JPH07294452A - 外観検査装置の感度補正方法 - Google Patents
外観検査装置の感度補正方法Info
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- JPH07294452A JPH07294452A JP8875894A JP8875894A JPH07294452A JP H07294452 A JPH07294452 A JP H07294452A JP 8875894 A JP8875894 A JP 8875894A JP 8875894 A JP8875894 A JP 8875894A JP H07294452 A JPH07294452 A JP H07294452A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査対象物の表面状態が変動しても、さら
には、光度が変動しても、外観検査装置が安定した欠陥
検出の感度を維持できる外観検査装置の感度補正方法を
提供する。 【構成】 光を被検査対象物の表面に照射し、その反射
光をＣＣＤセンサーに取り込むことにより対象物の表面
上の外観形状を検査する外観検査装置において、ＣＣＤ
センサーの任意の画素を選択し、該画素で得られた対象
物からの反射光の入光量と、予め設定された基本入光量
とを比較し、その結果得られた変位量より補正信号を算
出し、この補正信号により検出感度の補正を行う。
には、光度が変動しても、外観検査装置が安定した欠陥
検出の感度を維持できる外観検査装置の感度補正方法を
提供する。 【構成】 光を被検査対象物の表面に照射し、その反射
光をＣＣＤセンサーに取り込むことにより対象物の表面
上の外観形状を検査する外観検査装置において、ＣＣＤ
センサーの任意の画素を選択し、該画素で得られた対象
物からの反射光の入光量と、予め設定された基本入光量
とを比較し、その結果得られた変位量より補正信号を算
出し、この補正信号により検出感度の補正を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被対象物からの反射光
を取り込んで、その明暗により対象物の外観検査を行う
外観検査装置において、対象物の表面状態や照明の状態
に応じて検出感度の安定化を図る外観検査装置の感度補
正方法に関するものである。
を取り込んで、その明暗により対象物の外観検査を行う
外観検査装置において、対象物の表面状態や照明の状態
に応じて検出感度の安定化を図る外観検査装置の感度補
正方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】鏡面鋼板、積層板、半導体ＩＣ用のウエ
ハ基板、磁気ディスクや液晶パネルのガラス基板等は、
その表面が平滑で凹凸がないことが重要である。
ハ基板、磁気ディスクや液晶パネルのガラス基板等は、
その表面が平滑で凹凸がないことが重要である。
【０００３】これらの表面に凹凸などの欠陥があると製
品の本来の機能を果たすことができなくなり、品質的な
異常とされるため、外観検査が行われる。
品の本来の機能を果たすことができなくなり、品質的な
異常とされるため、外観検査が行われる。
【０００４】上記外観検査装置の一例として、ＣＣＤカ
メラと照光灯を有し、照光灯により被検査対象物の表面
に光を照射し、対象物の表面形状に応じて反射した反射
光をＣＣＤカメラに取り込んで、その反射光の明暗によ
り外観検査を行う外観検査装置が良く知られている。
メラと照光灯を有し、照光灯により被検査対象物の表面
に光を照射し、対象物の表面形状に応じて反射した反射
光をＣＣＤカメラに取り込んで、その反射光の明暗によ
り外観検査を行う外観検査装置が良く知られている。
【０００５】すなわち、被検査対象物の表面に欠陥が生
じると、欠陥部分に照射した光は乱反射、他の平滑な部
分に照射した光は正反射をし、その結果ＣＣＤカメラに
取り込んだ反射光は光量の差により明部と暗部が生ず
る。このＣＣＤカメラに取り込んだ反射光を描写して入
力画像とし、この入力画像を微分処理を行い微分信号を
求めると、図４に示す如く、明部と暗部の境界で微分信
号が変化し、その微分信号の大きさを予め設定された設
定値（Ａ）と比較して欠陥を認識するものがある。
じると、欠陥部分に照射した光は乱反射、他の平滑な部
分に照射した光は正反射をし、その結果ＣＣＤカメラに
取り込んだ反射光は光量の差により明部と暗部が生ず
る。このＣＣＤカメラに取り込んだ反射光を描写して入
力画像とし、この入力画像を微分処理を行い微分信号を
求めると、図４に示す如く、明部と暗部の境界で微分信
号が変化し、その微分信号の大きさを予め設定された設
定値（Ａ）と比較して欠陥を認識するものがある。
【０００６】しかし、上述のような方法では、ＣＣＤカ
メラに取り込まれた反射光の光量により欠陥の認識を行
うので、被検査対象物の光の反射率が異なると反射光の
光量も異なり、微分信号の大きさもそれにともなって変
化し、検出感度が変動する。また、被検査対象物に光を
照射する蛍光灯の光度の変動、あるいは、被検査対象物
の表面状態に起因して反射率が高くなると、図７に示す
如く、欠陥部分の微分信号が大きくなる。この場合、上
記設定値（Ａ）を用いて欠陥を認識すると通常では欠陥
とされないｂ、ｃ、ｄの部分が欠陥とされる。また、反
射率が低くなると、図８に示す如く、欠陥部分の微分信
号が小さくなり、欠陥であるａの部分が良品とされる。
このように微分信号の大きさが大きくなったり、小さく
なっても、その設定値により欠陥を認識しているため、
反射光の入光量が基本入光量と異なると、安定して欠陥
を検出できず検査の信頼性が低いという問題があった。
メラに取り込まれた反射光の光量により欠陥の認識を行
うので、被検査対象物の光の反射率が異なると反射光の
光量も異なり、微分信号の大きさもそれにともなって変
化し、検出感度が変動する。また、被検査対象物に光を
照射する蛍光灯の光度の変動、あるいは、被検査対象物
の表面状態に起因して反射率が高くなると、図７に示す
如く、欠陥部分の微分信号が大きくなる。この場合、上
記設定値（Ａ）を用いて欠陥を認識すると通常では欠陥
とされないｂ、ｃ、ｄの部分が欠陥とされる。また、反
射率が低くなると、図８に示す如く、欠陥部分の微分信
号が小さくなり、欠陥であるａの部分が良品とされる。
このように微分信号の大きさが大きくなったり、小さく
なっても、その設定値により欠陥を認識しているため、
反射光の入光量が基本入光量と異なると、安定して欠陥
を検出できず検査の信頼性が低いという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の事情に
鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
被検査対象物の表面状態が変動しても、さらには、光源
の光度が変動しても、外観検査装置が安定した欠陥検出
の感度を維持できる外観検査装置の感度補正方法を提供
することにある。
鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
被検査対象物の表面状態が変動しても、さらには、光源
の光度が変動しても、外観検査装置が安定した欠陥検出
の感度を維持できる外観検査装置の感度補正方法を提供
することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
外観検査装置の感度補正方法は、光を被検査対象物の表
面に照射し、その反射光をＣＣＤセンサーに取り込むこ
とにより対象物の表面上の外観形状を検査する外観検査
装置において、ＣＣＤセンサーの任意の画素を選択し、
該画素で得られた対象物からの反射光の入光量と、予め
設定された基本入光量とを比較し、その結果得られた変
位量より補正信号を算出し、この補正信号により検出感
度の補正を行うことを特徴とする。
外観検査装置の感度補正方法は、光を被検査対象物の表
面に照射し、その反射光をＣＣＤセンサーに取り込むこ
とにより対象物の表面上の外観形状を検査する外観検査
装置において、ＣＣＤセンサーの任意の画素を選択し、
該画素で得られた対象物からの反射光の入光量と、予め
設定された基本入光量とを比較し、その結果得られた変
位量より補正信号を算出し、この補正信号により検出感
度の補正を行うことを特徴とする。
【０００９】また、本発明の請求項２に係る外観検査装
置の感度補正方法は、上記補正信号により光源の光度を
制御し、光度の変更を行い検出感度の補正を行うことを
特徴とする。
置の感度補正方法は、上記補正信号により光源の光度を
制御し、光度の変更を行い検出感度の補正を行うことを
特徴とする。
【００１０】また、本発明の請求項３に係る外観検査装
置の感度補正方法は、上記補正信号により検査の判断に
使用する設定値を制御し、設定値の変更を行い検出感度
の補正を行うことを特徴とする。
置の感度補正方法は、上記補正信号により検査の判断に
使用する設定値を制御し、設定値の変更を行い検出感度
の補正を行うことを特徴とする。
【００１１】また、本発明の請求項４に係る外観検査装
置の感度補正方法は、ＣＣＤセンサーの視野内に基準片
を配置し、基準片からの反射光の入光量と、対象物から
の反射光の入光量とを比較し、その結果得られた変位量
より光源の光度を制御する補正信号により調光すること
を特徴とする。
置の感度補正方法は、ＣＣＤセンサーの視野内に基準片
を配置し、基準片からの反射光の入光量と、対象物から
の反射光の入光量とを比較し、その結果得られた変位量
より光源の光度を制御する補正信号により調光すること
を特徴とする。
【００１２】
【作用】本発明の請求項１に係る外観検査装置の感度補
正方法によると、外観検査装置を用いて被検査対象物に
光を照射し、その外観形状を検査する際、外観形状を検
出するＣＣＤセンサーの任意の画素で得られた対象物か
らの反射光の入光量と、予め設定された基本入光量とを
比較し、その結果得られた変位量より補正信号を算出す
るので、被検査対象物の表面状態の変動や照明器具の電
気特性の変動により、ＣＣＤセンサーが対象物から取り
込む反射光が変動しても、補正信号により安定して検出
感度の補正をすることができる。
正方法によると、外観検査装置を用いて被検査対象物に
光を照射し、その外観形状を検査する際、外観形状を検
出するＣＣＤセンサーの任意の画素で得られた対象物か
らの反射光の入光量と、予め設定された基本入光量とを
比較し、その結果得られた変位量より補正信号を算出す
るので、被検査対象物の表面状態の変動や照明器具の電
気特性の変動により、ＣＣＤセンサーが対象物から取り
込む反射光が変動しても、補正信号により安定して検出
感度の補正をすることができる。
【００１３】本発明の請求項２に係る外観検査装置の感
度補正方法によると、上記補正信号により光源の光度を
制御するので、被検査対象物の表面状態の変動や照明器
具の電気特性の変動により、ＣＣＤセンサーが対象物か
ら取り込む反射光が変動しても、補正信号により光源の
光度を制御して、安定した被検査対象物からの反射光を
得ることができる。
度補正方法によると、上記補正信号により光源の光度を
制御するので、被検査対象物の表面状態の変動や照明器
具の電気特性の変動により、ＣＣＤセンサーが対象物か
ら取り込む反射光が変動しても、補正信号により光源の
光度を制御して、安定した被検査対象物からの反射光を
得ることができる。
【００１４】また、本発明の請求項３に係る外観検査装
置の感度補正方法によると、補正信号により検査の判断
に使用する設定値を制御するので、被検査対象物の表面
状態の変動や照明器具の電気特性の変動により、ＣＣＤ
センサーが対象物から取り込む反射光が変動しても、補
正信号により欠陥を認識する設定値を制御して、反射光
の光量に応じた設定値を得ることができる。
置の感度補正方法によると、補正信号により検査の判断
に使用する設定値を制御するので、被検査対象物の表面
状態の変動や照明器具の電気特性の変動により、ＣＣＤ
センサーが対象物から取り込む反射光が変動しても、補
正信号により欠陥を認識する設定値を制御して、反射光
の光量に応じた設定値を得ることができる。
【００１５】また、本発明の請求項４に係る外観検査装
置の感度補正方法によると、外観検査装置を用いて被検
査対象物に光を照射し、その外観形状を検査する際、外
観形状を検出するＣＣＤセンサーの視野内に基準片を配
置し、基準片からの反射光の入光量と、対象物からの反
射光の入光量とを比較し、その結果得られた変位量より
光源の光度を制御する補正信号を算出するので、照明器
具の電気特性の変動により光源が対象物に照射する光度
が変動しても、補正信号により光源の光度を制御するの
で、光源より安定した光の照射をすることができる。
置の感度補正方法によると、外観検査装置を用いて被検
査対象物に光を照射し、その外観形状を検査する際、外
観形状を検出するＣＣＤセンサーの視野内に基準片を配
置し、基準片からの反射光の入光量と、対象物からの反
射光の入光量とを比較し、その結果得られた変位量より
光源の光度を制御する補正信号を算出するので、照明器
具の電気特性の変動により光源が対象物に照射する光度
が変動しても、補正信号により光源の光度を制御するの
で、光源より安定した光の照射をすることができる。
【００１６】本発明に用いられる外観検査装置は、ＣＣ
Ｄセンサーと光源を有する装置で、ＣＣＤセンサーとし
ては、ＣＣＤラインセンサー及びＣＣＤエリアセンサー
等の複数のＣＣＤ素子で構成されたＣＣＤセンサーが使
用される。これらＣＣＤセンサーは、制御信号により、
任意のＣＣＤ素子の出力信号を抽出することができる。
Ｄセンサーと光源を有する装置で、ＣＣＤセンサーとし
ては、ＣＣＤラインセンサー及びＣＣＤエリアセンサー
等の複数のＣＣＤ素子で構成されたＣＣＤセンサーが使
用される。これらＣＣＤセンサーは、制御信号により、
任意のＣＣＤ素子の出力信号を抽出することができる。
【００１７】上記光源としては、例えば、白熱灯や蛍光
灯等が用いられ、各々の灯の劣化により光度が低下した
り、周囲の温度変化により、その光度は変化するが、そ
の光度を調整する制御機器を有するものであれば、特に
限定するものではない。
灯等が用いられ、各々の灯の劣化により光度が低下した
り、周囲の温度変化により、その光度は変化するが、そ
の光度を調整する制御機器を有するものであれば、特に
限定するものではない。
【００１８】また、ＣＣＤセンサーの視野内に設置され
る基準片は、光源が周囲の温度変化や劣化により光度が
変化するのを確認するために定期的に視野内に設置する
もので、その表面が劣化せず、光を一定に反射するもの
であれば、特に限定するものではなく、鏡面板の表面に
金、銀、または、アルミを蒸着したものが使用される。
る基準片は、光源が周囲の温度変化や劣化により光度が
変化するのを確認するために定期的に視野内に設置する
もので、その表面が劣化せず、光を一定に反射するもの
であれば、特に限定するものではなく、鏡面板の表面に
金、銀、または、アルミを蒸着したものが使用される。
【００１９】以下、本発明を添付した図１〜図６を参照
し詳細に説明する。
し詳細に説明する。
【００２０】
実施例１ 図１は本発明の外観検査装置の感度補正方法が用いられ
る外観検査機装置の一実施例を示す構成図である。図１
に示す如く、この外観検査装置は、光源（２）と、この
光源（２）を点灯するための制御装置（４）と、被検査
対象物（１）の表面より反射した光源（２）の反射光を
取り込む撮影装置であるＣＣＤセンサー（３）と、ＣＣ
Ｄセンサー（３）が取り込んだ反射光の画像をアナログ
画像からディジタル画像に変換するＡ／Ｄ変換器（７）
と、この画像の入光量と予め設定された基本入光量とを
比較し、その結果得られた変位量より補正信号を算出す
る制御信号演算処理手段（５）と、上記ディジタル画像
を１つ以上の任意の設定値と比較し、欠陥を検出する欠
陥検出手段（６）より構成されている。
る外観検査機装置の一実施例を示す構成図である。図１
に示す如く、この外観検査装置は、光源（２）と、この
光源（２）を点灯するための制御装置（４）と、被検査
対象物（１）の表面より反射した光源（２）の反射光を
取り込む撮影装置であるＣＣＤセンサー（３）と、ＣＣ
Ｄセンサー（３）が取り込んだ反射光の画像をアナログ
画像からディジタル画像に変換するＡ／Ｄ変換器（７）
と、この画像の入光量と予め設定された基本入光量とを
比較し、その結果得られた変位量より補正信号を算出す
る制御信号演算処理手段（５）と、上記ディジタル画像
を１つ以上の任意の設定値と比較し、欠陥を検出する欠
陥検出手段（６）より構成されている。
【００２１】以上のように構成された外観検査装置につ
いて、その動作を説明する。外観検査装置の一例とし
て、被検査対象物（１）として積層板を用い、制御装置
（４）として高周波点灯電源を用いて光源（２）である
蛍光灯を点灯し、積層板の反射光を取り込むＣＣＤセン
サー（３）としてＣＣＤカメラを用いて撮像して外観検
査を行う装置について説明する。光源は特に限定はしな
いが、蛍光灯や白熱灯で、その光度が調整できるもので
あればよい。上記蛍光灯は、高周波点灯電源により点灯
されているので、蛍光灯固有のチラツキが少なくなって
いる。
いて、その動作を説明する。外観検査装置の一例とし
て、被検査対象物（１）として積層板を用い、制御装置
（４）として高周波点灯電源を用いて光源（２）である
蛍光灯を点灯し、積層板の反射光を取り込むＣＣＤセン
サー（３）としてＣＣＤカメラを用いて撮像して外観検
査を行う装置について説明する。光源は特に限定はしな
いが、蛍光灯や白熱灯で、その光度が調整できるもので
あればよい。上記蛍光灯は、高周波点灯電源により点灯
されているので、蛍光灯固有のチラツキが少なくなって
いる。
【００２２】上記ＣＣＤカメラは、被検査対象物（１）
より反射した反射光を入力画像として取り込みむ。この
入力画像はアナログデータで反射光の光量によりその入
力レベルが変動する。したがって、図２に示す如く、上
記積層板の表面に欠陥が存在すると、欠陥部分では乱反
射が生じ、周囲と比較して著しく異なる入力レベルとな
る。
より反射した反射光を入力画像として取り込みむ。この
入力画像はアナログデータで反射光の光量によりその入
力レベルが変動する。したがって、図２に示す如く、上
記積層板の表面に欠陥が存在すると、欠陥部分では乱反
射が生じ、周囲と比較して著しく異なる入力レベルとな
る。
【００２３】本実施例では、この入力画像を計算処理を
高速にするためにＡ／Ｄ変換器（７）によりアナログデ
ータよりディジタルデータにし、制御信号演算処理手段
（５）に伝送している。この制御信号演算処理手段
（５）では、上記ディジタル変換された入力画像を予め
設定された基本入光量と比較し、補正信号を算出する。
このＡ／Ｄ変換器（７）は、必要であれば接続されるも
ので、接続しなくてもよい。
高速にするためにＡ／Ｄ変換器（７）によりアナログデ
ータよりディジタルデータにし、制御信号演算処理手段
（５）に伝送している。この制御信号演算処理手段
（５）では、上記ディジタル変換された入力画像を予め
設定された基本入光量と比較し、補正信号を算出する。
このＡ／Ｄ変換器（７）は、必要であれば接続されるも
ので、接続しなくてもよい。
【００２４】例えば、基本入光量が標準波形の図２で示
す点線（Ｓ）であり、積層板（１）の入力画像が図３に
示す如く、標準波形と異なり低くなり点線（Ｔ）である
とすると、上記制御信号演算処理手段（５）により、そ
れらの差を演算して補正信号を算出し、入力画像の入光
量が点線（Ｓ）になるように補正信号を伝送し、蛍光灯
の制御装置（４）である高周波点灯電源を制御する。
す点線（Ｓ）であり、積層板（１）の入力画像が図３に
示す如く、標準波形と異なり低くなり点線（Ｔ）である
とすると、上記制御信号演算処理手段（５）により、そ
れらの差を演算して補正信号を算出し、入力画像の入光
量が点線（Ｓ）になるように補正信号を伝送し、蛍光灯
の制御装置（４）である高周波点灯電源を制御する。
【００２５】上記光源（２）である蛍光灯を増幅する補
正信号を受信した高周波点灯電源は、蛍光灯への出力電
圧を上昇し、基本入光量と同等の入力画像を得ることが
できる。
正信号を受信した高周波点灯電源は、蛍光灯への出力電
圧を上昇し、基本入光量と同等の入力画像を得ることが
できる。
【００２６】また、この制御信号演算処理手段（５）
は、上記ディジタル変換された入力画像を予め設定され
た基本入光量と比較し、さらに、欠陥と良品を識別する
ために用いられる設定値、例えば、閾値を変更する補正
信号を算出する。上記図２で示された標準波形を微分処
理すると、図４に示す如き波形となり、閾値（Ａ）によ
り欠陥（ａ）が検出される。ところが、図３に示すよう
な入光量が減じた入力画像を微分処理を行うと、図６に
示すようになり、上記閾値（Ａ）では、欠陥を検出でき
なくなる。そこで、制御信号演算処理手段（５）により
算出された補正信号を欠陥検出手段である欠陥検出処理
装置（６）に送信し、上記閾値を閾値（Ｃ）に変更し、
欠陥（ａ）を検出することができる。このことは、実験
により、ＣＣＤカメラの入光量と、欠陥部の処理波形の
大きさに相関関係があることより実現できる。
は、上記ディジタル変換された入力画像を予め設定され
た基本入光量と比較し、さらに、欠陥と良品を識別する
ために用いられる設定値、例えば、閾値を変更する補正
信号を算出する。上記図２で示された標準波形を微分処
理すると、図４に示す如き波形となり、閾値（Ａ）によ
り欠陥（ａ）が検出される。ところが、図３に示すよう
な入光量が減じた入力画像を微分処理を行うと、図６に
示すようになり、上記閾値（Ａ）では、欠陥を検出でき
なくなる。そこで、制御信号演算処理手段（５）により
算出された補正信号を欠陥検出手段である欠陥検出処理
装置（６）に送信し、上記閾値を閾値（Ｃ）に変更し、
欠陥（ａ）を検出することができる。このことは、実験
により、ＣＣＤカメラの入光量と、欠陥部の処理波形の
大きさに相関関係があることより実現できる。
【００２７】同様に上述のことは、入光量が増えた入力
画像を微分処理したときについても言えることで、図６
に示すような微分波形となり、上記閾値（Ａ）では、
ａ、ｂ、ｃ、ｄの部分が欠陥となるが、閾値を閾値
（Ｂ）にすることで真の欠陥（ａ）を検出することがで
きる。
画像を微分処理したときについても言えることで、図６
に示すような微分波形となり、上記閾値（Ａ）では、
ａ、ｂ、ｃ、ｄの部分が欠陥となるが、閾値を閾値
（Ｂ）にすることで真の欠陥（ａ）を検出することがで
きる。
【００２８】さらに、図１に示す如く、表面状態が一定
の基準片（８）をＣＣＤセンサー（３）の視野内に移動
して、反射光を得ることにより、光源（２）を調光する
補正信号を求めて、制御することにより、安定した光度
を得ることができる。
の基準片（８）をＣＣＤセンサー（３）の視野内に移動
して、反射光を得ることにより、光源（２）を調光する
補正信号を求めて、制御することにより、安定した光度
を得ることができる。
【００２９】
【発明の効果】以上、述べたように、本発明の外観検査
装置の感度補正方法によると、被検査対象物の表面状態
が変動しても、さらには、光度が変動しても、その変動
に対応して、光源の光度を制御する補正信号や、設定値
を変更する補正信号を、予め設定された基本入光量と被
検査対象物の反射光による入力画像とを比べて算出する
ので、常に安定した入力画像を得ることができ、また、
安定した入力画像を得ることができない場合でも、その
入力画像に応じた設定値を得ることができる。このよう
に安定した入力画像あるいは、入力画像に応じた設定値
を得ることができるので、真の欠陥を確実に検出し、信
頼性の高い外観検査を行うことができる。
装置の感度補正方法によると、被検査対象物の表面状態
が変動しても、さらには、光度が変動しても、その変動
に対応して、光源の光度を制御する補正信号や、設定値
を変更する補正信号を、予め設定された基本入光量と被
検査対象物の反射光による入力画像とを比べて算出する
ので、常に安定した入力画像を得ることができ、また、
安定した入力画像を得ることができない場合でも、その
入力画像に応じた設定値を得ることができる。このよう
に安定した入力画像あるいは、入力画像に応じた設定値
を得ることができるので、真の欠陥を確実に検出し、信
頼性の高い外観検査を行うことができる。
【図１】本発明に係る外観検査装置の感度補正方法を用
いた一実施例の外観検査装置の構成図である。
いた一実施例の外観検査装置の構成図である。
【図２】本発明に係る一実施例の外観検査装置の標準波
形である。
形である。
【図３】本発明に係る一実施例の外観検査装置の入力波
形である。
形である。
【図４】被検査対象物の標準波形を微分した微分波形で
ある。
ある。
【図５】本発明に係る一実施例の外観検査装置の微分波
形である。
形である。
【図６】本発明に係る一実施例の外観検査装置の微分波
形である。
形である。
【図７】従来の方法による外観検査装置の微分波形であ
る。
る。
【図８】従来の方法による外観検査装置の微分波形であ
る。
る。
１ 被検査対象物 ２ 光源 ３ ＣＣＤセンサー ４ 制御装置 ５ 制御信号演算処理手段 ６ 欠陥検出手段 ８ 基準片
Claims (4)
- 【請求項１】 光を被検査対象物の表面に照射し、その
反射光をＣＣＤセンサーに取り込むことにより対象物の
表面上の外観形状を検査する外観検査装置において、Ｃ
ＣＤセンサーの任意の画素を選択し、該画素で得られた
対象物からの反射光の入光量と、予め設定された基本入
光量とを比較し、その結果得られた変位量より補正信号
を算出し、この補正信号により検出感度の補正を行うこ
とを特徴とする外観検査装置の感度補正方法。 - 【請求項２】 上記補正信号により調光し、検出感度の
補正を行うことを特徴とする請求項１記載の外観検査装
置の感度補正方法。 - 【請求項３】 上記補正信号により検査の判断に使用す
る設定値を制御し、設定値の変更を行い検出感度の補正
を行うことを特徴とする請求項１または請求項２記載の
外観検査装置の感度補正方法。 - 【請求項４】 ＣＣＤセンサーの視野内に基準片を配置
し、基準片からの反射光の入光量と、対象物からの反射
光の入光量とを比較し、その結果得られた変位量より光
源の光度を制御する補正信号により調光する、請求項１
記載の外観検査装置の感度補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8875894A JPH07294452A (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | 外観検査装置の感度補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8875894A JPH07294452A (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | 外観検査装置の感度補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07294452A true JPH07294452A (ja) | 1995-11-10 |
Family
ID=13951789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8875894A Withdrawn JPH07294452A (ja) | 1994-04-26 | 1994-04-26 | 外観検査装置の感度補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07294452A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11153419A (ja) * | 1997-09-17 | 1999-06-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 結晶粒径測定方法及び装置 |
| JP2017090198A (ja) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 板状体側面の表面疵撮影装置 |
-
1994
- 1994-04-26 JP JP8875894A patent/JPH07294452A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11153419A (ja) * | 1997-09-17 | 1999-06-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 結晶粒径測定方法及び装置 |
| JP2017090198A (ja) * | 2015-11-09 | 2017-05-25 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 板状体側面の表面疵撮影装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010703 |