JPH0729784A - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPH0729784A JPH0729784A JP5197991A JP19799193A JPH0729784A JP H0729784 A JPH0729784 A JP H0729784A JP 5197991 A JP5197991 A JP 5197991A JP 19799193 A JP19799193 A JP 19799193A JP H0729784 A JPH0729784 A JP H0729784A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter
- controller
- opening
- exhaust
- exhaust fans
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】搬入搬出口を有し、該搬入搬出口がシャッタに
より開閉される半導体製造装置に於いて、シャッタの開
閉に拘らず装置内圧を適正な値に保持して適正なクリー
ンエアの流れを保持する。 【構成】装置内にクリーンエアを送風するクリーンユニ
ット４と装置内のエアを排気する排気ファン５と、搬入
搬出口２を開閉するシャッタ３を有し、該シャッタに連
動させ前記排気ファンの駆動状態を変更する様構成し、
シャッタ開放時には排気ファンによる排気流量を減少さ
せ、又シャッタ閉塞時には排気ファンによる排気流量を
増大させ、装置内部の内圧を適正な状態に保持する。
より開閉される半導体製造装置に於いて、シャッタの開
閉に拘らず装置内圧を適正な値に保持して適正なクリー
ンエアの流れを保持する。 【構成】装置内にクリーンエアを送風するクリーンユニ
ット４と装置内のエアを排気する排気ファン５と、搬入
搬出口２を開閉するシャッタ３を有し、該シャッタに連
動させ前記排気ファンの駆動状態を変更する様構成し、
シャッタ開放時には排気ファンによる排気流量を減少さ
せ、又シャッタ閉塞時には排気ファンによる排気流量を
増大させ、装置内部の内圧を適正な状態に保持する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置、特に装
置内部の圧力制御に関するものである。
置内部の圧力制御に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置内部でのパーティクルの
存在は、半導体素子の材料であるウェーハを汚染し、ウ
ェーハの品質、歩留まりに大きく影響する。従って、従
来より装置内部を陽圧とし、外部からのパーティクルの
浸入を防止している。図４に於いて、従来の半導体製造
装置を説明する。尚、図では説明を簡単にする為、内部
機構は省略してある。
存在は、半導体素子の材料であるウェーハを汚染し、ウ
ェーハの品質、歩留まりに大きく影響する。従って、従
来より装置内部を陽圧とし、外部からのパーティクルの
浸入を防止している。図４に於いて、従来の半導体製造
装置を説明する。尚、図では説明を簡単にする為、内部
機構は省略してある。
【０００３】筐体１の前面にはウェーハカセット搬入搬
出用の開口２が設けられ、該開口２はシャッタ３により
開閉可能となっている。又、前記筐体１側面にはクリー
ンユニット４が設けられ、筐体１の後面、前記クリーン
ユニット４の反対側に排気ファン５が設けられている。
出用の開口２が設けられ、該開口２はシャッタ３により
開閉可能となっている。又、前記筐体１側面にはクリー
ンユニット４が設けられ、筐体１の後面、前記クリーン
ユニット４の反対側に排気ファン５が設けられている。
【０００４】斯かる半導体製造装置に於いて、ウェーハ
カセットの搬入搬出は前記シャッタ３を開き開口２より
行っており、シャッタ３を開いた際に、装置外部からパ
ーティクルが浸入するのを防止する為、前記クリーンユ
ニット４からの空気流入量と前記排気ファン５による排
気流量とが調整され、装置内の圧力は若干陽圧となる様
に保たれている。
カセットの搬入搬出は前記シャッタ３を開き開口２より
行っており、シャッタ３を開いた際に、装置外部からパ
ーティクルが浸入するのを防止する為、前記クリーンユ
ニット４からの空気流入量と前記排気ファン５による排
気流量とが調整され、装置内の圧力は若干陽圧となる様
に保たれている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した様に、従来の
半導体製造装置では、シャッタ３を開いた状態で装置内
の圧力が若干陽圧となる様、前記クリーンユニット４か
らの空気流入量と前記排気ファン５による排気流量とが
調整されており、それぞれは予め設定された状態で一定
に駆動されている。従って、図５に示される様に前記シ
ャッタ３の閉じた状態でも前記排気ファン５は一定流量
で排気する為、装置内の内圧が高くなり、前記クリーン
ユニット４からの流入量が減少し、装置内でのクリーン
エアの流れが悪く、パーティクルの密度が高くなるとい
う問題があった。
半導体製造装置では、シャッタ３を開いた状態で装置内
の圧力が若干陽圧となる様、前記クリーンユニット４か
らの空気流入量と前記排気ファン５による排気流量とが
調整されており、それぞれは予め設定された状態で一定
に駆動されている。従って、図５に示される様に前記シ
ャッタ３の閉じた状態でも前記排気ファン５は一定流量
で排気する為、装置内の内圧が高くなり、前記クリーン
ユニット４からの流入量が減少し、装置内でのクリーン
エアの流れが悪く、パーティクルの密度が高くなるとい
う問題があった。
【０００６】本発明は斯かる実情に鑑み、シャッタの開
閉に拘らず装置内圧を適正な値に保持して適正なクリー
ンエアの流れを保持しようとするものである。
閉に拘らず装置内圧を適正な値に保持して適正なクリー
ンエアの流れを保持しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、装置内にクリ
ーンエアを送風するクリーンユニットと装置内のエアを
排気する排気ファンと、搬入搬出口を開閉するシャッタ
を有し、該シャッタに連動させ前記排気ファンの駆動状
態を変更する様構成したことを特徴とするものである。
ーンエアを送風するクリーンユニットと装置内のエアを
排気する排気ファンと、搬入搬出口を開閉するシャッタ
を有し、該シャッタに連動させ前記排気ファンの駆動状
態を変更する様構成したことを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】シャッタ開放時には排気ファンによる排気流量
を減少させ、又シャッタ閉塞時には排気ファンによる排
気流量を増大させ、装置内部の内圧を適正な状態に保持
する。
を減少させ、又シャッタ閉塞時には排気ファンによる排
気流量を増大させ、装置内部の内圧を適正な状態に保持
する。
【０００９】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００１０】尚、図１中、図４で示したものと同一のも
のには同符号を付してある。
のには同符号を付してある。
【００１１】前記開口２の近傍に前記シャッタ３の開閉
を検知する開閉センサ７が設けられ、該開閉センサ７か
らの信号は制御器６に入力される。又、複数（本実施例
では４個）の排気ファン５はそれぞれ駆動回路８により
駆動され、該駆動回路８には前記制御器６からの制御信
号が入力される。
を検知する開閉センサ７が設けられ、該開閉センサ７か
らの信号は制御器６に入力される。又、複数（本実施例
では４個）の排気ファン５はそれぞれ駆動回路８により
駆動され、該駆動回路８には前記制御器６からの制御信
号が入力される。
【００１２】前記クリーンユニット４は駆動回路９によ
り駆動され、駆動回路９は前記クリーンユニット４を常
時一定の状態で駆動する。
り駆動され、駆動回路９は前記クリーンユニット４を常
時一定の状態で駆動する。
【００１３】図２、図３により本実施例の作動を説明す
る。
る。
【００１４】図２は前記開口２が解放されている状態を
示し、この状態は前記開閉センサ７が検出し、該開閉セ
ンサからの信号は前記制御器６に入力される。該制御器
６は前記排気ファン５の内所要数（図では２個）を駆動
し、残りを停止する。前記クリーンユニット４から吸引
されたエアは前記開口２と前記排気ファン５から排出さ
れ、装置内は適正な陽圧に保持される。
示し、この状態は前記開閉センサ７が検出し、該開閉セ
ンサからの信号は前記制御器６に入力される。該制御器
６は前記排気ファン５の内所要数（図では２個）を駆動
し、残りを停止する。前記クリーンユニット４から吸引
されたエアは前記開口２と前記排気ファン５から排出さ
れ、装置内は適正な陽圧に保持される。
【００１５】次に、図３は前記開口２がシャッタ３によ
り閉塞された状態を示し、シャッタ３の閉状態は前記開
閉センサ７により検出され、該開閉センサからの信号は
前記制御器６に入力される。該制御器６は前記駆動回路
８を介して全ての排気ファン５を駆動する。而して、ク
リーンユニット４から吸引されたエアは前記排気ファン
５から排出され、全ての排気ファン５が駆動されている
ことから、充分な排気量が確保され、やはり装置内は適
正な陽圧に保持される。
り閉塞された状態を示し、シャッタ３の閉状態は前記開
閉センサ７により検出され、該開閉センサからの信号は
前記制御器６に入力される。該制御器６は前記駆動回路
８を介して全ての排気ファン５を駆動する。而して、ク
リーンユニット４から吸引されたエアは前記排気ファン
５から排出され、全ての排気ファン５が駆動されている
ことから、充分な排気量が確保され、やはり装置内は適
正な陽圧に保持される。
【００１６】而して、複数の排気ファン５の所要数を適
宜駆動停止することで、シャッタ３の開閉に拘らず装置
内を適正な内圧に保持し得、装置内に適正なクリーンエ
アの流れを確保する。
宜駆動停止することで、シャッタ３の開閉に拘らず装置
内を適正な内圧に保持し得、装置内に適正なクリーンエ
アの流れを確保する。
【００１７】尚、排気ファン５が１個の場合でも同様に
駆動停止で装置内を適正な内圧に保持し得ることがで
き、或は排気ファン５が１個、複数に拘らず、開口２が
開放状態で前記排気ファン５を間欠的に駆動停止させて
もよい。
駆動停止で装置内を適正な内圧に保持し得ることがで
き、或は排気ファン５が１個、複数に拘らず、開口２が
開放状態で前記排気ファン５を間欠的に駆動停止させて
もよい。
【００１８】或は、シャッタ３開放時に停止させる排気
ファン５を順次変更して、全ての排気ファン５の稼働率
が等しくなる様にしてもよい。
ファン５を順次変更して、全ての排気ファン５の稼働率
が等しくなる様にしてもよい。
【００１９】又、前記シャッタ３の開閉を検知するセン
サを省略し、シャッタ３を開閉するシリンダ等のアクチ
ュエータに発せられる指令信号を前記制御器６に入力す
る様にしてもよい。
サを省略し、シャッタ３を開閉するシリンダ等のアクチ
ュエータに発せられる指令信号を前記制御器６に入力す
る様にしてもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、シャッ
タの開閉に拘らず、装置内圧を常に適正な状態とするこ
とができ、消費電力の低減を図れると共にブロアの負担
を低減し、ブロアの長寿命化を図れるという優れた効果
を発揮する。
タの開閉に拘らず、装置内圧を常に適正な状態とするこ
とができ、消費電力の低減を図れると共にブロアの負担
を低減し、ブロアの長寿命化を図れるという優れた効果
を発揮する。
【図１】本発明の一実施例の要部を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】本実施例のシャッタ開放時のクリーンエアの流
れを示す説明図である。
れを示す説明図である。
【図３】本実施例のシャッタ閉塞時のクリーンエアの流
れを示す説明図である。
れを示す説明図である。
【図４】従来例のシャッタ開放時のクリーンエアの流れ
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図５】従来例のシャッタ閉塞時のクリーンエアの流れ
を示す説明図である。
を示す説明図である。
１ 筺体 ２ 開口 ３ シャッタ ４ クリーンユニット ５ 排気ファン ６ 制御器 ７ 開閉センサ ８ 駆動回路
Claims (1)
- 【請求項１】 装置内にクリーンエアを送風するクリー
ンユニットと装置内のエアを排気する排気ファンと、搬
入搬出口を開閉するシャッタを有し、該シャッタに連動
させ前記排気ファンの駆動状態を変更する様構成したこ
とを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5197991A JPH0729784A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5197991A JPH0729784A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0729784A true JPH0729784A (ja) | 1995-01-31 |
Family
ID=16383698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5197991A Pending JPH0729784A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729784A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014188580A1 (ja) * | 2013-05-24 | 2014-11-27 | ヤマハ発動機株式会社 | プリント基板用作業装置 |
-
1993
- 1993-07-15 JP JP5197991A patent/JPH0729784A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014188580A1 (ja) * | 2013-05-24 | 2014-11-27 | ヤマハ発動機株式会社 | プリント基板用作業装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |