JPH07301603A - 化学発光式窒素酸化物測定装置 - Google Patents
化学発光式窒素酸化物測定装置Info
- Publication number
- JPH07301603A JPH07301603A JP11423494A JP11423494A JPH07301603A JP H07301603 A JPH07301603 A JP H07301603A JP 11423494 A JP11423494 A JP 11423494A JP 11423494 A JP11423494 A JP 11423494A JP H07301603 A JPH07301603 A JP H07301603A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- gas
- concentration
- flow rate
- nitrogen oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 希釈ガスの流量調節と、化学発光の検出感度
を最適化するオゾン濃度調節をともに容易にできるよう
にする。 【構成】 反応槽２へオゾンの供給と希釈用空気の供給
を兼ねるオゾン流路３０にはポンプ３２、流量調節器３
４、流量計３６、オゾン発生器２６及び平滑素子３８が
配置されている。オゾン流路３０の流量はＣＯ2などの
消光性ガスを希釈するのに適当な流量に調節され、オゾ
ン濃度は試料ガスの窒素酸化物濃度に応じて化学発光の
検出感度が最大になるように最適化される。オゾン発生
器２６を駆動する高圧電源はパルス幅変調型の濃度設定
器４２により制御される。
を最適化するオゾン濃度調節をともに容易にできるよう
にする。 【構成】 反応槽２へオゾンの供給と希釈用空気の供給
を兼ねるオゾン流路３０にはポンプ３２、流量調節器３
４、流量計３６、オゾン発生器２６及び平滑素子３８が
配置されている。オゾン流路３０の流量はＣＯ2などの
消光性ガスを希釈するのに適当な流量に調節され、オゾ
ン濃度は試料ガスの窒素酸化物濃度に応じて化学発光の
検出感度が最大になるように最適化される。オゾン発生
器２６を駆動する高圧電源はパルス幅変調型の濃度設定
器４２により制御される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は発電プラントなどの煙道
排ガスや自動車の排ガス中に含まれる窒素酸化物を測定
する化学発光式窒素酸化物測定装置に関するものであ
る。
排ガスや自動車の排ガス中に含まれる窒素酸化物を測定
する化学発光式窒素酸化物測定装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】化学発光式窒素酸化物測定装置では、試
料ガス中の窒素酸化物を全てＮＯにした後、別に発生さ
せたオゾンとともに反応室に送り込み、常圧又は減圧下
で両者を接触させて気相反応させることによって化学発
光を誘起させ、この発光強度を検出して試料中の窒素酸
化物濃度を計測する。
料ガス中の窒素酸化物を全てＮＯにした後、別に発生さ
せたオゾンとともに反応室に送り込み、常圧又は減圧下
で両者を接触させて気相反応させることによって化学発
光を誘起させ、この発光強度を検出して試料中の窒素酸
化物濃度を計測する。
【０００３】図１は従来の化学発光式窒素酸化物測定装
置を表わしたものである。反応槽２には試料ガスを供給
する試料ガス流路４とオゾンを供給するオゾン流路６と
が接続されている。試料ガス流路４はポンプ８によりサ
ンプル導入プローブ１０から煙道などの試料ガスを吸引
するものであり、前処理装置１２、流量調節器１４、流
量計１６及びキャピラリー１８を備え、流量計１６とキ
ャピラリー１８の間から分岐した流路には背圧調整弁又
は定圧トラップ１７が設けられている。前処理装置１２
はＮＯ2をＮＯに変えるコンバータ、試料ガス中の固形
分を除去するフィルタ、水分を除去する電子式冷却器な
どを備えている。試料ガスは流量調節器１４と流量計１
６によって一定流量とされ、キャピラリー１８を経て反
応槽２へ導かれる。一方、オゾン流路６にはポンプ２０
により吸引された空気が流量調節器２２と流量計２４に
より一定流量となってオゾン発生器２６へ供給され、空
気中の酸素の所定量がオゾンに変換されて反応槽２へ供
給される。反応槽２での化学発光強度を検出するため
に、光検出器２８が設けられている。
置を表わしたものである。反応槽２には試料ガスを供給
する試料ガス流路４とオゾンを供給するオゾン流路６と
が接続されている。試料ガス流路４はポンプ８によりサ
ンプル導入プローブ１０から煙道などの試料ガスを吸引
するものであり、前処理装置１２、流量調節器１４、流
量計１６及びキャピラリー１８を備え、流量計１６とキ
ャピラリー１８の間から分岐した流路には背圧調整弁又
は定圧トラップ１７が設けられている。前処理装置１２
はＮＯ2をＮＯに変えるコンバータ、試料ガス中の固形
分を除去するフィルタ、水分を除去する電子式冷却器な
どを備えている。試料ガスは流量調節器１４と流量計１
６によって一定流量とされ、キャピラリー１８を経て反
応槽２へ導かれる。一方、オゾン流路６にはポンプ２０
により吸引された空気が流量調節器２２と流量計２４に
より一定流量となってオゾン発生器２６へ供給され、空
気中の酸素の所定量がオゾンに変換されて反応槽２へ供
給される。反応槽２での化学発光強度を検出するため
に、光検出器２８が設けられている。
【０００４】煙道排ガスや自動車排ガスには反応槽２で
の化学発光を消光するガス成分が含まれている。代表的
にはＣＯ2であり、化学発光強度はこのＣＯ2の消光効果
（Quenching Effect）により干渉され、発光強度が低下
する。消光性ガスによる消光効果を低下させる方法とし
て、図１の装置では空気をポンプ３０により吸引してキ
ャピラリー３２を経て反応槽２へ導き、干渉ガス濃度を
希釈する希釈用空気流路３１を備えている。
の化学発光を消光するガス成分が含まれている。代表的
にはＣＯ2であり、化学発光強度はこのＣＯ2の消光効果
（Quenching Effect）により干渉され、発光強度が低下
する。消光性ガスによる消光効果を低下させる方法とし
て、図１の装置では空気をポンプ３０により吸引してキ
ャピラリー３２を経て反応槽２へ導き、干渉ガス濃度を
希釈する希釈用空気流路３１を備えている。
【０００５】消光性のあるガスの影響を抑える他の方法
としては、試料ガス中に含まれる消光性ガス成分の濃度
を予測して検出器の増幅回路で補正する方法や、消光性
ガス成分を測定する装置を別途設け、その測定値に基づ
いて演算により補正する方法などが知られている。
としては、試料ガス中に含まれる消光性ガス成分の濃度
を予測して検出器の増幅回路で補正する方法や、消光性
ガス成分を測定する装置を別途設け、その測定値に基づ
いて演算により補正する方法などが知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図１の流路構成をもつ
測定装置では、反応槽２につながるガス流路としては試
料ガス流路４、オゾン流路６、及び希釈用空気流路３１
の３流路が設けられており、それぞれの流路の流量を所
定値になるように正確に調節しなければならないため、
操作がわずらわしい。
測定装置では、反応槽２につながるガス流路としては試
料ガス流路４、オゾン流路６、及び希釈用空気流路３１
の３流路が設けられており、それぞれの流路の流量を所
定値になるように正確に調節しなければならないため、
操作がわずらわしい。
【０００７】反応槽２へ供給するオゾンの濃度には試料
ガス中の窒素酸化物濃度に応じた最適濃度が存在する
（特開平４−２６４２３９号公報の図２参照）。そのた
め、試料によってオゾン濃度を最適なものに設定する必
要がある。オゾン発生器のオゾン濃度を制御する試みは
種々提案されている。無声放電式オゾン発生器で高圧電
源への商用電源や直流電源をオン・オフ制御するのは時
定数が大き過ぎて難しく、また高圧電源の励振周波数を
制御するのは高圧トランスのコアの材質により制約を受
け、広範囲な制御はできない。
ガス中の窒素酸化物濃度に応じた最適濃度が存在する
（特開平４−２６４２３９号公報の図２参照）。そのた
め、試料によってオゾン濃度を最適なものに設定する必
要がある。オゾン発生器のオゾン濃度を制御する試みは
種々提案されている。無声放電式オゾン発生器で高圧電
源への商用電源や直流電源をオン・オフ制御するのは時
定数が大き過ぎて難しく、また高圧電源の励振周波数を
制御するのは高圧トランスのコアの材質により制約を受
け、広範囲な制御はできない。
【０００８】図１のように希釈用空気流路３１とオゾン
流路６を別流路として備えている測定装置では、希釈用
空気流路３１からの流量とオゾン流路６からの流量の合
計流量と、オゾン濃度をそれぞれ調節しなければならな
いが、容易ではない。そこで、本発明は試料ガス中の化
学発光に対する消光性のあるガスの影響を抑えるための
希釈ガスの流量の調節と、化学発光の検出感度を最適化
するためのオゾン濃度の調節をともに容易にできるよう
にすることを目的とするものである。
流路６を別流路として備えている測定装置では、希釈用
空気流路３１からの流量とオゾン流路６からの流量の合
計流量と、オゾン濃度をそれぞれ調節しなければならな
いが、容易ではない。そこで、本発明は試料ガス中の化
学発光に対する消光性のあるガスの影響を抑えるための
希釈ガスの流量の調節と、化学発光の検出感度を最適化
するためのオゾン濃度の調節をともに容易にできるよう
にすることを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】従来の希釈用空気流路３
１とオゾン流路６の２流路に代るものとして、本発明で
は、供給された空気中の酸素をオゾンに変える無声放電
式オゾン発生器及びその下流の平滑素子を有し、反応槽
へオゾンを含む空気を消光性ガス濃度に応じて設定され
た流量で供給する１つのオゾン流路を備え、そのオゾン
発生器の高圧トランスの一次側を励振周波数より低周波
数の数〜数十サイクルで間欠的にオン・オフ動作させる
とともに、試料ガス中の窒素酸化物濃度に対応した最適
オゾン濃度になるようにパルス幅変調方式によりそのオ
ン・オフ動作のデューティ比を設定する。
１とオゾン流路６の２流路に代るものとして、本発明で
は、供給された空気中の酸素をオゾンに変える無声放電
式オゾン発生器及びその下流の平滑素子を有し、反応槽
へオゾンを含む空気を消光性ガス濃度に応じて設定され
た流量で供給する１つのオゾン流路を備え、そのオゾン
発生器の高圧トランスの一次側を励振周波数より低周波
数の数〜数十サイクルで間欠的にオン・オフ動作させる
とともに、試料ガス中の窒素酸化物濃度に対応した最適
オゾン濃度になるようにパルス幅変調方式によりそのオ
ン・オフ動作のデューティ比を設定する。
【００１０】
【作用】本発明は希釈用空気流路とオゾン流路を１つの
流路にしたものであり、化学発光の検出感度を最適化す
るようにオゾン濃度が調節されたオゾン流路の流量によ
り消光性ガスを希釈する。希釈ガス流量はオゾン流路の
流量を調節する手段により、ＣＯ2などの消光性ガス濃
度に対応して設定し、オゾン濃度はオゾン発生器の高圧
電源装置のパルス幅変調方式による間欠オゾン発生によ
り、化学発光検出感度が最大になるように、パルス幅変
調のデューティ比を設定する。
流路にしたものであり、化学発光の検出感度を最適化す
るようにオゾン濃度が調節されたオゾン流路の流量によ
り消光性ガスを希釈する。希釈ガス流量はオゾン流路の
流量を調節する手段により、ＣＯ2などの消光性ガス濃
度に対応して設定し、オゾン濃度はオゾン発生器の高圧
電源装置のパルス幅変調方式による間欠オゾン発生によ
り、化学発光検出感度が最大になるように、パルス幅変
調のデューティ比を設定する。
【００１１】
【実施例】図２は一実施例を表わす。図１と同一部分に
は同一の符号を符す。反応槽２及びその化学発光を検出
する検出器２８は同じものであり、検出器２８としては
光電子増倍管やフォトダイオードを用いることができ
る。試料ガス流路４は図１のものと同じものであり、煙
道などから試料ガスを取り込むサンプル導入プローブ１
０、ＮＯ2−ＮＯコンバータ、フィルタ、電子式冷却器
などを備えた前処理装置１２、ポンプ８、流量調節器１
４、流量計１６及びキャピラリー１８が流路に沿って上
流から下流方向に配置されている。流量計１６とキャピ
ラリー１８の間から分岐した流路には背圧調整弁又は定
圧トラップ１７が設けられている。ここまでの構成は図
１と同じである。
は同一の符号を符す。反応槽２及びその化学発光を検出
する検出器２８は同じものであり、検出器２８としては
光電子増倍管やフォトダイオードを用いることができ
る。試料ガス流路４は図１のものと同じものであり、煙
道などから試料ガスを取り込むサンプル導入プローブ１
０、ＮＯ2−ＮＯコンバータ、フィルタ、電子式冷却器
などを備えた前処理装置１２、ポンプ８、流量調節器１
４、流量計１６及びキャピラリー１８が流路に沿って上
流から下流方向に配置されている。流量計１６とキャピ
ラリー１８の間から分岐した流路には背圧調整弁又は定
圧トラップ１７が設けられている。ここまでの構成は図
１と同じである。
【００１２】反応槽２へオゾンの供給と希釈用空気の供
給を兼ねるオゾン流路３０は、流路に沿って空気を取り
込むポンプ３２、流量調節器３４、流量計３６、オゾン
発生器２６、及びキャピラリーと少しの容量の室を備え
た平滑素子３８が上流から下流に向かって配置されたも
のである。ポンプ３２により取り込まれた空気は、流量
調節器３４によりＣＯ2などの消光性ガスを希釈するの
に適当な流量に調節されてオゾン発生器２６に導かれ、
オゾン発生器２６で試料ガスの窒素酸化物濃度に応じて
最適化されたオゾン濃度になるように発生させられたオ
ゾンを含むガスとなり、平滑素子３８でオゾン濃度の時
間的変動が平滑化されて反応槽２へ供給される。４０は
オゾン発生器２６を駆動する高圧電源であり、高圧電源
４０にはオゾン濃度を調節するためにパルス幅変調型の
濃度設定器４２が接続されている。
給を兼ねるオゾン流路３０は、流路に沿って空気を取り
込むポンプ３２、流量調節器３４、流量計３６、オゾン
発生器２６、及びキャピラリーと少しの容量の室を備え
た平滑素子３８が上流から下流に向かって配置されたも
のである。ポンプ３２により取り込まれた空気は、流量
調節器３４によりＣＯ2などの消光性ガスを希釈するの
に適当な流量に調節されてオゾン発生器２６に導かれ、
オゾン発生器２６で試料ガスの窒素酸化物濃度に応じて
最適化されたオゾン濃度になるように発生させられたオ
ゾンを含むガスとなり、平滑素子３８でオゾン濃度の時
間的変動が平滑化されて反応槽２へ供給される。４０は
オゾン発生器２６を駆動する高圧電源であり、高圧電源
４０にはオゾン濃度を調節するためにパルス幅変調型の
濃度設定器４２が接続されている。
【００１３】オゾン流路３０から反応槽２へ供給される
ガスの流量は、ポンプ３２の容量と流量調節器３４によ
り調節される。この流量は試料ガスに含まれるＣＯ2な
どの消光性ガス濃度に対応して消光効果を抑える流量に
設定される。流量が大き過ぎると消光効果は抑える点で
は問題はないが、試料中の窒素酸化物濃度も希釈されて
検出器の感度が低下し、逆に流量が小さ過ぎるときは消
光性ガスによる消光効果を十分に抑えることができない
ので、最適な流量に調節する。オゾン発生器２６による
オゾン濃度は試料ガス中の窒素酸化物濃度に対応して検
出感度が最大になるような値に設定する。
ガスの流量は、ポンプ３２の容量と流量調節器３４によ
り調節される。この流量は試料ガスに含まれるＣＯ2な
どの消光性ガス濃度に対応して消光効果を抑える流量に
設定される。流量が大き過ぎると消光効果は抑える点で
は問題はないが、試料中の窒素酸化物濃度も希釈されて
検出器の感度が低下し、逆に流量が小さ過ぎるときは消
光性ガスによる消光効果を十分に抑えることができない
ので、最適な流量に調節する。オゾン発生器２６による
オゾン濃度は試料ガス中の窒素酸化物濃度に対応して検
出感度が最大になるような値に設定する。
【００１４】図３（Ａ）は高圧電源４０の具体的な一例
を示したものである。昇圧トランス５０の二次側にはオ
ゾン発生器２６とコンデンサ５２が並列に接続されてお
り、昇圧トランス５０の一次側には通電を制御する制御
回路５４が接続されている。制御回路５４には、昇圧ト
ランス５０の特性とオゾン発生器の放電空隙に合わせた
発振周波数５００Ｈｚの発振回路を内蔵している。信号
Ｓはこの内蔵の発振回路を制御する制御信号であり、内
蔵発振回路の発振周波数より低周波の１０〜２０Ｈｚで
内蔵発振回路をパルス変調してオン・オフ制御する。ま
た、制御回路５４には一次側の電圧をフィードバックす
る回路５６と二次側の電流を検知してフィードバックす
る回路５８が設けられており、制御回路５４はフィード
バック回路５６により、オゾン発生器２６に印加される
高電圧が一定になるように制御し、またフィードバック
回路５８により、過大電流にならないように二次側電流
を制御している。
を示したものである。昇圧トランス５０の二次側にはオ
ゾン発生器２６とコンデンサ５２が並列に接続されてお
り、昇圧トランス５０の一次側には通電を制御する制御
回路５４が接続されている。制御回路５４には、昇圧ト
ランス５０の特性とオゾン発生器の放電空隙に合わせた
発振周波数５００Ｈｚの発振回路を内蔵している。信号
Ｓはこの内蔵の発振回路を制御する制御信号であり、内
蔵発振回路の発振周波数より低周波の１０〜２０Ｈｚで
内蔵発振回路をパルス変調してオン・オフ制御する。ま
た、制御回路５４には一次側の電圧をフィードバックす
る回路５６と二次側の電流を検知してフィードバックす
る回路５８が設けられており、制御回路５４はフィード
バック回路５６により、オゾン発生器２６に印加される
高電圧が一定になるように制御し、またフィードバック
回路５８により、過大電流にならないように二次側電流
を制御している。
【００１５】図３（Ｂ）はこの高圧電源の制御回路５４
での動作を示したものである。オゾン発生器２６を動作
させるために、励振周波数５００Ｈｚで期間ｔ励振する
ことによりオゾン発生器２６では無声放電によりオゾン
が発生する。期間ｔのオゾン発生器の動作を周期Ｔで繰
り返す。周期Ｔのオン・オフ動作の周波数は１０〜２０
Ｈｚであり、デューティ比（ｔ／Ｔ）を可変にすること
により、パルス幅変調方式でオゾンを間欠的に発生させ
る。オゾン発生器２６ではデューティ比に比例したオゾ
ン量が間欠的に発生し、平滑素子３８を経て濃度が時間
的に平滑化されて反応槽２へ供給される。このデューテ
ィ比は試料ガス中の窒素酸化物濃度に対応して検出感度
が最大になるように設定される。
での動作を示したものである。オゾン発生器２６を動作
させるために、励振周波数５００Ｈｚで期間ｔ励振する
ことによりオゾン発生器２６では無声放電によりオゾン
が発生する。期間ｔのオゾン発生器の動作を周期Ｔで繰
り返す。周期Ｔのオン・オフ動作の周波数は１０〜２０
Ｈｚであり、デューティ比（ｔ／Ｔ）を可変にすること
により、パルス幅変調方式でオゾンを間欠的に発生させ
る。オゾン発生器２６ではデューティ比に比例したオゾ
ン量が間欠的に発生し、平滑素子３８を経て濃度が時間
的に平滑化されて反応槽２へ供給される。このデューテ
ィ比は試料ガス中の窒素酸化物濃度に対応して検出感度
が最大になるように設定される。
【００１６】オゾン流路３０から反応槽２へ供給される
ガスの流量は、試料ガス中のＣＯ2などの消光性ガスの
消光効果を抑えるために設定される。例えば、発電プラ
ントの煙道排ガスの窒素酸化物の測定には、燃やす燃料
の種類によって異なるが、発生するＣＯ2濃度は７〜１
５％である。反応槽２の容量を３００ｍｌ／分とし、１
０％のＣＯ2が干渉ガスとして含まれているとすると、
ＣＯ2ガス成分の流量は３０ｍｌ／分である。この干渉
ガスを１％以下の干渉度にするには、オゾン流路３０か
らのガス流量を３リットル／分とすればよい。一方、窒
素酸化物の濃度範囲が０〜２５０ｐｐｍとすれば、１０
００ｐｐｍ程度のオゾン濃度が適当であり、そのような
オゾン濃度になるようにデューティ比（ｔ／Ｔ）を設定
する。
ガスの流量は、試料ガス中のＣＯ2などの消光性ガスの
消光効果を抑えるために設定される。例えば、発電プラ
ントの煙道排ガスの窒素酸化物の測定には、燃やす燃料
の種類によって異なるが、発生するＣＯ2濃度は７〜１
５％である。反応槽２の容量を３００ｍｌ／分とし、１
０％のＣＯ2が干渉ガスとして含まれているとすると、
ＣＯ2ガス成分の流量は３０ｍｌ／分である。この干渉
ガスを１％以下の干渉度にするには、オゾン流路３０か
らのガス流量を３リットル／分とすればよい。一方、窒
素酸化物の濃度範囲が０〜２５０ｐｐｍとすれば、１０
００ｐｐｍ程度のオゾン濃度が適当であり、そのような
オゾン濃度になるようにデューティ比（ｔ／Ｔ）を設定
する。
【００１７】高感度に増幅するときに光検出器２８とそ
の増幅系でドリフトが問題となる。特に光検出器２８と
してフォトダイオードを用いた場合には、周囲条件によ
る暗電流の変化及び高感度増幅器の零電位の変化があ
る。試料ガスを希釈するため窒素酸化物濃度も低下し、
検出器の増幅系での感度低下による信号のドリフトが大
きくなる。そこで、図３（Ｂ）にＰｚとして示されるよ
うに、間欠オゾン発生のパルス幅変調の中で０.１〜０.
２Ｈｚの周波数でオゾン濃度を０にし、このオゾン発生
を０とする期間Ｐｚにより光検出器２８とその増幅系の
零電位を校正し、高感度な増幅を行なうことができるよ
うにする。
の増幅系でドリフトが問題となる。特に光検出器２８と
してフォトダイオードを用いた場合には、周囲条件によ
る暗電流の変化及び高感度増幅器の零電位の変化があ
る。試料ガスを希釈するため窒素酸化物濃度も低下し、
検出器の増幅系での感度低下による信号のドリフトが大
きくなる。そこで、図３（Ｂ）にＰｚとして示されるよ
うに、間欠オゾン発生のパルス幅変調の中で０.１〜０.
２Ｈｚの周波数でオゾン濃度を０にし、このオゾン発生
を０とする期間Ｐｚにより光検出器２８とその増幅系の
零電位を校正し、高感度な増幅を行なうことができるよ
うにする。
【００１８】また、本発明ではオゾン濃度を単純なパル
ス幅変調方式で容易に制御することができるので、この
測定装置のＣＰＵのメモリ空間に、窒素酸化物濃度範囲
と干渉ガス濃度に応じて、最適なオゾン濃度とオゾン流
路の流量とをテーブルとして記憶させておき、測定装置
の全レンジにわたって干渉ガスの影響の少ない測定装置
とすることもできる。
ス幅変調方式で容易に制御することができるので、この
測定装置のＣＰＵのメモリ空間に、窒素酸化物濃度範囲
と干渉ガス濃度に応じて、最適なオゾン濃度とオゾン流
路の流量とをテーブルとして記憶させておき、測定装置
の全レンジにわたって干渉ガスの影響の少ない測定装置
とすることもできる。
【００１９】本発明の他の態様として次のものがある。 （１）オゾン濃度を調節するためにオゾン発生器の高圧
トランスの一次側を間欠的にオン・オフ動作させる周期
よりも長い周期でオゾン濃度を０にする期間を設け、反
応槽の光検出器及び増幅系の零電位を校正する機能をさ
らに備えた測定装置。この場合、随時零電位を校正する
ことができるので、安定した高感度測定を行なうことが
できる。 （２）測定対象となる窒素酸化物濃度と干渉ガス濃度に
応じて、最適なオゾン濃度とオゾン流路の流量をテーブ
ルとして記憶させておくようにした測定装置。これによ
り、オゾン濃度とオゾン流路からの流量を簡便に設定で
きるようになる。
トランスの一次側を間欠的にオン・オフ動作させる周期
よりも長い周期でオゾン濃度を０にする期間を設け、反
応槽の光検出器及び増幅系の零電位を校正する機能をさ
らに備えた測定装置。この場合、随時零電位を校正する
ことができるので、安定した高感度測定を行なうことが
できる。 （２）測定対象となる窒素酸化物濃度と干渉ガス濃度に
応じて、最適なオゾン濃度とオゾン流路の流量をテーブ
ルとして記憶させておくようにした測定装置。これによ
り、オゾン濃度とオゾン流路からの流量を簡便に設定で
きるようになる。
【００２０】
【発明の効果】本発明ではオゾン流路から反応槽へ供給
するガス流量によりＣＯ2などの消光性ガスの影響を抑
えるとともに、そのオゾン流路からのガス中のオゾン濃
度をオゾン発生器の高圧トランスの一次側の通電をパル
ス幅制御方式により制御するようにしたので、オゾン濃
度の広範囲な制御が可能になり、化学発光強度を最大感
度で検出することができ、発光強度の非線形性も改善さ
れる。そして希釈用空気流路を別に設ける必要がないの
で、流路構成が簡単になり、それだけ流量を安定させる
ための操作が少なくてすむ。オゾン濃度を最適な値に設
定することから、反応槽から排出されるガス中のオゾン
を分解するオゾン分解器に使われる触媒は、オゾン発生
器から過剰なオゾンを発生させる場合に比べて長寿命に
なる。
するガス流量によりＣＯ2などの消光性ガスの影響を抑
えるとともに、そのオゾン流路からのガス中のオゾン濃
度をオゾン発生器の高圧トランスの一次側の通電をパル
ス幅制御方式により制御するようにしたので、オゾン濃
度の広範囲な制御が可能になり、化学発光強度を最大感
度で検出することができ、発光強度の非線形性も改善さ
れる。そして希釈用空気流路を別に設ける必要がないの
で、流路構成が簡単になり、それだけ流量を安定させる
ための操作が少なくてすむ。オゾン濃度を最適な値に設
定することから、反応槽から排出されるガス中のオゾン
を分解するオゾン分解器に使われる触媒は、オゾン発生
器から過剰なオゾンを発生させる場合に比べて長寿命に
なる。
【図１】従来の測定装置を示す流路図である。
【図２】一実施例の測定装置を示す流路図である。
【図３】（Ａ）は同実施例におけるオゾン発生器の高圧
電源を示す回路図、（Ｂ）は同実施例の動作を示す波形
図である。
電源を示す回路図、（Ｂ）は同実施例の動作を示す波形
図である。
２ 反応槽 ４ 試料ガス流路 ２６ オゾン発生器 ３０ オゾン流路 ３８ 平滑素子 ４０ 高圧電源 ４２ 濃度設定器
Claims (1)
- 【請求項１】 試料ガス中の窒素酸化物とオゾンとを気
相反応させ、その化学発光強度を検出する反応槽と、 前記反応槽へ窒素酸化物を含む試料ガスを所定の流量で
送り込む試料ガス流路と、 供給された空気中の酸素をオゾンに変える無声放電式オ
ゾン発生器及びその下流の平滑素子を有し、前記反応槽
へオゾンを含む空気を前記気相反応での化学発光に対し
て消光性のあるガスの濃度に応じて設定された流量で供
給するオゾン流路と、 前記オゾン発生器の高圧トランスの一次側を励振周波数
より低周波数の数〜数十サイクルで間欠的にオン・オフ
動作させるとともに、試料ガス中の窒素酸化物濃度に対
応した最適オゾン濃度になるように前記オン・オフ動作
のデューティ比を設定するスイッチ回路を有する高圧電
源装置と、を備えたことを特徴とする化学発光式窒素酸
化物測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11423494A JPH07301603A (ja) | 1994-04-30 | 1994-04-30 | 化学発光式窒素酸化物測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11423494A JPH07301603A (ja) | 1994-04-30 | 1994-04-30 | 化学発光式窒素酸化物測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07301603A true JPH07301603A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14632619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11423494A Pending JPH07301603A (ja) | 1994-04-30 | 1994-04-30 | 化学発光式窒素酸化物測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07301603A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002202254A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-07-19 | Dkk Toa Corp | 光測定方法及び装置 |
| JP2006284500A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Horiba Ltd | 窒素酸化物分析計及びに窒素酸化物分析計適に適用されるパラメータ設定方法 |
| CN104749166A (zh) * | 2013-12-27 | 2015-07-01 | 株式会社堀场制作所 | 气体分析装置 |
| KR102074700B1 (ko) * | 2019-09-18 | 2020-02-12 | (주)켄텍 | 휴대형 질소산화물 측정장치 |
| KR102074696B1 (ko) * | 2019-09-18 | 2020-05-18 | (주)켄텍 | 휴대형 질소산화물 측정장치 |
-
1994
- 1994-04-30 JP JP11423494A patent/JPH07301603A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002202254A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-07-19 | Dkk Toa Corp | 光測定方法及び装置 |
| JP2006284500A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Horiba Ltd | 窒素酸化物分析計及びに窒素酸化物分析計適に適用されるパラメータ設定方法 |
| US8440466B2 (en) * | 2005-04-04 | 2013-05-14 | Horiba, Ltd. | Nitrogen oxide analyzer and method for setting parameter applied to nitrogen oxide analyzer |
| CN104749166A (zh) * | 2013-12-27 | 2015-07-01 | 株式会社堀场制作所 | 气体分析装置 |
| DE102014019375A1 (de) | 2013-12-27 | 2015-07-02 | Horiba, Ltd. | Gasanalysevorrichtung |
| JP2015127679A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-09 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
| US9448179B2 (en) | 2013-12-27 | 2016-09-20 | Horiba, Ltd. | Gas analyzing apparatus |
| KR102074700B1 (ko) * | 2019-09-18 | 2020-02-12 | (주)켄텍 | 휴대형 질소산화물 측정장치 |
| KR102074696B1 (ko) * | 2019-09-18 | 2020-05-18 | (주)켄텍 | 휴대형 질소산화물 측정장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5095247A (en) | Plasma discharge apparatus with temperature sensing | |
| US5301014A (en) | Method and arrangement for spectroscopically measuring the concentration of a component of a gas sample | |
| JP2012508890A (ja) | サンプルまたはサンプル成分の分析システム、およびこのシステムの製造方法および使用方法 | |
| JPH07301603A (ja) | 化学発光式窒素酸化物測定装置 | |
| EP0559350A1 (en) | Non-full state detecting apparatus and method | |
| JP2006284500A (ja) | 窒素酸化物分析計及びに窒素酸化物分析計適に適用されるパラメータ設定方法 | |
| US7332719B2 (en) | Gas sensor arrangement with improved long term stability and measuring method | |
| JP2009014661A (ja) | ガス濃度計測装置 | |
| Seeböck et al. | Temporal intensity modulation of spectral lines in a low‐frequency discharge in argon | |
| JP2007033148A (ja) | マイクロチップ測定装置 | |
| KR100755491B1 (ko) | 페록시 라디칼 측정장치 및 그 방법 | |
| JPH08145889A (ja) | 蛍光測定装置 | |
| JP2004184191A (ja) | エンジン排ガス中の窒素化合物分析方法および窒素化合物分析装置 | |
| JP2000193645A (ja) | ガス分析装置 | |
| JP6320748B2 (ja) | ガス分析装置 | |
| JPH08128956A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
| JP2005249551A (ja) | 混合ガス中の不純物の分析方法及び装置 | |
| KR950006224B1 (ko) | 광학을 이용한 온도측정장치 | |
| JPH07248240A (ja) | 電磁流量計 | |
| JP3931602B2 (ja) | 濃度測定装置の校正方法 | |
| JP2008232640A (ja) | 窒素酸化物測定方法 | |
| MOCHIZUKI et al. | A new method for measuring N2O concentration | |
| JPH0579986A (ja) | 化学発光を用いたアンモニア定量法 | |
| JPH08145892A (ja) | Ｉｃｐ発光分析装置 | |
| JP2013113647A (ja) | レーザ式ガス分析計 |