JPH0729482A - 低電力消費型ヒータ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高熱効率で消費電力０．７Ｗ以下の低電力消
費型ヒータを提供する。 【構成】 金属芯線に発熱抵抗体となる金属細線を巻回
して第１のコイル３とし、該第１のコイルを、更に巻回
して第２のコイルとした２重コイル状構造であって、金
属細線表面及び金属細線間に無機絶縁物１を被覆したヒ
ータにおいて、前記金属細線はＷを主成分とし、２〜５
重量％のＲｅを含む組成であり、直径が３０μｍ以下で
あり、前記金属芯線の直径が１５０μｍ以下であり、前
記第１のコイルの巻回の間隔が０．０３〜０．１mm／タ
ーン、巻き数が１５０〜２５０ターン、コイル長が４．
５〜２５mmである低電力消費型ヒータとしたものであ
り、前記第２のコイルは、外径１ｄが０．８〜１．４mm
の範囲で、第１のコイルを巻く間隔１ｅが０．６〜１．
４mm／ターン、巻き数が１．０〜２．５回を満たしてい
るのがよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、低電力消費型ヒータに
係り、特に、ブラウン管陰極加熱用ヒータとして優れた
特性を有するヒータ及びその製法並びにその用途に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】陰極加熱用ヒータの外観は、ダブルヘリ
カル形にＷ−Ｒｅ合金からなる金属細線を巻き、表面に
Ａｌ₂ Ｏ₃ などの絶縁粒子を付着させ絶縁層を形成し、
外側にＷとＡｌ₂ Ｏ₃ からなるダーク層を設けている。
ヒータ周辺には、スリーブ・陰極加基体が配置されてい
る（特開平２−２７６１２８号公報）。金属芯線及び金
属細線の寸法として特開昭６２−５５８３３号公報はタ
ングテスンの芯線径に対するモリブデンマンドレル径を
４．３から６．０倍の範囲に設定して一次巻き線を形成
することにより、機械強度とヒータの断線に対する信頼
性の向上を図っている。

【０００３】また、実施例として、特開昭６２−１３９
２８号公報は、３．０ＭＧ（０．０３１mm）の３％Ｒｅ
−Ｗをピッチ０．０６mm長さで８mm巻回し密ピッチ部を
形成し、その両側にピッチ０．２mmの長さで５mm巻回し
て粗ピッチ部を形成して一次コイルを形成している。特
開平４−２９２８２９号公報は、金属芯線にヒータ線と
陰極構体となる金属線を交互に巻付け、ヒータ線はφ
０．０１５mm、ピッチ０．０８５mmとしている。そし
て、特開昭５６−１４９７４１号公報によると、φ０．
０３９mm３％−Ｒｅ−Ｗ線を使用し、φ０．０７３mmの
Ｍｏ芯線にピッチ０．０７４mmで３１１ターン、ダブル
巻き寸法は外径φ０．８６mmでピッチ０．５５〜１．１
mmで１．７５〜２ターンとなっている。この時の消費電
力は２．８Ｗ（６．３Ｖ，４５０mA）となっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来技術では、ヒータ
コイルの寸法を決定する際は作業性、破断強度の向上な
どの目的で行われていた。そのため、ヒータ全体の加熱
に要する電力が大きくなりがちであり、熱効率的にも不
利であった。近年、環境意識の高まりもあり、電気使用
機器の消費電力削減が望まれている。ブラウン管もその
例外でなく、セットとしての削減と同時にヒータの消費
電力削減が並行して進められている。そこで、ヒータ製
作に関わる事項を最適化することによりヒータの熱的特
性と消費電力低減を行なうこととした。本発明は、高熱
効率で消費電力０．７Ｗ以下の低電力消費型ヒータ並び
にその製造方法を提供することを課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では、金属芯線に発熱抵抗体となる金属細線
を巻回して第１のコイルとし、該第１のコイルを、更に
巻回して第２のコイルとした２重コイル状構造であっ
て、金属細線表面及び金属細線間に無機絶縁物を被覆し
たヒータにおいて、前記金属細線はＷを主成分とし、２
〜５重量％のＲｅを含む組成であり、直径が３０μｍ以
下であり、前記金属芯線の直径が１５０μｍ以下であ
り、前記第１のコイルの巻回の間隔が０．０３〜０．１
mm／ターン、巻き数が１５０〜２５０ターン、コイル長
が４．５〜２５mmであることを特徴とする低電力消費型
ヒータとしたものである。前記低電力消費型ヒータにお
いて、第２のコイルは、外径が０．８〜１．４mmの範囲
で、第１のコイルを巻く間隔が０．６〜１．４mm／ター
ン、巻き数が１．０〜２．５回を満たしているのがよ
く、また、第１のコイルには、２重コイル状に巻いた構
造の先端から２．５〜３．５mmの範囲の１重コイル部分
にヒータ溶接部を有するのがよい。

【０００６】また、本発明では、金属芯線に発熱抵抗体
となる金属細線を巻回して第１のコイルを形成し、該金
属細線を巻回した直線状の第１のコイルを、更に巻回し
て第２のコイルを形成して２重コイル状構造とし、前記
金属細線表面及び金属細線間に無機絶縁物を被覆するヒ
ータの製造方法において、前記金属細線としてＷを主成
分とし、２％以上５％未満のＲｅを含む組成のもので、
直径が３０μｍ以下のものを用い、金属細線を巻回した
金属芯線は直径が１５０μｍ以下であり、前記第１のコ
イルは金属細線を０．０３〜０．１mm／ターンの均等な
間隔で巻き、巻き数が１５０〜２５０ターン、コイル長
が４．５〜２５mmに形成することを特徴とする低電力消
費型ヒータの製造方法としたものである。前記製造方法
において、第２のコイルは、第１のコイルを０．６〜
１．４mm／ターンの間隔で巻き、巻き数が１．０〜２．
５回で、外径が０．８〜１．４mmの範囲に形成し、ま
た、前記無機絶縁物は、電気泳動法で付着させた後焼成
して形成し、金属芯線は、最終的に溶解除去するのがよ
い。

【０００７】このように、本発明では低消費電力を達成
するために、ヒータの抵抗体となる金属細線の組成と線
径とヒータを構成する金属細線のシングル巻きの公約的
数値、さらには、それらのコイルを用いて形成されるダ
ブル巻きのピッチとターン数の、ヒータ溶接位置が重要
であることを見いだした。そして、これらの発明事項を
満たしたヒータの備えうる特性は、冷抵抗、消費電力と
電圧及び陰極温度である。本発明の低電力消費型ヒータ
は、陰極線管の陰極線放射ペレットを加熱するヒータと
して好適に用いられ、また陰極スリーブ、該陰極スリー
ブの先端部に配置された陰極ペレット、前記陰極スリー
ブ内に装着された陰極加熱用ヒータを備えた陰極線管用
陰極において、前記陰極加熱用ヒータとして上記低電力
消費型ヒータを用いることができる。

【０００８】さらに、蛍光スクリーンと、該蛍光スクリ
ーンに対向して設けられたグリッド陰極を有する陰極線
銃、該陰極線銃は陰極スリーブ、該スリーブ先端に配設
された陰極ペレットと該スリーブ内に装着された陰極加
熱用ヒータを備えた陰極線管において、前記陰極加熱用
ヒータとして、上記低電力消費型ヒータを用い、冷抵抗
が５−２５Ωで、ヒータに加える電圧が６．３Ｖの時、
陰極の陰極温度が９００℃以上で、その消費電力が０．
７Ｗ／ｌガン以下とした陰極線管とすることができる。

【０００９】

【作用】本発明のヒータのコイル外形を図１に示す。図
１において、ヒータコイル３を更にコイル状に巻いた
後、Ａｌ₂ Ｏ₃ 絶縁膜２を形成し、絶縁膜２の外側には
ダーク層１を形成している。ブラウン管に組み込むとき
にはヒータ溶接位置４の部分で給電部と溶接しヒータと
する。図２に、図１のヒータコイル３の部分拡大図を示
す。図１、２において、１ａは金属細線の直径で０．０
３mm以下、１ｂは金属細線間のピッチで０．０３mm以上
０．１mm以下、１ｃは金属細線を巻回した金属芯線の直
径であり、製造工程で除去した後ヒータとして用いると
きには空洞となっている部分である。その空洞部の直径
は０．１５mm以下、１ｄはダブル巻き構造の外径で０．
８〜１．４mmの範囲、１ｅはダブル巻きの間隔が０．６
〜１．４mm／ターン、４はヒータ溶接位置で、ダブル巻
き構造の先端から２．５〜３．５mmの範囲が望ましい。

【００１０】金属細線は抵抗発熱体となるので最高１４
００℃の温度で長時間通電しても断線しないことが求め
られる。図３にＲｅ添加量と破断強度を示す。Ｒｅの添
加量０以上５％未満ではＲｅの増加につれ破断強度は直
線的に向上するが５％以上添加しても破断強度は余り向
上しない。また、Ｒｅ添加は、加工性を低下させるので
添加量を少なくしたい。そのため、破断強度の改善と加
工性を両立させるには、Ｒｅの添加量は、１２００℃で
少なくとも６００ＭＰａの破断強度を示す、２％以上必
要であり、破断強度の改善効果が小さくなる５％以下が
適当である。金属細線の直径は３０μｍ以下が望まし
い。

【００１１】図１１にヒータ温度１２００℃、電圧６．
３Ｖの条件での金属細線の直径と消費電力を示す。直径
を小径化すると消費電力の低減が達成できる。金属細線
の小径化はヒータ通電加熱時のヒータ断線を増加させる
ため、１５μｍ以上３０μｍ以下が望ましい。ヒータを
構成する金属細線のシングル巻き及びダブル巻きのピッ
チとターン数は、所定温度に昇温し、かつ低消費電力化
がなされるように決定された。高温でのターン数と消費
電力を図１２に示す。ターン数の増加は低消費電力化が
図れる。図１３に金属芯線径とカソード温度の関係を示
す。金属芯線径が増加するとヒータとしての外形が大き
くなり、全体的な熱効率が低下する傾向にある。そのた
め、ヒータを加熱時のカソード温度は金属芯線径の増加
につれ低下し、カソード温度として最低限必要な９００
℃を満足できない。

【００１２】図１４にシングル巻ピッチとカソード温度
を示す。ピッチが０．１mm／ターン以下ではカソード温
度が９００℃以上に達するが、ピッチが広くなると急激
にカソード温度は低下する。ピッチの下限である０．０
３mm／ターンは金属細線径１５μｍでの加工限界であ
る。ダブル巻きのピッチ，ターン数はヒータを小さく
し、加熱中の変形を考慮して決められた。最終的に抵抗
として働く金属細線の長さを規定するのがヒータ溶接位
置である。溶接位置を加減してヒータとしての冷抵抗の
調整を行う。

【００１３】熱的特性と低消費電力を満足させるには、
以下に示す条件を満足すべきことを見いだした。ヒータ
加熱温度である１２００℃付近での低消費電力を図るに
は高温での抵抗だけでなく、常温での抵抗が２−１５Ω
も満足させなければならない。図４にヒータ電圧と比抵
抗の関係を示す。線材により高温時と室温時の抵抗の比
はヒータ温度に対して直線関係にあり、ヒータ作動温度
で高温抵抗から冷抵抗として２〜２５Ωが望ましい。ヒ
ータに加える電圧が６．３Ｖの時ヒータの加熱によって
陰極の温度が上がり、これが陰極温度が９００℃以上で
あり、消費電力の数値が０．７Ｗ／ｌガン以下であるこ
とが必要である。

【００１４】図５にヒータ電圧とカソード温度の関係を
示す。図中、Ａは線径３１．４μｍ、ピッチ０．０６８
mm／ターン、巻数１７５のコイル、Ｂは３６．２μｍ、
０．０６７mm／ターン、巻数１５０ターンのコイル、Ｃ
は線径２８．７μｍ、ピッチ０．０４５mm／ターン、巻
数２０４ターンのコイルを使用した。Ａはヒータ電圧
６．３Ｖにおいてもカソード温度８００℃にしかなら
ず、含浸形に用いるのに不適当であり、Ｂはヒータ電圧
６．３Ｖにおいてカソード温度９００℃を満たすものの
消費電力は１．５Ｗとなっていた。Ｃはヒータ電圧６．
３Ｖにおいてカソード温度９８０℃であり、消費電力が
０．６５Ｗとなり必要とする特性を満たしている。

【００１５】

【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
る。 実施例１ 高温でのヒータ作動のため絶縁膜密度を高める形成法が
望ましい。ヒータの作製工程を図６に示す。ヒータコイ
ルは、直径２９μｍの３％Ｒｅ−Ｗ線を直径１２０μｍ
のＭｏ金属芯線にピッチ０．０４５mm／ターンで巻回
し、これを９．２mm（巻き数２０４回）になる長さで切
断した。切断したシングルコイル線の中点でダブル巻き
の頂点になるように治具で押さえ、空孔径がφ０．３８
mmになるようにシングルコイル線を巻回し、ダブルコイ
ルを形成した。このダブル巻きのピッチは１．０mm／タ
ーン、巻き数は１．７ターンであった。これに電気泳動
法で無機絶縁体を付着させた。電気泳動法では表１に示
す組成の液を使用した。

【００１６】

【表１】

【００１７】第１層電着に使用した液は、電解質成分Ａ
ｌ（ＮＯ₃ ）₃ 、１３２ｇをエタノール水溶液８リット
ルに溶解し、無機絶縁粒子として純度９９．９％以上、
平均粒径４．２μｍのＡｌ₂ Ｏ₃ 粒子を９．０kg配合
し、この絶縁粒子分散液にヒータコイルを負電極、アル
ミニウム板を正電極に接続して浸漬し、直流８０Ｖ、４
秒間通電して、Ａｌ₂ Ｏ₃ 粒子をヒータ上に付着させ
た。次いで、これを１６００℃の水素雰囲気中で５分間
焼成して、第１層の絶縁膜を形成した。第２層電着に使
用した液はＡｌ（ＮＯ₃ ）₃ 、１３２ｇ、Ｍｇ（Ｎ
Ｏ₃ ）₂ ・６Ｈ₂ Ｏ、１２６ｇをエタノール水溶液に８
リットルに溶解し、無機絶縁粒子は第１層目と同じＡｌ
₂ Ｏ₃ を同量配合した。第１層と同じように電気泳動法
でＡｌ₂ Ｏ₃ 粒子を第２層上に付着させた。Ｗを主成分
とするダーク層を浸漬塗布した後、水素雰囲気中で焼成
した。金属芯線を溶解除去してヒータとなる。そのヒー
タは図１の形状を有する。

【００１８】作製したヒータの特性を測定するため、ブ
ラウン管に組み込んだ諸特性を測定した。組み込み時の
ヒータ溶接位置は、ヒータをダブル巻きした頂部から足
方向への長さが３．０mmの部分にした。図７にヒータの
周辺図を示す。ヒータは陰極スリーブ６ａで囲まれ、ヒ
ータの頂部に陰極ペレット６ｂが配置されている。常温
でのブラウン管に組み込んだ状態での冷抵抗は１２Ωで
あった。そして、ヒータに加える電圧と陰極温度につい
ても調べた。ブラウン管に組み込んだヒータ端子に外部
電源を接続し、電圧をかけ、電流計でヒータ電流を測定
すると共に、ヒータを組み込んであるブラウン管の陰極
と垂直になるように（図７の６ｃに示す方向）陰極温度
計をセットし、陰極温度を測定した。

【００１９】ヒータ加熱時の温度は高温温度計で測定し
ており、図及び本文中で使用するヒータ温度及び陰極温
度は高温温度計で測定した輝度温度を示す。図８に電圧
と陰極温度の関係、図９に電圧とヒータ電流の関係を示
す。これらよりヒータ電圧６．３Ｖの時、陰極温度は９
８０℃、消費電力０．６６Ｗ／ガンであることがわか
る。この様にヒータの抵抗体となる金属細線の組成と線
径、ヒータを構成する金属細線のシングル巻き及びダブ
ル巻きのピッチとターン数、ヒータ溶接位置、を規定し
た冷抵抗、消費電力と電圧及び陰極温度を満足する低消
費電力のヒータを得ることができた。

【００２０】実施例２ 焼成進行を押さえる目的でＡｌ₂ Ｏ₃ の平均粒径を大き
くした絶縁粒子分散液を使用して、ヒータを作製した。
工程は実施例１と同じにし、第１層、第２層の膜形成に
使用する絶縁物分散液のＡｌ₂ Ｏ₃ を表１に記載のよう
に、平均粒径４μｍのＡｌ₂ Ｏ₃ 粒子０．１kgと平均粒
径１２μｍのＡｌ₂ Ｏ₃ 粒子８．１kgを配合した。作製
したヒータを実施例１と同様にブラウン管に組み込んで
ヒータの特性を測定した。ヒータ電圧６．３Ｖ時の陰極
温度は９４８℃、ヒータ電流は０．１０３Ａであり、消
費電力０．６６Ｗ／ガンとなった。実施例によれば低消
費電力ヒータの作製はＡｌ₂ Ｏ₃ の種類によらず可能で
ある。

【００２１】実施例３ 吹き付け法で膜形成を行ないヒータを作製した。ヒータ
コイルは実施例１と同じ方法で作製した。酢酸エステル
にあらかじめ４％のニトロセルロースを溶かした溶液を
混合し、更に平均粒径４μｍのアルミナを分散させた液
を、ヒータコイルに吹き付け、膜を形成した。吹き付け
ノズルは、ヒータコイル上に形成される膜厚が一定にな
るように多数個を用い、同時に吹き付ける方法で膜を形
成した。次に、ダーク層とよぶ層を形成するため、Ｗを
主成分とする液をＡｌ₂ Ｏ₃ 膜上に吹き付け法で形成し
た。その後、水素雰囲気中１７００℃で５分加熱しＡｌ
₂Ｏ₃ 膜、ダーク層を焼結させた。作製したヒータをブ
ラウン管に組み込んだヒータの特性を測定した。ヒータ
電圧６．３Ｖ時の陰極温度は９４０℃、ヒータ電流は
０．１０８Ａであり、消費電力０．６８Ｗ／ガンとなっ
た。絶縁膜形成方法に関わらず低消費電力ヒータが作製
できる。

【００２２】実施例４ 図１０は陰極線管の断面図である。該陰極線管は漏斗状
をしたガラス管で、電子銃９ａと蛍光面９ｂを封入して
ある。ガラスパルプは膨らんだコーン部と細い円筒状に
ネック部から構成され、コーン部の底に蛍光体（電子銃
照射により蛍光する物質）が塗布されており、高真空で
封入されている。電子銃９ａは、陰極加熱用ヒータ９ｃ
によって電子を放出する陰極９ｄ、その電子の流束をま
とめて電子ビームとして高速度に加速すると共に、蛍光
面上に収束するための円筒電極（グリッド）９ｅから構
成されている。偏向ヨーク９ｆ、アノードボタン９ｇを
備え、ネック部やコーン部の内面には導電膜９ｈ（蛍光
面９ｂを覆っているアルミニウム膜）が形成されてい
る。

【００２３】

【発明の効果】本発明のヒータは、抵抗発熱体の組成・
線径、ヒータコイルの巻き方、ヒータ溶接位置を規定し
ており、これに沿ってヒータを作製すれば、ヒータの特
性が優れた低消費電力ヒータを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のヒータを示す構成図。

【図２】図１のコイル３部分の部分拡大図。

【図３】２０℃，１２００℃でのＲｅ添加量と破断強度
の関係を示すグラフ。

【図４】各種線材のヒータ陰極温度と比抵抗の関係を示
すグラフ。

【図５】ヒータ電圧とカソード陰極温度の関係を示すグ
ラフ。

【図６】本発明のヒータの製造工程を示す説明図。

【図７】ヒータ取付け部分の概略図。

【図８】実施例１でのヒータ電圧とカソード温度の関係
を示すグラフ。

【図９】実施例１でのヒータ電圧とヒータ電流の関係を
示すグラフ。

【図１０】本発明のヒータを用いた陰極線管の全体構造
を示す断面模式図。

【図１１】金属細線の直径と消費電力の関係を示すグラ
フ。

【図１２】ターン数と消費電力の関係を示すグラフ。

【図１３】金属芯線径とカソード温度との関係を示すグ
ラフ。

【図１４】シングルコイル巻ピッチとカソード温度との
関係を示すグラフ。

【符号の説明】

１…ダーク層、２…Ａｌ₂ Ｏ₃ 層、３…ヒータコイル、
４…ヒータ溶接位置、５…ヒータ溶接位置長さ、１ａ…
金属細線の直径、１ｂ…金属細線間のピッチ、１ｃ…金
属芯線（ヒータでは空洞）の直径、１ｄ…ダブル巻き構
造の外径、１ｅ…ダブル巻きのピッチ、６ａ…陰極スリ
ーブ、６ｂ…陰極ペレット、６ｃ…陰極温度測定方向、
９ａ…電子銃、９ｂ…蛍光面、９ｃ…陰極加熱用ヒー
タ、９ｄ…陰極、９ｅ…円筒電極、９ｆ…偏向ヨーク、
９ｇ…アノードボタン、９ｈ…導電膜、９ｉ…ソケット
ピン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柴田 倫秀 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属芯線に発熱抵抗体となる金属細線を
   巻回して第１のコイルとし、該第１のコイルを、更に巻
   回して第２のコイルとした２重コイル状構造であって、
   金属細線表面及び金属細線間に無機絶縁物を被覆したヒ
   ータにおいて、前記金属細線はＷを主成分とし、２〜５
   重量％のＲｅを含む組成であり、直径が３０μｍ以下で
   あり、前記金属芯線の直径が１５０μｍ以下であり、前
   記第１のコイルの巻回の間隔が０．０３〜０．１mm／タ
   ーン、巻き数が１５０〜２５０ターン、コイル長が４．
   ５〜２５mmであることを特徴とする低電力消費型ヒー
   タ。
2. 【請求項２】 前記第２のコイルは、外径が０．８〜
   １．４mmの範囲で、第１のコイルを巻く間隔が０．６〜
   １．４mm／ターン、巻き数が１．０〜２．５回を満たし
   ていることを特徴とする請求項１記載の低電力消費型ヒ
   ータ。
3. 【請求項３】 前記第１のコイルには、２重コイル状に
   巻いた構造の先端から２．５〜３．５mmの範囲の１重コ
   イル部分にヒータ溶接部を有することを特徴とする請求
   項１又は２記載の低電力消費型ヒータ。
4. 【請求項４】 陰極線管の陰極線放射ペレットを加熱す
   るヒータが、請求項１、２又は３記載の低電力消費型ヒ
   ータであることを特徴とする陰極線管陰極加熱用ヒー
   タ。
5. 【請求項５】 陰極スリーブ、該陰極スリーブの先端部
   に配置された陰極ペレット、前記陰極スリーブ内に装着
   された陰極加熱用ヒータを備えた陰極線管用陰極におい
   て、前記陰極加熱用ヒータが、請求項１、２又は３記載
   の低電力消費型ヒータであることを特徴とする陰極線管
   用陰極。
6. 【請求項６】 蛍光スクリーンと、該蛍光スクリーンに
   対向して設けられたグリッド陰極を有する陰極線銃、該
   陰極線銃は陰極スリーブ、該スリーブ先端に配設された
   陰極ペレットと該スリーブ内に装着された陰極加熱用ヒ
   ータを備えた陰極線管において、前記陰極加熱用ヒータ
   が、請求項１、２又は３記載の低電力消費型ヒータであ
   り、冷抵抗が５−２５Ωで、ヒータに加える電圧が６．
   ３Ｖの時、陰極の陰極温度が９００℃以上で、その消費
   電力が０．７Ｗ／ｌガン以下であることを特徴とする陰
   極線管。
7. 【請求項７】 金属芯線に発熱抵抗体となる金属細線を
   巻回して第１のコイルを形成し、該金属細線を巻回した
   直線状の第１のコイルを、更に巻回して第２のコイルを
   形成した２重コイル状構造とし、前記金属細線表面及び
   金属細線間に無機絶縁物を被覆するヒータの製造方法に
   おいて、前記金属細線としてＷを主成分とし、２％以上
   ５％未満のＲｅを含む組成のもので、直径が３０μｍ以
   下のものを用い、金属細線を巻回した金属芯線は直径が
   １５０μｍ以下であり、前記第１のコイルは金属細線を
   ０．０３〜０．１mm／ターンの均等な間隔で巻き、巻き
   数が１５０〜２５０ターン、コイル長が４．５〜２５mm
   に形成することを特徴とする低電力消費型ヒータの製造
   方法。
8. 【請求項８】 前記第２のコイルは、第１のコイルを
   ０．６〜１．４mm／ターンの間隔で巻き、巻き数が１．
   ０〜２．５回で、外径が０．８〜１．４mmの範囲に形成
   することを特徴とする請求項７記載の低電力消費型ヒー
   タの製造方法。
9. 【請求項９】 前記無機絶縁物は、電気泳動法で付着さ
   せた後焼成して形成することを特徴とする請求項７又は
   ８記載の低電力消費型ヒータの製造方法。
10. 【請求項１０】 前記金属芯線は、溶解除去することを
    特徴とする請求項７又は８記載の低電力消費型ヒータの
    製造方法。