JPH07261407A

JPH07261407A - 可視光硬化型レジストの形成方法

Info

Publication number: JPH07261407A
Application number: JP7544294A
Authority: JP
Inventors: Akira Yanagase; 昭柳ケ瀬; Tadayuki Fujiwara; 匡之藤原
Original assignee: Mitsubishi Rayon Co Ltd
Current assignee: Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority date: 1994-03-23
Filing date: 1994-03-23
Publication date: 1995-10-13

Abstract

(57)【要約】【目的】可視光硬化型レジストの形成方法を開発す
る。【構成】バインダー用熱可塑性重合体（Ａ）と、１分
子中に２個以上のエチレン性不飽和基を有する少なくと
も１種の架橋性単量体（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）と
から構成され、可視光硬化型組成物を基板に積層し、可
視光を照射して所望のパターンを得る際に、可視光照射
後２４時間以内に４０℃以上の温度で３０〜６０分間の
加熱処理を行う、可視光硬化型レジストの形成方法。【効果】可視光レーザーを用いて直接描画する場合に
高速で走査露光してもファインなパターンが得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、可視光硬化型レジスト
の形成方法に関し、より詳しくは、プリント配線板の製
造、印刷用製版あるいは金属微細加工等の分野でエッチ
ングやメッキのレジストとして可視光硬化型レジストを
用いる場合のレジストの形成方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】感光性レジストは、プリント配線板製造
用レジスト、平版ないし凸版用製版材、オフセット印刷
用ＰＳ版、情報記録材料、レリーフ像作製材料、金属微
細加工等多種の用途に広く使われている。これら感光性
レジストは紫外線に感光するものが多いが、その感度は
一般に数十〜数百ｍＪ／ｃｍ² であるため高出力の光源
を必要とし、しかも記録に対するエネルギー変換効率が
悪いという欠点がある。

【０００３】他方、レーザーのような高エネルギー密度
の光源を用いて直接描画することにより画像を形成する
方法があり、この方法は、エネルギー変換効率が良くな
るという利点だけでなく、直接描画するため、フォトル
ーツの作成が不要となり、画像形成工程が大幅に簡略化
できるという利点がある。この場合、直接描画の走査露
光光源として紫外線レーザーを用いるよりも、寿命、強
度の面で安定な発振線が得られる可視光レーザーを用い
る方が有利である。このため、可視光レーザーによって
走査露光が可能な感度を有する可視硬化型組成物の出現
が望まれており、波長４８８ｎｍの可視領域に安定な発
振線を持つアルゴンレーザーに対して高感度な可視光硬
化型組成物が多く提案されている。

【０００４】この可視光硬化型組成物を用いてパターン
を形成する場合、走査露光時間の短縮が大きな課題であ
る。すなわち、従来の可視光硬化型組成物では高速で走
査露光した場合、組成物の硬化が不十分となり現像にお
いて硬化物のエッジが欠けたりするため、ファインなパ
ターンが得られないという問題があった。

【０００５】一方、走査速度を遅くして露光量を増やせ
ば、ファインなパターンを得ることができるが、走査時
間が長くなり、生産性が悪く、工業的な使用に適さなく
なる。また、露光量が多すぎても今度は被りが発生し、
ファインなパターンが得にくくなるという問題がある。

【０００６】

【課題が解決しようとする課題】本発明の目的とすると
ころは、可視光レーザーを用いて直接描画する場合に高
速で走査露光してもファインなパターンが得られるよう
な可視光硬化型レジストの形成方法を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成すべく鋭意検討した結果、可視光硬化型組成物
を特定の条件下にて、光照射および加熱処理を行うこと
により、上記の目的が達成されることを見い出し、本発
明を完成するに至った。すなわち、本発明は、バインダ
ー用熱可塑性重合体（Ａ）と、１分子中に２個以上のエ
チレン性不飽和基を有する少なくとも１種の架橋性単量
体（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とから構成される可視
光硬化型組成物を基板に積層し、可視光を照射して所望
のパターンを得る際に、可視光照射後２４時間以内に４
０℃以上の温度で３０〜６０分間の加熱処理を行うこと
を特徴とする可視光硬化型レジストの形成方法にある。

【０００８】本発明において可視光硬化型組成物を構成
するバインダー用熱可塑性重合体（Ａ）は、基本的に現
像液によって現像され得るものであれば特に限定されず
使用可能である。その現像液の種類によって溶剤現像
型、アルカリ水溶液現像型等があるが、廃液処理、環境
問題等からアルカリ水溶液現像型が好ましい。アルカリ
水溶液現像型の場合には、上記のバインダー用熱可塑性
重合体（Ａ）は炭酸ナトリウム等のアルカリ希薄水溶液
で現像できるよう、３〜１５個の炭素原子を有するα，
β−不飽和カルボキシル基含有単量体の少なくとも１種
（ａ−１）（以下カルボン酸型単量体（ａ−１）とい
う。）と、他の共重合可能な単量体との共重合体からな
る。

【０００９】本発明に使用される上記カルボン酸型単量
体（ａ−１）の例としては、アクリル酸、メタクリル
酸、ケイ皮酸、クロトン酸、ソルビン酸、イタコン酸、
プロピオール酸、マレイン酸およびフマル酸等が挙げら
れ、また、これらの半エステル類あるいは無水物も使用
可能である。これらのうち最も好ましい化合物はアクリ
ル酸とメタクリル酸である。これらのカルボン酸型単量
体（ａ−１）は、バインダー用熱可塑性重合体（Ａ）中
１５〜３５重量％となる量含有させることが好ましい。
含有量が１５重量％未満では、アルカリ水溶液によって
現像できないか、または現像時間がながくかかりすぎて
解像度が低下し、また、一方、含有量が３５重量％を超
える場合には、パターンとして残す光硬化部もアルカリ
性現像液により膨潤して除去されやすくなるため、高解
像度パターンを得る際の現像コントロールが困難とな
り、また、硬化部の耐水性も低下するようになる。

【００１０】本発明においてバインダー用熱可塑性重合
体（Ａ）を構成するのに使用される上記カルボン酸型単
量体（ａ−１）と共重合可能な他の単量体としては、下
記式（Ｉ）

【化１】で示される化合物およびその環置換誘導体から選ばれる
少なくとも１種の化合物（ａ−２）（以下、芳香族ビニ
ル化合物（ａ−２）という。）およびアルキル基が１〜
８個の炭素原子を有するアルキル（メタ）アクリレート
およびヒドロキシアルキル基が２〜８個の炭素原子を有
するヒドロキシアルキル（メタ）アクリレートから選ば
れる少なくとも１種の化合物（ａ−３）（以下、（メ
タ）アクリレート化合物（ａ−３）という。）等が挙げ
られる。

【００１１】上記式（Ｉ）で示される芳香族ビニル化合
物（ａ−２）としては、例えば、スチレン、およびベン
ゼン環の置換基がニトロ基、アルキル基、アルコキシ
基、アシル基、カルボキシル基、スルホン基、ヒドロキ
シ基またはハロゲン等であり、ベンゼン環の置換残基が
１〜５の範囲であってもよい環置換誘導体が挙げられ
る。ベンゼン環置換誘導体での好ましい置換基は、メチ
ル基またはｔ−ブチル基等の単一アルキル基である。こ
れら芳香族ビニル化合物（ａ−２）の中でも最も好まし
いのはスチレンである。

【００１２】（メタ）アクリレート化合物（ａ−３）と
しては、例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル
（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレ
ート、ｉｓｏ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブ
チル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）ア
クリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒ
ドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ
プロピル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル
（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの化合物
のうち最も好ましい化合物は、メチルメタクリレート、
メチルアクリレート、エチルアクリレート、ｎ−ブチル
アクリレートおよび２−エチルヘキシルアクリレートで
ある。

【００１３】上記式（Ｉ）で示される芳香族ビニル化合
物（ａ−２）および（メタ）アクリレート化合物（ａ−
３）の使用量は、上記カルボン酸型単量体（ａ−１）の
残量重量％、すなわち、バインダー用熱可塑性重合体
（Ａ）中、８５〜６５重量％となる量である。

【００１４】本発明において、使用するバインダー用熱
可塑性重合体（Ａ）は、本発明の成分（Ａ），（Ｂ）お
よび（Ｃ）からなる可視光硬化型組成物１００重量部中
４５〜７５重量部、好ましくは５０〜７０重量部含有さ
れる。バインダー用熱可塑性重合体（Ａ）の含有量が４
５重量部未満では得られる可視光硬化型組成物のフィル
ム形成性が損なわれ十分な膜強度が得られず、剥離時間
も長くなる。一方、バインダー用熱可塑性重合体（Ａ）
の含有量が７５重量部を超えると得られる可視光硬化型
組成物の柔軟性が低下し、基材表面との密着力が損われ
るようになる。また、このような組成物を硬化した後の
硬化膜は、現像すると表面の光沢が失われたり、十分な
耐薬品性、特に耐メッキ性、耐エッチング性が得られな
かったりする。

【００１５】次に、本発明において可視光硬化型組成物
を構成するのに使用される１分子中に２個以上のエチレ
ン性不飽和基を有する少なくとも１種の架橋性単量体
（Ｂ）（以下、架橋性単量体（Ｂ）という。）について
説明する。架橋性単量体（Ｂ）の具体例としては、１，
３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−
ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチ
ルグリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレング
リコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリ
コールジ（メタ）アクリレート、２，２−ビス［４−
（メタ）アクリロイルオキシポリエトキシフェニル］プ
ロパン、２，２−ビス［４−（メタ）アクリロイルオキ
シポリプロピレンオキシフェニル］プロパン、ヒドロキ
シピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリ
レート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、グリセリ
ントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタンジ
（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メ
タ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）
アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）ア
クリレート、トリメチロールプロパントリス［ポリエト
キシ（メタ）アクリレート］、トリメチロールプロパン
トリス［ポリプロピレンオキシ（メタ）アクリレー
ト］、イソシアヌル酸トリエチロールジ（メタ）アクリ
レート、イソシアヌル酸トリエチロールトリ（メタ）ア
クリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレー
ト等の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類、
エポキシ（メタ）アクリレート類およびウレタン（メ
タ）アクリレート類等が挙げられ、これらは１種または
２種以上を混合して使用することができる。

【００１６】これらの架橋性単量体は（Ｂ）は、本発明
の成分（Ａ），（Ｂ）および（Ｃ）からなる可視光硬化
型組成物１００重量部中の２５〜５５重量部含有され
る。架橋性単量体（Ｂ）の含有量が２５重量部未満のも
のはアルカリ水溶液で現像すると表面の光沢が失われた
りする。一方、架橋性単量体（Ｂ）の含有量が５５重量
部を超えて使用すると未硬化組成物が柔軟になりすぎ
て、充分な膜強度が得られない等の不都合な問題が起こ
りやすくなる。

【００１７】本発明において可視光硬化型組成物を構成
する光重合開始剤（Ｃ）は、可視光硬化を行わせるため
に必須であり、可視光重合開始剤単独、可視光重合開始
剤と増感剤との組合わせ、またはラジカル発生剤と増感
剤とを組み合わせた光重合開始剤等を使用することがで
きる。その具体例としては、チタノセン化合物、チタノ
セン化合物とクマリン誘導体またはケトクマン誘導体と
の組み合わせ、有機過酸化物とクマリン誘導体またはケ
トクマリン誘導体との組み合わせ、ビスイミダゾールと
Ｎ−ビニルコハク酸イミダおよびチオール化合物との組
み合わせ、ジフェニルヨードニウム塩とメロシアニン色
素またはチオキサンテン色素との組み合わせ、Ｎ−フェ
ニルグリシンとケトクマリン誘導体との組み合わせ、イ
ミダゾール二量体とアクジン色素またはアリールケトン
類との組み合わせ、２，４，６−トリス（トリクロロメ
チル）−５−トリアジン、３−フェニル−５−イソオキ
サゾロン、２−メルカプトベンズイミダゾール等とメロ
シアニン色素、芳香族ケトンとの組合せ等が挙げられ
る。

【００１８】上記の光重合開始剤（Ｃ）の使用量は、バ
インダー用熱可塑性重合体（Ａ）と架橋性単量体（Ｂ）
の合計１００重量部に対して０．００１〜１０重量部含
有される。０．００１重量部未満の場合には十分に光硬
化せず、一方、１０重量部を超える場合には熱的に不安
定となる。

【００１９】本発明において使用される可視光硬化型組
成物には、硬化物の架橋密度を調整し、適度の柔軟性を
得ることを目的として、１分子中に１個のエチレン性不
飽和基を有する重合性単量体を添加してもよい。この化
合物の例としては、フェノキシジエトキシ（メタ）アク
リレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）ア
クリレート、ｎ−ブトキシメチルアクリルアミド、ｉｓ
ｏ−ブトキシメチルアクリルアミド等が挙げられ、これ
らは１種あるいは２種以上を混合して使用することがで
きる。１分子中に１個のエチレン性不飽和基を有する重
合性単量体の使用量は、上記の架橋性単量体（Ｂ）の使
用量を超えない範囲で使用するのが好ましい。その使用
量が超える場合には、得られる可視光硬化型組成物の柔
軟性は向上するものの架橋密度が低くなり過ぎて硬化物
の耐薬品性が低下するようになる。

【００２０】また、本発明において使用される可視光硬
化型組成物には、基材の金属表面との密着性をより一層
向上させるためにテトラゾールあるいはその誘導体を含
有させてもよい。テトラゾールあるいはその誘導体は、
少量の添加で金属面への密着性を向上させることがで
き、その例としては、１−フェニルテトラゾール、５−
フェニルテトラゾール、５−アミノテトラゾール、５−
アミノ−１−メチルテトラゾール、５−アミノ−２−フ
ェニルテトラゾール、５−メルカプト−１−フェニルテ
トラゾール、５−メルカプト−１−メチルテトラゾール
等が挙げられ、これらは１種以上を併用できる。

【００２１】テトラゾールあるいはその誘導体の使用量
は、バインダー用熱可塑性重合体（Ａ）と架橋性単量体
（Ｂ）の合計１００重量部に対して０．００５〜５重量
部の範囲であることが好ましい。使用量が０．００５未
満では基材の金属表面への密着性が不十分となり、一
方、使用量が５重量部を超えると可視光硬化型組成物へ
の溶解に長時間を要し、また、可視光硬化型組成物の感
度も低下するようになる。

【００２２】さらに、本発明方法においては可視光硬化
型組成物に必要に応じて熱重合禁止剤、染料、可塑剤お
よび充填剤のような成分を添加することもできる。

【００２３】次に本発明の可視光硬化型組成物を用いた
レジストの形成方法の１例について述べる。本発明の方
法においては、可視光硬化型組成物は、沸点のあまり高
くない溶剤、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、
メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ジクロロメタ
ン、クロロホルム、メチルアルコール、エチルアルコー
ル、イソプロピルアルコール等の１種のまたは２種以上
に溶解、混合した均一な溶液状としたものが好ましく用
いられる。これら溶剤の使用量はバインダー用熱可塑性
重合体（Ａ）と架橋性単量体（Ｂ）の合計１００重量部
に対して２００重量部以下、好ましくは５０〜１５０重
量部である。

【００２４】まず第１段階として、目的とする基材の金
属表面に、上記可視光硬化型組成物からなる可視光硬化
型組成物層を形成させる。形成方法は、上記組成物をス
クリーン印刷法、スプレー法、カーテンコート法等の公
知の方法で塗布することも可能であるが、作業環境や工
程の簡略化等を考慮するとドライフィルムレジスト法が
好ましい。ドライフィルムレジスト法とは、上記溶液状
の組成物をポリエチレンテレフタレート等の支持フィル
ム上に塗布、乾燥してドライフィルムレジストとし、こ
れを基材にラミネートして可視光硬化型組成物層を形成
させる方法である。本発明の可視光硬化型組成物を用い
てドライフィルムレジストを形成させるには、ブレード
コーター、ロッドコーター、ナイフコーター、ロールド
クターコーター、コンマコーター、リバースロールコー
ター、トランスファロールコーター、グラビアコータ
ー、キスロールコーター、カーテンコーター等を用いて
塗布することができるが、溶剤を揮散させる必要があ
る。乾燥機としては可燃性有機溶剤を使用する場合には
安全性の点から蒸気による空気加熱式の熱源を備えたも
のを用い乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方式および
ノズルより支持体に吹き付ける方式等が用いられる。乾
燥機の形状は、アーチ式、フラット式等目的に合わせて
選択して用いられる。

【００２５】乾燥後のドライフィルムレジストにはポリ
エチレンやポリプロピレンのような保護フィルムをラミ
ネートして用いることが好ましい。

【００２６】ドライフィルムレジストを基材にラミネー
トする方法としては、当該分野で公知の各種方法、例え
ば、常圧熱ロール圧着法、真空熱ロール圧着法、真空熱
プレス圧着法等を用いることができる。

【００２７】このドライフィルムレジストを基材にラミ
ネートするとき、レジストの基材表面の傷等への埋まり
込み性を良くするため、通常は、１２０℃近くの温度を
かけてラミネートする。次に、パターンを形成させるた
めに可視光硬化型組成物の可視光照射を行う。可視光照
射方法としては、画像に応じて可視光レーザーを用いて
走査露光を行う。可視光レーザー光源としては、４５８
ｎｍ、４８８ｎｍまたは５１４．５ｎｍに発振線を持つ
アルゴンレーザー、４４２ｎｍに発振線をもつヘリウム
−カドミウムレーザー等を使用する事ができる。

【００２８】次にアルカリ現像液を用いた未硬化部分
（未露光部分）の除去、すなわち、現像処理を行う。ア
ルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム水溶
液、リン酸ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液を用
いることができ、これらの水溶液に少量の消泡剤や界面
活性剤を添加することも可能である。また、除去方法と
しては、最も一般的にはスプレー法が使用されるが、そ
の一部を浸漬法で代替させることも可能である。

【００２９】本発明の可視光硬化型レジストの形成方法
では、上記の現像処理の前に熱処理を行う。熱処理条件
としては、可視光照射後２４時間以内に４０℃以上の温
度で３０〜６０分間の加熱処理を行う。熱処理温度は４
０℃以上１００℃以下が好ましく、４０℃未満では長時
間熱処理を行っても効果は少なく、また、１００℃を超
える高温にしても効果の向上は望めず、製造コストの上
昇を招くようになる。また、熱処理時間が３０分未満で
は熱処理温度が高温であっても効果が少なく、一方、熱
処理時間が６０分を超えて熱処理を行っても効果の向上
は少なく、工程時間の延長を招くだけとなる。この熱処
理を行うことにより、高速で走査露光しても現像におい
ては硬化部分が欠けたりすることがなく、非常にファイ
ンなパターンを得ることができる。

【００３０】

【実施例】以下、実施例および比較例に基づいて本発明
を具体的に説明する。例中の評価は下記に示す方法を用
いて実施した。

【００３１】（１）基板へのラミネートおよび最少現像
時間の測定保護フィルムを剥離したドライフィルムレジストを、表
面を研磨した片面銅張り積層板（ＦＲ−４、板厚１．６
ｍｍ、銅厚１８μｍ）の銅面に熱ラミネートした。ラミ
ネートは（株）ＭＣＫ製ドライフィルムレジスト用ラミ
ネータ、ＭＬ−４８０Ｄを用い、ロール温度１２０℃、
ラミネート速度１．５ｍ／分、エアーシリンダー圧力
１．６ｋｇ／ｃｍ² 、で実施した。ラミネート後２０分
放置した後、ポリエステル支持フィルムを剥離し、１重
量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレーし続け、架橋硬化
型樹脂層が完全に除去される時間（最少現像時間）を測
定した。この時の現像条件として液温３０℃、スプレー
圧１．６ｋｇ／ｃｍ² 、スプレーノズルと基板との距離
１０ｃｍとした。（２）ラインエッジ形状日本電気（株）製アルゴンレーザー（ＧＬＧ３０２８）
の４８８ｎｍの出力を光源として、光学系を通してビー
ム径を３５μｍに集光したレーザー光を、試験板上に走
査露光して、１００μｍのラインアンドスペースのパタ
ーンを描画した。次いで、表２に示す条件にて、熱処理
を行った。その後、ポリエステルフィルムを剥離し、上
記現像条件にて、測定した最少現像時間の２倍の時間現
像した。そして、現像後の試験板上の硬化部分のライン
エッジ形状を電子顕微鏡にて下記基準で評価した。評価基準； ○…ラインスペースが１００μｍ／１００μｍに切れて
おりラインに欠けが無く形状がシャープで良好である。 △…ラインに欠けがやや多い。 ×…ラインに欠けが非常に多い。

【００３２】また、例中に用いた略記号は以下の化合物
を示す。（１）架橋性単量体Ａ

【化２】（２）架橋性単量体Ｂ

【化３】（３）架橋性単量体Ｃ

【化４】（４）ＣＧＩ−７８４Ｓ：可視光開始剤（チバガイギー
社製）（５）クマリン−６：増感剤（日本感光色素研究所）（６）ＶＰＢ：５−ビクトリアピュアブルー（バックグ
ランド染料）

【００３３】バインダー用熱可塑性重合体溶液Ａの合成
例（１）使用原料（重合性単量体）メタクリル酸５０ｇスチレン２０ｇメチルアクリレート５０ｇメチルメタクリレート８０ｇ（溶剤）メチルエチルケトン１００ｇイソプロピルアルコール２２０ｇ（重合開始剤）アゾビスイソブチロニトリル２ｇ

【００３４】窒素導入口、撹拌機、コンデンサーおよび
温度計を備えた１０００ｍｌの４つ口フラスコに、窒素
雰囲気下で上記重合性単量体の全量、およびイソプロピ
ルアルコール１４０ｇ、アゾビスイソブチロニトリル
０．４ｇを入れ、撹拌しながら湯浴の温度を８０℃に上
げ、その温度で２時間重合させた。次いでアゾビスイソ
ブチロニトリルの残量を１時間置きに５回に分けて添加
した後、フラスコ内温を溶剤の沸点まで上昇させてその
温度でさらに２時間重合させた。その後、残量を添加し
て重合反応物をフラスコより取り出し、熱可塑性重合体
Ａの溶液を得た。なお、熱可塑性重合体Ａにおける単量
体混合物の重合率は９９．５％以上であり、熱可塑性重
合体溶液中の固形分量は３８．７重量％であった。

【００３５】実施例１〜６、比較例１〜５上記合成例で得た熱可塑性重合体Ａの溶液を用いて表１
に示す如くの組成を有する可視光硬化型組成物溶液を調
製した。

【００３６】

【表１】

【００３７】この調製した組成物溶液をプロペラ型でミ
キサーで撹拌し、厚さ２０μｍのポリエステルフィルム
上に塗工巾３００ｍｍに塗布し、次いで乾燥させ、可視
光硬化型組成物層の厚さを５０μｍとした。続いて、そ
の乾燥塗膜上に厚さ３０μｍのポリエチレン性保護フィ
ルムをラミネートした後、両端をスリットにより除去し
て巾２５０ｍｍとし、外形１０ｃｍのＡＢＳ樹脂製コア
上に１２０ｍの長さにロール状に巻き取った。得られた
可視光硬化型組成物についての評価結果を表３に示す。

【００３８】

【表２】

【００３９】

【表３】

【００４０】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の可視光硬
化型レジストの形成方法を用いれば、可視光レーザーを
高速で走査露光しても硬化したラインの形状は欠けがな
く、非常にシャープで、ファインなパターンが精度良く
得られる。このため、本発明の形成方法はプリント配線
板の製造、印刷製版あるいは金属微細加工等の分野にお
いて極めて有用である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０３Ｆ 7/033 Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｆ 3/06 ＧＨ 3/18 Ｄ 7511−4Ｅ 3/28 Ｄ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】バインダー用熱可塑性重合体（Ａ）と、
１分子中に２個以上のエチレン性不飽和基を有する少な
くとも１種の架橋性単量体（Ｂ）と、光重合開始剤
（Ｃ）とから構成される可視光硬化型組成物を基板に積
層し、可視光を照射して所望のパターンを得る際に、可
視光照射後２４時間以内に４０℃以上の温度で３０〜６
０分間の加熱処理を行うことを特徴とする可視光硬化型
レジストの形成方法。