順を
再度行うか繰り返し行うことにより加工プログラムの修
正を行う。加工命令を作成するときには、作業者は上記
シミュレーション結果から加工の進行状況を肉眼で見る
ことができるので、この観察結果も考慮して加工命令を
決める。このとき、シミュレーション結果を参照して加
工残量が最小になるように加工命令を決めるようにする
のが普通である。

【００２３】さらに、ステップＳ１０において、加工工
具破損等の加工中断を必要とする事態が発生していない
かどうかの加工状態認識をリアルタイムで行い、異常が
認められない場合には加工プロセス制御を継続する一
方、異常が認められた場合には緊急割り込み処理を行
い、ステップＳ４において、制御停止等の加工命令を新
たに作成する。

【００２４】尚、ステップＳ５の加工プロセス制御にお
ける制御データはＡＩシステムに送られて加工履歴情報
として蓄積されるとともに（ステップＳ１１）、この加
工履歴情報を分析することにより、加工プロセス制御に
関するルールを”if〜then〜else”形式で表現する知識
データとして獲得し、知識データベースを構築する。こ
の知識ベースをＡＩ推論システム上で稼動させることに
より、新たな加工プログラムの作成（ステップＳ２）や
シミュレーション（ステップＳ７及びステップＳ９）が
行われる。また、この知識ベースは、作業者が加工プロ
グラムの作成、修正を行う際の参照情報として使用され
る。

【００２５】加工状態が承認できるときは、加工を停止
し、ステップＳ１２において、完成品の検査工程に移
る。

【００２６】図示はしていないが、この実施例でも、通
常の加工と同様、加工工具の整形工程を備えており、こ
の工程では、加工現場から得られる加工状況情報を参照
して、特に、被加工物および／または加工工具の寸法形
状情報や電流波形等の制御情報を参照して加工工具の整
形を行う。

【００２７】つぎに、図４はこの発明にかかるコンピュ
ータシミュレーション付きＮＣ制御微細加工装置の実施
例を示す。加工手段は、ＸＹ駆動テーブル１上にマイク
ロ放電加工機２を備えたものである。マイクロ放電加工
機２は被加工物に対し加工を施す加工工具２２と、この
加工工具２２を駆動する駆動手段２１とを有している。
ＸＹ駆動テーブル１上には工具検査用３次元デジタイザ
ー３と被加工物検査用３次元デジタイザー４とが設けら
れているとともに、加工工具整形手段としてのドレッシ
ング治具５も設けられている。このドレッシング治具５
は、加工現場から得られる加工状態情報に基づき工具の
整形を行うことができる。また、被加工物Ａの下には、
加工現場の加工音情報を採取するサウンドモニター８が
取り付けられている。

【００２８】この加工装置はまた表示命令手段としての
エンジニアリングワークステーション（ＥＷＳ）６とこ
の加工装置の各手段を統合的に制御するコントロールシ
ェルを内蔵する放電加工機制御手段７をも備えており、
制御手段７の内部には、加工手段の駆動電流情報を採取
する電流計９が設けられている。表示命令手段６はその
画面が表示機能のほかに命令指示機能をも有し、ＣＡＤ
データと加工条件と加工プログラムと加工現場情報と加
工状態シミュレーション結果とをそれぞれ表示すること
ができるとともに、前記コントロールシェルに対する命
令を指示することもできるようになっている。この表示
命令手段６はパーソナルコンピュータであっても良い。

【００２９】図４に示されるように、ＸＹ駆動テーブル
１上には被加工物Ａが載置されており、この被加工物Ａ
を例えば図５に示されるような曲面形状に加工する場
合、加工工具である工具電極２２と被加工物Ａにパルス
放電電圧が印加される。また、ＸＹ駆動テーブル１をＸ
軸及びＹ軸方向に移動させるとともに、駆動手段２１に
より工具電極２２を回転させながらＺ軸方向に移動させ
ることにより、工具電極２２は矢印Ｄに沿って移動せし
められ、所定の加工が行われる。

【００３０】次に、ピッチ円直径０.３０ｍｍ、歯数１
２のインボリュート歯車を製作する場合の具体的な加工
プロセスを図６を参照しながら説明する。

【００３１】まず、製作したいインボリュート歯車の最
終加工形状ｇ及び図６の（ａ）〜（ｄ）に示される加工
途中の加工形状を作成するとともに、作成された加工形
状を基に、加工プログラム及び加工命令を作成する。

【００３２】次に、被加工物ＡをＸＹ駆動テーブル１上
に載置し、駆動手段２１に直径２００ミクロンの円筒電
極２２を取り付け、図６（ａ）に示される周辺穴加工を
行なう。すなわち、加工プロセス制御において、円筒電
極２２は、その中心が直径６００ミクロンの円Ｃ上の所
定位置に位置決めされた後、回転しながら下降せしめら
れ、直径２００ミクロンの穴ｃ１が形成される。次に、
駆動手段２１により円筒電極２２は上昇せしめられ、円
Ｃに沿って角度にして３０度移動した後、第２の穴ｃ２
が形成される。以下、このような加工を１２回繰り返す
ことにより、周辺穴加工は終了し、円Ｃに沿った一連の
穴ｃ１〜ｃ１２が形成される。

【００３３】１２個目の円孔ｃ１２が形成された後、円
筒電極２２を回転（自転）しながら、円Ｃに沿って徐々
に公転させ、図６（ｂ）に示されるように、幅２００ミ
クロンの環状溝Ｇが形成される（周辺トレース加工）。

【００３４】次に、図６（ｃ）に示される歯車形状粗加
工において、使用電極を直径５０ミクロンのものに取り
換えた後、インボリュート歯車の最終形状に多少の余肉
がついた形状となるよう、予めプログラムされた加工軌
跡Ｌ１に沿って電極が移動せしめられる。さらに、図６
（ｄ）の歯車仕上加工において、使用電極を直径２０ミ
クロンのものに取り換えた後、予めプログラムされた加
工軌跡Ｌ２に沿って電極が移動せしめられ、インボリュ
ート歯車の最終形状が完成する。

【００３５】尚、インボリュート歯車の最終加工形状ｇ
は、図７に示されるように、複数のワイヤフレームエレ
メントの各々を複数のセグメントに分割して形成されて
おり、各セグメント毎に加工割り込みが可能である。ま
た、図６の加工プロセスにおいて、加工途中の形状認識
（図２のステップＳ６），加工状態の認識（図２のステ
ップＳ８及びＳ１０）が行われ、必要に応じ加工シミュ
レーション（図２のステップＳ７及びＳ９）及び割り込
み処理が行われる。

【００３６】また、電極整形工程を各加工の前に行うこ
とで、一連の工程を全て自動的に連続させることもでき
る。

【００３７】上記のようにして製作されたインボリュー
ト歯車の歯車形状加工時間は、従来に比べ約１／１０に
減少し、歯車加工精度は±０.５μｍであった。

【００３８】ここで、上記コントロールシェルは、マル
チタスクコントロールシェルであって、図８に示される
ように、ＣＡＤから得られる設計データをＮＣ制御のた
めの情報に変換するタスク１１と、予めデータベースに
蓄積されている加工条件情報を参照するタスク１２と、
この加工条件情報と前記変換されたＮＣ制御情報とに基
づき加工プログラムを作成するタスク１３と、加工現場
から加工状態情報を得るタスク１４ａ、１４ｂ、１４ｃ
と、この加工状態情報と前記加工プログラムとに基づき
加工状態のシミュレーションを行うタスク１５と、この
シミュレーションの結果と前記加工プログラムとに基づ
きＮＣ制御のための加工命令を作成するタスク１６と、
この加工命令に従い加工工具の駆動手段を制御するタス
ク１７とを行うことができるようになっている。このコ
ンピュータシェルは、加工状態情報に基づき加工異常状
態を診断するタスク１８をも備えている。

【００３９】上記タスク１４ａ、１４ｂ、１４ｃを実行
できるようするために、この加工装置は、前述したよう
に、加工現場の加工音情報を採取するサウンドモニター
８と、加工手段の駆動電流情報を採取する電流計９と、
被加工物Ａと加工工具２２の寸法形状情報を採取する３
次元デジタイザー３、４を備えている。

【００４０】

【発明の効果】この発明によれば、ＮＣ制御による微細
加工をコンピュータシミュレーション付きで行うため、
微小な形状たとえば１ミリ以下の微小な形状に対して
も、加工の進行を肉眼で観察することができ、加工途中
での修正も簡単に行える。加工の進行は必要に応じて加
工音でも知覚することができる。そのため、この発明の
方法・装置が、加工作業者が加工の進行状況について好
適な判断を行うことを可能とさせるともに、加工作業者
に対し、教育しつつ加工を進めさせて行くことを可能と
して、加工の精度を非常に高めさせることができる。そ
の結果、この発明の方法・装置は、加工上の効果とし
て、結晶粒界や不純物等の微細物の影響を受けて加工
の進行に変化がでてもそれを修正することができる、
加工状態に変化がでないように加工を進めることをでき
る、時間的、価格的に最も有利な加工方法を設計する
こともできる等の諸効果をもたらすことができる。加え
て、上記加工上の効果以外の効果として、加工作業者が
画像情報と必要に応じて加工音情報とにより加工の進行
を把握できると言うことは、この発明の方法・装置が加
工作業者に対し加工装置との対話を重ねるような雰囲気
での作業環境を得させると言うことをも意味し、この発
明の方法・装置は、加工作業者に好適な作業環境を提供
できると言う効果をももたらす。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の概略を示す説明図である。

【図２】この発明にかかるコンピュータシミュレーショ
ン付きＮＣ制御微細加工方法の一実施例を示すフローチ
ャートである。

【図３】上記方法を実施するための加工工具を設定する
手順を示す説明図である。

【図４】この発明にかかるコンピュータシミュレーショ
ン付きＮＣ制御微細加工装置の一実施例を示す説明図で
ある。

【図５】上記装置において加工工具として採用された電
極と被加工物とを示す斜視図である。

【図６】上記装置を使用してインボリュート歯車を製作
する場合の加工プロセスを示す説明図である。

【図７】加工割り込みを入れるための加工形状の分割化
を示す説明図である。

【図８】上記装置のコントロールシェルを示す説明図で
ある。

【図９】従来技術の概略を示す説明図である。

【符号の説明】

１ＸＹ駆動テーブル２放電加工機３，４３次元デジタイザー５ドレッシング治具６表示命令手段７制御手段８サウンドモニター９電流計２１駆動手段２２加工工具Ａ被加工物

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０５Ｂ 19/4068 (72)発明者室真弘大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＮＣ制御により微細加工を行う方法であ
って、ＣＡＤから得られる設計データとデータベースに
予め蓄積されている加工条件とに基づき加工プログラム
を作成する工程と、加工現場から加工状態情報を得る工
程と、前記加工プログラムと加工状態情報に基づき加工
状態のシミュレーションを行う工程と、前記加工プログ
ラムと加工状態シミュレーションに基づき加工命令を作
成する工程とを備え、この加工命令に基づき前記ＮＣ制
御を行うことを特徴とするコンピュータシミュレーショ
ン付きＮＣ制御微細加工方法。
【請求項２】加工プログラムの作成にあたり、加工現
場からの加工状態情報をも参照する請求項１記載のコン
ピュータシミュレーション付きＮＣ制御微細加工方法。
【請求項３】加工プログラムの作成にあたり、加工条
件としての工具寸法形状情報と加工現場から２.５次元
あるいは３次元情報として得られる被加工物および／ま
たは加工工具の寸法形状情報を参照して残存する加工量
が最小となるように設計する請求項２記載のコンピュー
タシミュレーション付きＮＣ制御微細加工方法。
【請求項４】加工状態情報に基づき加工異常状態を診
断する工程をも備えている請求項１記載のコンピュータ
シミュレーション付きＮＣ制御微細加工方法。
【請求項５】加工工具を整形する工程をも備え、加工
現場から得られる加工状態情報に基づき工具の整形を行
う請求項１記載のコンピュータシミュレーション付きＮ
Ｃ制御微細加工方法。
【請求項６】加工状態情報が、加工現場の加工音情
報、加工装置駆動電流情報、ならびに、被加工物および
／または加工工具の寸法形状情報のうちの少なくとも一
つである請求項１記載のコンピュータシミュレーション
付きＮＣ制御微細加工方法。
【請求項７】被加工物に対し加工を施す加工工具と、
この加工工具を駆動する駆動手段と、この駆動手段を制
御するＮＣ制御手段と、画面が表示機能のほかに命令指
示機能をも有する表示命令手段と、前記各手段を統合的
に制御するコントロールシェルとを備え、前記表示命令
手段は、ＣＡＤデータと加工条件と加工プログラムと加
工現場情報と加工状態シミュレーション結果とをそれぞ
れ表示することができるとともに前記コントロールシェ
ルに対する命令を指示することもできるようになってい
ることを特徴とするコンピュータシミュレーション付き
ＮＣ制御微細加工装置。
【請求項８】コントロールシェルは、ＣＡＤから得ら
れる設計データをＮＣ制御のための情報に変換するタス
クと、予めデータベースに蓄積されている加工条件情報
を参照するタスクと、この加工条件情報と前記変換され
たＮＣ制御情報とに基づき加工プログラムを作成するタ
スクと、加工現場から加工状態情報を得るタスクと、こ
の加工状態情報と前記加工プログラムとに基づき加工状
態のシミュレーションを行うタスクと、このシミュレー
ションの結果と前記加工プログラムとに基づきＮＣ制御
のための加工命令を作成するタスクと、この加工命令に
従い加工工具の駆動手段を制御するタスクとを行うこと
ができるマルチタスクコントロールシェルである請求項
７記載のコンピュータシミュレーション付きＮＣ制御微
細加工装置。
【請求項９】コントロールシェルは、加工状態情報に
基づき加工異常状態を診断するタスクをも備えている請
求項７記載のコンピュータシミュレーション付きＮＣ制
御微細加工装置。
【請求項１０】加工工具の整形手段をも備え、加工現
場から得られる加工状態情報に基づき工具の整形を行う
ことができるようになっている請求項７記載のコンピュ
ータシミュレーション付きＮＣ制御微細加工装置。
【請求項１１】加工現場の加工音情報を採取するサウ
ンドモニターと、加工手段の駆動電流情報を採取する電
流計と、被加工物および／または加工工具の寸法形状情
報を採取する手段とのうちの少なくとも一つをも備え、
前記被加工物および／または加工工具の寸法形状情報を
採取する手段が形状認識手段である請求項７記載のコン
ピュータシミュレーション付きＮＣ制御微細加工装置。