JPH07278214A - 光開始剤、感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法 - Google Patents
光開始剤、感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法Info
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- JPH07278214A JPH07278214A JP6182239A JP18223994A JPH07278214A JP H07278214 A JPH07278214 A JP H07278214A JP 6182239 A JP6182239 A JP 6182239A JP 18223994 A JP18223994 A JP 18223994A JP H07278214 A JPH07278214 A JP H07278214A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 優れた感光特性を示す感光性組成物および感
光材料を提出する光開始剤、これを用いた感光性組成
物、感光材料およびパターンの製造法を提供する。 【構成】 下記一般式（Ｉ）で示される３−置換クマリ
ン化合物 【化１】 （式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5は、水素原子、
１個の炭素数１から５のアルキル基で置換されたアミノ
基等、Ｒ6はフェニル基等）、下記の式（II）で示され
るチタノセン化合物 【化２】 （式中、Ｒ7、Ｒ8、Ｒ9、Ｒ10、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ
14、Ｒ15およびＲ16は、水素原子、ハロゲン原子、炭素
数１〜２０のアルコキシ基または複素環）および下記の
式（III）で示されるオキシムエステル化合物 【化３】 （式中、Ｒ17およびＲ18は、水素原子等、Ｒ19は、炭素
数１〜１２のアルキル基等）を含有してなる光開始剤、
これを用いた感光性組成物、感光材料およびこの感光材
料を用いたパターンの製造法。
光材料を提出する光開始剤、これを用いた感光性組成
物、感光材料およびパターンの製造法を提供する。 【構成】 下記一般式（Ｉ）で示される３−置換クマリ
ン化合物 【化１】 （式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5は、水素原子、
１個の炭素数１から５のアルキル基で置換されたアミノ
基等、Ｒ6はフェニル基等）、下記の式（II）で示され
るチタノセン化合物 【化２】 （式中、Ｒ7、Ｒ8、Ｒ9、Ｒ10、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ
14、Ｒ15およびＲ16は、水素原子、ハロゲン原子、炭素
数１〜２０のアルコキシ基または複素環）および下記の
式（III）で示されるオキシムエステル化合物 【化３】 （式中、Ｒ17およびＲ18は、水素原子等、Ｒ19は、炭素
数１〜１２のアルキル基等）を含有してなる光開始剤、
これを用いた感光性組成物、感光材料およびこの感光材
料を用いたパターンの製造法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光開始剤、感光性組成
物、感光材料およびパターンの製造法に関する。
物、感光材料およびパターンの製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ポリイミドまたはその前駆体であってそ
れ自体でフォトパターニング性を兼備しているものは感
光性ポリイミドと呼ばれ、半導体の表面保護膜用等に用
いられる。感光性ポリイミドにはいくつかの感光性付与
方式が知られている。代表的なものには、特公昭５５−
４１４２２号公報で提案されているようなポリアミド酸
のヒドロキシアクリレートとのエステルとしたものや、
特開昭５７−１７０９２９号公報や特開昭５４−１４５
７９４号公報で提案されているようなポリアミド酸にア
ミノアクリレートのようなものを配合し感光性基を塩結
合で導入するものが知られている。前者の場合、フォト
パターニング性は比較的優れているが、高分子量化しに
くく、感光性基の除去が不完全になりやすいことから膜
特性に劣る欠点を有している。また、後者の場合、高分
子量が得られ易く、また感光性基が揮散しやすいため膜
特性に優れるもののフォトパターニング性が十分でない
欠点を有していた。特に、硬化後膜厚が５μｍ以上の厚
膜用感光性ポリイミドにおいては、ｉ線ステッパ（３６
５nm光を使用）およびｇ線ステッパ（４３５nm光を使
用）や、水銀灯の全波長を用いるミラープロジェクショ
ンタイプの露光機で露光した場合に良好なパターニング
性が得られない問題があった。
れ自体でフォトパターニング性を兼備しているものは感
光性ポリイミドと呼ばれ、半導体の表面保護膜用等に用
いられる。感光性ポリイミドにはいくつかの感光性付与
方式が知られている。代表的なものには、特公昭５５−
４１４２２号公報で提案されているようなポリアミド酸
のヒドロキシアクリレートとのエステルとしたものや、
特開昭５７−１７０９２９号公報や特開昭５４−１４５
７９４号公報で提案されているようなポリアミド酸にア
ミノアクリレートのようなものを配合し感光性基を塩結
合で導入するものが知られている。前者の場合、フォト
パターニング性は比較的優れているが、高分子量化しに
くく、感光性基の除去が不完全になりやすいことから膜
特性に劣る欠点を有している。また、後者の場合、高分
子量が得られ易く、また感光性基が揮散しやすいため膜
特性に優れるもののフォトパターニング性が十分でない
欠点を有していた。特に、硬化後膜厚が５μｍ以上の厚
膜用感光性ポリイミドにおいては、ｉ線ステッパ（３６
５nm光を使用）およびｇ線ステッパ（４３５nm光を使
用）や、水銀灯の全波長を用いるミラープロジェクショ
ンタイプの露光機で露光した場合に良好なパターニング
性が得られない問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、優れ
た感光特性を示す感光性組成物および感光材料を生成す
る光開始剤、これを用いた感光性組成物、感光材料およ
びパターンの製造法を提供するものである。
な従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、優れ
た感光特性を示す感光性組成物および感光材料を生成す
る光開始剤、これを用いた感光性組成物、感光材料およ
びパターンの製造法を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、下記の式
（Ｉ）で示される３−置換クマリン化合物
（Ｉ）で示される３−置換クマリン化合物
【化４】 （式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5は、水素原子、
１個の炭素数１から５のアルキル基で置換されたアミノ
基、２個の炭素数１から５のアルキル基で置換されたア
ミノ基、炭素数１から５のアルコキシ基、アシルオキシ
基、アリール基、ハロゲン原子または炭素数１から５の
チオアルキル基であり、Ｒ6はフェニル基、ビフェニル
基、ナフチル基、チエニル基、ベンゾフリル基、フリル
基、ピリジン基、クマリニル基、アミノ基、炭素数１か
ら５のアルキル基で置換されたアミノ基、シアノ基、炭
素数１から５のアルコキシ基、炭素数１から５のアルキ
ル基、ハロゲン原子、ハロアルキル基、ホルミル基、炭
素数１から５のアルコキシカルボニル基または炭素数１
から５のアシルオキシ基であり、フェニル基、ビフェニ
ル基、ナフチル基、チエニル基、ベンゾフリル基、フリ
ル基、ピリジン基およびクマリニル基は炭素数１〜５の
アシル基で置換されてもよい）、下記の式（II）で示さ
れるチタノセン化合物
１個の炭素数１から５のアルキル基で置換されたアミノ
基、２個の炭素数１から５のアルキル基で置換されたア
ミノ基、炭素数１から５のアルコキシ基、アシルオキシ
基、アリール基、ハロゲン原子または炭素数１から５の
チオアルキル基であり、Ｒ6はフェニル基、ビフェニル
基、ナフチル基、チエニル基、ベンゾフリル基、フリル
基、ピリジン基、クマリニル基、アミノ基、炭素数１か
ら５のアルキル基で置換されたアミノ基、シアノ基、炭
素数１から５のアルコキシ基、炭素数１から５のアルキ
ル基、ハロゲン原子、ハロアルキル基、ホルミル基、炭
素数１から５のアルコキシカルボニル基または炭素数１
から５のアシルオキシ基であり、フェニル基、ビフェニ
ル基、ナフチル基、チエニル基、ベンゾフリル基、フリ
ル基、ピリジン基およびクマリニル基は炭素数１〜５の
アシル基で置換されてもよい）、下記の式（II）で示さ
れるチタノセン化合物
【化５】 （式中、Ｒ7、Ｒ8、Ｒ9、Ｒ10、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ
14、Ｒ15およびＲ16は、水素原子、ハロゲン原子、炭素
数１〜２０のアルコキシ基または１−ピロリル、２−ピ
ロリル、３−ピロリル、イミダゾリル、ピラゾリル等の
複素環である）および下記の式（ＩＩＩ）で示されるオ
キシムエステル化合物
14、Ｒ15およびＲ16は、水素原子、ハロゲン原子、炭素
数１〜２０のアルコキシ基または１−ピロリル、２−ピ
ロリル、３−ピロリル、イミダゾリル、ピラゾリル等の
複素環である）および下記の式（ＩＩＩ）で示されるオ
キシムエステル化合物
【化６】 （式中、Ｒ17およびＲ18は、水素原子、炭素数１〜６の
アルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基またはニトロ
基であり、Ｒ19は、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素
数１〜１２のアルコキシ基、フェニル基、ベンジル基、
−ＯＣＨ2ＣＨ2ＯＣＨ3または−ＣＯ2ＣＨ2ＣＨ3であ
る）を含有してなる光開始剤に関する。
アルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基またはニトロ
基であり、Ｒ19は、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素
数１〜１２のアルコキシ基、フェニル基、ベンジル基、
−ＯＣＨ2ＣＨ2ＯＣＨ3または−ＣＯ2ＣＨ2ＣＨ3であ
る）を含有してなる光開始剤に関する。
【０００５】以下に述べる本発明の感光性組成物および
感光材料には、必要に応じてその他の光開始剤をさらに
含有してもよい。その他の光開始剤としては例えば、ミ
ヒラーズケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、
２−ｔ−ブチルアントラキノン、２−エチルアントラキ
ノン、４，４′−ビス（ｐ−Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ）
ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チ
オキサントン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセ
トフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−
２−モルフォリノ−１−プロパノン、ベンジル、ジフェ
ニルジスルフィド、フェナンスレンキノン、２−イソプ
ロピルチオキサントン、リボフラビンテトラブチレー
ト、Ｎ−フェニルジエタノールアミン、Ｎ−（ｐ−シア
ノフェニル）−グリシン、Ｎ−（ｐ−シアノフェニル）
−Ｎ−メチルグリシン、３，３′，４，４′−テトラ
（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン等
が挙げられる。これらの光開始剤の使用量については特
に制限はない。
感光材料には、必要に応じてその他の光開始剤をさらに
含有してもよい。その他の光開始剤としては例えば、ミ
ヒラーズケトン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、
２−ｔ−ブチルアントラキノン、２−エチルアントラキ
ノン、４，４′−ビス（ｐ−Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ）
ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チ
オキサントン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセ
トフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−
２−モルフォリノ−１−プロパノン、ベンジル、ジフェ
ニルジスルフィド、フェナンスレンキノン、２−イソプ
ロピルチオキサントン、リボフラビンテトラブチレー
ト、Ｎ−フェニルジエタノールアミン、Ｎ−（ｐ−シア
ノフェニル）−グリシン、Ｎ−（ｐ−シアノフェニル）
−Ｎ−メチルグリシン、３，３′，４，４′−テトラ
（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン等
が挙げられる。これらの光開始剤の使用量については特
に制限はない。
【０００６】また、本発明は、常圧において１００℃以
上の沸点を有する付加重合性化合物および上記の光開始
剤を含有してなる感光性組成物に関する。
上の沸点を有する付加重合性化合物および上記の光開始
剤を含有してなる感光性組成物に関する。
【０００７】また、本発明は、ポリアミド酸、化学線に
より２量化または重合可能な炭素炭素二重結合およびア
ミノ基またはその四級化塩を有する化合物、上記の光開
始剤を含有してなる感光材料およびこの感光材料を用い
たパターンの製造法に関する。
より２量化または重合可能な炭素炭素二重結合およびア
ミノ基またはその四級化塩を有する化合物、上記の光開
始剤を含有してなる感光材料およびこの感光材料を用い
たパターンの製造法に関する。
【０００８】上記の式（Ｉ）で表される３−置換クマリ
ン化合物の例としては、３−ベンゾイルクマリン、３−
ベンゾイル−７−メトキシクマリン、３−ベンゾイル−
５，７−ジメトキシクマリン、３−（４′シアノベンゾ
イル）−クマリン、３−（４′シアノベンゾイル）−７
−メトキシクマリン、３−（４′−シアノベンゾイル）
−５，７−ジメトキシクマリン、３−チエニルカルボニ
ルクマリン、７−メトキシ−３−チエニルカルボニルク
マリン、５，７−ジメトキシ−３−チエニルカルボニル
クマリン、７−Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ−３−チエニル
カルボニルクマリン、７−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ−３
−チエニルカルボニルクマリン、３−（４′−メトキシ
ベンゾイル）クマリン、３−（４′−メトキシベンゾイ
ル）−７−メトキシクマリン、３−（４′−メトキシベ
ンゾイル）−５，７−ジメトキシクマリン、３，３′−
カルボニルビス（７−Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノクマリ
ン）、３，３′−カルボニルビス（７−メトキシクマリ
ン）、３，３′−カルボニルビス（５，７−ジメトキシ
クマリン）等が挙げられる。これらは二種以上を組み合
わせて用いてもよい。
ン化合物の例としては、３−ベンゾイルクマリン、３−
ベンゾイル−７−メトキシクマリン、３−ベンゾイル−
５，７−ジメトキシクマリン、３−（４′シアノベンゾ
イル）−クマリン、３−（４′シアノベンゾイル）−７
−メトキシクマリン、３−（４′−シアノベンゾイル）
−５，７−ジメトキシクマリン、３−チエニルカルボニ
ルクマリン、７−メトキシ−３−チエニルカルボニルク
マリン、５，７−ジメトキシ−３−チエニルカルボニル
クマリン、７−Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ−３−チエニル
カルボニルクマリン、７−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ−３
−チエニルカルボニルクマリン、３−（４′−メトキシ
ベンゾイル）クマリン、３−（４′−メトキシベンゾイ
ル）−７−メトキシクマリン、３−（４′−メトキシベ
ンゾイル）−５，７−ジメトキシクマリン、３，３′−
カルボニルビス（７−Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノクマリ
ン）、３，３′−カルボニルビス（７−メトキシクマリ
ン）、３，３′−カルボニルビス（５，７−ジメトキシ
クマリン）等が挙げられる。これらは二種以上を組み合
わせて用いてもよい。
【０００９】上記の式（II）で示されるチタノセン化合
物の例としては、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス
［２，６−ジフルオロ−３−（２−（１Ｈ−ピロール−
１−イル）エチル）フェニル］チタン、ビス（シクロペ
ンタジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−（２
−（１Ｈ−ピロール−１−イル）プロピル）フェニル］
チタン、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス［２，６
−ジフルオロ−３−（２−（１Ｈ−ピロール−１−イ
ル）メチル）フェニル］チタン、ビス（シクロペンタジ
エニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−（ピロール
−１−イル）フェニル］チタン、ビス（シクロペンタジ
エニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−（２，５−
ジメチルピロール−１−イル）フェニル］チタン、ビス
（シクロペンタジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ
−３−（２，５−ジエチルピロール−１−イル）フェニ
ル］チタン、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス
［２，６−ジフルオロ−３−（２，５−ジイソプロピル
ピロール−１−イル）フェニル］チタン、ビス（シクロ
ペンタジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−
（２，５−ビスジメチルアミノピロール−１−イル）フ
ェニル］チタン、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス
［２，６−ジフルオロ−３−（２，５−ジメチル−３−
メトキシピロール−１−イル）フェニル］チタン、ビス
（シクロペンタジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ
−３−メトキシフェニル］チタン、ビス（シクロペンタ
ジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−エトキシ
フェニル］チタン、ビス（シクロペンタジエニル）−ビ
ス［２，６−ジフルオロ−３−イソプロポキシフェニ
ル］チタン、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス
［２，６−ジフルオロ−３−ｎ−プロポキシフェニル］
チタン等が挙げられる。これらは二種以上を組み合わせ
て用いてもよい。
物の例としては、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス
［２，６−ジフルオロ−３−（２−（１Ｈ−ピロール−
１−イル）エチル）フェニル］チタン、ビス（シクロペ
ンタジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−（２
−（１Ｈ−ピロール−１−イル）プロピル）フェニル］
チタン、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス［２，６
−ジフルオロ−３−（２−（１Ｈ−ピロール−１−イ
ル）メチル）フェニル］チタン、ビス（シクロペンタジ
エニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−（ピロール
−１−イル）フェニル］チタン、ビス（シクロペンタジ
エニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−（２，５−
ジメチルピロール−１−イル）フェニル］チタン、ビス
（シクロペンタジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ
−３−（２，５−ジエチルピロール−１−イル）フェニ
ル］チタン、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス
［２，６−ジフルオロ−３−（２，５−ジイソプロピル
ピロール−１−イル）フェニル］チタン、ビス（シクロ
ペンタジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−
（２，５−ビスジメチルアミノピロール−１−イル）フ
ェニル］チタン、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス
［２，６−ジフルオロ−３−（２，５−ジメチル−３−
メトキシピロール−１−イル）フェニル］チタン、ビス
（シクロペンタジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ
−３−メトキシフェニル］チタン、ビス（シクロペンタ
ジエニル）−ビス［２，６−ジフルオロ−３−エトキシ
フェニル］チタン、ビス（シクロペンタジエニル）−ビ
ス［２，６−ジフルオロ−３−イソプロポキシフェニ
ル］チタン、ビス（シクロペンタジエニル）−ビス
［２，６−ジフルオロ−３−ｎ−プロポキシフェニル］
チタン等が挙げられる。これらは二種以上を組み合わせ
て用いてもよい。
【００１０】上記の式（III）で示されるオキシムエス
テル化合物の例としては、
テル化合物の例としては、
【化７】 などが挙げられるが、これらに制限されるものではな
い。
い。
【００１１】上記の３−置換クマリン化合物、チタノセ
ン化合物およびオキシムエステル化合物の使用割合に
は、特に制限はないが、通常、チタノセン化合物および
オキシムエステル化合物を３−置換クマリン化合物より
も多い重量部として用いる。
ン化合物およびオキシムエステル化合物の使用割合に
は、特に制限はないが、通常、チタノセン化合物および
オキシムエステル化合物を３−置換クマリン化合物より
も多い重量部として用いる。
【００１２】本発明の感光性組成物に含まれる付加重合
性化合物は常圧において１００℃以上の沸点を有するも
のが用いられる。常圧において沸点が１００℃より低い
ものでは系内に含有する溶剤を乾燥等によって除去する
際または活性光線を照射する際、該付加重合性化合物が
揮散して特性上好ましくないからである。また付加重合
性化合物は光開始剤等と均一な組成物とするために、通
常用いられる有機溶剤に可溶なものが好ましい。
性化合物は常圧において１００℃以上の沸点を有するも
のが用いられる。常圧において沸点が１００℃より低い
ものでは系内に含有する溶剤を乾燥等によって除去する
際または活性光線を照射する際、該付加重合性化合物が
揮散して特性上好ましくないからである。また付加重合
性化合物は光開始剤等と均一な組成物とするために、通
常用いられる有機溶剤に可溶なものが好ましい。
【００１３】有機溶媒としては、例えばアセトン、メチ
ルエチルケトン、トルエン、クロロホルム、メタノー
ル、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノー
ル、１−ブタノール、２−ブタノール、ｔ−ブタノー
ル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールモノエチルエーテル、キシレン、テトラヒド
ロフラン、ジオキサン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミ
ド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチル−２−
ピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシ
ド、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、
スルホラン等が用いられる。
ルエチルケトン、トルエン、クロロホルム、メタノー
ル、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノー
ル、１−ブタノール、２−ブタノール、ｔ−ブタノー
ル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレン
グリコールモノエチルエーテル、キシレン、テトラヒド
ロフラン、ジオキサン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミ
ド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチル−２−
ピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシ
ド、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、
スルホラン等が用いられる。
【００１４】常圧において１００℃以上の沸点を有する
付加重合性化合物としては、多価アルコールとα、β−
不飽和カルボン酸とを縮合して得られる化合物、例えば
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート（ジアクリ
レートまたはジメタクリレートの意味、以下同じ）、ト
リエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラ
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチ
ロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロー
ルプロパントリ（メタ）アクリレート、１，２−プロピ
レングリコールジ（メタ）アクリレート、ジ（１，２−
プロピレングリコール）ジ（メタ）アクリレート、トリ
（１，２−プロピレングリコール）ジ（メタ）アクリレ
ート、テトラ（１，２−プロピレングリコール）ジ（メ
タ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アク
リレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレー
ト、ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、ジ
エチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、１，４−
ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキ
サンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリ
トールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトー
ルテトラ（メタ）アクリレート、スチレン、ジビニルベ
ンゼン、４−ビニルトルエン、４−ビニルピリジン、Ｎ
−ビニルピロリドン、２−ヒドロキシエチル（メタ）ア
クリレート、１，３−（メタ）アクリロイルオキシ−２
−ヒドロキシプロパン、メチレンビスアクリルアミド、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ−メチロールアク
リルアミドなどがあげられ、これらは二種以上を組み合
わせて用いてもよい。７−ジエチルアミノ−３−チエニ
ルカルボニルクマリン、ビス（シクロペンタジエニル）
−ビス［２，６−ジフルオロ−３−（ピロール−１−イ
ル）フェニル］チタン、１，３−ジフェニル−１，２，
３−プロパントリオン−２−（Ｏ−エトキシカルボニ
ル）オキシム、３−ジメチルアミノプロピルメタクリレ
ートおよびポリアミド酸の組み合わせが好ましい。
付加重合性化合物としては、多価アルコールとα、β−
不飽和カルボン酸とを縮合して得られる化合物、例えば
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート（ジアクリ
レートまたはジメタクリレートの意味、以下同じ）、ト
リエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラ
エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチ
ロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロー
ルプロパントリ（メタ）アクリレート、１，２−プロピ
レングリコールジ（メタ）アクリレート、ジ（１，２−
プロピレングリコール）ジ（メタ）アクリレート、トリ
（１，２−プロピレングリコール）ジ（メタ）アクリレ
ート、テトラ（１，２−プロピレングリコール）ジ（メ
タ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アク
リレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレー
ト、ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、ジ
エチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、１，４−
ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキ
サンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリ
トールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトー
ルテトラ（メタ）アクリレート、スチレン、ジビニルベ
ンゼン、４−ビニルトルエン、４−ビニルピリジン、Ｎ
−ビニルピロリドン、２−ヒドロキシエチル（メタ）ア
クリレート、１，３−（メタ）アクリロイルオキシ−２
−ヒドロキシプロパン、メチレンビスアクリルアミド、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ−メチロールアク
リルアミドなどがあげられ、これらは二種以上を組み合
わせて用いてもよい。７−ジエチルアミノ−３−チエニ
ルカルボニルクマリン、ビス（シクロペンタジエニル）
−ビス［２，６−ジフルオロ−３−（ピロール−１−イ
ル）フェニル］チタン、１，３−ジフェニル−１，２，
３−プロパントリオン−２−（Ｏ−エトキシカルボニ
ル）オキシム、３−ジメチルアミノプロピルメタクリレ
ートおよびポリアミド酸の組み合わせが好ましい。
【００１５】光開始剤は、光感度とフィルム強度の点か
ら、常圧において１００℃以上の沸点を有する付加重合
性化合物に対して０．０１から３０重量％、好ましくは
０．０５から１０重量％の添加量で用いられる。
ら、常圧において１００℃以上の沸点を有する付加重合
性化合物に対して０．０１から３０重量％、好ましくは
０．０５から１０重量％の添加量で用いられる。
【００１６】本発明になる感光性組成物は、必要に応じ
て一種以上の高分子量有機重合体を含有してもよい。該
高分子量有機重合体の分子量は、１０，０００から７０
０，０００を有するものが好ましい。例えば次のものが
用いられる。
て一種以上の高分子量有機重合体を含有してもよい。該
高分子量有機重合体の分子量は、１０，０００から７０
０，０００を有するものが好ましい。例えば次のものが
用いられる。
【００１７】（Ａ）コポリエステル 多価アルコール、例えばジエチレングリコール、トリエ
チレングリコール、テトラエチレングリコール、トリメ
チロールプロパン、ネオペンチルグリコール等と多価カ
ルボン酸、例えばテレフタル酸、イソフタル酸、セバシ
ン酸、アジピン酸等とから製造したコポリエステル
チレングリコール、テトラエチレングリコール、トリメ
チロールプロパン、ネオペンチルグリコール等と多価カ
ルボン酸、例えばテレフタル酸、イソフタル酸、セバシ
ン酸、アジピン酸等とから製造したコポリエステル
【００１８】（Ｂ）ビニルポリマ メタクリル酸、アクリル酸、メタクリル酸またはアクリ
ル酸のアルキルエステル例えばメチル（メタ）アクリレ
ート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）ア
クリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレー
ト、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）
アクリレート、２−ジメチルアミノエチル（メタ）アク
リレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等
のビニル単量体のホモポリマまたはコポリマ
ル酸のアルキルエステル例えばメチル（メタ）アクリレ
ート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）ア
クリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレー
ト、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）
アクリレート、２−ジメチルアミノエチル（メタ）アク
リレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等
のビニル単量体のホモポリマまたはコポリマ
【００１９】（Ｃ）ポリホルムアルデヒド （Ｄ）ポリウレタン （Ｅ）ポリカーボネート （Ｆ）ポリアミド （Ｇ）ポリアミド酸
【００２０】ポリアミド酸は、次のようなテトラカルボ
ン酸二無水物とジアミン化合物を材料とした付加重合に
よって得られる。テトラカルボン酸二無水物としては、
例えば、ピロメリット酸二無水物、３，３′，４，４′
−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，
３′，４，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無
水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二
無水物、２，３，５，６−ピリジンテトラカルボン酸二
無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸
二無水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン
酸二無水物、４，４′−スルホニルジフタル酸二無水
物、ｍ−ターフェニル−３，３″，４，４″−テトラカ
ルボン酸二無水物、ｐ−ターフェニル−３，３″，４，
４″−テトラカルボン酸二無水物、４，４′−オキシジ
フタル酸二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキサフ
ルオロ−２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニ
ル）プロパン二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキ
サフルオロ−２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェ
ニル）プロパン二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカ
ルボキシフェニル）プロパン二無水物、２，２−ビス
（３，４−ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、
１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−ビ
ス［４−（２，３−ジカルボキシフェノキシ）フェニ
ル］プロパン二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキ
サフルオロ−２，２−ビス［４−（３，４−ジカルボキ
シフェノキシ）フェニル］プロパン二無水物が挙げられ
る。ジアミン化合物としては、例えば、ｐ−フェニレン
ジアミン、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−キシリレンジ
アミン、ｍ−キシリレンジアミン、１，５−ジアミノナ
フタレン、ベンジジン、３，３′−ジメチルベンジジ
ン、３，３′−ジメトキシベンジジン、４，４′（また
は３，４′−、３，３′−、２，４′−）−ジアミノジ
フェニルメタン、４，４′（または３，４′−、３，
３′−、２，４′−）−ジアミノジフェニルエーテル、
４，４′（または３，４′−、３，３′−、２，４′
−）−ジアミノジフェニルスルホン、４，４′（または
３，４′−、３，３′−、２，４′−）−ジアミノジフ
ェニルスルフィド、４，４′−ベンゾフェノンジアミ
ン、３，３′−ベンゾフェノンジアミン、４，４′−ジ
（４−アミノフェノキシ）フェニルスルホン、４，４′
−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、１，４−
ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス
（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，１，１，３，
３，３−ヘキサフルオロ−２，２−ビス（４−アミノフ
ェニル）プロパン、２，２−ビス［４−（４−アミノフ
ェノキシ）フェニル］プロパン、３，３′−ジメチル−
４，４′ジアミノジフェニルメタン、３，３′，５，
５′−テトラメチル−４，４′ジアミノジフェニルメタ
ン、４，４′−ジ（３−アミノフェノキシ）フェニルス
ルホン、３，３′−ジアミノジフェニルスルホン、２，
２′−ビス（４−アミノフェニル）プロパン等の芳香族
ジアミン、２，６−ジアミノピリジン、２，４−ジアミ
ノピリミジン、２，４−ジアミノ−Ｓ−トリアジン、
２，７−ジアミノジベンゾフラン、２，７−ジアミノカ
ルバゾール、３，７−ジアミノフェノチアジン、２，５
−ジアミノ−１，３，４−チアジアゾール、２，４−ジ
アミノ−６−フェニル−ｓ−トリアジン等の複素環式ジ
アミン、トリメチレンジアミン、テトラメチレンジアミ
ン、ヘキサメチレンジアミン、２，２−ジメチルプロピ
レンジアミン、下記に示すジアミノポリシロキサン等の
脂肪族ジアミンなどが挙げられる。
ン酸二無水物とジアミン化合物を材料とした付加重合に
よって得られる。テトラカルボン酸二無水物としては、
例えば、ピロメリット酸二無水物、３，３′，４，４′
−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，
３′，４，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水
物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無
水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二
無水物、２，３，５，６−ピリジンテトラカルボン酸二
無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸
二無水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン
酸二無水物、４，４′−スルホニルジフタル酸二無水
物、ｍ−ターフェニル−３，３″，４，４″−テトラカ
ルボン酸二無水物、ｐ−ターフェニル−３，３″，４，
４″−テトラカルボン酸二無水物、４，４′−オキシジ
フタル酸二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキサフ
ルオロ−２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニ
ル）プロパン二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキ
サフルオロ−２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェ
ニル）プロパン二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカ
ルボキシフェニル）プロパン二無水物、２，２−ビス
（３，４−ジカルボキシフェニル）プロパン二無水物、
１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−ビ
ス［４−（２，３−ジカルボキシフェノキシ）フェニ
ル］プロパン二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキ
サフルオロ−２，２−ビス［４−（３，４−ジカルボキ
シフェノキシ）フェニル］プロパン二無水物が挙げられ
る。ジアミン化合物としては、例えば、ｐ−フェニレン
ジアミン、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−キシリレンジ
アミン、ｍ−キシリレンジアミン、１，５−ジアミノナ
フタレン、ベンジジン、３，３′−ジメチルベンジジ
ン、３，３′−ジメトキシベンジジン、４，４′（また
は３，４′−、３，３′−、２，４′−）−ジアミノジ
フェニルメタン、４，４′（または３，４′−、３，
３′−、２，４′−）−ジアミノジフェニルエーテル、
４，４′（または３，４′−、３，３′−、２，４′
−）−ジアミノジフェニルスルホン、４，４′（または
３，４′−、３，３′−、２，４′−）−ジアミノジフ
ェニルスルフィド、４，４′−ベンゾフェノンジアミ
ン、３，３′−ベンゾフェノンジアミン、４，４′−ジ
（４−アミノフェノキシ）フェニルスルホン、４，４′
−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、１，４−
ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス
（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，１，１，３，
３，３−ヘキサフルオロ−２，２−ビス（４−アミノフ
ェニル）プロパン、２，２−ビス［４−（４−アミノフ
ェノキシ）フェニル］プロパン、３，３′−ジメチル−
４，４′ジアミノジフェニルメタン、３，３′，５，
５′−テトラメチル−４，４′ジアミノジフェニルメタ
ン、４，４′−ジ（３−アミノフェノキシ）フェニルス
ルホン、３，３′−ジアミノジフェニルスルホン、２，
２′−ビス（４−アミノフェニル）プロパン等の芳香族
ジアミン、２，６−ジアミノピリジン、２，４−ジアミ
ノピリミジン、２，４−ジアミノ−Ｓ−トリアジン、
２，７−ジアミノジベンゾフラン、２，７−ジアミノカ
ルバゾール、３，７−ジアミノフェノチアジン、２，５
−ジアミノ−１，３，４−チアジアゾール、２，４−ジ
アミノ−６−フェニル−ｓ−トリアジン等の複素環式ジ
アミン、トリメチレンジアミン、テトラメチレンジアミ
ン、ヘキサメチレンジアミン、２，２−ジメチルプロピ
レンジアミン、下記に示すジアミノポリシロキサン等の
脂肪族ジアミンなどが挙げられる。
【化８】 （ｎ、ｍは１〜１０の整数であり、ｎとｍは同じでも良
い）
い）
【００２１】上記のテトラカルボン酸二無水物およびジ
アミン化合物はそれぞれ単独で用いても二種以上を組み
合わせて用いてもよい。
アミン化合物はそれぞれ単独で用いても二種以上を組み
合わせて用いてもよい。
【００２２】（Ｈ）セルロースエステル例えばメチルセ
ルロース、エチルセルロース
ルロース、エチルセルロース
【００２３】感光性組成物中に高分子量有機重合体を加
えることによって、基体への接着性、耐薬品性、フィル
ム性等の特性を改良することができる。この高分子量有
機重合体は、光硬化性の点から該高分子量有機重合体と
前記の付加重合性化合物の合計重量を基準として２０〜
８０重量％の範囲とすることが好ましい。高分子量有機
重合体を用いる場合にも、光開始剤の使用量は、常圧に
おいて１００℃以上の沸点を有する付加重合性化合物に
対して０．０１から３０重量％、好ましくは０．０５か
ら１０重量％の範囲とされる。
えることによって、基体への接着性、耐薬品性、フィル
ム性等の特性を改良することができる。この高分子量有
機重合体は、光硬化性の点から該高分子量有機重合体と
前記の付加重合性化合物の合計重量を基準として２０〜
８０重量％の範囲とすることが好ましい。高分子量有機
重合体を用いる場合にも、光開始剤の使用量は、常圧に
おいて１００℃以上の沸点を有する付加重合性化合物に
対して０．０１から３０重量％、好ましくは０．０５か
ら１０重量％の範囲とされる。
【００２４】本発明になる感光性組成物はまた必要に応
じて染料、顔料等の着色物質を含有してもよい。着色物
質としては、例えばフクシン、クリスタルバイオレッ
ト、メチルオレンジ、ナイルブルー２Ｂ、ビクトリアピ
ュアブルー、マラカイトグリーン、ナイトグリーンＢ、
スピロンブルー等があげられる。
じて染料、顔料等の着色物質を含有してもよい。着色物
質としては、例えばフクシン、クリスタルバイオレッ
ト、メチルオレンジ、ナイルブルー２Ｂ、ビクトリアピ
ュアブルー、マラカイトグリーン、ナイトグリーンＢ、
スピロンブルー等があげられる。
【００２５】本発明になる感光性組成物は保存時の安定
性を高めるためにラジカル重合禁止剤またはラジカル重
合抑制剤を含有してもよい。このようなものとしてはｐ
−メトキシフェノール、ｐ−ベンゾキノン、ハイドロキ
ノン、ピロガロール、ナフチルアミン、フェノチアジ
ン、アリールフォスファイト、ニトロソアミン等があ
る。
性を高めるためにラジカル重合禁止剤またはラジカル重
合抑制剤を含有してもよい。このようなものとしてはｐ
−メトキシフェノール、ｐ−ベンゾキノン、ハイドロキ
ノン、ピロガロール、ナフチルアミン、フェノチアジ
ン、アリールフォスファイト、ニトロソアミン等があ
る。
【００２６】本発明になる感光性組成物は感光性樹脂組
成物に用いることが知られている他の添加物、例えば可
塑剤、接着促進剤等の添加物を含有してもよい。
成物に用いることが知られている他の添加物、例えば可
塑剤、接着促進剤等の添加物を含有してもよい。
【００２７】本発明の感光材料は、上記のポリアミド
酸、上記の常圧において１００℃以上の沸点を有する付
加重合性化合物中の化学線により２量化または重合可能
な炭素炭素二重結合およびアミノ基またはその四級化塩
を有する化合物および光開始剤を含むものである。これ
らの使用割合は、感光性組成物の場合と同様とされる。
ポリアミド酸は、化学線により２量化または重合可能な
炭素、炭素二重結合およびアミノ基またはその四級化塩
を有する化合物を、ポリアミド酸の有するカルボキシル
基と等モルとなる量で用いることが好ましい。
酸、上記の常圧において１００℃以上の沸点を有する付
加重合性化合物中の化学線により２量化または重合可能
な炭素炭素二重結合およびアミノ基またはその四級化塩
を有する化合物および光開始剤を含むものである。これ
らの使用割合は、感光性組成物の場合と同様とされる。
ポリアミド酸は、化学線により２量化または重合可能な
炭素、炭素二重結合およびアミノ基またはその四級化塩
を有する化合物を、ポリアミド酸の有するカルボキシル
基と等モルとなる量で用いることが好ましい。
【００２８】本発明の感光材料を基材上に塗布、乾燥
し、露光、現像してパターンが製造される。本発明の感
光材料は、浸漬法、スプレー法、スクリーン印刷法、回
転塗布法等によってシリコンウエーハ、金属基板、ガラ
ス基板、セラミック基板等の基材上に塗布され、溶剤の
大部分を加熱乾燥することにより粘着性のない塗膜とす
ることが出来る。この塗膜上に、所望のパターンが描か
れたマスクを通して活性光線または化学線を照射する。
照射する活性光線または化学線としては、紫外線、遠紫
外線、可視光、電子線、Ｘ線などがある。照射後未照射
部を適当な現像液で溶解除去することにより所望のパタ
ーンを得る。現像液としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルム
アミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−
２−ピロリドンなどの良溶媒やこれらと低級アルコー
ル、水、芳香族炭化水素などの貧溶媒との混合溶媒が用
いられる。現像後は必要に応じて貧溶媒などでリンスを
行い、１００℃前後で乾燥しパターンを安定なものとす
る。
し、露光、現像してパターンが製造される。本発明の感
光材料は、浸漬法、スプレー法、スクリーン印刷法、回
転塗布法等によってシリコンウエーハ、金属基板、ガラ
ス基板、セラミック基板等の基材上に塗布され、溶剤の
大部分を加熱乾燥することにより粘着性のない塗膜とす
ることが出来る。この塗膜上に、所望のパターンが描か
れたマスクを通して活性光線または化学線を照射する。
照射する活性光線または化学線としては、紫外線、遠紫
外線、可視光、電子線、Ｘ線などがある。照射後未照射
部を適当な現像液で溶解除去することにより所望のパタ
ーンを得る。現像液としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルム
アミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−
２−ピロリドンなどの良溶媒やこれらと低級アルコー
ル、水、芳香族炭化水素などの貧溶媒との混合溶媒が用
いられる。現像後は必要に応じて貧溶媒などでリンスを
行い、１００℃前後で乾燥しパターンを安定なものとす
る。
【００２９】感光材料はビスアジド化合物を含んでもよ
く、ビスアジド化合物の例としては
く、ビスアジド化合物の例としては
【化９】
【化１０】 等が挙げられる。ビスアジド化合物は、ポリアミドに対
して０．０１〜１０重量％の範囲で用いることが好まし
い。
して０．０１〜１０重量％の範囲で用いることが好まし
い。
【００３０】感光材料に含まれる化学線により２量化ま
たは重合可能な炭素炭素二重結合およびアミノ基または
その四級化塩を有する化合物の例としては次の化合物が
あげられる。
たは重合可能な炭素炭素二重結合およびアミノ基または
その四級化塩を有する化合物の例としては次の化合物が
あげられる。
【化１１】
【００３１】
【実施例】以下に本発明を実施例を用いて更に詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例によって制限される
ものではない。 実施例１〜６、比較例１〜６ ４，４′−ジアミノジフェニルエーテルとピロメリット
酸二無水物とを等モルで常法により反応させて得られた
ポリアミド酸のＮ−メチル−２−ピロリドン溶液１０ｇ
（固形分２０重量％）、２−ジメチルアミノエチルメタ
クリレート１．８ｇおよび表１に示す光開始剤を配合し
た後撹拌混合し感光材料とした。フィルタで濾過した後
シリコンウエーハ上に回転塗布した。次いで、ホットプ
レート上１００℃で２００秒加熱し、溶剤を乾燥させて
感光性塗膜とした。乾燥後の膜厚は２０ミクロンであっ
た。塗膜上にフォトマスクを介し超高圧水銀灯を光源と
するミラープロジェクション露光機でパターン露光を行
った。このときの露光量は５００mJ/cm2であった。この
あとＮ−メチル−２−ピロリドンとメチルアルコールの
混合溶液（容積比：４／１）で浸漬現像を行った。さら
にイソプロパノールでリンスした。現像後のパターン形
状を測定、観察し、得られた残膜率（膜厚を初期の膜厚
で割った値）と最小開口スルホール径（開口径）を表１
および表２に示した。実施例４のウエーハについては、
これを窒素雰囲気下で１００℃で１５分、２００℃で２
０分、３５０℃で６０分加熱し最終硬化膜とした。最終
硬化膜厚１０ミクロンの良好なポリイミドパターンが得
られた。実施例に示したように本発明の感光性組成物は
比較例の組成物に比べて感光特性に優れたものである。
明するが、本発明はこれらの実施例によって制限される
ものではない。 実施例１〜６、比較例１〜６ ４，４′−ジアミノジフェニルエーテルとピロメリット
酸二無水物とを等モルで常法により反応させて得られた
ポリアミド酸のＮ−メチル−２−ピロリドン溶液１０ｇ
（固形分２０重量％）、２−ジメチルアミノエチルメタ
クリレート１．８ｇおよび表１に示す光開始剤を配合し
た後撹拌混合し感光材料とした。フィルタで濾過した後
シリコンウエーハ上に回転塗布した。次いで、ホットプ
レート上１００℃で２００秒加熱し、溶剤を乾燥させて
感光性塗膜とした。乾燥後の膜厚は２０ミクロンであっ
た。塗膜上にフォトマスクを介し超高圧水銀灯を光源と
するミラープロジェクション露光機でパターン露光を行
った。このときの露光量は５００mJ/cm2であった。この
あとＮ−メチル−２−ピロリドンとメチルアルコールの
混合溶液（容積比：４／１）で浸漬現像を行った。さら
にイソプロパノールでリンスした。現像後のパターン形
状を測定、観察し、得られた残膜率（膜厚を初期の膜厚
で割った値）と最小開口スルホール径（開口径）を表１
および表２に示した。実施例４のウエーハについては、
これを窒素雰囲気下で１００℃で１５分、２００℃で２
０分、３５０℃で６０分加熱し最終硬化膜とした。最終
硬化膜厚１０ミクロンの良好なポリイミドパターンが得
られた。実施例に示したように本発明の感光性組成物は
比較例の組成物に比べて感光特性に優れたものである。
【００３２】
【表１】
【００３３】
【表２】
【００３４】
【発明の効果】本発明になる光開始剤により、優れた感
光特性を示す感光性組成物および感光材料を得ることが
でき、この感光材料により良好なパターンを製造するこ
とができる。
光特性を示す感光性組成物および感光材料を得ることが
でき、この感光材料により良好なパターンを製造するこ
とができる。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/031 (72)発明者 布村 昌隆 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 鈴木 宏 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 佐藤 任廷 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社山崎工場内
Claims (5)
- 【請求項１】 下記の式（Ｉ）で示される３−置換クマ
リン化合物 【化１】 （式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3、Ｒ4およびＲ5は、水素原子、
１個の炭素数１から５のアルキル基で置換されたアミノ
基、２個の炭素数１から５のアルキル基で置換されたア
ミノ基、炭素数１から５のアルコキシ基、アシルオキシ
基、アリール基、ハロゲン原子または炭素数１から５の
チオアルキル基であり、Ｒ6はフェニル基、ビフェニル
基、ナフチル基、チエニル基、ベンゾフリル基、フリル
基、ピリジン基、クマリニル基、アミノ基、炭素数１か
ら５のアルキル基で置換されたアミノ基、シアノ基、炭
素数１から５のアルコキシ基、炭素数１から５のアルキ
ル基、ハロゲン原子、ハロアルキル基、ホルミル基、炭
素数１から５のアルコキシカルボニル基または炭素数１
から５のアシルオキシ基であり、フェニル基、ビフェニ
ル基、ナフチル基、チエニル基、ベンゾフリル基、フリ
ル基、ピリジン基およびクマリニル基は炭素数１から５
のアシル基で置換されてもよい）、下記の式（II）で示
されるチタノセン化合物 【化２】 （式中、Ｒ7、Ｒ8、Ｒ9、Ｒ10、Ｒ11、Ｒ12、Ｒ13、Ｒ
14、Ｒ15およびＲ16は、水素原子、ハロゲン原子、炭素
数１〜２０のアルコキシ基または複素環である）および
下記の式（III）で示されるオキシムエステル化合物 【化３】 （式中、Ｒ17およびＲ18は、水素原子、炭素数１〜６の
アルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基またはニトロ
基であり、Ｒ19は、炭素数１〜１２のアルキル基、炭素
数１〜１２のアルコキシ基、フェニル基、ベンジル基、
−ＯＣＨ2ＣＨ2ＯＣＨ3または−ＣＯ2ＣＨ2ＣＨ3であ
る）を含有してなる光開始剤。 - 【請求項２】 常圧において１００℃以上の沸点を有す
る付加重合性化合物および請求項１記載の光開始剤を含
有してなる感光性組成物。 - 【請求項３】 ポリアミド酸、化学線により２量化また
は重合可能な炭素炭素二重結合およびアミノ基またはそ
の四級化塩を有する化合物ならびに請求項１記載の光開
始剤を含有してなる感光材料。 - 【請求項４】 さらにビスアジド化合物を含有する請求
項４記載の感光材料。 - 【請求項５】 請求項３または４記載の感光材料を基材
上に塗布、乾燥し、露光、現像することを特徴とするパ
ターンの製造法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP6182239A JPH07278214A (ja) | 1994-02-15 | 1994-08-03 | 光開始剤、感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6-17951 | 1994-02-15 | ||
| JP1795194 | 1994-02-15 | ||
| JP6182239A JPH07278214A (ja) | 1994-02-15 | 1994-08-03 | 光開始剤、感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07278214A true JPH07278214A (ja) | 1995-10-24 |
Family
ID=26354553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6182239A Pending JPH07278214A (ja) | 1994-02-15 | 1994-08-03 | 光開始剤、感光性組成物、感光材料およびパターンの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07278214A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1994
- 1994-08-03 JP JP6182239A patent/JPH07278214A/ja active Pending
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