JP2000193645A - ガス分析装置 - Google Patents
ガス分析装置Info
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- JP2000193645A JP2000193645A JP10372341A JP37234198A JP2000193645A JP 2000193645 A JP2000193645 A JP 2000193645A JP 10372341 A JP10372341 A JP 10372341A JP 37234198 A JP37234198 A JP 37234198A JP 2000193645 A JP2000193645 A JP 2000193645A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 動作の安定した高精度のガス分析装置を提供
することを目的とする。 【解決手段】 半導体レーザ１１と、内部に所定の気体
Ｇ１が封入され半導体レーザ１１から出射したレーザ光
１１ａが通過する光音響セル１２と、光音響セル１２内
部の音圧をピックアップするマイクロフォン１３と、マ
イクロフォン１３でピックアップされた音圧をモニタし
ながら、半導体レーザ１１から出射されるレーザ光の波
長を、光音響セル１２中の気体Ｇ１による吸収線の波長
を中心として周期的に変化させる波長制御部１４と、光
音響セル１２を通過しさらに被測定用気体Ｇ２雰囲気を
経由したレーザ光を受光する受光素子１５と、受光素子
１５の出力に基づいて被測定用気体Ｇ２の量あるいは濃
度を求める演算部１６とを備えた。
することを目的とする。 【解決手段】 半導体レーザ１１と、内部に所定の気体
Ｇ１が封入され半導体レーザ１１から出射したレーザ光
１１ａが通過する光音響セル１２と、光音響セル１２内
部の音圧をピックアップするマイクロフォン１３と、マ
イクロフォン１３でピックアップされた音圧をモニタし
ながら、半導体レーザ１１から出射されるレーザ光の波
長を、光音響セル１２中の気体Ｇ１による吸収線の波長
を中心として周期的に変化させる波長制御部１４と、光
音響セル１２を通過しさらに被測定用気体Ｇ２雰囲気を
経由したレーザ光を受光する受光素子１５と、受光素子
１５の出力に基づいて被測定用気体Ｇ２の量あるいは濃
度を求める演算部１６とを備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、吸光分析法を利用
したガス分析装置に関するものである。
したガス分析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ここでは、従来技術として吸光分析法に
よるガス分析技術について説明する。
よるガス分析技術について説明する。
【０００３】図７は、従来の吸光分析法によるガス分析
装置の模式図である。
装置の模式図である。
【０００４】白色光源１から発せられた白色光ａから干
渉フィルタ２で狭帯域の波長の光のみを取り出し、その
干渉フィルタ２を透過した光ｂの一部をハーフミラー３
で取り出して光量測定器４に入射させ、ハーフミラー３
を透過した光を、測定しようとする気体（以下、被測定
用気体と称する）中を透過させ、その被測定用気体透過
後の光の一部をハーフミラー５で取り出してもう１つの
光量測定器６に入射させる。
渉フィルタ２で狭帯域の波長の光のみを取り出し、その
干渉フィルタ２を透過した光ｂの一部をハーフミラー３
で取り出して光量測定器４に入射させ、ハーフミラー３
を透過した光を、測定しようとする気体（以下、被測定
用気体と称する）中を透過させ、その被測定用気体透過
後の光の一部をハーフミラー５で取り出してもう１つの
光量測定器６に入射させる。
【０００５】被測定用気体は、その気体成分に応じて特
定の波長の光を吸収するため、光量測定器４での受光光
量ともう１つの光量測定器６での受光光量とを比較する
ことにより、その被測定用気体中に含まれる吸光に寄与
する成分量を知ることができる。このような、被測定用
気体の分析手法は、吸光分析法として知られている。
定の波長の光を吸収するため、光量測定器４での受光光
量ともう１つの光量測定器６での受光光量とを比較する
ことにより、その被測定用気体中に含まれる吸光に寄与
する成分量を知ることができる。このような、被測定用
気体の分析手法は、吸光分析法として知られている。
【０００６】図８は、図７のガス分析装置の白色光源か
ら発せられた光の波長スペクトルを示す図であり、図９
は、干渉フィルタを透過した光の波長スペクトルおよび
被測定用気体の吸収線スペクトルを示す図である。
ら発せられた光の波長スペクトルを示す図であり、図９
は、干渉フィルタを透過した光の波長スペクトルおよび
被測定用気体の吸収線スペクトルを示す図である。
【０００７】白色光源から発せられた光ａは、図８に示
すように広範囲な波長分布を有しており、干渉フィルタ
を用いることにより、例えば、図９に示すような１０ｎ
ｍ程度の波長幅の光ｂが得られる。これに対し、被測定
用気体による吸収線ｃは、例えば、半値幅が１０ｐｍ＝
１０×１０-3ｎｍ程度であり、従って被測定用気体に入
射する光の光量に対する、被測定用気体を透過した後の
光の光量は、この吸収線ｃと同一波長の光が１００％吸
収されたとしても高々１／１０００程度減衰しているに
過ぎない。すなわち、図７に示すガス分析装置では、検
出しようとする信号変化分は、吸収線ｃによりその吸収
線ｃと同一波長の光が１００％吸収されたとしても高々
１／１０００程度であり、その検出しようとする信号に
対し約１０００倍のバイアス成分が重畳されていること
になり、そのような極めて僅かな変化分を高精度に検出
するのは極めて困難である。
すように広範囲な波長分布を有しており、干渉フィルタ
を用いることにより、例えば、図９に示すような１０ｎ
ｍ程度の波長幅の光ｂが得られる。これに対し、被測定
用気体による吸収線ｃは、例えば、半値幅が１０ｐｍ＝
１０×１０-3ｎｍ程度であり、従って被測定用気体に入
射する光の光量に対する、被測定用気体を透過した後の
光の光量は、この吸収線ｃと同一波長の光が１００％吸
収されたとしても高々１／１０００程度減衰しているに
過ぎない。すなわち、図７に示すガス分析装置では、検
出しようとする信号変化分は、吸収線ｃによりその吸収
線ｃと同一波長の光が１００％吸収されたとしても高々
１／１０００程度であり、その検出しようとする信号に
対し約１０００倍のバイアス成分が重畳されていること
になり、そのような極めて僅かな変化分を高精度に検出
するのは極めて困難である。
【０００８】このことから、白色光源に代えてレーザ光
源を用いることが考えられる。レーザ光源から発せられ
るレーザ光の発振線幅は、例えば０．１ｐｍ程度であ
り、被測定用気体の吸収線の波長幅である１０ｐｍより
も十分に狭く、レーザ光の波長を制御するための何らか
のフィードバックループを形成してレーザ光の波長を吸
収線の波長幅内に調整することができれば、そのレーザ
光全体が被測定用気体による吸収の対象となり、極めて
高精度の吸光分析が可能となる。
源を用いることが考えられる。レーザ光源から発せられ
るレーザ光の発振線幅は、例えば０．１ｐｍ程度であ
り、被測定用気体の吸収線の波長幅である１０ｐｍより
も十分に狭く、レーザ光の波長を制御するための何らか
のフィードバックループを形成してレーザ光の波長を吸
収線の波長幅内に調整することができれば、そのレーザ
光全体が被測定用気体による吸収の対象となり、極めて
高精度の吸光分析が可能となる。
【０００９】しかしながら、レーザ光は温度変化や駆動
電流の変動に応じて発振波長が変化しやすく、安定した
吸光分析を行うことが難しいため、レーザ光を用いた吸
光分析法によるガス分析装置はまだ実現されていない。
電流の変動に応じて発振波長が変化しやすく、安定した
吸光分析を行うことが難しいため、レーザ光を用いた吸
光分析法によるガス分析装置はまだ実現されていない。
【００１０】本発明は、上記事情に鑑み、動作の安定し
た高精度のガス分析装置を提供することを目的とする。
た高精度のガス分析装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のガス分析装置は、波長可変な光を出射する光源と、
内部に所定の気体が封入され上記光源から出射した光が
通過する光音響セルと、上記光音響セル内部の音圧をピ
ックアップするマイクロフォンと、上記マイクロフォン
でピックアップされた音圧をモニタしながら、上記光源
から出射される光の波長を、上記光音響セル中の気体に
よる吸収線の波長を中心として周期的に変化させる波長
制御部と、上記光音響セルを通過しさらに被測定用気体
雰囲気を経由した光を受光する受光素子と、上記受光素
子の出力に基づいて被測定用気体の量あるいは濃度を求
める演算部とを備えたことを特徴とする。
明のガス分析装置は、波長可変な光を出射する光源と、
内部に所定の気体が封入され上記光源から出射した光が
通過する光音響セルと、上記光音響セル内部の音圧をピ
ックアップするマイクロフォンと、上記マイクロフォン
でピックアップされた音圧をモニタしながら、上記光源
から出射される光の波長を、上記光音響セル中の気体に
よる吸収線の波長を中心として周期的に変化させる波長
制御部と、上記光音響セルを通過しさらに被測定用気体
雰囲気を経由した光を受光する受光素子と、上記受光素
子の出力に基づいて被測定用気体の量あるいは濃度を求
める演算部とを備えたことを特徴とする。
【００１２】ここで、上記光源が、半導体レーザであっ
て、上記波長制御部が半導体レーザの駆動電流を制御す
るものであることが好ましい。
て、上記波長制御部が半導体レーザの駆動電流を制御す
るものであることが好ましい。
【００１３】また、上記マイクロフォンが、上記光音響
セル内部の音圧を表面に受けて振動するダイヤフラム、
ダイヤフラムの裏面側に配置されダイヤフラムの振動を
ピックアップするセンサ、ダイヤフラムの裏面を隔壁の
一つとする内部空間を形成し内部空間にセンサを配置し
てなる枠体、および、内部空間内の圧力を上記光音響セ
ル内部の圧力に合わせるガス流路を有するものであるこ
とも好ましい。
セル内部の音圧を表面に受けて振動するダイヤフラム、
ダイヤフラムの裏面側に配置されダイヤフラムの振動を
ピックアップするセンサ、ダイヤフラムの裏面を隔壁の
一つとする内部空間を形成し内部空間にセンサを配置し
てなる枠体、および、内部空間内の圧力を上記光音響セ
ル内部の圧力に合わせるガス流路を有するものであるこ
とも好ましい。
【００１４】さらに、上記演算部が、上記受光素子の出
力を、上記波長制御部による、上記光源から出射される
光の周期的変化の周波数と同一の周波数でロックイン検
波を行うロックインアンプを含むものであることも好ま
しく、また、上記演算部が、上記受光素子の出力を、上
記波長制御部による、上記光源から出射される光の周期
的変化の周波数の２倍の周波数でロックイン検波を行う
ロックインアンプを含むものであることも好ましい態様
である。
力を、上記波長制御部による、上記光源から出射される
光の周期的変化の周波数と同一の周波数でロックイン検
波を行うロックインアンプを含むものであることも好ま
しく、また、上記演算部が、上記受光素子の出力を、上
記波長制御部による、上記光源から出射される光の周期
的変化の周波数の２倍の周波数でロックイン検波を行う
ロックインアンプを含むものであることも好ましい態様
である。
【００１５】さらに、このガス分析装置が、エンジンの
排気ガスを被測定用気体とするものであって、上記光音
響セルが、内部に水蒸気を含む気体が封入されるもので
あり、上記演算部が、エンジンの排気ガス中の水蒸気の
量あるいは濃度を求めるものであってもよい。
排気ガスを被測定用気体とするものであって、上記光音
響セルが、内部に水蒸気を含む気体が封入されるもので
あり、上記演算部が、エンジンの排気ガス中の水蒸気の
量あるいは濃度を求めるものであってもよい。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。
説明する。
【００１７】図１は、本発明の第１の実施形態のガス分
析装置の概略構成図である。
析装置の概略構成図である。
【００１８】図１には、波長可変なレーザ光１１ａを出
射する半導体レーザ１１と、内部に気体Ｇ１が封入さ
れ、半導体レーザ１１から出射したレーザ光１１ａが通
過する光音響セル１２と、光音響セル１２内部の音圧を
ピックアップするマイクロフォン１３と、マイクロフォ
ン１３でピックアップされた音圧をモニタしながら、半
導体レーザ１１から出射されるレーザ光１１ａの波長
を、光音響セル１２中の気体Ｇ１による吸収線の波長を
中心として周期的に変化させる波長制御部１４と、光音
響セル１２を通過したレーザ光がさらに被測定用気体Ｇ
２雰囲気を通過した後のレーザ光１１ｂを受光する、フ
ォトダイオードなどの受光素子１５と、受光素子１５の
出力に基づいて被測定用気体Ｇ２の量あるいは濃度を求
める演算部１６とを備えたガス分析装置１０が示されて
いる。
射する半導体レーザ１１と、内部に気体Ｇ１が封入さ
れ、半導体レーザ１１から出射したレーザ光１１ａが通
過する光音響セル１２と、光音響セル１２内部の音圧を
ピックアップするマイクロフォン１３と、マイクロフォ
ン１３でピックアップされた音圧をモニタしながら、半
導体レーザ１１から出射されるレーザ光１１ａの波長
を、光音響セル１２中の気体Ｇ１による吸収線の波長を
中心として周期的に変化させる波長制御部１４と、光音
響セル１２を通過したレーザ光がさらに被測定用気体Ｇ
２雰囲気を通過した後のレーザ光１１ｂを受光する、フ
ォトダイオードなどの受光素子１５と、受光素子１５の
出力に基づいて被測定用気体Ｇ２の量あるいは濃度を求
める演算部１６とを備えたガス分析装置１０が示されて
いる。
【００１９】波長制御部１４は、半導体レーザ１１の温
度をコントロールする温度コントローラ１４ａ、半導体
レーザ１１の駆動電流をコントロールする電流コントロ
ーラ１４ｂ、およびマイクロフォン１３からの出力信号
を、後述する変調信号発生回路１９の変調信号でロック
イン検波するロックインアンプ１４ｃからなる。
度をコントロールする温度コントローラ１４ａ、半導体
レーザ１１の駆動電流をコントロールする電流コントロ
ーラ１４ｂ、およびマイクロフォン１３からの出力信号
を、後述する変調信号発生回路１９の変調信号でロック
イン検波するロックインアンプ１４ｃからなる。
【００２０】演算部１６には、受光素子１５の出力を、
変調信号発生回路１９の変調信号でロックイン検波する
ロックインアンプ１６ａおよびロックインアンプ１６ａ
からの検波出力から被測定用気体Ｇ２の量あるいは濃度
を求めるＣＰＵ１６ｂを内蔵している。
変調信号発生回路１９の変調信号でロックイン検波する
ロックインアンプ１６ａおよびロックインアンプ１６ａ
からの検波出力から被測定用気体Ｇ２の量あるいは濃度
を求めるＣＰＵ１６ｂを内蔵している。
【００２１】このガス分析装置１０には、これらのほか
に、半導体レーザ１１の温度を所定の温度に設定するた
めの温度設定回路１７、半導体レーザ１１に所定の駆動
電流を供給するための電流供給回路１８、半導体レーザ
１１の駆動電流に周期的変化を与えるための変調信号を
発生する変調信号発生回路１９、および、レーザ光の光
路上に配置されたいくつかのレンズが備えられている。
に、半導体レーザ１１の温度を所定の温度に設定するた
めの温度設定回路１７、半導体レーザ１１に所定の駆動
電流を供給するための電流供給回路１８、半導体レーザ
１１の駆動電流に周期的変化を与えるための変調信号を
発生する変調信号発生回路１９、および、レーザ光の光
路上に配置されたいくつかのレンズが備えられている。
【００２２】なお、本実施形態における半導体レーザ１
１は、本発明にいう光源に相当するものである。光源は
必ずしも半導体レーザに限定されるものではなく、波長
可変な光であればよいが、小型であること、および取り
扱い易さなどの点から半導体レーザを用いることが好ま
しい。
１は、本発明にいう光源に相当するものである。光源は
必ずしも半導体レーザに限定されるものではなく、波長
可変な光であればよいが、小型であること、および取り
扱い易さなどの点から半導体レーザを用いることが好ま
しい。
【００２３】次に、このガス分析装置１０の動作につい
て説明する。
て説明する。
【００２４】この実施形態では、エンジンの排気ガスを
被測定用気体Ｇ２として用いており、光音響セル１２内
部には、水蒸気を含む気体Ｇ１が封入されている。
被測定用気体Ｇ２として用いており、光音響セル１２内
部には、水蒸気を含む気体Ｇ１が封入されている。
【００２５】温度設定回路１７および電流供給回路１８
を用いて、半導体レーザ１１の発振波長が、測定対象で
ある光音響セル１２中の気体Ｇ１中の水蒸気による吸収
線の中心波長とほぼ一致するように半導体レーザ１１の
温度および駆動電流を設定するとともに、半導体レーザ
１１の駆動電流に、変調信号発生回路１９で発生させた
変調信号を重畳する。電流供給回路１８から供給される
ＤＣ電流に変調信号発生回路１９の変調信号が重畳され
ると、半導体レーザ１１の発振周波数が変調される。
を用いて、半導体レーザ１１の発振波長が、測定対象で
ある光音響セル１２中の気体Ｇ１中の水蒸気による吸収
線の中心波長とほぼ一致するように半導体レーザ１１の
温度および駆動電流を設定するとともに、半導体レーザ
１１の駆動電流に、変調信号発生回路１９で発生させた
変調信号を重畳する。電流供給回路１８から供給される
ＤＣ電流に変調信号発生回路１９の変調信号が重畳され
ると、半導体レーザ１１の発振周波数が変調される。
【００２６】いま、ＤＣ電流による発振周波数をν0、
変調成分をνm、変調周波数をｆmとすると、半導体レー
ザ１１の発振周波数νは、（１）式で表される。
変調成分をνm、変調周波数をｆmとすると、半導体レー
ザ１１の発振周波数νは、（１）式で表される。
【００２７】 ν＝ν0＋νmｃｏｓ（２πｆmｔ） … （１） 測定対象の気体Ｇ１による吸収線の信号スペクトルをｆ
（ν）とすると、半導体レーザ１１からのレーザ光１１
ａを光音響セル１２に入力した場合、マイクロフォン１
３から出力される信号は次式に比例する。
（ν）とすると、半導体レーザ１１からのレーザ光１１
ａを光音響セル１２に入力した場合、マイクロフォン１
３から出力される信号は次式に比例する。
【００２８】 ｆ（ν）＝ｆ（ν0＋νmｃｏｓ（２πｆmｔ）） … （２） いま、ν0＞＞νmとすると（３）式が得られる。
【００２９】 ｆ（ν）＝ｆ（ν0）＋ｆ’（ν0）・νm・ｃｏｓ（２πｆmｔ） … （３ ） 吸収線の中心周波数をνc、スペクトル半値幅をνhと
し、測定対象の気体の吸収線の線スペクトルをローレン
ツ型で表すと（４）式が得られる。
し、測定対象の気体の吸収線の線スペクトルをローレン
ツ型で表すと（４）式が得られる。
【００３０】 ｆ（ν）＝１／（１＋（（ν−νc）2／νh2）） … （４） ここで、（３）式をロックインアンプで変調周波数ｆm
でロックイン検波して周波数ｆmの信号成分のみを出力
する。その出力をＳとし、ロックインアンプのゲインを
Ａとすると（５）式が得られる。
でロックイン検波して周波数ｆmの信号成分のみを出力
する。その出力をＳとし、ロックインアンプのゲインを
Ａとすると（５）式が得られる。
【００３１】Ｓ＝Ａｆ’（ν0）・νm … （５） （５）式に（４）式を微分して代入すると（６）式が得
られる。
られる。
【００３２】 Ｓ＝−２Ａ（ν0−νc）／νh2（１＋（（ν0−νc）2／νh2）2） … （ ６） （６）式より、ＤＣ電流による発振周波数ν0が、吸収
線の中心周波数νcと一致すると、ロックインアンプの
出力Ｓはゼロになることがわかる。
線の中心周波数νcと一致すると、ロックインアンプの
出力Ｓはゼロになることがわかる。
【００３３】図２は、測定対象の気体の吸収線の線スペ
クトル、およびレーザ光の波長を変化させたときのロッ
クインアンプの出力を示すグラフである。
クトル、およびレーザ光の波長を変化させたときのロッ
クインアンプの出力を示すグラフである。
【００３４】図２に示した線スペクトルＡは上記（４）
式に対応するものであり、ロックインアンプの出力Ｓは
上記（６）式に対応するものである。
式に対応するものであり、ロックインアンプの出力Ｓは
上記（６）式に対応するものである。
【００３５】上記のような線スペクトルＡを有する気体
Ｇ１が封入された光音響セル１２に、この線スペクトル
Ａの中心波長λ0に近い波長を中心として周期的に波長
が変化するレーザ光１１ａを通過させ、マイクロフォン
１３により音圧信号を検出し、それを変調信号発生回路
１９からの変調信号でロックイン検波すると、その検波
出力Ｓは、レーザ光１１ａの波長が線スペクトルＡの中
心波長λ0と一致した時には図２にＳ0点として示すよう
に出力ゼロとなるが、レーザ光１１ａの波長が線スペク
トルＡの中心波長λ0よりも図２の左側の波長λ1となっ
た時には図２にＳ1点として示すようにプラスの電圧が
出力され、反対に、レーザ光１１ａの波長が線スペクト
ルＡの中心波長λ0よりも図２の右側の波長λ2となった
時には図２にＳ2点として示すようにマイナスの電圧が
出力される。
Ｇ１が封入された光音響セル１２に、この線スペクトル
Ａの中心波長λ0に近い波長を中心として周期的に波長
が変化するレーザ光１１ａを通過させ、マイクロフォン
１３により音圧信号を検出し、それを変調信号発生回路
１９からの変調信号でロックイン検波すると、その検波
出力Ｓは、レーザ光１１ａの波長が線スペクトルＡの中
心波長λ0と一致した時には図２にＳ0点として示すよう
に出力ゼロとなるが、レーザ光１１ａの波長が線スペク
トルＡの中心波長λ0よりも図２の左側の波長λ1となっ
た時には図２にＳ1点として示すようにプラスの電圧が
出力され、反対に、レーザ光１１ａの波長が線スペクト
ルＡの中心波長λ0よりも図２の右側の波長λ2となった
時には図２にＳ2点として示すようにマイナスの電圧が
出力される。
【００３６】図１に示す本実施形態のガス分析装置１０
では、電流供給回路１８から供給されるＤＣ電流に、変
調信号発生回路１９からの変調信号を重畳することによ
り半導体レーザ１１から出射されるレーザ光の波長を周
期的に変化させている。
では、電流供給回路１８から供給されるＤＣ電流に、変
調信号発生回路１９からの変調信号を重畳することによ
り半導体レーザ１１から出射されるレーザ光の波長を周
期的に変化させている。
【００３７】半導体レーザ１１から出射されたレーザ光
１１ａは光音響セル１２に導かれ、レーザ光１１ａによ
る音圧がマイクロフォン１３でピックアップされる。マ
イクロフォン１３でピックアップされた音圧は電気信号
に変換されて波長制御部１４のロックインアンプ１４ｃ
に入力される。ロックインアンプ１４ｃは、入力された
信号を、変調信号発生回路１９の変調信号でロックイン
検波する。電流コントローラ１４ｂは、ロックインアン
プ１４ｃによる検波出力をモニタしながら半導体レーザ
１１の駆動電流をコントロールすることにより、半導体
レーザ１１から出射されるレーザ光１１ａの波長が、光
音響セル１２中の気体Ｇ１による吸収線の中心波長λ0
（図２参照）を中心として周期的に変化するように制御
する。すなわち、波長制御部１４は、半導体レーザ１１
から出射されるレーザ光１１ａの、変調信号による波長
の周期的な変化の中心の波長が、吸収線スペクトルＡの
中心波長λ0と一致するように、半導体レーザ１１の駆
動電流をコントロールする。
１１ａは光音響セル１２に導かれ、レーザ光１１ａによ
る音圧がマイクロフォン１３でピックアップされる。マ
イクロフォン１３でピックアップされた音圧は電気信号
に変換されて波長制御部１４のロックインアンプ１４ｃ
に入力される。ロックインアンプ１４ｃは、入力された
信号を、変調信号発生回路１９の変調信号でロックイン
検波する。電流コントローラ１４ｂは、ロックインアン
プ１４ｃによる検波出力をモニタしながら半導体レーザ
１１の駆動電流をコントロールすることにより、半導体
レーザ１１から出射されるレーザ光１１ａの波長が、光
音響セル１２中の気体Ｇ１による吸収線の中心波長λ0
（図２参照）を中心として周期的に変化するように制御
する。すなわち、波長制御部１４は、半導体レーザ１１
から出射されるレーザ光１１ａの、変調信号による波長
の周期的な変化の中心の波長が、吸収線スペクトルＡの
中心波長λ0と一致するように、半導体レーザ１１の駆
動電流をコントロールする。
【００３８】レーザ光１１ａの波長をこのように制御す
ることにより、例えば温度変化、あるいは電源の変動な
どにより半導体レーザ１１の発信周波数がドリフトして
も、レーザ光１１ａの波長は気体Ｇ１の吸収線スペクト
ルの中心波長λ0を中心として所定の波長幅で周期的に
変化し続ける。
ることにより、例えば温度変化、あるいは電源の変動な
どにより半導体レーザ１１の発信周波数がドリフトして
も、レーザ光１１ａの波長は気体Ｇ１の吸収線スペクト
ルの中心波長λ0を中心として所定の波長幅で周期的に
変化し続ける。
【００３９】このように制御された状態で半導体レーザ
１１から出射されたレーザ光１１ａは、光音響セル１２
を通過しさらに被測定用気体Ｇ２雰囲気を経由した後、
受光素子１５により受光される。レーザ光１１ｂを受光
した受光素子１５からの出力信号は演算部１６に送られ
る。
１１から出射されたレーザ光１１ａは、光音響セル１２
を通過しさらに被測定用気体Ｇ２雰囲気を経由した後、
受光素子１５により受光される。レーザ光１１ｂを受光
した受光素子１５からの出力信号は演算部１６に送られ
る。
【００４０】演算部１６に備えられたロックインアンプ
１６ａは、受光素子１５からの出力信号を、変調信号発
生回路１９から送られてきた参照信号Ｒ、すなわち変調
信号の周波数でロックイン検波する。
１６ａは、受光素子１５からの出力信号を、変調信号発
生回路１９から送られてきた参照信号Ｒ、すなわち変調
信号の周波数でロックイン検波する。
【００４１】図３は、被測定用気体Ｇ２雰囲気を経由し
た後のレーザ光受光信号の電圧波形（ａ）、およびそれ
を変調信号の周波数と同一の周波数ｆでロックイン検波
した後の出力波形（ｂ）を示す図である。
た後のレーザ光受光信号の電圧波形（ａ）、およびそれ
を変調信号の周波数と同一の周波数ｆでロックイン検波
した後の出力波形（ｂ）を示す図である。
【００４２】前述のように、レーザ光１１ａの波長は、
気体Ｇ１の吸収線スペクトルの中心波長λ0を中心とし
て周期的に変化するが、レーザ光１１ａの波長を周期的
に変化させるにあたっては、変調信号により半導体レー
ザ１１の駆動電流を周期的に変化させている。このた
め、レーザ光１１ａは波長が周期的に変化するとともに
その光量も周期的に変化し、従って受光素子１５からの
出力信号は、図３（ａ）に示すように、先ずは被測定用
気体Ｇ２による吸収分とは無関係に１／ｆの周期で変化
している。このレーザ光１１ａは、その波長が波長λ0
と一致した時にレーザ光は被測定用気体Ｇ２により吸収
されてその吸収された分だけ減光するので、図３（ａ）
に示すように、被測定用気体Ｇ２雰囲気を経由した後の
レーザ光受光信号の出力波形には、１／ｆの周期毎に２
回、出力が低下する。この出力低下の度合いは、被測定
用気体Ｇ２の量あるいは濃度に比例しているのでこの出
力低下分を取り出すことにより気体Ｇ２の量あるいは濃
度を求めることができる。
気体Ｇ１の吸収線スペクトルの中心波長λ0を中心とし
て周期的に変化するが、レーザ光１１ａの波長を周期的
に変化させるにあたっては、変調信号により半導体レー
ザ１１の駆動電流を周期的に変化させている。このた
め、レーザ光１１ａは波長が周期的に変化するとともに
その光量も周期的に変化し、従って受光素子１５からの
出力信号は、図３（ａ）に示すように、先ずは被測定用
気体Ｇ２による吸収分とは無関係に１／ｆの周期で変化
している。このレーザ光１１ａは、その波長が波長λ0
と一致した時にレーザ光は被測定用気体Ｇ２により吸収
されてその吸収された分だけ減光するので、図３（ａ）
に示すように、被測定用気体Ｇ２雰囲気を経由した後の
レーザ光受光信号の出力波形には、１／ｆの周期毎に２
回、出力が低下する。この出力低下の度合いは、被測定
用気体Ｇ２の量あるいは濃度に比例しているのでこの出
力低下分を取り出すことにより気体Ｇ２の量あるいは濃
度を求めることができる。
【００４３】図３（ｂ）に示すように、受光素子出力を
変調信号の周波数と同一の周波数ｆでロックイン検波し
た後の検波出力は、光量の１／ｆの周期変化に起因する
オフセット分を含んでいるので、演算部１６のＣＰＵ１
６ｂにより、そのオフセット分Ｌ０と、被測定用気体Ｇ
２が存在する状態におけるロックイン検波出力レベルＬ
１との差Ｌ２を演算で求めることにより被測定用気体Ｇ
２の量あるいは濃度を得ることができる。
変調信号の周波数と同一の周波数ｆでロックイン検波し
た後の検波出力は、光量の１／ｆの周期変化に起因する
オフセット分を含んでいるので、演算部１６のＣＰＵ１
６ｂにより、そのオフセット分Ｌ０と、被測定用気体Ｇ
２が存在する状態におけるロックイン検波出力レベルＬ
１との差Ｌ２を演算で求めることにより被測定用気体Ｇ
２の量あるいは濃度を得ることができる。
【００４４】なお、この図３では、後述する第２の実施
形態との対比上、変調信号による１／ｆの周期の光量変
化およびそれに起因するオフセット分Ｌ０が強調して描
かれているが、これらは、必要とする測定精度がそれほ
どの高精度である必要がないときは、誤差として無視し
てもよいレベルのものである。
形態との対比上、変調信号による１／ｆの周期の光量変
化およびそれに起因するオフセット分Ｌ０が強調して描
かれているが、これらは、必要とする測定精度がそれほ
どの高精度である必要がないときは、誤差として無視し
てもよいレベルのものである。
【００４５】次に、図１に示した本実施形態のガス分析
装置１０に備えられたマイクロフォン１３について説明
する。
装置１０に備えられたマイクロフォン１３について説明
する。
【００４６】図４は、本実施形態のガス分析装置に備え
られたマイクロフォンの内部構造の概要を示す模式図で
ある。
られたマイクロフォンの内部構造の概要を示す模式図で
ある。
【００４７】マイクロフォン１３は、その頭部１３ａが
光音響セル１２の内部に配置された状態に、光音響セル
１２に気密状態に固定されている。
光音響セル１２の内部に配置された状態に、光音響セル
１２に気密状態に固定されている。
【００４８】このマイクロフォン１３は、その頭部１３
ａにダイヤフラム１３１を有し、そのダイヤフラム１３
１は、そのダイヤフラム１３１の表面１３１ａに光音響
セル１２の内部に封入された被測定用気体の音圧ΔＰを
受けて振動する。このダイヤフラム１３１の裏面１３１
ｂの側には、その裏面１３１ｂを１つの隔壁とする内部
空間１３２が形成されており、その内部空間１３２の、
ダイヤフラム１３１の近傍には、ダイヤフラム１３１の
振動をピックアップするセンサ１３３が配置されてい
る。そのセンサ１３３は、例えばコンデンサマイクロフ
ォンの場合、ダイヤフラム１３１との間の静電容量測定
用の電極板からなり、ダイヤフラム１３１の振動に伴っ
て変化する静電容量がピックアップされる。そのセンサ
１３３は、取付具１３４を介して枠体１３５に固定され
ている。
ａにダイヤフラム１３１を有し、そのダイヤフラム１３
１は、そのダイヤフラム１３１の表面１３１ａに光音響
セル１２の内部に封入された被測定用気体の音圧ΔＰを
受けて振動する。このダイヤフラム１３１の裏面１３１
ｂの側には、その裏面１３１ｂを１つの隔壁とする内部
空間１３２が形成されており、その内部空間１３２の、
ダイヤフラム１３１の近傍には、ダイヤフラム１３１の
振動をピックアップするセンサ１３３が配置されてい
る。そのセンサ１３３は、例えばコンデンサマイクロフ
ォンの場合、ダイヤフラム１３１との間の静電容量測定
用の電極板からなり、ダイヤフラム１３１の振動に伴っ
て変化する静電容量がピックアップされる。そのセンサ
１３３は、取付具１３４を介して枠体１３５に固定され
ている。
【００４９】ここで、従来のマイクロフォンでは、取付
具１３４と枠体１３５との間など部品どうしの隙間を介
して僅かながら空気の出入りがあり、内部空間の圧力
は、外気圧Ｐ2と同一の圧力に保たれるが、この図４に
示すマイクロフォン１３の場合、それら部品どうしの隙
間は完全な気密性が保たれるようにシールされている。
具１３４と枠体１３５との間など部品どうしの隙間を介
して僅かながら空気の出入りがあり、内部空間の圧力
は、外気圧Ｐ2と同一の圧力に保たれるが、この図４に
示すマイクロフォン１３の場合、それら部品どうしの隙
間は完全な気密性が保たれるようにシールされている。
【００５０】マイクロフォン１３の枠体１３５の、光音
響セル１２の外部に晒された部分と、光音響セル１２と
の間には、気体流路１３６が形成されており、マイクロ
フォン１３の内部空間１３２と光音響セル１２の内部と
を合わせた空間が外部から気密に保たれている。このた
め、光音響セル１２内部の圧力がどのような圧力であっ
ても、マイクロフォン１３を図１に示すように光音響セ
ル１２に取り付けた状態で暫く放置することにより、内
部空間１３２は光音響セル１２の内部の圧力Ｐ 1と同一
の圧力Ｐ1となり、ダイヤフラム１３１は平らに張られ
た状態となり、光音響セル１２内部の音圧ΔＰを測定す
ることができる。
響セル１２の外部に晒された部分と、光音響セル１２と
の間には、気体流路１３６が形成されており、マイクロ
フォン１３の内部空間１３２と光音響セル１２の内部と
を合わせた空間が外部から気密に保たれている。このた
め、光音響セル１２内部の圧力がどのような圧力であっ
ても、マイクロフォン１３を図１に示すように光音響セ
ル１２に取り付けた状態で暫く放置することにより、内
部空間１３２は光音響セル１２の内部の圧力Ｐ 1と同一
の圧力Ｐ1となり、ダイヤフラム１３１は平らに張られ
た状態となり、光音響セル１２内部の音圧ΔＰを測定す
ることができる。
【００５１】なお、上記のマイクロフォン１３では、枠
体１３５の、光音響セル１２の外部に晒された部分と光
音響セル１２との間に気体流路１３６が形成されている
が、このような気体流路１３６を必ず設けなければなら
ないわけではなく、例えば、図４のダイヤフラム１３１
の中央に、気体流路としてのピンホールを穿設すること
により、そのピンホールを介して光音響セル１２の内部
の被測定気体が、マイクロフォン１３の内部空間１３２
に出入りし、その内部空間１３２が、光音響セル１２の
内部の圧力Ｐ1と同一の圧力Ｐ1に保たれるようにしても
よい。
体１３５の、光音響セル１２の外部に晒された部分と光
音響セル１２との間に気体流路１３６が形成されている
が、このような気体流路１３６を必ず設けなければなら
ないわけではなく、例えば、図４のダイヤフラム１３１
の中央に、気体流路としてのピンホールを穿設すること
により、そのピンホールを介して光音響セル１２の内部
の被測定気体が、マイクロフォン１３の内部空間１３２
に出入りし、その内部空間１３２が、光音響セル１２の
内部の圧力Ｐ1と同一の圧力Ｐ1に保たれるようにしても
よい。
【００５２】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。
明する。
【００５３】図５は、本発明の第２の実施形態のガス分
析装置の概略構成図である。
析装置の概略構成図である。
【００５４】このガス分析装置２０と図１に示した本発
明の第１の実施形態のガス分析装置１０との相違点は、
演算部２６が、ロックインアンプ２６ａおよびＣＰＵ２
６ｂに加え、さらに周波数逓倍装置２６ｃを備えた構成
となっている点である。この周波数逓倍装置２６ｃは、
参照信号Ｒとして送られてきた変調信号の周波数ｆの２
倍の周波数２ｆの変調信号を生成してロックインアンプ
２６ａに送る。ロックインアンプ２６ａは、その周波数
２ｆでロックイン検波を行う。
明の第１の実施形態のガス分析装置１０との相違点は、
演算部２６が、ロックインアンプ２６ａおよびＣＰＵ２
６ｂに加え、さらに周波数逓倍装置２６ｃを備えた構成
となっている点である。この周波数逓倍装置２６ｃは、
参照信号Ｒとして送られてきた変調信号の周波数ｆの２
倍の周波数２ｆの変調信号を生成してロックインアンプ
２６ａに送る。ロックインアンプ２６ａは、その周波数
２ｆでロックイン検波を行う。
【００５５】図６は、被測定用気体Ｇ２雰囲気を経由し
た後のレーザ光受光信号の電圧波形（ａ）、およびそれ
を変調信号の周波数ｆの２倍の周波数２ｆでロックイン
検波した後の出力波形（ｂ）を示す図である。
た後のレーザ光受光信号の電圧波形（ａ）、およびそれ
を変調信号の周波数ｆの２倍の周波数２ｆでロックイン
検波した後の出力波形（ｂ）を示す図である。
【００５６】図６（ａ）に示す電圧波形は、図３（ａ）
と同様であるが、図６（ｂ）に示すように、受光素子の
出力を吸収線中心周波数の２倍の周波数２ｆでロックイ
ン検波した後の出力は、変調成分によるオフセット分が
ゼロとなるので、検波出力レベルＬ１から直接、被測定
用気体Ｇ２の量あるいは濃度を得ることができる。従っ
て、第１の実施形態のガス分析装置１０における吸収線
中心周波数１ｆでロックイン検波した場合と異なり、変
調成分によるオフセット分を分離除去する必要がなくな
るので、演算部２６のＣＰＵ２６ｂによる演算を簡略化
することができ、かつ測定精度を向上させることができ
る。
と同様であるが、図６（ｂ）に示すように、受光素子の
出力を吸収線中心周波数の２倍の周波数２ｆでロックイ
ン検波した後の出力は、変調成分によるオフセット分が
ゼロとなるので、検波出力レベルＬ１から直接、被測定
用気体Ｇ２の量あるいは濃度を得ることができる。従っ
て、第１の実施形態のガス分析装置１０における吸収線
中心周波数１ｆでロックイン検波した場合と異なり、変
調成分によるオフセット分を分離除去する必要がなくな
るので、演算部２６のＣＰＵ２６ｂによる演算を簡略化
することができ、かつ測定精度を向上させることができ
る。
【００５７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガス分析
装置によれば、内部に気体が封入された光音響セルに波
長可変な光を通過させ、光音響セル内部の音圧をモニタ
しながら、光の波長が、光音響セル内の気体による吸収
線スペクトルを中心として周期的に変化するように制御
するとともに、その制御された光を被測定用気体雰囲気
中を通過させて受光素子で受光し、その受光出力に基づ
いて被測定用気体の量あるいは濃度を求めているので、
動作の安定した高精度のガス分析装置を実現することが
できる。
装置によれば、内部に気体が封入された光音響セルに波
長可変な光を通過させ、光音響セル内部の音圧をモニタ
しながら、光の波長が、光音響セル内の気体による吸収
線スペクトルを中心として周期的に変化するように制御
するとともに、その制御された光を被測定用気体雰囲気
中を通過させて受光素子で受光し、その受光出力に基づ
いて被測定用気体の量あるいは濃度を求めているので、
動作の安定した高精度のガス分析装置を実現することが
できる。
【図１】本発明の第１の実施形態のガス分析装置の概略
構成図である。
構成図である。
【図２】測定対象の気体の吸収線の線スペクトル、およ
びレーザ光の波長を変化させたときのロックインアンプ
の出力を示すグラフである。
びレーザ光の波長を変化させたときのロックインアンプ
の出力を示すグラフである。
【図３】被測定用気体Ｇ２雰囲気を経由した後のレーザ
光受光信号の電圧波形（ａ）、およびそれを変調信号の
周波数と同一の周波数ｆでロックイン検波した後の出力
波形（ｂ）を示す図である。
光受光信号の電圧波形（ａ）、およびそれを変調信号の
周波数と同一の周波数ｆでロックイン検波した後の出力
波形（ｂ）を示す図である。
【図４】本実施形態のガス分析装置に備えられたマイク
ロフォンの内部構造の概要を示す模式図である。
ロフォンの内部構造の概要を示す模式図である。
【図５】本発明の第２の実施形態のガス分析装置の概略
構成図である。
構成図である。
【図６】被測定用気体Ｇ２雰囲気を経由した後のレーザ
光受光信号の電圧波形（ａ）、およびそれを変調信号の
周波数ｆの２倍の周波数２ｆでロックイン検波した後の
出力波形（ｂ）を示す図である。
光受光信号の電圧波形（ａ）、およびそれを変調信号の
周波数ｆの２倍の周波数２ｆでロックイン検波した後の
出力波形（ｂ）を示す図である。
【図７】従来の吸光分析法によるガス分析装置の模式図
である。
である。
【図８】図７のガス分析装置の白色光源から発せられた
光の波長スペクトルを示す図である。
光の波長スペクトルを示す図である。
【図９】干渉フィルタを透過した光の波長スペクトルお
よび被測定用気体の吸収線スペクトルを示す図である。
よび被測定用気体の吸収線スペクトルを示す図である。
１ 白色光源 ２ 干渉フィルタ ３，５ ハーフミラー ４，６ 光量測定器 １０ ガス分析装置 １１ 半導体レーザ １１ａ，１１ｂ レーザ光 １２ 光音響セル １３ マイクロフォン １３ａ 頭部 １４ 波長制御部 １４ａ 温度コントローラ １４ｂ 電流コントローラ １４ｃ ロックインアンプ １５ 受光素子 １６ 演算部 １６ａ ロックインアンプ １６ｂ ＣＰＵ １７ 温度設定回路 １８ 電流供給回路 １９ 変調信号発生回路 ２０ ガス分析装置 ２６ 演算部 ２６ａ ロックインアンプ ２６ｂ ＣＰＵ ２６ｃ 周波数逓倍装置 １３１ ダイヤフラム １３１ａ 表面 １３１ｂ 裏面 １３２ 内部空間 １３３ センサ １３４ 取付具 １３５ 枠体 １３６ 気体流路
Claims (6)
- 【請求項１】 波長可変な光を出射する光源と、 内部に所定の気体が封入され前記光源から出射した光が
通過する光音響セルと、 前記光音響セル内部の音圧をピックアップするマイクロ
フォンと、 前記マイクロフォンでピックアップされた音圧をモニタ
しながら、前記光源から出射される光の波長を、前記光
音響セル中の気体による吸収線の波長を中心として周期
的に変化させる波長制御部と、 前記光音響セルを通過しさらに被測定用気体雰囲気を経
由した光を受光する受光素子と、 前記受光素子の出力に基づいて被測定用気体の量あるい
は濃度を求める演算部とを備えたことを特徴とするガス
分析装置。 - 【請求項２】 前記光源が、半導体レーザであって、前
記波長制御部が該半導体レーザの駆動電流を制御するも
のであることを特徴とする請求項１記載のガス分析装
置。 - 【請求項３】 前記マイクロフォンが、前記光音響セル
内部の音圧を表面に受けて振動するダイヤフラム、該ダ
イヤフラムの裏面側に配置され該ダイヤフラムの振動を
ピックアップするセンサ、該ダイヤフラムの裏面を隔壁
の一つとする内部空間を形成し該内部空間に該センサを
配置してなる枠体、および、該内部空間内の圧力を前記
光音響セル内部の圧力に合わせるガス流路を有するもの
であることを特徴とする請求項１記載のガス分析装置。 - 【請求項４】 前記演算部が、前記受光素子の出力を、
前記波長制御部による、前記光源から出射される光の周
期的変化の周波数と同一の周波数でロックイン検波を行
うロックインアンプを含むものであることを特徴とする
請求項１記載のガス分析装置。 - 【請求項５】 前記演算部が、前記受光素子の出力を、
前記波長制御部による、前記光源から出射される光の周
期的変化の周波数の２倍の周波数でロックイン検波を行
うロックインアンプを含むものであることを特徴とする
請求項１又は２記載のガス分析装置。 - 【請求項６】 このガス分析装置は、エンジンの排気ガ
スを被測定用気体とするものであって、前記光音響セル
が、内部に水蒸気を含む気体が封入されるものであり、 前記演算部が、エンジンの排気ガス中の水蒸気の量ある
いは濃度を求めるものであることを特徴とする請求項１
記載のガス分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37234198A JP3898848B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37234198A JP3898848B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | ガス分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000193645A true JP2000193645A (ja) | 2000-07-14 |
| JP3898848B2 JP3898848B2 (ja) | 2007-03-28 |
Family
ID=18500279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37234198A Expired - Fee Related JP3898848B2 (ja) | 1998-12-28 | 1998-12-28 | ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3898848B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008083049A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Ir Microsystems Sa | ガス検出方法及びガス検出装置 |
| JP2010502944A (ja) * | 2006-08-31 | 2010-01-28 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 改良されたフィードバック・ループをもつ空洞増強型光音響式微量気体検出器 |
| CN105510274A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-04-20 | 中国科学院光电研究院 | 机载激光大气co2柱浓度主动遥测系统 |
| CN107796762A (zh) * | 2016-08-31 | 2018-03-13 | 英飞凌科技股份有限公司 | 气体分析仪 |
| WO2020109322A1 (fr) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | Faurecia Systemes D'echappement | Ligne d'échappement comprenant un capteur photoacoustique pour mesurer au moins une concentration en gaz polluant et véhicule automobile comprenant une telle ligne d'échappement |
| JP2022066165A (ja) * | 2020-10-16 | 2022-04-28 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | 腕時計ケースの筐体の内部の相対湿度レベルを測定するためのデバイス |
-
1998
- 1998-12-28 JP JP37234198A patent/JP3898848B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2010502944A (ja) * | 2006-08-31 | 2010-01-28 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 改良されたフィードバック・ループをもつ空洞増強型光音響式微量気体検出器 |
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| CN107796762A (zh) * | 2016-08-31 | 2018-03-13 | 英飞凌科技股份有限公司 | 气体分析仪 |
| CN107796762B (zh) * | 2016-08-31 | 2021-01-15 | 英飞凌科技股份有限公司 | 气体分析仪 |
| WO2020109322A1 (fr) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | Faurecia Systemes D'echappement | Ligne d'échappement comprenant un capteur photoacoustique pour mesurer au moins une concentration en gaz polluant et véhicule automobile comprenant une telle ligne d'échappement |
| FR3089250A1 (fr) * | 2018-11-30 | 2020-06-05 | Faurecia Systemes D'echappement | Ligne d’échappement comprenant un capteur photoacoustique pour mesurer au moins une concentration en gaz polluant et véhicule automobile comprenant une telle ligne d’échappement |
| JP2022066165A (ja) * | 2020-10-16 | 2022-04-28 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | 腕時計ケースの筐体の内部の相対湿度レベルを測定するためのデバイス |
| US11940379B2 (en) | 2020-10-16 | 2024-03-26 | The Swatch Group Research And Development Ltd | Device for measuring a relative humidity level inside the enclosure of a watch case |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3898848B2 (ja) | 2007-03-28 |
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