JP6320748B2 - ガス分析装置 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1には、ポンプ、流量調節器、流量計、オゾン発生器及び平滑素子が配置された、反応槽へオゾンの供給と希釈用空気の供給を兼ねるオゾン流路を備えた化学発光式窒素酸化物測定装置が開示されている。このガス分析装置においては、オゾン流路の流量はCO2などの消光性ガスを希釈するのに適当な流量に調節され、オゾン濃度は試料ガスの窒素酸化物濃度に応じて化学発光の検出感度が最大になるように最適化される。また、このガス分析装置においては、オゾン発生器を駆動する高圧電源はパルス幅変調型の濃度設定器により制御されている。
本発明の一見地に係るガス分析装置は、化学発光法により、試料ガス中の所定成分濃度を測定するガス分析装置である。ガス分析装置は、ガス分析部と、発光誘発成分発生部と、測定信号算出部と、を有する。ガス分析部は、試料ガス及び/又は基準ガスと、発光誘発ガスを導入可能である。発光誘発ガスは、発光誘発成分を含むガスである。発光誘発成分は、試料ガス中の所定成分と相互作用する成分である。また、ガス分析部は、上記の相互作用により発生する反応光の強度に基づいた検出信号を出力する。
発光誘発成分発生部は、放電により発光誘発ガスを発生する。放電は、放電発生間隔の時間を空けて繰り返し発生される。放電発生間隔は、所定成分の濃度に基づいて決定される。また、発光誘発成分発生部は、発生した発光誘発ガスをガス分析部へ導入する。
測定信号算出部は、第1検出信号と第2検出信号に基づいて、第1測定信号を算出する。第1測定信号は、所定成分の濃度を測定するための信号である。第1検出信号は、試料ガスと発光誘発ガスとがガス分析部へ導入されたときに出力される検出信号である。第2検出信号は、基準ガスと発光誘発ガスとがガス分析部へ導入されたときに出力される検出信号である。
次に、ガス分析部へ発光誘発ガスが導入されている状態にて、基準ガス及び/又は試料ガスをガス分析部へ導入する。このとき、基準ガスがガス分析部へ導入された場合には、基準ガスと発光誘発成分とが導入されることにより発生する反応光に基づいた第2検出信号が、ガス分析部から出力される。
一方、試料ガスがガス分析部へ導入された場合には、試料ガスと発光誘発ガスとが導入されることにより発生する反応光に基づいた第1検出信号が、ガス分析部から出力される。
第1検出信号及び第2検出信号が得られた後、測定信号算出部が、得られた第1検出信号と第2検出信号に基づいて、第1測定信号を算出する。
このような場合に、測定信号算出部は、第1検出信号に含まれた、上記の信号成分を第1検出信号から除去して、測定信号を算出できる。その結果、ガス分析装置は、第1測定信号を用いて、精度よく所定成分の濃度を測定できる。
また、測定信号算出部は、第3検出信号と第2検出信号とに基づいて、変換発光成分の濃度を測定するための第2測定信号を算出してもよい。
これにより、試料ガス中に含まれ、本来は発光誘発成分と反応光を発生する相互作用を起こさない成分の濃度を、第2測定信号に基づいて測定できる。
1.ガス分析装置の全体構成
本実施形態のガス分析装置100の全体構成について、図1を用いて説明する。図1はガス分析装置の全体構成を示す図である。図1に示すガス分析装置100は、化学分析法(CLA)を用いて試料ガス中の所定成分の濃度を測定する装置である。
ガス分析装置100は、ガス分析部1と、発光誘発成分発生部2と、制御部3と、排気部4と、を備える。
また、ガス分析部1は、排気部4からの吸引により、試料ガス及び/又は希釈ガスを導入可能となっている。
また、上記のように、発光誘発成分発生部2のもう一方のガス口は、反応部11とガス流通可能に接続され、反応部11は排気部4とガス流通可能に接続されている。よって、発光誘発成分発生部2は、排気部4の吸引により、内部において発生した発光誘発成分を含んだ発光誘発ガスを、ガス分析部1の反応部11へ導入できる。
すなわち、希釈ガス(基準ガス)を原料ガスとして放電によりオゾンを発生させた場合、原料ガス(希釈ガス、基準ガス)に含まれる酸素だけでなく、原料ガス(希釈ガス、基準ガス)に含まれる酸素以外の成分(例えば、窒素化合物)なども分解(あるいは、活性化)する。そのため、図2に示すように、発光誘発成分発生部2において生成される発光誘発ガスには、オゾン(O3)の他に、亜酸化窒素(N2O)、五酸化二窒素(N2O5)、硝酸(HNO3)ガス、などの窒素化合物が含まれる。これらのオゾン以外の成分を、「二次生成物」と呼ぶこともある。図2は、発光誘発成分発生部において生成される発光誘発ガスの成分分析結果を示す図である。
上記の二次生成物としての一酸化窒素(NO)は、化学発光法により所定成分の濃度を測定する際には、所定成分の濃度を測定するための第1検出信号(後述)及び第3検出信号(後述)の信号値に影響を及ぼす。特に、数ppm程度の所定成分濃度を測定する場合には、この影響は、無視できなくなる。
また、二次生成物としての一酸化窒素(NO)など、発光誘発成分と相互作用して発光する成分の生成を抑制できる。
このように、所定成分の濃度に応じて放電発生間隔を調整可能とすることにより、ガス分析装置100は、より広い範囲の所定成分の濃度を測定できる。
制御部3がマイコンシステム又はコンピュータにより構成される場合、後述する制御部3の各部の一部又は全部は、記憶装置に記憶されたプログラムにより実現されていてもよい。または、制御部3の各部の一部又は全部は、カスタムICなどにより実現されていてもよい。
なお、制御部3の構成の詳細については、後ほど説明する。
なお、発光誘発成分発生部2において、放電発生間隔にて決定される時間間隔を空けて放電を繰り返すことにより、発光誘発成分発生部2から発生する発光誘発成分の量も調整できる。その結果、排気部4からの発光誘発成分(オゾン(O3))の外部空間への排出量を抑制できる。
2−1.全体構成
次に、ガス分析部1の構成について説明する。まず、ガス分析部1の全体構成について、図1を用いて説明する。
上記のように、ガス分析部1は、試料ガス中の所定成分と発光誘発ガス中の発光誘発成分との相互作用により発生する反応光に基づいて検出信号を出力する。また、本実施形態のガス分析部1は、基準ガスと、希釈ガスと試料ガス(又は変換試料ガス(後述))との混合ガス(第1混合ガス又は第2混合ガス)とを、第1周期T1にて交互に導入する。
従って、ガス分析部1は、反応部11と、試料ガス導入部13と、希釈ガス導入部15と、第1ガス切替部17と、ガス合流部19と、を有する。
従って、反応部11は、排気部4の吸引により、反応部11の内部に、発光誘発ガスを導入可能となっている。
これにより、反応部11の内部において、試料ガス(又は変換試料ガス)中の発光成分(所定成分及び/又は変換発光成分(後述))と、発光誘発ガス中の発光誘発成分との相互作用により、反応光が発生する。
温度が所定の温度以上になると誤差が増大するのは、所定の温度以上になると、上記の二次生成物の生成が顕著となるためである。
さらに、発光誘発成分発生部2における放電発生間隔を大きくすることにより、温度による測定誤差の発生を抑制できる。
このため、試料ガス導入部13は、排気部4の吸引により、試料ガス取得プローブにより吸引した試料ガスを、流量を調整して、第1ガス切替部17のガス口aへ排出できる。
これにより、試料ガス中に含まれ、本来は発光誘発成分と反応光を発生する相互作用を起こさない成分の濃度を測定できる。なお、試料ガス導入部13の詳細な構成については、後ほど説明する。
また、希釈ガス導入部15は、ガス合流部19と反応部11とを介して、排気部4とガス流通可能に接続されている。従って、希釈ガス導入部15は、排気部4の吸引により、試料ガスから生成した希釈ガス及び基準ガスを、流量を調整してガス合流部19及び反応部11へ排出できる。
従って、第1ガス切替部17は、排気部4の吸引により、ガス口aとガス口bとをガス流通可能とした場合には、ガス口aに排出された試料ガス又は変換試料ガスを、排気部4へと排出する。従って、この場合、試料ガス又は変換試料ガスは、反応部11に導入されない。
一方、ガス口aとガス口cとをガス流通可能とした場合には、第1ガス切替部17は、排気部4の吸引により、試料ガス又は変換試料ガスを、ガス合流部19へと排出する。
次に、試料ガス導入部13の構成の詳細について、図5を用いて説明する。図5は、試料ガス導入部の詳細構成を示す図である。図5に示す試料ガス導入部13は、試料ガスだけでなく、変換試料ガスも反応部11へ導入可能とする試料ガス導入部である。
変換試料ガスは、試料ガス中の所定成分(例えば、一酸化窒素(NO))以外の成分であって、発光誘発成分(オゾン(O3))と相互作用せず発光を生じない成分(例えば、二酸化窒素(NO2)、アンモニア(NH3))などを、発光誘発成分と相互作用し発光を生じる成分(例えば、一酸化窒素(NO))に変換した変換発光成分を含むガスである。
変換部131は、ガス入口とガス出口を有する。変換部131のガス入口は、試料ガスを採取したい場所に設置された試料ガス採取プローブ(図示せず)とガス流通可能に接続されている。また、変換部131のガス出口は、第2ガス切替部133(後述)のガス口eとガス流通可能に接続されている。その結果、変換部131のガス出口は、第2ガス切替部133、導入部135(後述)、第1ガス切替部17、ガス合流部19、及び反応部11を介して、排気部4とガス流通可能に接続されている。このため、変換部131は、排気部4の吸引により、上記の試料ガス採取プローブから試料ガスを内部に導入可能となっている。
その結果、変換部131を通過する間に、試料ガスは、変換発光成分を含む変換試料ガスへと変換される。そして、変換試料ガスは、排気部4の吸引により、変換部131のガス出口から第2ガス切替部133のガス口eへ排出される。
すなわち、第2ガス切替部133は、第2切替制御信号に基づいて試料ガス又は変換試料ガスを選択して、ガス口dから排出できる。なお、本実施形態においては、第2ガス切替部133は、第2切替制御信号の信号値がゼロのときにガス口dとガス口fとをガス流通可能とし、信号値がS2ON(後述)のときにガス口dとガス口eとをガス流通可能とする。
これにより、導入部135は、排気部4の吸引により、第2ガス切替部133のガス口dから排出される試料ガス又は変換試料ガスを、流量を調整して、導入部135のガス出口から排出できる。
その結果、発光誘発成分と発光を伴う相互作用を起こす所定成分のみでなく、試料ガス中の変換発光成分に変換された成分の濃度を、反応部11において発生する反応光に基づいて算出できる。
次に、制御部3の構成について、図1を用いて説明する。制御部3は、測定信号算出部31と、切替制御部33と、発光誘発成分発生制御部35と、を有する。
測定信号算出部31は、ガス分析部1の反応部11と信号送受信可能に接続されている。従って、測定信号算出部31は、検出信号を入力可能となっている。
本実施形態においては、検出信号としては、第1検出信号と、第2検出信号と、第3検出信号と、が存在する。第1検出信号は、試料ガスと希釈ガスとの混合ガスである第1混合ガスと発光誘発ガスが反応部11に導入された際に生じる反応光に基づいた、光検出器からの検出信号である。第2検出信号は、基準ガス(希釈ガスと同一)と発光誘発ガスが反応部11に導入された際に生じる反応光に基づいた検出信号である。第3検出信号は,変換試料ガスと希釈ガスとの混合ガスである第2混合ガスと発光誘発ガスが反応部11に導入された際に生じる反応光に基づいた検出信号である。
これにより、第3検出信号から、所定成分と変換発光成分とに起因する信号成分以外の信号成分を取り除いて、第2測定信号を算出できる。なお、変換発光成分(変換部131により変換された変換発光成分に変換された成分)のみの濃度は、第2測定信号から第1測定信号との差分に基づいて算出できる。
次に、本実施形態のガス分析装置100の動作について、図6A及び図6Bを用いて説明する。図6Aは、ガス分析装置の基本動作を示すフローチャートである。図6Bは、成分濃度測定後に放電発生間隔を調整する場合のガス分析装置の動作を示すフローチャートである。なお、本実施形態において、第2切替制御信号の周期である第2周期T2は、第1切替制御信号の周期である第1周期T1の2倍の周期であるとする。また、第2切替制御信号の立ち上がり又は立ち下がりと第1切替制御信号の立ち下がりは、同期するものとする。
また、ガス分析装置100が動作を開始すると、切替制御部33は、初期状態として、ゼロ信号の第1切替制御信号を発生している。そのため、第1ガス切替部17は、初期状態として、ガス口aとガス口bとをガス流通可能としている。よって、初期状態においては、反応部11の内部には希釈ガス(基準ガス)が導入されている。
一方、設定された測定レンジが、所定の濃度より大きな濃度範囲のレンジである場合(ステップS1において、「No」の場合)、発光誘発成分発生制御部35は、放電発生間隔を、第1間隔よりも小さい第2間隔に設定する(ステップS3)。
また、所定成分濃度が所定の濃度よりも高い場合に、放電発生間隔を第1間隔より小さな第2間隔とすることにより、試料ガス中の所定成分(変換発光成分)に対して十分な量のオゾン(O3)(発光誘発成分)を供給できる。その結果、所定成分(変換発光成分)の濃度に比して反応光の強度が小さくなることを抑制できる。
そのため、第2ガス切替部133においては、ガス口dとガス口fとがガス流通可能となっている。すなわち、試料ガス導入部13(導入部135)からは、試料ガスが排出される。また、第1ガス切替部17においては、ガス口aとガス口cとがガス流通可能となっている。すなわち、第1ガス切替部17のガス口cからは、試料ガスが排出される。
このとき、測定信号算出部31は、第1混合ガス(希釈ガスと試料ガス)と発光誘発ガスとが反応部11に導入されたときの発光量に基づいた第1検出信号を、反応部11から取得する(ステップS6)。そして、測定信号算出部31は、取得した第1検出信号を記憶部に記憶する。
図7に示すように、このとき得られた第1検出信号は、信号安定時にS1の信号値を有する信号である。
そのため、第2ガス切替部133においては、ガス口dとガス口eとがガス流通可能となっている。すなわち、試料ガス導入部13(導入部135)からは、変換試料ガスが排出される。また、第1ガス切替部17においては、ガス口aとガス口cとがガス流通可能となっているため、ガス口cからは、変換試料ガスが排出される。
このとき、測定信号算出部31は、第2混合ガス(希釈ガスと変換試料ガス)と発光誘発ガスとが反応部11に導入されたときの発光量に基づいた第3検出信号を、反応部11から取得する(ステップS8)。そして、測定信号算出部31は、取得した第3検出信号を記憶部に記憶する。
図7に示すように、このとき得られた第3検出信号は、信号安定時にS3の信号値を有する信号である。
すなわち、第2検出信号を第1検出信号及び第3検出信号の基準信号とすることにより、第1検出信号及び第3検出信号から、所定成分と発光誘発成分との相互作用による発光に基づく信号成分、及び、変換発光成分(と所定成分)と発光誘発成分との相互作用による発光に基づく信号成分とを、ほぼ過不足なく取り出せる。
そして、測定信号算出部31は、第1測定信号に基づいて、試料ガス中の所定成分濃度を算出する。一方、変換発光成分のみの濃度を算出したい場合、測定信号算出部31は、第2測定信号と第1測定信号との差分に基づいて、変換発光成分の濃度を算出する。なぜなら、第3検出信号は、変換発光成分と発光誘発成分との相互作用による発光に基づく信号成分だけでなく、所定成分と発光誘発成分との相互作用による発光に基づく信号成分も含んでいるためである。
一方、制御部3が、成分濃度測定を継続すると判断した場合(ステップS10において、「No」の場合)、ステップS5に戻り、引き続き成分濃度測定を継続する。これにより、制御部3が測定を終了すると判断するまで、成分濃度測定を継続できる。
例えば、ステップS2において放電発生間隔を第1間隔に設定した場合において、試料ガス中の所定成分(及び変換発光成分)濃度が上昇して所定の濃度を超えた場合に、発光誘発成分発生制御部35は、放電発生間隔を第2間隔へと短縮してもよい。
また、その逆に、ステップS3において放電発生間隔を第2間隔に設定した場合において、試料ガス中の所定成分(及び変換発光成分)濃度が低下して所定の濃度以下となった場合に、発光誘発成分発生制御部35は、放電発生間隔を第1間隔へと増加してもよい。
これにより、試料ガス中の成分濃度に基づいて、発光誘発成分発生部2にて発生する二次生成物及び発光誘発成分(オゾン(O3))の発生量を適切に調整できる。
上記実施形態は、下記のように表現可能である。
ガス分析装置100(ガス分析装置の一例)は、ガス分析部1(ガス分析部の一例)と、発光誘発成分発生部2(発光誘発成分発生部の一例)と、測定信号算出部31(測定信号算出部の一例)と、を有する。ガス分析部1は、所定成分(所定成分の一例)を含んだ試料ガス(試料ガスの一例)及び/又は基準ガス(基準ガスの一例)と、発光誘発ガス(発光誘発ガスの一例)とを導入可能である。また、ガス分析部1は、所定成分と発光誘発成分(発光誘発成分の一例)との相互作用により発生する反応光(反応光の一例)の強度に基づいた検出信号(検出信号の一例)を出力する。
次に、ガス分析部1へ発光誘発ガスが導入されている状態にて、基準ガス及び/又は試料ガスをガス分析部1へ導入する。このとき、基準ガスがガス分析部1へ導入された場合には、基準ガスと発光誘発成分とが導入されることにより発生する反応光に基づいた第2検出信号が、ガス分析部1から出力される。
一方、試料ガスがガス分析部1へ導入された場合には、試料ガスと発光誘発ガスとが導入されることにより発生する反応光に基づいた第1検出信号が、ガス分析部1から出力される。
第1検出信号及び第2検出信号が得られた後、測定信号算出部31が、得られた第1検出信号と第2検出信号に基づいて、第1測定信号を算出する。
このような場合に、測定信号算出部31は、第1検出信号に含まれた、基準ガス中の成分と発光誘発成分との相互作用により発生する反応光による信号成分を考慮して、測定信号を算出できる。その結果、ガス分析装置100は、第1測定信号を用いて、精度よく所定成分の濃度を測定できる。
また、測定信号算出部31は、第3検出信号と第2検出信号とに基づいて、変換発光成分(変換発光成分の一例)の濃度を測定するための第2測定信号(第2測定信号の一例)を算出している。これにより、試料ガス中に含まれ、本来は発光誘発成分と反応光を発生する相互作用を起こさない成分の濃度を、第2測定信号に基づいて測定できる。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
(A)ガス導入パターンの他の実施形態
第1実施形態のガス分析装置100においては、図7に示すように、希釈ガスと試料ガスとの混合ガスである第1混合ガスと、希釈ガスと変換試料ガスとの混合ガスである第2混合ガスとが交互に導入されていた。しかし、ガス導入パターンはこれに限られない。
例えば、基準ガスと第2混合ガスとを交互に反応部11に導入するようにしてもよい。このとき、第2切替制御信号は、ガス分析装置100の動作中に常にS2ONとなっている。また、検出信号としては、第2検出信号と第3検出信号のみが出力される。
これにより、試料ガス中の所定成分と変換発光成分との濃度の合計(例えば、窒素酸化物(NOx)全体の濃度など)を測定できる。
これにより、試料ガス中の所定成分(例えば、一酸化窒素(NO))のみの濃度を特定して測定できる。
1 ガス分析部
11 反応部
13 試料ガス導入部
131 変換部
133 第2ガス切替部
135 導入部
15 希釈ガス導入部
17 第1ガス切替部
19 ガス合流部
2 発光誘発成分発生部
3 制御部
4 排気部
31 測定信号算出部
33 切替制御部
35 発光誘発成分発生制御部
G1 第1ガス口
G2 第2ガス口
G3 第3ガス口
G4 第4ガス口
G5 第5ガス口
G6 第6ガス口
S1、S2、S3 信号値
T1 第1周期
T2 第2周期
a、b、c、d、e、f ガス口
Claims (8)
- 化学発光法により、試料ガスの所定成分濃度を測定するガス分析装置であって、
前記試料ガス及び/又は基準ガスと、前記所定成分と相互作用する発光誘発成分を含む発光誘発ガスとが導入され所定の温度以下に保持される反応部を有し、前記相互作用により発生する反応光の強度に基づいた検出信号を出力するガス分析部と、
前記所定成分の濃度に基づいて決定される放電発生間隔の時間を空けて繰り返し発生される放電により前記発光誘発ガスを発生し、発生した前記発光誘発ガスを前記ガス分析部へ導入する発光誘発成分発生部と、
前記試料ガスと前記発光誘発ガスとが前記ガス分析部へ導入されたときに出力される第1検出信号と、前記基準ガスと前記発光誘発ガスとが前記ガス分析部へ導入されたときに出力される第2検出信号とに基づいて、前記所定成分の濃度を測定するための第1測定信号を算出する測定信号算出部と、
を備え、
前記基準ガスと前記試料ガスとは、前記反応部内部に前記発光誘発成分を導入した状態で、切り替えて前記反応部に導入される、ガス分析装置。 - 前記放電発生間隔は、前記所定成分の濃度が所定の濃度以下となった時に、前記所定成分の濃度に応じて調整される、請求項1に記載のガス分析装置。
- 前記試料ガスが前記ガス分析部に導入されるとき、前記試料ガスと希釈ガスとの混合ガスである第1混合ガスが導入される、請求項1又は2に記載のガス分析装置。
- 前記試料ガスから、前記発光誘発成分と発光を伴う相互作用を起こす変換発光成分をさらに含む変換試料ガスを生成する変換部をさらに備え、
前記変換試料ガスと前記発光誘発ガスとが前記ガス分析部に導入されたとき、前記ガス分析部は第3検出信号を出力し、
前記測定信号算出部は、前記第3検出信号と前記第2検出信号とに基づいて、前記変換発光成分の濃度を測定するための第2測定信号を算出する、請求項1〜3のいずれかに記載のガス分析装置。 - 前記基準ガスと前記変換試料ガスとは、第1周期にて交互に前記ガス分析部に導入される、請求項4に記載のガス分析装置。
- 前記試料ガスと前記変換試料ガスとは、第2周期にて交互に前記ガス分析部に導入される、請求項4または5に記載のガス分析装置。
- 前記変換試料ガスが前記ガス分析部に導入されるとき、前記変換試料ガスと希釈ガスとの混合ガスである第2混合ガスが導入される、請求項4〜6のいずれかに記載のガス分析装置。
- 前記基準ガスは、前記試料ガスから前記所定成分と前記反応光の発生を妨げる成分とを除去して生成され、
前記発光誘発ガスは、当該基準ガスを原料ガスとして前記発光誘発成分発生部にて生成される、
請求項1〜7のいずれかに記載のガス分析装置。
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