JPH07290892A - 描画装置用ステージ駆動装置 - Google Patents
描画装置用ステージ駆動装置Info
- Publication number
- JPH07290892A JPH07290892A JP9245194A JP9245194A JPH07290892A JP H07290892 A JPH07290892 A JP H07290892A JP 9245194 A JP9245194 A JP 9245194A JP 9245194 A JP9245194 A JP 9245194A JP H07290892 A JPH07290892 A JP H07290892A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- sensor
- detection
- straightness error
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 描画ヘッドにより処理平面に配置される描画
点の位置決めを高精度に行う。 【構成】 ステージ駆動装置は、処理平面７を有するＹ
ステージ５と、処理平面７上に描画点８を構成する描画
ヘッドとを備えた描画装置用のものである。この装置で
は、Ｙステージ７がＹ軸方向及びそれと直交するＸ軸方
向に駆動される。そして、Ｙステージ真直誤差センサー
２１による検出結果に基づいて、Ｙステージ５の移動量
が修正される。ここで、Ｙステージ真直誤差センサー２
１の測定方向は、描画点８を通りかつＸ軸方向である。
点の位置決めを高精度に行う。 【構成】 ステージ駆動装置は、処理平面７を有するＹ
ステージ５と、処理平面７上に描画点８を構成する描画
ヘッドとを備えた描画装置用のものである。この装置で
は、Ｙステージ７がＹ軸方向及びそれと直交するＸ軸方
向に駆動される。そして、Ｙステージ真直誤差センサー
２１による検出結果に基づいて、Ｙステージ５の移動量
が修正される。ここで、Ｙステージ真直誤差センサー２
１の測定方向は、描画点８を通りかつＸ軸方向である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、描画装置及びそのステ
ージ駆動装置、特に、処理平面を有する第１ステージと
処理平面上に描画点を構成する描画部とを備えた描画装
置及びそのステージ駆動装置に関する。
ージ駆動装置、特に、処理平面を有する第１ステージと
処理平面上に描画点を構成する描画部とを備えた描画装
置及びそのステージ駆動装置に関する。
【０００２】
【背景技術】基台に固定された描画ヘッドによって、ス
テージ上に載置されたワークに対してパターンの描画を
行う描画装置では、一般的にステージをＸ−Ｙ方向（水
平方向）に移動可能なＸＹステージが用いられる。ＸＹ
ステージにおいて、基台に対してＸ方向に移動可能なＸ
ステージには、Ｘ方向に駆動するＸ方向駆動手段と、Ｘ
ステージのＸ方向の変位量を検出するリニアスケールと
が設けられている。また、Ｙ方向に移動可能なＹステー
ジには、ＹステージをＹ方向に駆動するＹ方向駆動手段
と、ＹステージのＹ方向の移動量を検出するリニアスケ
ールとが設けられている。
テージ上に載置されたワークに対してパターンの描画を
行う描画装置では、一般的にステージをＸ−Ｙ方向（水
平方向）に移動可能なＸＹステージが用いられる。ＸＹ
ステージにおいて、基台に対してＸ方向に移動可能なＸ
ステージには、Ｘ方向に駆動するＸ方向駆動手段と、Ｘ
ステージのＸ方向の変位量を検出するリニアスケールと
が設けられている。また、Ｙ方向に移動可能なＹステー
ジには、ＹステージをＹ方向に駆動するＹ方向駆動手段
と、ＹステージのＹ方向の移動量を検出するリニアスケ
ールとが設けられている。
【０００３】ＸＹステージのＸ方向の移動は、Ｘ方向駆
動手段に所望の制御量を与えＸステージを移動させるこ
とにより行われる。このとき、Ｘステージに設けられて
いるリニアスケールが検出するＸステージの移動量がフ
ィードバックされて、Ｘステージの位置決めが行われ
る。また、同様にＸＹステージのＹ方向の移動は、Ｙ方
向駆動手段に所望の制御量が与えられＹステージを移動
させることによって行われる。このときも、Ｙステージ
に設けられているリニアスケールが検出するＹステージ
の移動量がフィードバックされて、Ｙステージの位置決
めが行われる。ＹステージはＸステージ上に載置されて
おり、Ｙステージ上に形成される処理平面が、Ｘステー
ジ及びＹステージの移動に伴ってＸＹ平面上を移動し、
処理平面上に形成される描画ヘッドの描画点を処理平面
の任意の位置に移動させることができる。
動手段に所望の制御量を与えＸステージを移動させるこ
とにより行われる。このとき、Ｘステージに設けられて
いるリニアスケールが検出するＸステージの移動量がフ
ィードバックされて、Ｘステージの位置決めが行われ
る。また、同様にＸＹステージのＹ方向の移動は、Ｙ方
向駆動手段に所望の制御量が与えられＹステージを移動
させることによって行われる。このときも、Ｙステージ
に設けられているリニアスケールが検出するＹステージ
の移動量がフィードバックされて、Ｙステージの位置決
めが行われる。ＹステージはＸステージ上に載置されて
おり、Ｙステージ上に形成される処理平面が、Ｘステー
ジ及びＹステージの移動に伴ってＸＹ平面上を移動し、
処理平面上に形成される描画ヘッドの描画点を処理平面
の任意の位置に移動させることができる。
【０００４】上述のようなＸＹステージにおいて、Ｙス
テージに設けられているリニアスケールは、Ｙステージ
のＸステージに対する相対的なＹ方向変位を検出してい
る。したがって、Ｘステージのガイドが不良である等の
要因によりＸステージがＹ方向に変位した場合、Ｙステ
ージの位置決めが正確でなくなる。実開平１−７１０５
３号公報には、このような問題点を解決するために、Ｘ
ステージに２本のリニアスケールを平行に配置し、Ｘス
テージの傾きを検出してＹステージにフィードバックす
ることにより、Ｙステージ上に構成される処理面の位置
決め精度を向上させている。
テージに設けられているリニアスケールは、Ｙステージ
のＸステージに対する相対的なＹ方向変位を検出してい
る。したがって、Ｘステージのガイドが不良である等の
要因によりＸステージがＹ方向に変位した場合、Ｙステ
ージの位置決めが正確でなくなる。実開平１−７１０５
３号公報には、このような問題点を解決するために、Ｘ
ステージに２本のリニアスケールを平行に配置し、Ｘス
テージの傾きを検出してＹステージにフィードバックす
ることにより、Ｙステージ上に構成される処理面の位置
決め精度を向上させている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の技
術では、Ｙステージのガイドが不良である等の要因でＹ
ステージがＸ方向に変位したときは、Ｘ方向の位置決め
を高精度に行うことができない。本発明が解決しようと
する課題は、描画ヘッドにより処理平面に形成される描
画点の位置決めを高精度に行うことである。
術では、Ｙステージのガイドが不良である等の要因でＹ
ステージがＸ方向に変位したときは、Ｘ方向の位置決め
を高精度に行うことができない。本発明が解決しようと
する課題は、描画ヘッドにより処理平面に形成される描
画点の位置決めを高精度に行うことである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るステージ駆
動装置は、処理平面を有する第１ステージと、処理平面
上に描画点を構成する描画部とを備えた描画装置用のも
のである。このステージ駆動装置は、第１駆動部と、第
２駆動部と、第１真直誤差センサと、第１修正手段とを
備える。第１駆動部は、第１方向に第１ステージを駆動
する。第２駆動部は、第１方向と直交する第２方向に第
１ステージを駆動する。第１真直誤差センサは、描画点
を通りかつ第２方向に平行な直線上における第１ステー
ジの変位量を検出する。第１修正手段は、第１真直誤差
センサの検出結果に基づいて第１駆動部及び第２駆動部
により第１ステージの移動量を修正する。
動装置は、処理平面を有する第１ステージと、処理平面
上に描画点を構成する描画部とを備えた描画装置用のも
のである。このステージ駆動装置は、第１駆動部と、第
２駆動部と、第１真直誤差センサと、第１修正手段とを
備える。第１駆動部は、第１方向に第１ステージを駆動
する。第２駆動部は、第１方向と直交する第２方向に第
１ステージを駆動する。第１真直誤差センサは、描画点
を通りかつ第２方向に平行な直線上における第１ステー
ジの変位量を検出する。第１修正手段は、第１真直誤差
センサの検出結果に基づいて第１駆動部及び第２駆動部
により第１ステージの移動量を修正する。
【０００７】ここで、第１真直誤差センサの検出点を、
処理平面の延長面上に配置する構成とすることができ
る。描画点を通りかつ第１方向に平行な直線上における
第１ステージの位置を検出する第１位置センサを設け、
この第１位置センサの検出結果に基づいて、第１駆動部
が第１ステージを駆動するように構成できる。このと
き、第１位置センサの検出点を処理平面の延長面上に配
置することが好ましい。また、第１駆動部の駆動軸線を
第１方向に平行でかつ第１ステージの重心を通るように
構成することが好ましい。
処理平面の延長面上に配置する構成とすることができ
る。描画点を通りかつ第１方向に平行な直線上における
第１ステージの位置を検出する第１位置センサを設け、
この第１位置センサの検出結果に基づいて、第１駆動部
が第１ステージを駆動するように構成できる。このと
き、第１位置センサの検出点を処理平面の延長面上に配
置することが好ましい。また、第１駆動部の駆動軸線を
第１方向に平行でかつ第１ステージの重心を通るように
構成することが好ましい。
【０００８】また、第１真直誤差センサに隣接して配置
された第１ステージのヨーイングを検出する第１ヨーイ
ング検出センサをさらに設け、第１修正手段が、第１ヨ
ーイング検出センサの検出結果に基づいて、第１駆動部
及び第２駆動部による第１ステージの移動量を修正する
手段を含むように構成することもできる。この第１ヨー
イング検出センサの検出点は、処理平面の延長面上に配
置することが好ましい。
された第１ステージのヨーイングを検出する第１ヨーイ
ング検出センサをさらに設け、第１修正手段が、第１ヨ
ーイング検出センサの検出結果に基づいて、第１駆動部
及び第２駆動部による第１ステージの移動量を修正する
手段を含むように構成することもできる。この第１ヨー
イング検出センサの検出点は、処理平面の延長面上に配
置することが好ましい。
【０００９】さらに、描画装置が、第１ステージが第１
方向に関して移動可能に支持され、かつ第１駆動部と第
１真直誤差センサとが設置された第２ステージをさらに
有し、第２駆動部が第１ステージを介して第２ステージ
を第２方向に駆動し、描画点を通りかつ第２方向に直交
する直線上における第２ステージの変位量を検出する第
２真直誤差センサと、第２真直誤差センサの検出結果に
基づいて、第１駆動部及び第２駆動部による第１ステー
ジの移動量を修正する第２修正手段とをさらに設けるこ
とができる。第２方向に平行な直線上における第２ステ
ージの位置を検出する第２位置センサをさらに設け、第
２駆動部が、第２位置センサの検出結果に基づいて、第
２ステージを駆動するように構成することもできる。第
２真直誤差センサに隣接して配置された、第２ステージ
のヨーイングを検出する第２ヨーイング検出センサをさ
らに設け、第２修正手段は、第２ヨーイング検出センサ
の検出結果にも基づいて、第１駆動部及び第２駆動部に
よる第１ステージの駆動量を修正する手段を含むように
構成することもできる。ここで、第２真直誤差センサ、
第２位置センサ及び第２ヨーイング検出センサの検出点
は、処理平面の延長面上に配置することが好ましい。
方向に関して移動可能に支持され、かつ第１駆動部と第
１真直誤差センサとが設置された第２ステージをさらに
有し、第２駆動部が第１ステージを介して第２ステージ
を第２方向に駆動し、描画点を通りかつ第２方向に直交
する直線上における第２ステージの変位量を検出する第
２真直誤差センサと、第２真直誤差センサの検出結果に
基づいて、第１駆動部及び第２駆動部による第１ステー
ジの移動量を修正する第２修正手段とをさらに設けるこ
とができる。第２方向に平行な直線上における第２ステ
ージの位置を検出する第２位置センサをさらに設け、第
２駆動部が、第２位置センサの検出結果に基づいて、第
２ステージを駆動するように構成することもできる。第
２真直誤差センサに隣接して配置された、第２ステージ
のヨーイングを検出する第２ヨーイング検出センサをさ
らに設け、第２修正手段は、第２ヨーイング検出センサ
の検出結果にも基づいて、第１駆動部及び第２駆動部に
よる第１ステージの駆動量を修正する手段を含むように
構成することもできる。ここで、第２真直誤差センサ、
第２位置センサ及び第２ヨーイング検出センサの検出点
は、処理平面の延長面上に配置することが好ましい。
【００１０】
【作用】本発明に係る描画装置用ステージ駆動装置で
は、第１真直誤差センサが、第２方向に平行な直線上に
おける第１ステージの変位量を検出する。この第１真直
誤差センサの検出結果に基づいて、第１修正手段が第１
駆動部及び第２駆動部による第１ステージの移動量を修
正する。なお、第１真直誤差センサが検出する変位量
は、描画点を通りかつ第２方向に平行な直線上における
ものなので、検出された変位量の角度成分は無視できる
程度に微小となる。また、処理平面の延長面上に第１真
直誤差センサの検出点が配置された場合には、描画点と
同じ高さでの変位を検出するので、第２方向に関する第
１ステージのピッチング運動に起因する位置誤差が微小
になる。
は、第１真直誤差センサが、第２方向に平行な直線上に
おける第１ステージの変位量を検出する。この第１真直
誤差センサの検出結果に基づいて、第１修正手段が第１
駆動部及び第２駆動部による第１ステージの移動量を修
正する。なお、第１真直誤差センサが検出する変位量
は、描画点を通りかつ第２方向に平行な直線上における
ものなので、検出された変位量の角度成分は無視できる
程度に微小となる。また、処理平面の延長面上に第１真
直誤差センサの検出点が配置された場合には、描画点と
同じ高さでの変位を検出するので、第２方向に関する第
１ステージのピッチング運動に起因する位置誤差が微小
になる。
【００１１】第１位置センサを備えるステージ駆動装置
では、アッベの原理を満足する第１位置センサの検出結
果が第１駆動部にフィードバックされ、これによって第
１ステージが制御される。また、処理平面の延長面上に
第１位置センサの検出点が配置された場合には、描画点
と同じ高さでの位置を検出するので、第１方向に関する
第１ステージのピッチング運動に起因する位置誤差が微
小になる。
では、アッベの原理を満足する第１位置センサの検出結
果が第１駆動部にフィードバックされ、これによって第
１ステージが制御される。また、処理平面の延長面上に
第１位置センサの検出点が配置された場合には、描画点
と同じ高さでの位置を検出するので、第１方向に関する
第１ステージのピッチング運動に起因する位置誤差が微
小になる。
【００１２】駆動軸線が第１ステージの重心を通るステ
ージ駆動装置では、駆動部による駆動力がステージの重
心に作用するため、ステージの揺動が最小限になる。第
１ヨーイング検出センサを備えるステージ駆動装置で
は、検出された第１ステージのヨーイング値が第１修正
手段に送られ、第１ステージの移動量が修正される。ま
た、処理平面の延長面上に第１ヨーイング検出センサの
検出点が配置された場合には、描画点と同じ高さでのヨ
ーイングを検出するので、第１ステージのピッチング及
びローリング運動に起因する位置誤差が微小になる。
ージ駆動装置では、駆動部による駆動力がステージの重
心に作用するため、ステージの揺動が最小限になる。第
１ヨーイング検出センサを備えるステージ駆動装置で
は、検出された第１ステージのヨーイング値が第１修正
手段に送られ、第１ステージの移動量が修正される。ま
た、処理平面の延長面上に第１ヨーイング検出センサの
検出点が配置された場合には、描画点と同じ高さでのヨ
ーイングを検出するので、第１ステージのピッチング及
びローリング運動に起因する位置誤差が微小になる。
【００１３】第２ステージ、第２真直誤差センサ及び第
２修正手段を備えたステージ駆動装置では、第１ステー
ジは第２ステージを介して第２方向に移動される。そし
て、第２真直誤差センサが第２方向に直交する直線上に
おける第２ステージの変位量を検出し、その検出結果に
基づいて、第２修正手段が第１駆動部及び第２駆動部に
よる第１ステージの移動量を修正する。また、第２真直
誤差センサが検出する変位量は、描画点を通りかつ第２
方向に直交する直線上におけるものなので、検出された
変位量の角度成分は無視できる程度に微小となる。
２修正手段を備えたステージ駆動装置では、第１ステー
ジは第２ステージを介して第２方向に移動される。そし
て、第２真直誤差センサが第２方向に直交する直線上に
おける第２ステージの変位量を検出し、その検出結果に
基づいて、第２修正手段が第１駆動部及び第２駆動部に
よる第１ステージの移動量を修正する。また、第２真直
誤差センサが検出する変位量は、描画点を通りかつ第２
方向に直交する直線上におけるものなので、検出された
変位量の角度成分は無視できる程度に微小となる。
【００１４】第２位置センサを備えるステージ駆動装置
では、アッベの原理を満足する第２位置センサの検出結
果が第２駆動部にフィードバックされ、これによって第
２ステージが制御される。第２ヨーイング検出センサを
備えるステージ駆動装置では、検出された第２ステージ
のヨーイング値が第２修正手段に送られ、第１ステージ
の移動量が修正される。また、処理平面の延長面上に第
２真直誤差センサ、第２位置センサ及び第２ヨーイング
検出センサの検出点が配置された場合には、描画点と同
じ高さでの位置及びヨーイングを検出するので、第１ス
テージのピッチング及びローリング運動に起因する位置
誤差が微小になる。
では、アッベの原理を満足する第２位置センサの検出結
果が第２駆動部にフィードバックされ、これによって第
２ステージが制御される。第２ヨーイング検出センサを
備えるステージ駆動装置では、検出された第２ステージ
のヨーイング値が第２修正手段に送られ、第１ステージ
の移動量が修正される。また、処理平面の延長面上に第
２真直誤差センサ、第２位置センサ及び第２ヨーイング
検出センサの検出点が配置された場合には、描画点と同
じ高さでの位置及びヨーイングを検出するので、第１ス
テージのピッチング及びローリング運動に起因する位置
誤差が微小になる。
【００１５】
【実施例】本発明の一実施例としての描画装置を示す図
１及び図２において、基台１上には、基台１に対してＸ
軸方向に移動可能なＸステージ２が載置されている。Ｘ
ステージ２は、Ｘ軸方向ガイド３に案内されてＸ軸方向
に移動可能となっている。Ｘステージ２は、中央部に凹
所４を有している。凹所４には、Ｙステージ５が載置さ
れている。Ｙステージ５は、Ｙ軸方向ガイド６に案内さ
れて、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に移動可能となって
いる。Ｙステージ５の中央部には、描画ヘッド２４（図
３）による描画点８が形成される処理平面７が設けられ
ている。なお、描画ヘッド２４は基台１に対して固定さ
れている。
１及び図２において、基台１上には、基台１に対してＸ
軸方向に移動可能なＸステージ２が載置されている。Ｘ
ステージ２は、Ｘ軸方向ガイド３に案内されてＸ軸方向
に移動可能となっている。Ｘステージ２は、中央部に凹
所４を有している。凹所４には、Ｙステージ５が載置さ
れている。Ｙステージ５は、Ｙ軸方向ガイド６に案内さ
れて、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に移動可能となって
いる。Ｙステージ５の中央部には、描画ヘッド２４（図
３）による描画点８が形成される処理平面７が設けられ
ている。なお、描画ヘッド２４は基台１に対して固定さ
れている。
【００１６】Ｘステージ２には、図１左方においてボー
ルねじ軸９と螺合するナット部（図示せず）が設けられ
ている。ボールねじ軸９は、その回転中心軸がＸステー
ジ２の重心を通りかつＸ軸方向に対して平行となるよう
に設定されている。ボールねじ軸９は、基台１上に設置
されているＸ軸方向駆動モータ１０によって回転駆動さ
れ、Ｘステージ２をＸ軸方向に移動させる。
ルねじ軸９と螺合するナット部（図示せず）が設けられ
ている。ボールねじ軸９は、その回転中心軸がＸステー
ジ２の重心を通りかつＸ軸方向に対して平行となるよう
に設定されている。ボールねじ軸９は、基台１上に設置
されているＸ軸方向駆動モータ１０によって回転駆動さ
れ、Ｘステージ２をＸ軸方向に移動させる。
【００１７】Ｘステージ２には、図１右方においてリニ
アスケール１１が取り付けられている。リニアスケール
１１と近接して光電式の検出器１２が設けられており、
リニアスケール１１の変位パルス量を検出することによ
って、Ｘステージ２のＸ軸方向変位量を検出可能として
いる。また、Ｘステージ２の図１下部にはＸ軸基準板１
３が立設されている。基台１上のＸ軸基準板１３の検出
面に対向する位置には、Ｘステージ真直誤差センサ１４
及びＸステージヨーイング検出センサ１５が設けられて
いる。Ｘステージ真直誤差センサ１４及びＸステージヨ
ーイング検出センサ１５は、ともに反射光電式の距離セ
ンサであり、Ｘ軸基準板１３との距離を検出するもので
ある。Ｘステージ真直誤差センサ１４は、描画点８を通
りかつＹ軸方向に平行な軸線上の距離を検出する。ま
た、Ｘステージヨーイング検出センサ１５は、Ｘステー
ジ真直誤差センサ１４からＸ軸方向に所定距離離れた位
置に配置されている。
アスケール１１が取り付けられている。リニアスケール
１１と近接して光電式の検出器１２が設けられており、
リニアスケール１１の変位パルス量を検出することによ
って、Ｘステージ２のＸ軸方向変位量を検出可能として
いる。また、Ｘステージ２の図１下部にはＸ軸基準板１
３が立設されている。基台１上のＸ軸基準板１３の検出
面に対向する位置には、Ｘステージ真直誤差センサ１４
及びＸステージヨーイング検出センサ１５が設けられて
いる。Ｘステージ真直誤差センサ１４及びＸステージヨ
ーイング検出センサ１５は、ともに反射光電式の距離セ
ンサであり、Ｘ軸基準板１３との距離を検出するもので
ある。Ｘステージ真直誤差センサ１４は、描画点８を通
りかつＹ軸方向に平行な軸線上の距離を検出する。ま
た、Ｘステージヨーイング検出センサ１５は、Ｘステー
ジ真直誤差センサ１４からＸ軸方向に所定距離離れた位
置に配置されている。
【００１８】Ｙステージ５の図１下部には、ボールねじ
軸１６と螺合するナット部（図示せず）が設けられてい
る。ボールねじ軸１６は、その回転中心軸がＹ軸方向に
平行で、かつＹステージ５の重心位置を通るように設定
されている。ボールねじ軸１６はＹ軸方向駆動モータ１
７によって回転駆動され、Ｙステージ５をＹ軸方向に移
動させる。Ｙステージ５の図１上部にはリニアスケール
１８が設けられている。一方、Ｘステージ２の凹所４に
は、光電式の検出器１９が設けられている。検出器１９
は、リニアスケール１８の変位量を検出することによ
り、Ｙステージ５のＹ軸方向変位量を検出可能である。
軸１６と螺合するナット部（図示せず）が設けられてい
る。ボールねじ軸１６は、その回転中心軸がＹ軸方向に
平行で、かつＹステージ５の重心位置を通るように設定
されている。ボールねじ軸１６はＹ軸方向駆動モータ１
７によって回転駆動され、Ｙステージ５をＹ軸方向に移
動させる。Ｙステージ５の図１上部にはリニアスケール
１８が設けられている。一方、Ｘステージ２の凹所４に
は、光電式の検出器１９が設けられている。検出器１９
は、リニアスケール１８の変位量を検出することによ
り、Ｙステージ５のＹ軸方向変位量を検出可能である。
【００１９】Ｙステージ５の図１右方にはＹ軸基準板２
０が立設されている。Ｙ軸基準板２１はＹ軸に平行な検
出面を側面に有している。Ｙ軸基準板２０の検出面と対
向する位置におけるＸステージ２上には、Ｙステージ真
直誤差センサ２１及びＹステージヨーイング検出センサ
２２が設けられている。Ｙステージ真直誤差センサ２１
は、描画点８を通りかつＸ軸方向に平行な軸線上の距離
を検出する。またＹステージヨーイング検出センサ２２
は、Ｙステージ真直誤差センサ２１からＹ軸方向に所定
距離離れた位置に配置されている。Ｙステージ真直誤差
センサ２１及びＹステージヨーイング検出センサ２２
は、ともに反射光電式の距離検出センサであり、Ｙ軸基
準板２０の検出面との距離を検出する。
０が立設されている。Ｙ軸基準板２１はＹ軸に平行な検
出面を側面に有している。Ｙ軸基準板２０の検出面と対
向する位置におけるＸステージ２上には、Ｙステージ真
直誤差センサ２１及びＹステージヨーイング検出センサ
２２が設けられている。Ｙステージ真直誤差センサ２１
は、描画点８を通りかつＸ軸方向に平行な軸線上の距離
を検出する。またＹステージヨーイング検出センサ２２
は、Ｙステージ真直誤差センサ２１からＹ軸方向に所定
距離離れた位置に配置されている。Ｙステージ真直誤差
センサ２１及びＹステージヨーイング検出センサ２２
は、ともに反射光電式の距離検出センサであり、Ｙ軸基
準板２０の検出面との距離を検出する。
【００２０】検出器１２，１９、Ｘステージ真直誤差セ
ンサ１４、Ｘステージヨーイング検出センサ１５、Ｙス
テージ真直誤差センサ２１及びＹステージヨーイング検
出センサ２２の各検出点は、処理平面７と同一平面上に
配置され、これにより各検出器及び各センサと描画点８
とは同一平面上に構成されていることになる。この実施
例の描画装置には、図３に示すような制御部２３が設け
られている。制御部２３にはデータ入力部２８が接続さ
れており、描画すべきパターンデータが入力される。デ
ータ入力部２８から入力されたパターンデータに基づい
て制御部２３は描画ヘッド２４に描画信号を与え、処理
平面７上にパターンの描画を行う。なお、パターンデー
タは、描画のオン／オフを示す描画信号及びそれを実行
すべき位置情報を含む。また、制御部２３はパターンデ
ータの位置情報に基づいてＸ軸方向駆動モータ制御回路
２５及びＹ軸方向駆動モータ制御回路２６に位置情報を
与える。Ｘ軸方向駆動モータ制御回路２５は、制御部２
３からのＸ軸方向位置情報に基づいてＸ軸方向駆動モー
タ１０に制御信号を与え、Ｘテーブル２を移動させる。
その後、検出器１２からの検出信号がＸ軸方向駆動モー
タ制御回路２５にフィードバックされ、制御部２３から
のＸ軸方向位置情報と検出器１２からの検出信号とに基
づいてＸテーブル２が停止され、描画点８は処理平面７
上のＸ軸方向における移動目標位置に位置決めされる。
同様にして、Ｙ軸方向駆動モータ制御回路２６は、制御
部２３から入力されるＹ軸方向位置情報に基づいてＹ軸
方向駆動モータ１７を駆動し、Ｙテーブル５を移動させ
る。その後、検出器１９からの検出信号がフィードバッ
クされ、Ｙ軸方向駆動モータ制御回路２６は、制御部２
３からのＹ軸方向位置情報と検出器１９からの検出信号
とに基づいてＹテーブルを停止させ、描画点８は処理平
面上のＹ軸方向における移動目標位置に位置決めされ
る。
ンサ１４、Ｘステージヨーイング検出センサ１５、Ｙス
テージ真直誤差センサ２１及びＹステージヨーイング検
出センサ２２の各検出点は、処理平面７と同一平面上に
配置され、これにより各検出器及び各センサと描画点８
とは同一平面上に構成されていることになる。この実施
例の描画装置には、図３に示すような制御部２３が設け
られている。制御部２３にはデータ入力部２８が接続さ
れており、描画すべきパターンデータが入力される。デ
ータ入力部２８から入力されたパターンデータに基づい
て制御部２３は描画ヘッド２４に描画信号を与え、処理
平面７上にパターンの描画を行う。なお、パターンデー
タは、描画のオン／オフを示す描画信号及びそれを実行
すべき位置情報を含む。また、制御部２３はパターンデ
ータの位置情報に基づいてＸ軸方向駆動モータ制御回路
２５及びＹ軸方向駆動モータ制御回路２６に位置情報を
与える。Ｘ軸方向駆動モータ制御回路２５は、制御部２
３からのＸ軸方向位置情報に基づいてＸ軸方向駆動モー
タ１０に制御信号を与え、Ｘテーブル２を移動させる。
その後、検出器１２からの検出信号がＸ軸方向駆動モー
タ制御回路２５にフィードバックされ、制御部２３から
のＸ軸方向位置情報と検出器１２からの検出信号とに基
づいてＸテーブル２が停止され、描画点８は処理平面７
上のＸ軸方向における移動目標位置に位置決めされる。
同様にして、Ｙ軸方向駆動モータ制御回路２６は、制御
部２３から入力されるＹ軸方向位置情報に基づいてＹ軸
方向駆動モータ１７を駆動し、Ｙテーブル５を移動させ
る。その後、検出器１９からの検出信号がフィードバッ
クされ、Ｙ軸方向駆動モータ制御回路２６は、制御部２
３からのＹ軸方向位置情報と検出器１９からの検出信号
とに基づいてＹテーブルを停止させ、描画点８は処理平
面上のＹ軸方向における移動目標位置に位置決めされ
る。
【００２１】検出器１２及び検出器１９、Ｘステージ真
直誤差センサ１４、Ｘステージヨーイング検出センサ１
５、Ｙステージ真直誤差センサ２１、Ｙステージヨーイ
ング検出センサ２２の検出信号は、誤差補正値演算回路
２７に入力される。誤差補正値演算回路２７は、検出器
１２、Ｘステージ真直誤差センサ１４、Ｘステージヨー
イング検出センサ１５の検出信号に基づいて、Ｘステー
ジ２の揺動に伴うＹ軸方向の変位を求め、これをＹ軸方
向駆動モータ制御回路２６に与えることによって、Ｙス
テージ５のＹ軸方向移動量を補正する。また、検出器１
２、Ｘステージ真直誤差センサ１４及びＸステージヨー
イング検出センサ１５の検出信号に基づいて、Ｘステー
ジ２の揺動によるＸ軸方向の誤差補正値を演算し、Ｘ軸
方向駆動モータ制御回路２５に与える。このことによっ
て、Ｘステージ２の揺動によるＸ軸方向誤差が補正でき
る。
直誤差センサ１４、Ｘステージヨーイング検出センサ１
５、Ｙステージ真直誤差センサ２１、Ｙステージヨーイ
ング検出センサ２２の検出信号は、誤差補正値演算回路
２７に入力される。誤差補正値演算回路２７は、検出器
１２、Ｘステージ真直誤差センサ１４、Ｘステージヨー
イング検出センサ１５の検出信号に基づいて、Ｘステー
ジ２の揺動に伴うＹ軸方向の変位を求め、これをＹ軸方
向駆動モータ制御回路２６に与えることによって、Ｙス
テージ５のＹ軸方向移動量を補正する。また、検出器１
２、Ｘステージ真直誤差センサ１４及びＸステージヨー
イング検出センサ１５の検出信号に基づいて、Ｘステー
ジ２の揺動によるＸ軸方向の誤差補正値を演算し、Ｘ軸
方向駆動モータ制御回路２５に与える。このことによっ
て、Ｘステージ２の揺動によるＸ軸方向誤差が補正でき
る。
【００２２】検出器１９、Ｙステージ真直誤差センサ２
１及びＹステージヨーイング検出センサ２２の検出信号
は誤差補正値演算回路２７に入力され、各センサの検出
信号に基づいてＹステージ５の揺動による誤差補正値が
演算される。誤差補正値演算回路２７からのＹ軸方向誤
差補正値はＹ軸方向駆動モータ制御回路２６に入力さ
れ、Ｙステージ５の揺動によるＹ軸方向の誤差が補正さ
れる。また、検出器１９、Ｙステージ真直誤差センサ２
１及びＹステージヨーイング検出センサ２２の検出信号
により演算されたＹステージ５の揺動によるＸ軸方向の
誤差補正値は、Ｘ軸方向駆動モータ制御回路２５に入力
される。Ｘ軸方向駆動モータ制御回路２５は、誤差補正
値演算回路２７からのＸ軸方向誤差補正値に基づいてＸ
軸方向駆動モータ１０を駆動し、Ｘステージ２のＸ軸方
向の位置補正を行う。
１及びＹステージヨーイング検出センサ２２の検出信号
は誤差補正値演算回路２７に入力され、各センサの検出
信号に基づいてＹステージ５の揺動による誤差補正値が
演算される。誤差補正値演算回路２７からのＹ軸方向誤
差補正値はＹ軸方向駆動モータ制御回路２６に入力さ
れ、Ｙステージ５の揺動によるＹ軸方向の誤差が補正さ
れる。また、検出器１９、Ｙステージ真直誤差センサ２
１及びＹステージヨーイング検出センサ２２の検出信号
により演算されたＹステージ５の揺動によるＸ軸方向の
誤差補正値は、Ｘ軸方向駆動モータ制御回路２５に入力
される。Ｘ軸方向駆動モータ制御回路２５は、誤差補正
値演算回路２７からのＸ軸方向誤差補正値に基づいてＸ
軸方向駆動モータ１０を駆動し、Ｘステージ２のＸ軸方
向の位置補正を行う。
【００２３】Ｘステージ２の揺動による誤差検出を図４
に基づいて説明する。図４に二点鎖線で示すように、Ｘ
ステージ２が揺動した場合を考える。このとき実際の描
画点は図５に示すように描画位置Ａとなる。本来の描画
位置Ｂと実際の描画位置ＡとのＸ軸方向誤差をΔＸ1 ，
Ｙ軸方向誤差をΔＸ2 とする。また、検出器１２と描画
位置ＡとのＸ軸方向距離をＬ１，Ｘステージ真直誤差セ
ンサ１４が検出するＸ軸基準板１３の検出面と描画位置
ＡとのＹ軸方向距離をＬ２とする。図６に示すように、
Ｘステージ真直誤差センサ１４が検出するＸステージ２
のＹ軸方向誤差をΔＸS1とし、Ｘステージヨーイング検
出センサ１５が検出するＹ軸方向誤差をΔＸS2とする
と、この誤差ΔＸS1，ΔＸS2とＸステージ真直誤差セン
サ１４及びＸステージヨーイング検出センサ１５間のＸ
方向距離ｌ1 とから、Ｘステージ２の傾きθ1 を算出す
ることができる。Ｘステージ２の位置決めは、リニアス
ケール１１による制御系を形成しているため、Ｘステー
ジ２の揺動による描画位置Ａの誤差は次のようになる。
に基づいて説明する。図４に二点鎖線で示すように、Ｘ
ステージ２が揺動した場合を考える。このとき実際の描
画点は図５に示すように描画位置Ａとなる。本来の描画
位置Ｂと実際の描画位置ＡとのＸ軸方向誤差をΔＸ1 ，
Ｙ軸方向誤差をΔＸ2 とする。また、検出器１２と描画
位置ＡとのＸ軸方向距離をＬ１，Ｘステージ真直誤差セ
ンサ１４が検出するＸ軸基準板１３の検出面と描画位置
ＡとのＹ軸方向距離をＬ２とする。図６に示すように、
Ｘステージ真直誤差センサ１４が検出するＸステージ２
のＹ軸方向誤差をΔＸS1とし、Ｘステージヨーイング検
出センサ１５が検出するＹ軸方向誤差をΔＸS2とする
と、この誤差ΔＸS1，ΔＸS2とＸステージ真直誤差セン
サ１４及びＸステージヨーイング検出センサ１５間のＸ
方向距離ｌ1 とから、Ｘステージ２の傾きθ1 を算出す
ることができる。Ｘステージ２の位置決めは、リニアス
ケール１１による制御系を形成しているため、Ｘステー
ジ２の揺動による描画位置Ａの誤差は次のようになる。
【００２４】 ΔＸ1 ＝Ｌ１・（１／ｃｏｓθ1 −１）・ｃｏｓθ、 ΔＸ2 ＝ΔＸS1＋Ｌ２（１／ｃｏｓθ1 −１） ＋ΔＸ1 ・ｔａｎθ1 リニアスケール１１及び検出器１２は、描画点Ａを通り
Ｘ軸方向と平行な直線上に配置されているため、アッベ
の原理に基づいて誤差ΔＸ1 は傾きθ1 の２乗に基づく
微小誤差となり無視できる。これによって誤差ΔＸ1 は
零、誤差ΔＸ2は誤差ΔＸS1に近似することができる。
すなわち、Ｘステージ２の揺動による傾きθ1 及びＸ軸
方向誤差ΔＸ1 は無視できる。
Ｘ軸方向と平行な直線上に配置されているため、アッベ
の原理に基づいて誤差ΔＸ1 は傾きθ1 の２乗に基づく
微小誤差となり無視できる。これによって誤差ΔＸ1 は
零、誤差ΔＸ2は誤差ΔＸS1に近似することができる。
すなわち、Ｘステージ２の揺動による傾きθ1 及びＸ軸
方向誤差ΔＸ1 は無視できる。
【００２５】Ｙステージ５はＸステージ２上に設けられ
たＹ軸方向ガイド６上をＹ軸方向に移動するため、図７
のように、揺動による誤差はＸステージ２に対する誤差
となる。ここで、リニアスケール１８の検出面が描画点
Ａを通りかつＹ軸方向の直線上に存在しているときの検
出器１９と描画点ＡとのＹ軸方向距離をＬ３、Ｙステー
ジ真直誤差センサ２１と描画点ＡとのＸ軸方向距離をＬ
４とする。図８に示すように、Ｙステージ真直誤差セン
サ２１が検出するＹ軸基準板２０のＸ軸方向誤差をΔＹ
S1とし、Ｙステージヨーイング検出センサ２２が検出す
るＹ軸基準板２０のＹ軸方向距離をΔＹS2とすると、誤
差ΔＹS1，ΔＹS2とＹステージ真直誤差センサ２１及び
Ｙステージヨーイング検出センサ２２間のＹ軸方向距離
ｌ2 とから、Ｙステージ５のＸステージ２に対する傾き
θ2 を算出することができる。これにより、Ｙステージ
５の揺動によるＸステージ２との相対誤差は、 ΔＹ1 ＝Ｌ３・（１／ｃｏｓθ2 −１）・ｃｏｓθ2 ΔＹ2 ＝ΔＹS1＋Ｌ４（１／ｃｏｓθ2 −１） ＋ΔＹ1 ・ｔａｎθ2 で算出することができる。
たＹ軸方向ガイド６上をＹ軸方向に移動するため、図７
のように、揺動による誤差はＸステージ２に対する誤差
となる。ここで、リニアスケール１８の検出面が描画点
Ａを通りかつＹ軸方向の直線上に存在しているときの検
出器１９と描画点ＡとのＹ軸方向距離をＬ３、Ｙステー
ジ真直誤差センサ２１と描画点ＡとのＸ軸方向距離をＬ
４とする。図８に示すように、Ｙステージ真直誤差セン
サ２１が検出するＹ軸基準板２０のＸ軸方向誤差をΔＹ
S1とし、Ｙステージヨーイング検出センサ２２が検出す
るＹ軸基準板２０のＹ軸方向距離をΔＹS2とすると、誤
差ΔＹS1，ΔＹS2とＹステージ真直誤差センサ２１及び
Ｙステージヨーイング検出センサ２２間のＹ軸方向距離
ｌ2 とから、Ｙステージ５のＸステージ２に対する傾き
θ2 を算出することができる。これにより、Ｙステージ
５の揺動によるＸステージ２との相対誤差は、 ΔＹ1 ＝Ｌ３・（１／ｃｏｓθ2 −１）・ｃｏｓθ2 ΔＹ2 ＝ΔＹS1＋Ｌ４（１／ｃｏｓθ2 −１） ＋ΔＹ1 ・ｔａｎθ2 で算出することができる。
【００２６】ところで、Ｘステージ２の凹所４に設けら
れている検出器１９及びリニアスケール１８は、Ｘステ
ージ２の移動に伴い、描画点Ａを通るＹ軸方向に平行な
直線上から外れるため、アッベの原理を満足しなくな
る。したがって、Ｙステージ５の揺動によるヨーイング
角度θ2 及びＸステージ２のＸ方向移動距離ｌX に依存
する誤差が無視できない値になる。この場合、Ｘ軸方向
誤差補正値Ｘは誤差ΔＹ S1となり、Ｙ軸方向誤差補正値
Ｙは、Ｙ＝ｌX ・ｓｉｎθ2 ＋ΔＸS1で求めることがで
きる。
れている検出器１９及びリニアスケール１８は、Ｘステ
ージ２の移動に伴い、描画点Ａを通るＹ軸方向に平行な
直線上から外れるため、アッベの原理を満足しなくな
る。したがって、Ｙステージ５の揺動によるヨーイング
角度θ2 及びＸステージ２のＸ方向移動距離ｌX に依存
する誤差が無視できない値になる。この場合、Ｘ軸方向
誤差補正値Ｘは誤差ΔＹ S1となり、Ｙ軸方向誤差補正値
Ｙは、Ｙ＝ｌX ・ｓｉｎθ2 ＋ΔＸS1で求めることがで
きる。
【００２７】この実施例の動作を、図９に示す制御フロ
ーチャートに基づいて説明する。制御部２３は、データ
入力部２８から入力されたパターンデータをステップＳ
１において読み込む。ステップＳ２では、パターンデー
タの位置情報のうちＸ軸方向の位置情報に基づいて、Ｘ
軸方向駆動モータ制御回路２５に駆動信号を与え、Ｘ軸
方向駆動モータ１０を駆動してＸステージ２を移動す
る。ステップＳ３では、検出器１２の検出信号に基づい
てＸステージ２が目標位置となったか否かを判断する。
Ｘステージ２の変位量は検出器１２によって検出され、
パターンデータに基づくＸステージ２の移動目標位置と
なるまでＸステージ２の移動を行う。ステップＳ３にお
いてＸステージ２が移動目標位置になったと判断したと
きには、ステップＳ４に移行する。
ーチャートに基づいて説明する。制御部２３は、データ
入力部２８から入力されたパターンデータをステップＳ
１において読み込む。ステップＳ２では、パターンデー
タの位置情報のうちＸ軸方向の位置情報に基づいて、Ｘ
軸方向駆動モータ制御回路２５に駆動信号を与え、Ｘ軸
方向駆動モータ１０を駆動してＸステージ２を移動す
る。ステップＳ３では、検出器１２の検出信号に基づい
てＸステージ２が目標位置となったか否かを判断する。
Ｘステージ２の変位量は検出器１２によって検出され、
パターンデータに基づくＸステージ２の移動目標位置と
なるまでＸステージ２の移動を行う。ステップＳ３にお
いてＸステージ２が移動目標位置になったと判断したと
きには、ステップＳ４に移行する。
【００２８】ステップＳ４では、ステップＳ１で読み込
んだパターンデータの位置情報のうちＹ軸方向の位置情
報に基づいてＹ軸方向駆動モータ制御回路２６に駆動信
号を与え、Ｙ軸方向駆動モータ１７を駆動してＹステー
ジ５を移動させる。ステップＳ５では、検出器１９の検
出信号に基づいてＹステージ５が移動目標位置になった
か否かを判断する。Ｙステージ５の変位量は、検出器１
９によって検出され、Ｙステージ５の位置が移動目標位
置となるまでＹステージ５の移動を行う。ステップＳ５
においてＹステージ５が移動目標位置になったと判断さ
れると、ステップＳ６に移行する。
んだパターンデータの位置情報のうちＹ軸方向の位置情
報に基づいてＹ軸方向駆動モータ制御回路２６に駆動信
号を与え、Ｙ軸方向駆動モータ１７を駆動してＹステー
ジ５を移動させる。ステップＳ５では、検出器１９の検
出信号に基づいてＹステージ５が移動目標位置になった
か否かを判断する。Ｙステージ５の変位量は、検出器１
９によって検出され、Ｙステージ５の位置が移動目標位
置となるまでＹステージ５の移動を行う。ステップＳ５
においてＹステージ５が移動目標位置になったと判断さ
れると、ステップＳ６に移行する。
【００２９】ステップＳ６では、このときのＸステージ
２及びＹステージ５の揺動誤差を検出する。Ｘステージ
２の揺動誤差は、Ｘステージ真直誤差センサ１４及びＸ
ステージヨーイング検出センサ１５の検出信号によって
得ることができる。前述したように、Ｘステージ２の揺
動によるＸ方向誤差は０に近似でき、Ｙ軸方向の誤差は
Ｘステージ真直誤差センサ１４の検出信号より誤差ΔＸ
S1に近似できる。また、Ｙステージ５の揺動による誤差
は、Ｙステージ真直誤差センサ２１、Ｙステージヨーイ
ング検出センサ２２及び検出器１２の検出信号によって
求めることができる。したがってステップＳ６では、Ｘ
ステージ真直誤差センサ１４、Ｘステージヨーイング検
出センサ１５、Ｙステージ真直誤差センサ２１、Ｙステ
ージヨーイング検出センサ２２及び検出器１２の検出信
号を取り込む。
２及びＹステージ５の揺動誤差を検出する。Ｘステージ
２の揺動誤差は、Ｘステージ真直誤差センサ１４及びＸ
ステージヨーイング検出センサ１５の検出信号によって
得ることができる。前述したように、Ｘステージ２の揺
動によるＸ方向誤差は０に近似でき、Ｙ軸方向の誤差は
Ｘステージ真直誤差センサ１４の検出信号より誤差ΔＸ
S1に近似できる。また、Ｙステージ５の揺動による誤差
は、Ｙステージ真直誤差センサ２１、Ｙステージヨーイ
ング検出センサ２２及び検出器１２の検出信号によって
求めることができる。したがってステップＳ６では、Ｘ
ステージ真直誤差センサ１４、Ｘステージヨーイング検
出センサ１５、Ｙステージ真直誤差センサ２１、Ｙステ
ージヨーイング検出センサ２２及び検出器１２の検出信
号を取り込む。
【００３０】ステップＳ７では、ステップＳ６で得られ
た各センサの検出信号より、誤差補正値を演算する。こ
こで演算される誤差補正値は、上述したように、Ｘステ
ージ真直誤差センサ１４の検出信号をΔＸS1、Ｙステー
ジ真直誤差センサ２１の検出信号をΔＹS1、Ｙステージ
真直誤差センサ２１とＹステージヨーイング検出センサ
２２の検出信号から得られるＹステージ５の傾きを
θ2 、検出器１２の検出するＸステージ２の移動距離を
ｌX とした場合、Ｘ軸方向誤差補正値ＸはＸ＝ΔＹ
S1で、Ｙ軸方向誤差補正値ＹはＹ＝ｌx ・ｓｉｎθ2 ＋
ΔＸS1で算出できる。ステップＳ８では、ステップＳ７
で求めた誤差補正値に基づいてＸ軸方向駆動モータ制御
回路２５及びＹ軸方向駆動モータ制御回路２６に駆動信
号を与え、Ｘ軸方向駆動モータ１０及びＹ軸方向駆動モ
ータ１７を駆動して、Ｙステージ５上に構成されている
処理平面７の位置を補正する。
た各センサの検出信号より、誤差補正値を演算する。こ
こで演算される誤差補正値は、上述したように、Ｘステ
ージ真直誤差センサ１４の検出信号をΔＸS1、Ｙステー
ジ真直誤差センサ２１の検出信号をΔＹS1、Ｙステージ
真直誤差センサ２１とＹステージヨーイング検出センサ
２２の検出信号から得られるＹステージ５の傾きを
θ2 、検出器１２の検出するＸステージ２の移動距離を
ｌX とした場合、Ｘ軸方向誤差補正値ＸはＸ＝ΔＹ
S1で、Ｙ軸方向誤差補正値ＹはＹ＝ｌx ・ｓｉｎθ2 ＋
ΔＸS1で算出できる。ステップＳ８では、ステップＳ７
で求めた誤差補正値に基づいてＸ軸方向駆動モータ制御
回路２５及びＹ軸方向駆動モータ制御回路２６に駆動信
号を与え、Ｘ軸方向駆動モータ１０及びＹ軸方向駆動モ
ータ１７を駆動して、Ｙステージ５上に構成されている
処理平面７の位置を補正する。
【００３１】ステップＳ９では、描画ヘッド２４に描画
信号を与えパターンの描画を行う。本実施例によれば、
Ｘステージ２を移動制御するリニアスケール１及び検出
器１２が描画点を通りかつＸ軸方向に平行な直線上に配
置されているため、アッベの原理を満足し、Ｘステージ
２の揺動によるＸ軸方向誤差を無視でき、ヨーイング角
度θ1 を無視できる。したがって、Ｙステージ５の真直
誤差をＹステージ真直誤差センサ２１により検出して、
Ｘステージ２の駆動系にフィードバックすることによ
り、Ｘ軸方向誤差を補正することが容易に可能となる。
また、Ｙ軸方向誤差は、Ｘステージ真直誤差センサ１
４、Ｙステージ真直誤差センサ２１及びＹステージヨー
イング検出センサ２２及び検出器１２の検出信号に基づ
いて求めることができ、これをＹ軸方向駆動系にフィー
ドバックすることにより補正することができる。
信号を与えパターンの描画を行う。本実施例によれば、
Ｘステージ２を移動制御するリニアスケール１及び検出
器１２が描画点を通りかつＸ軸方向に平行な直線上に配
置されているため、アッベの原理を満足し、Ｘステージ
２の揺動によるＸ軸方向誤差を無視でき、ヨーイング角
度θ1 を無視できる。したがって、Ｙステージ５の真直
誤差をＹステージ真直誤差センサ２１により検出して、
Ｘステージ２の駆動系にフィードバックすることによ
り、Ｘ軸方向誤差を補正することが容易に可能となる。
また、Ｙ軸方向誤差は、Ｘステージ真直誤差センサ１
４、Ｙステージ真直誤差センサ２１及びＹステージヨー
イング検出センサ２２及び検出器１２の検出信号に基づ
いて求めることができ、これをＹ軸方向駆動系にフィー
ドバックすることにより補正することができる。
【００３２】〔他の実施例〕 （ａ） 上述の実施例において、Ｘステージ２のヨーイ
ング角度θ1 は無視することができるため、Ｘステージ
ヨーイング検出センサ１５を省略することが可能であ
る。 （ｂ） Ｘ軸方向駆動モータ１０及びＹ軸方向駆動モー
タ１７の代わりに、Ｘ軸方向リニアモータ及びＹ軸方向
リニアモータを利用することも可能である。
ング角度θ1 は無視することができるため、Ｘステージ
ヨーイング検出センサ１５を省略することが可能であ
る。 （ｂ） Ｘ軸方向駆動モータ１０及びＹ軸方向駆動モー
タ１７の代わりに、Ｘ軸方向リニアモータ及びＹ軸方向
リニアモータを利用することも可能である。
【００３３】
【発明の効果】本発明に係る描画装置用ステージ駆動装
置では、第１真直誤差センサにより、第２方向の直線上
における第１ステージの変位量を検出する。この第１真
直誤差センサの検出結果に基づいて、第１修正手段が第
１駆動部及び第２駆動部により第１ステージの移動量を
修正する。したがって、第１ステージの第２方向の直線
上における誤差を修正することができ、第１ステージが
第２方向に傾斜した場合であっても正確な位置決めを行
うことが可能となる。処理平面の延長面上に第１真直誤
差センサの検出点が配置された場合には、第２方向に関
する第１ステージのピッチング運動に起因する位置誤差
が微小になるので、当該ピッチング運動の影響を受けず
に第１ステージの真直誤差を検出できるという効果があ
る。
置では、第１真直誤差センサにより、第２方向の直線上
における第１ステージの変位量を検出する。この第１真
直誤差センサの検出結果に基づいて、第１修正手段が第
１駆動部及び第２駆動部により第１ステージの移動量を
修正する。したがって、第１ステージの第２方向の直線
上における誤差を修正することができ、第１ステージが
第２方向に傾斜した場合であっても正確な位置決めを行
うことが可能となる。処理平面の延長面上に第１真直誤
差センサの検出点が配置された場合には、第２方向に関
する第１ステージのピッチング運動に起因する位置誤差
が微小になるので、当該ピッチング運動の影響を受けず
に第１ステージの真直誤差を検出できるという効果があ
る。
【００３４】描画点を通りかつ第１方向に平行な直線上
における第１ステージの位置を検出する第１位置センサ
を第１ステージに設けた場合には、アッベの原理に基づ
いて第１ステージの位置を検出するので第１ステージの
第１方向の位置決めをさらに正確に行うことができる。
処理平面の延長面上に第１位置センサの検出点が配置さ
れた場合には、第１方向に関する第１ステージのピッチ
ング運動に起因する位置誤差を微小にできるので、当該
ピッチング運動の影響を受けずに第１ステージの位置を
検出できるという効果がある。
における第１ステージの位置を検出する第１位置センサ
を第１ステージに設けた場合には、アッベの原理に基づ
いて第１ステージの位置を検出するので第１ステージの
第１方向の位置決めをさらに正確に行うことができる。
処理平面の延長面上に第１位置センサの検出点が配置さ
れた場合には、第１方向に関する第１ステージのピッチ
ング運動に起因する位置誤差を微小にできるので、当該
ピッチング運動の影響を受けずに第１ステージの位置を
検出できるという効果がある。
【００３５】駆動軸線が第１ステージの重心を通る場合
には、ステージの変位量が正確に検出されるので、第１
ステージの第１方向の位置決めをさらに精度良く行うこ
とができる。また、第１真直誤差センサに隣接して第１
ヨーイング検出センサをさらに設けた場合には、第１ス
テージの真直誤差とヨーイングによる第１方向及び第２
方向の誤差を検出することができ、第１ステージの第１
及び第２方向の位置決めをさらに正確に行うことができ
る。処理平面の延長面上に第１ヨーイング検出センサの
検出点が配置された場合には、第１ステージのピッチン
グ及びローリング運動に起因する位置誤差が微小になる
ので、当該ピッチング及びローリング運動の影響を受け
ずに第１ステージのヨーイングを検出できるという効果
がある。
には、ステージの変位量が正確に検出されるので、第１
ステージの第１方向の位置決めをさらに精度良く行うこ
とができる。また、第１真直誤差センサに隣接して第１
ヨーイング検出センサをさらに設けた場合には、第１ス
テージの真直誤差とヨーイングによる第１方向及び第２
方向の誤差を検出することができ、第１ステージの第１
及び第２方向の位置決めをさらに正確に行うことができ
る。処理平面の延長面上に第１ヨーイング検出センサの
検出点が配置された場合には、第１ステージのピッチン
グ及びローリング運動に起因する位置誤差が微小になる
ので、当該ピッチング及びローリング運動の影響を受け
ずに第１ステージのヨーイングを検出できるという効果
がある。
【００３６】また、第２駆動部と第２真直誤差センサと
が設置された第２ステージを設け、第２修正手段により
第２真直誤差センサ検出結果に基づいて第１駆動部及び
第２駆動部による第１ステージの移動量を修正した場合
には、第２ステージの傾きによる第２方向変位量を検出
することができ、第２ステージのガイドの不良等の要因
による真直誤差を補正することが可能となる。
が設置された第２ステージを設け、第２修正手段により
第２真直誤差センサ検出結果に基づいて第１駆動部及び
第２駆動部による第１ステージの移動量を修正した場合
には、第２ステージの傾きによる第２方向変位量を検出
することができ、第２ステージのガイドの不良等の要因
による真直誤差を補正することが可能となる。
【００３７】第２方向に平行な直線上における第２ステ
ージの位置を検出する第２位置センサを設けた場合に
は、第２駆動部による第２方向の位置決めを正確に行う
ことが可能となる。また、第２真直誤差センサに隣接し
て第２ヨーイング検出センサを配置した場合には、第２
ステージのヨーイングを検出することが可能となり、第
２ステージの真直誤差及びヨーイングによる第１方向及
び第２方向の変位量を第１駆動部及び第２駆動部による
第１ステージの駆動量により修正することができる。
ージの位置を検出する第２位置センサを設けた場合に
は、第２駆動部による第２方向の位置決めを正確に行う
ことが可能となる。また、第２真直誤差センサに隣接し
て第２ヨーイング検出センサを配置した場合には、第２
ステージのヨーイングを検出することが可能となり、第
２ステージの真直誤差及びヨーイングによる第１方向及
び第２方向の変位量を第１駆動部及び第２駆動部による
第１ステージの駆動量により修正することができる。
【００３８】処理平面の延長面上に第２真直誤差セン
サ、第２位置センサ及び第２ヨーイング検出センサの検
出点が配置された場合には、第１ステージのピッチング
及びローリング運動に起因する位置誤差が微小になるの
で、当該ピッチング及びローリング運動の影響を受けず
に第１ステージの真直誤差、位置及びヨーイングを検出
できるという効果がある。
サ、第２位置センサ及び第２ヨーイング検出センサの検
出点が配置された場合には、第１ステージのピッチング
及びローリング運動に起因する位置誤差が微小になるの
で、当該ピッチング及びローリング運動の影響を受けず
に第１ステージの真直誤差、位置及びヨーイングを検出
できるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例としての描画装置の平面図。
【図２】その斜視図。
【図３】その制御ブロック図。
【図４】Ｘステージの揺動誤差検出時の説明図。
【図５】Ｘステージの揺動誤差検出時の説明図。
【図６】Ｘステージの揺動誤差検出時の説明図。
【図７】Ｙステージの揺動誤差検出時の説明図。
【図８】Ｙステージの揺動誤差検出時の説明図。
【図９】制御フローチャート
１ 基台 ２ Ｘステージ ３ Ｘ軸方向ガイド ５ Ｙステージ ６ Ｙ軸方向ガイド ７ 処理平面 ８ 描画点 ９ ボールねじ １０ Ｘ軸方向駆動モータ １１ リニアスケール １２ 検出器 １３ Ｘ軸基準板 １４ Ｘステージ真直誤差センサ １５ Ｘステージヨーイング検出センサ １６ ボールねじ １７ Ｙ軸方向駆動モータ １８ リニアスケール １９ 検出器 ２０ Ｙ軸基準板 ２１ Ｙステージ真直誤差センサ ２２ Ｙステージヨーイング検出センサ ２３ 制御部 ２７ 誤差補正値演算回路
Claims (11)
- 【請求項１】処理平面を有する第１ステージと、前記処
理平面上に描画点を構成する描画部とを備えた描画装置
のステージ駆動装置であって、 第１方向に前記第１ステージを駆動する第１駆動部と、 前記第１方向と直交する第２方向に前記第１ステージを
駆動する第２駆動部と、 前記描画点を通りかつ前記第２方向に平行な直線上にお
ける前記第１ステージの変位量を検出する第１真直誤差
センサと、 前記第１真直誤差センサの検出結果に基づいて、前記第
１駆動部及び前記第２駆動部による前記第１ステージの
移動量を修正する第１修正手段と、を備えた描画装置用
ステージ駆動装置。 - 【請求項２】前記処理平面の延長面上に前記第１真直誤
差とセンサの検出点が配置された、請求項１に記載の描
画装置用ステージ駆動装置。 - 【請求項３】前記描画点を通りかつ前記第１方向に平行
な直線上における前記第１ステージの位置を検出する第
１位置センサをさらに備え、 前記第１駆動部は、前記第１位置センサの検出結果に基
づいて、前記第１ステージを駆動する、請求項１または
２に記載の描画装置用ステージ駆動装置。 - 【請求項４】前記処理平面の延長面上に前記第１位置セ
ンサの検出点が配置された、請求項３に記載の描画装置
用ステージ駆動装置。 - 【請求項５】前記第１駆動部の駆動軸線は前記第１方向
に平行でかつ前記第１ステージの重心を通る、請求項１
ないし４のいずれかに記載の描画装置用ステージ駆動装
置。 - 【請求項６】前記第１真直誤差センサに隣接して配置さ
れた、前記第１ステージのヨーイングを検出する第１ヨ
ーイング検出センサをさらに備え、 前記第１修正手段は、前記第１ヨーイング検出センサの
検出結果にも基づいて、前記第１駆動部及び前記第２駆
動部による前記第１ステージの移動量を修正する手段を
含む、請求項１ないし５のいずれかに記載の描画装置用
ステージ駆動装置。 - 【請求項７】前記処理平面の延長面上に前記第１ヨーイ
ング検出センサの検出点が配置された、請求項６に記載
の描画装置用ステージ駆動装置。 - 【請求項８】前記描画装置は、前記第１ステージが前記
第１方向に関して移動可能に支持され、かつ前記第１駆
動部と第１真直誤差センサとが設置された第２ステージ
をさらに有し、 前記第２駆動部は、前記第１ステージを前記第２ステー
ジを介して第２方向に駆動し、 前記描画点を通りかつ前記第２方向に直交する直線上に
おける前記第２ステージの変位量を検出する第２真直誤
差センサと、前記第２真直誤差センサの検出結果に基づ
いて、前記第１駆動部及び前記第２駆動部による前記第
１ステージの移動量を修正する第２修正手段とをさらに
備えた、請求項１ないし７のいずれかに記載の描画装置
用ステージ駆動装置。 - 【請求項９】前記第２方向に平行な直線上における前記
第２ステージの位置を検出する第２位置センサをさらに
備え、 前記第２駆動部は、前記第２位置センサの検出結果に基
づいて、前記第２ステージを駆動する、請求項８に記載
の描画装置用ステージ駆動装置。 - 【請求項１０】前記第２真直誤差センサーに隣接して配
置された、前記ステージのヨーイングを検出する第２ヨ
ーイング検出センサをさらに備え、 前記第２修正手段は、前記第２ヨーイング検出センサの
検出結果にも基づいて、前記第１駆動部及び前記第２駆
動部による第１ステージの駆動量を修正する手段を含
む、請求項８または９に記載の描画装置用ステージ駆動
装置。 - 【請求項１１】前記処理平面の延長面上に前記第２真直
誤差センサ、前記第２位置センサ及び前記第２ヨーイン
グ検出センサの検出点が配置された、請求項１０に記載
の描画装置用ステージ駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9245194A JPH07290892A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 描画装置用ステージ駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9245194A JPH07290892A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 描画装置用ステージ駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07290892A true JPH07290892A (ja) | 1995-11-07 |
Family
ID=14054774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9245194A Pending JPH07290892A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 描画装置用ステージ駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07290892A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101418462B1 (ko) * | 2013-02-26 | 2014-07-14 | 애니모션텍 주식회사 | 3차원 측정기를 이용한 스테이지 캘리브레이션 방법 |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP9245194A patent/JPH07290892A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101418462B1 (ko) * | 2013-02-26 | 2014-07-14 | 애니모션텍 주식회사 | 3차원 측정기를 이용한 스테이지 캘리브레이션 방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3074313B2 (ja) | ウエハーの位置決め装置 | |
| JP6012742B2 (ja) | 作業装置 | |
| US10571262B2 (en) | Method for controlling surface texture measuring apparatus | |
| US6727986B1 (en) | Method and device for measuring a folding angle of a sheet in a folding machine | |
| JPS63292005A (ja) | 走り誤差補正をなした移動量検出装置 | |
| TWI754563B (zh) | 空間精度誤差量測方法 | |
| JPH0914921A (ja) | 非接触三次元測定装置 | |
| JP2542653B2 (ja) | 非接触倣い方法 | |
| JPH07290892A (ja) | 描画装置用ステージ駆動装置 | |
| JPH11190616A (ja) | 表面形状測定装置 | |
| JPH0123041B2 (ja) | ||
| JP3266524B2 (ja) | チップ部品の位置検出方法及び同装置 | |
| US11709050B2 (en) | Position measurement method using a calibration plate to correct a detection value from the position detector | |
| KR100326000B1 (ko) | 무인차의 위치보정장치 및 위치보정방법 | |
| JP4909562B2 (ja) | 表面性状測定装置 | |
| JPH11218941A (ja) | ステージ装置およびこれを用いた露光装置 | |
| JP2679236B2 (ja) | 非接触式形状測定装置 | |
| JP2565771B2 (ja) | ワーク面の傾斜検出方法及び装置 | |
| JPH03121741A (ja) | ステージ装置 | |
| JPH0854204A (ja) | 平面形状測定装置 | |
| JP2549802Y2 (ja) | 自動寸法測定装置 | |
| JPS63237831A (ja) | Ｘｙテ−ブルの位置決め装置 | |
| JP2553352Y2 (ja) | 自動寸法測定装置 | |
| JPS62169213A (ja) | 位置決め装置 | |
| JP2606581Y2 (ja) | 自動寸法測定装置 |