JPH0726051A

JPH0726051A - 新規なフッ素系樹脂発泡体

Info

Publication number: JPH0726051A
Application number: JP6096279A
Authority: JP
Inventors: Shunko Hane; 俊興羽根; Hisao Koike; 尚生小池
Original assignee: Asahi Chemical Industry Co Ltd
Current assignee: Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority date: 1993-05-11
Filing date: 1994-05-10
Publication date: 1995-01-27

Abstract

(57)【要約】【目的】軽量性、耐熱性、断熱性、耐候性、耐薬品性
に富み、優れた精密研磨布、電気絶縁テ−プとして有用
であり、またソフトガスケット、テント生地、膜構造建
築の屋根材として有用な発泡体を提供する。【構成】架橋構造を有しない熱可塑性フッ素系樹脂から
なり、任意の切断面に存在する個々のオ−プンセルの最
大径の最大値（Ｌ_Max.）、最小値（Ｌ_Min.）及び平均値
（Ｌ_av.）で表されるバラツキ指数、及び該最大径の変
動係数（Ｃｖ）が下記（１）、（２）式を満足する新規
なフッ素系樹脂発泡体。０＜（Ｌ_Max.−Ｌ_Min.）／Ｌ_av.≦６（１）０＜Ｃｖ≦１（２）

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は適度な摩耗性を有する熱
可塑性のフッ素系樹脂からなる発泡体に関するものであ
り軽量性、クッション性、耐熱性、耐薬品性の特徴を活
して優れた精密研磨布として利用され、また断熱性、耐
候性、更に低誘電特性を始めとして電気特性に優れた特
徴を有し、ソフトガスケット、電気絶縁テ−プ、電線被
覆材また断熱性を活してテント生地、膜構造建築の屋根
材更には断熱チュ−ブ等広範な用途に極めて有効な発泡
体である。

【０００２】

【従来の技術】近年、シリコン単結晶ウエハ−、化合物
半導体ウエハ−、液晶用ガラス基板、液晶用カラ−フィ
ルタ−等の電子材料分野における材料の表面超平滑性の
要求が益々高まっている。例えば、集積回路では４Ｍビ
ットから１６Ｍビット、６４Ｍビットへと高集積化が進
んでおり、これに伴い回路の素線幅はサブミクロンとな
って来た。従って、鏡面に磨かれたウエハ−の表面形状
精度に対する要求は益々厳しくなっており、一方生産性
の向上の観点からシリコンウエハ−は大口径化されて来
ており、シリコンウエハ−の鏡面仕上げ精度への要求は
両面相まって一層厳しさを増してきている。また、ガリ
ウム／ひ素に代表される化合物半導体も近年応用が進
み、種々の分野で応用されているが、この化合物半導体
はシリコン半導体に比べ加工上傷付き易いという欠点を
有し、その鏡面加工仕上げにはシリコン以上の細心の注
意と工夫が必要である。更に、液晶を応用したディスプ
レ−（ＬＣＤ）が多くの分野で使用されるようになって
きており、カラ−化や大型化への技術進歩には目を見張
るものがある。特にＴＦＴ（ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒ
ａｎｓｉｓｔｏｒ）カラ−液晶は今後大きな市場を形成
すると期待されている。しかし、ＴＦＴ型はガラス基板
上に極微細な電極類を成膜形成して行くが、電極欠陥が
画素の欠陥として現れるため一つの欠陥も許容されず、
そのためガラス基板の表面平滑性に対する要求は厳しい
ものがあり、大型化を指向している状況ではこの要求は
一層強まって来ている。また、カラ−ＬＣＤに使用され
るカラ−フィルタ−も基板に３原色の色素を所定のパタ
−ン通りに印刷等で形成して作られるが、ＬＣＤの高画
質への要求から画素が微細化してきておりそのためパタ
−ンも微細化する必要があり、パタ−ンのズレや膜厚の
バラツキ等が許容されず、基板の平滑性に対する要求も
±０．３μｍ以下という超平坦化が要求されてきてい
る。このような材料の表面超平滑性の要求に対応するた
め研磨方法においても種々の改良がなされてきている。

【０００３】研磨布については、従来のピッチやワック
スポリッシャ−に替えてポリエステル基布上にポリウレ
タン発泡層を積層させた研磨布が使用されているが、該
研磨布は基布層の緻密度のバラツキ、発泡層の気泡の大
きさ、密度のバラツキにより被研磨面の平面度、均一性
にバラツキが出易く、また表面研磨に働く層が薄いため
耐久性に乏しく、化合物半導体用の研磨においてはその
エッチング液等に侵される等の問題があった。これら問
題を解決するために特公平４−８１８６号公報において
発泡倍率１．５〜３０倍、平均セル径が３００μｍ以下
で未発泡樹脂層を０〜７０％含有するフッ素樹脂発泡体
からなる研磨布が開示されている。また特開平１−１９
３１６６号公報にはフッ素樹脂発泡体を材質とする半導
体ウエハ−鏡面研磨用パッドが開示されている。該研磨
布は耐薬品性及び被研磨体の表面平滑性については充分
な性能を発現するものの、被研磨体としてのウエハ−を
一定条件下で何枚も研磨する間に、該被研磨体の表面精
度が維持出来なくなったり研磨速度が変動したりする場
合があった。すなわち、研磨布としての経時性能安定性
に不安があり、その都度研磨布の表面にツル−イング
（硬質物質を用いてパッド表面を磨き、表面の凹凸を修
正ないし調練し高平面度にすること）を施したり、研磨
条件を変更する等の必要があった。これは研磨布１枚当
たりのウエハ−生産性の低下を来たし極めて不利であっ
た。この原因は明確ではないが研磨布表面に存在するオ
−プンセル（表面に露出した気泡で、気泡を構成する気
泡壁がカットされたもの）の大きさ及びその均一性や研
磨布自体の摩耗特性が最適化されていないためか、初期
においては研磨布表面に存在して研磨材を保持しかつ研
磨圧力を受けているオ−プンセルの大きさや個数が研磨
の進行と共に研磨布それ自体も摩耗していく過程におい
て変動するために研磨布と被研磨体の界面状態が変動す
るためではないかと思われる。

【０００４】一方、従来からフッ素系樹脂の優れた特
性、例えば耐熱性、耐溶剤性、耐候性、電気絶縁性、難
燃性等を活しつつ、発泡体としての特性、例えば軽量
性、圧縮弾性、低誘電率性、断熱性等を具備せしめた新
規な発泡体が種々提案されており、特に電線被覆の分野
で活発である。しかしながら、従来から開示されている
発泡体は発泡倍率が低いためか硬度が高く、その用途も
自ずから限界があった。例えば、特開昭５４−４１９６
９号公報、特開昭５７−１２３２３３号公報、特開昭５
９−１１３４０号公報、特開昭６０−４４５３２号公
報、特開昭６１−５３３３６号公報、特開昭６１−９１
２２９号公報、特開昭６１−１６２５３４号公報、特開
昭６２−９８５０７号公報、特開平１−１５３７３８号
公報、特開平１−２６８７３０号公報、特開平１−２６
８７３１号公報、ＵＳＰ３０７２５８３号公報に開示さ
れている発泡体はいずれも発泡倍率はせいぜい４倍前後
で硬度が高く発泡体としての機能は不十分であった。更
にＵＳＰ４７６１２５６号公報、ＵＳＰ５１６０６７４
号公報には微細気泡の発泡体が開示されているが該発泡
体も発泡倍率が３倍を越えず硬度の高いものであった。
特開昭６２−５０３４０号公報、特開平４−３１４４６
号公報には高倍発泡で硬度が低いと予想される発泡体が
開示されているが、該発泡体は気泡径が大きいため気泡
径の分布が大きくなることが避けられず表面平滑性に劣
るという難点があった。特開昭６２−１１２６３７号公
報、特開昭６２−２５２４３５号公報、特開昭６２−２
８０２３６号公報には高倍発泡で気泡径の小さい発泡体
が開示されており優れた特性を発現するものの、該発泡
体は製造工程において発泡適性を賦与するため樹脂に架
橋構造を導入せしめており、工程が煩雑であると共に架
橋性の樹脂に限定されること、架橋処理時に酸性ガスが
発生し安全性の面で難点があること、また再溶融させて
樹脂をリサイクルさせることが出来ないこと等の難点を
抱えていた。特開平５−２３９２４９号公報には高沸点
の発泡剤を使用して高倍率でかつ微小気泡の発泡体が開
示されている。しかし、該発泡体は高沸点の発泡剤を使
用するため、発泡後の冷却により発泡剤が発泡体の気泡
内部で凝縮し気泡内圧力が低下して、特にシ−ト状やテ
−プ状の場合寸法変化を生じ易く、表面平滑性に優れる
安定した発泡体が得られにくいという傾向があった。す
なわち、従来技術では架橋構造を有しないフッ素系樹脂
の発泡体で微細な気泡でかつ均一な気泡径の分布を有
し、発泡体として適度な硬度を有するものは未だ知られ
ていなかった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明者等は従来のフ
ッ素系樹脂発泡体の一用途分野である精密研磨布におい
て被研磨体としてのウエハ−を一定条件下で何枚も研磨
する間に、該被研磨体の表面精度が維持出来なくなった
り研磨速度が変動したりするような研磨性能の経時安定
性の問題を解決すると共に、一研磨布用途に限らず発泡
体としての特性を具備した広範な用途分野においてきわ
めて優れた性能を発揮する架橋構造を有しない新規なフ
ッ素系樹脂発泡体を開発するために鋭意研究した結果、
本発明を完成するに至った。

【０００６】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、架
橋構造を有しない熱可塑性フッ素系樹脂からなる発泡体
で、該発泡体の任意の切断面に存在する開放された気泡
の最大径の最大値（Ｌ_Max.）、最小値（Ｌ_Mi _n.）及び平
均値（Ｌ_av.）で表されるバラツキ指数（（Ｌ_Max.−Ｌ
_Min.）／Ｌ_av _.）、及び該気泡の最大径の変動係数（Ｃ
v ）が下記の（１）、（２）式を満足する新規なフッ素
系樹脂発泡体である。

【０００７】０＜（Ｌ_Max.−Ｌ_Min.）／Ｌ_av.≦６（１）０＜Ｃｖ≦１（２）以下、本発明を詳細に説明する。本発明の発泡体の任意
の切断面に存在する開放された気泡は、（１）式：０＜
（Ｌ_Max.−Ｌ_Min.）／Ｌ_av.≦６（以後｛（Ｌ_Max.−Ｌ
_Min.）／Ｌ_av.｝をバラツキ指数と呼ぶ）、及び（２）
式：０＜Ｃｖ≦１を満足しなければならない。

【０００８】また、ここで開放された気泡とは、前述の
従来の記述の項で説明したオ−プンセルのことであり、
表面に露出した気泡で、気泡を構成する気泡壁がカット
されたものをいい、該気泡の最大径とは気泡膜で２次元
的に閉じられた領域の最大長さをいう。さらに、発泡体
の任意の切断面に存在する開放された気泡の最大径の変
動係数（Ｃｖ）は標準偏差（ＳＤ）を平均値で除した値
であり、（Ｃｖ）＝（ＳＤ）／Ｌ_av.で表される。

【０００９】発泡体を切断した場合その切断面が必ず発
泡体を構成する個々の気泡の中心を切断することは有り
得ず、ある気泡においてはその中心を、ある気泡におい
ては中心からずれた箇所を切断することになり、その結
果気泡の大きさが同じでも切断面に露出するオ−プンセ
ルの大きさは同じにはならない。従って、オ−プンセル
の大きさを均一にしようとすれば気泡の大きさを微細に
かつ均一にする必要がある。

【００１０】本発明の発泡体をシ−ト状として精密研磨
布に使用する場合、該シ−トの切断面に露出するオ−プ
ンセルの大きさの均一性は極めて重要である。通常、発
泡体を研磨布として使用する場合、その表面をスライス
するなどして均一な厚みに制御しつつ該表面にオ−プン
セルが存在する形態で用いられる。この時、表面にはあ
る確率をもってオ−プンセルとクロ−ズドセル（表面に
露出した気泡で、気泡を構成する気泡壁がカットされて
いないもの）が混在すると考えられる。

【００１１】研磨に際しては研磨砥粒を含んだ研磨液が
併用されるが、オ−プンセル部ではこの研磨液が保持さ
れるものと考えられ、オ−プンセルの大きさが不均一で
あることは該セルに保持される研磨液量が変動すること
になる。また、オ−プンセル部とクロ−ズドセル部の割
合が変動することは研磨布と被研磨体との界面に存在す
る研磨液の状態が変動するものと考えられる。

【００１２】しかも、研磨の進行と共に研磨布自体も摩
耗して常にその表面状態が更新されると共にその摩耗カ
スも該界面に存在するなど、常時その表面状態及び界面
状態は変動し複雑な様相を呈していると考えられる。い
わゆる目詰まりによるといわれる研磨速度の低下や被研
磨体表面精度の低下はオ−プンセルの大きさが変動する
ためか、オ−プンセルとクロ−ズドセルの存在割合が著
しく変動したために生じる現象かと思われる。

【００１３】本発明のフッ素系樹脂発泡体はオ−プンセ
ルの大きさが均一であり、かつ好ましい態様として単位
体積当たりに存在する気泡の数が多いため研磨布として
使用した場合、研磨時における研磨布と被研磨体との界
面が安定し、オ−プンセルとクロ−ズドセルの存在割合
が研磨時の各瞬間において研磨布表面全体として実質的
に変動し難いものと考えられる。

【００１４】本発明の発泡体は、上述したように発泡体
の任意の切断面の任意の箇所における所定の面積に存在
する開放された気泡の最大径の最大値（Ｌ_Max.）、その
最小値（Ｌ_Min.）及びその平均値（Ｌ_av.）とで表され
るバラツキ指数が、０＜（Ｌ _Max.−Ｌ_Min.）／Ｌ_av.≦
６の範囲にあり、かつ開放された気泡の最大径の変動係
数（Ｃｖ）が０＜Ｃｖ≦１の範囲にあることが必要であ
る。このバラツキ指数の値が６を越え、かつ変動係数
（Ｃｖ）の値が１を越えるとオ−プンセルの大きさの均
一性が損なわれ、研磨布として使用した場合被研磨体の
表面精度が低下したり、長期の研磨操作によって研磨性
能が低下したりする傾向があり好ましくない。研磨性能
の長期安定性のためにはバラツキ指数の値は好ましくは
５．５以下、更に好ましくは５以下でありＣｖの値は好
ましくは０．９５、更に好ましくは０．９０である。バ
ラツキ指数及び変動係数（Ｃｖ）の値は小さいほど好ま
しくその下限は何等限定されない。

【００１５】本発明の発泡体に存在する単位体積あたり
の気泡の数（セル密度と呼ぶ。）は少なくとも１０⁷個
／ｃｍ³であり、好ましくは１０⁸個／ｃｍ³である。
気泡の数が多いことは研磨布としての用途において被研
磨体の表面精度を向上させる傾向にあり、またバラツキ
指数や変動係数（Ｃｖ）の値を所定の範囲に納め易く、
かつ前述のオ−プンセルとクロ−ズドセルの存在割合を
経時的に安定化させる点で好ましい。この理由は明確で
はないが研磨布が被研磨体の表面に接触する際、該表面
に存在する微小な凹凸部分にできるだけ均一な圧力で接
触することに関係しているのではないかと考えられる。

【００１６】また、セル密度が大きいことは研磨布表面
に存在しているオ−プンセルの確率割合が高まり、逆に
クロ−ズドセルの存在割合が低下する。すなわち、概念
的にはクロ−ズドセルにおいては研磨時の圧力を面とし
ての気泡壁で受けることになり、オ−プンセルにおいて
は該圧力を線としての気泡壁のカット部で受けることに
なる。また、研磨布全体に負荷されている圧力は微細な
点では不均一な圧力分布を生じ易くなっていると考えら
れるので、均一な圧力分布を保持せしめるためにはセル
密度は高い方が好ましい。しかも、研磨布表面が研磨の
進捗に伴い摩耗して表面が更新される際にオ−プンセル
の存在割合が変動しにくいことが研磨性能の安定性に重
要と考えられる。その意味でもセル密度は高い方が好ま
しい。

【００１７】一方、本発明の発泡体を薄いテ−プ状とし
て絶縁テ−プに使用する場合も、セル密度は重要であ
る。何故ならセル密度が低いと気泡が大きくなるため表
面平滑性が低下するし、テ−プ自体の厚みも薄く出来な
いという問題が生じる。セル密度の上限は何等制限され
ない。本発明の発泡体は、テ−バ−摩耗量が２５ｍｍ³
以上２４０ｍｍ³以下であり、このテ−バ−摩耗量は研
磨布としての経時的な研磨性能安定性に関係していると
考えられる。

【００１８】テ−バ−摩耗量が２４０ｍｍ³を越えると
あまりにも研磨布が摩耗し易く、研磨初期において研磨
布表面に存在して研磨材を保持しているオ−プンセルが
容易につぶれるためか、いわゆる目詰まりし易く、研磨
速度が低下したり被研磨体の表面精度が保持出来なくな
ったりする。このことは研磨布を使用して研磨布一枚当
たりで処理できるウエハ−の枚数が低下することを意味
し生産性やコストの面から極めて不利である。

【００１９】一方、テ−バ−摩耗量が２５ｍｍ³未満で
あると研磨布の表面が更新され難く、該表面が被研磨体
の表面形態に馴染んでしまうためか被研磨体の表面精度
が低下してしまう傾向がある。研磨布としての性能を勘
案すれば、テ−バ−摩耗量は好ましくは３０ｍｍ³以上
２２０ｍｍ³以下、更に好ましくは３５ｍｍ³以上２０
０ｍｍ³以下である。

【００２０】本発明の発泡体は望ましくは硬度が１５以
上９３以下である。硬度は樹脂の種類、独立気泡率、セ
ル密度等に影響されるものであるが、本発明の発泡体を
研磨布として使用する場合一定の加圧下で使用される。
硬度は研磨布の弾性変形と関係しており、被研磨体表面
に存在する微小な凹凸部分に負荷される圧力分布の面で
重要と考えられる。硬度が９３を越えると、硬度が高過
ぎ砥粒の引き掻き作用の緩和が充分でなく、加工面に加
工損傷を発生せしめて好ましくない。硬度が１５未満で
あると硬度が低過ぎ研磨布自体の変形量が大きくなり過
ぎ加工面の平面度が低下する。研磨布としての好まし
い態様を示せば、前述のテーバー摩耗量が２５ｍｍ³以
上２４０ｍｍ³以下で、かつ硬度が１５以上９３以下の
発泡体である。

【００２１】本発明の発泡体を薄いテ−プ状として使用
する場合も外力に対して変形し易いため厚みが変動する
などの難点が生じる。種々の用途を勘案すれば本発明の
発泡体の硬度は好ましくは２０以上９０以下、更に好ま
しくは２５以上９０以下である。本発明の発泡体は独立
気泡率が４０％以上、好ましくは５０％以上、更に好ま
しくは６０％以上である。独立気泡率は発泡体の硬度、
弾性、弾性回復率などに影響し、研磨布用途においては
研磨に機能する表面の内側において研磨圧力を緩衝する
作用に大きく影響していると考えられる。独立気泡率が
４０％未満では研磨圧力が微視的な部位において不均一
になるためか被研磨体の表面精度が低下する傾向にあり
好ましくない。

【００２２】独立気泡率は本発明の発泡体を絶縁テ−プ
として使用する場合においても重要である。すなわち、
特公昭４２−１３５６０号公報、特開昭５８−１４５７
３５号公報に開示されているポリテトラフルオロエチレ
ンをペ−スト押出しした後カレンダ−ロ−ルにより圧延
し、１軸または２軸に加熱延伸して得られる多孔質テ−
プが絶縁テ−プとして知られているが、該テ−プはその
製法から必然的に完全連通孔構造となっており、そのた
め外力の作用で孔構造が容易に変化し見かけ密度が増大
するため、電気特性、特に誘電率が悪化する傾向にあっ
た。本発明の発泡体は独立気泡を内包しているため外力
によっても見かけ密度が変動し難く誘電率が変化し難い
という利点を有している。

【００２３】本発明の発泡体は表層または内部層に未発
泡層を有していてもよい。研磨布用途においては表層に
未発泡層が存在する場合には該層を除去して使用され
る。またテ−プ状での使用においては表面平滑性の面か
ら表層に未発泡層を有している方が好ましい場合が多
い。未発泡層の厚みは何等限定されない。本発明に用い
られるフッ素系樹脂とは樹脂を構成する少なくとも１モ
ノマ−成分が少なくとも１個のフッ素元素を有する部分
フッ素化樹脂及びパ−フルオロ樹脂を含み、単一モノマ
−からなるポリビニルフルオライド、ポリビニリデンフ
ルオライド、ポリクロロトリフルオロエチレンやビニル
フルオライド、ビニリデンフルオライド、ジクロロフル
オロエチレン、ビニルクロライド、ビニリデンクロライ
ド、パ−フルオロ−α−オレフィン類（例えばヘキサフ
ルオロプロピレン、パ−フルオロブテン−１、パ−フル
オロペンテン−１、パ−フルオロヘキセン−１等）パ−
フルオロブタジエン、クロロトリフルオロエチレン、ト
リクロロエチレン、テトラフルオロエチレン、パ−フル
オロアルキルパ−フルオロビニルエ−テル類（例えば、
パ−フルオロメチルパ−フルオロビニルエ−テル、パ−
フルオロエチルパ−フルオロビニルエ−テル、パ−フル
オロプロピルパ−フルオロビニルエ−テル等）、炭素数
１〜６個のアルキルビニルエ−テル、炭素数６〜８個の
アリ−ルビニルエ−テル、炭素数１〜６個のアルキルま
たは炭素数６〜８個のアリ−ルパ−フルオロビニルエ−
テル、エチレン、プロピレン、スチレン等の中から選ば
れた２種以上のモノマ−から得られる共重合フッ素樹脂
である。

【００２４】本発明に用いられるフッ素系樹脂の代表的
一例を挙げれば、ポリビニリデンフルオライド、ポリビ
ニルフルオライド、ビニリデンフルオライド−テトラフ
ルオロエチレン共重合体、ビニリデンフルオライド−ヘ
キサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチ
レン−エチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−プ
ロピレン共重合体、エチレン−クロロトリフルオロエチ
レン共重合体、テトラフルオロエチレン−クロロトリフ
ルオロエチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘ
キサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチ
レン−パ−フルオロメチルパ−フルオロビニルエ−テル
共重合体、テトラフルオロエチレン−パ−フルオロエチ
ルパ−フルオロビニルエ−テル共重合体、テトラフルオ
ロエチレン−パ−フルオロプロピルパ−フルオロビニル
エ−テル共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフ
ルオロプロピレン−パ−フルオロメチルパ−フルオロビ
ニルエ−テル共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキ
サフルオロプロピレン−パ−フルオロエチルパ−フルオ
ロビニルエ−テル共重合体、テトラフルオロエチレン−
ヘキサフルオロプロピレン−パ−フルオロプロピルパ−
フルオロビニルエ−テル共重合体等である。

【００２５】発泡適性や経済性、入手の容易さ等を勘案
すれば、好ましくは上述したポリビニリデンフルオライ
ド、ポリクロロトリフルオロエチレン、ビニリデンフル
オライド−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、エチレ
ン−テトラフルオロエチレン共重合体、エチレン−クロ
ロトリフルオロエチレン共重合体、テトラフルオロエチ
レン−パ−フルオロアルキルパ−フルオロビニルエ−テ
ル共重合体類、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオ
ロプロピレン共重合体である。更に好ましくは、部分フ
ッ素化樹脂としてポリビニリデンフルオライド、ビニリ
デンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレン共重合
体、パ−フルオロ樹脂としてテトラフルオロエチレン−
パ−フルオロアルキルパ−フルオロビニルエ−テル共重
合体類である。

【００２６】本発明で複数の単量体から構成されるフッ
素系樹脂を用いる場合、単量体成分の構成比は広範囲で
適宜選択される。テトラフルオロエチレンを１構成成分
とする他成分との共重合体においては、テトラフルオロ
エチレン含量の低減により結晶化度は低下する傾向にあ
り非晶質体にすることも可能であるがそれに伴い他成分
の種類によってはコストも増大する場合がある。また、
非晶質体に近づくと耐熱性、耐薬品性が低下する傾向に
ある。従って経済的理由及び物理的性質を勘案すれば結
晶性樹脂を使用することが好ましい。

【００２７】本発明の発泡体は用途に応じて特定の厚
み、太さに制御するため、シ−ト、フィルム、チュ−
ブ、繊維状等の発泡体を１軸または２軸方向に延伸して
もよい。この際、気泡形状は延伸倍率に応じて異方性を
示すことになるが、上述した気泡の最大径に関わる数値
範囲、セル密度やテ−バ−摩耗量、独立気泡率を保持す
る限りその延伸倍率は何等限定されない。

【００２８】本発明の発泡体は使用されるフッ素系樹脂
に応じて物理発泡剤または化学発泡剤を用いて製造され
る。特に、フッ素系樹脂の中でパ−フルオロ樹脂を使用
して物理発泡剤により本発明の如き微細で均一な気泡を
有し、かつ高いセル密度を持つ発泡体が得られることは
全く予想外のことであった。何故なら、パ−フルオロ樹
脂は極めて耐溶剤性に優れており、従って物理発泡剤を
樹脂中に溶解または分散することは困難と考えられ、発
泡剤として機能させる量を保持せしめることが難しいと
考えられていた。更に、パ−フルオロ樹脂は通常融点が
２５０℃以上と高いため、樹脂が軟化し発泡に適性な溶
融粘弾性を示す間に発泡剤の逸散が生じたり、また一般
的に言えることであるがフッ素系樹脂のような結晶性樹
脂においては溶融粘弾性の温度依存性が激しく、発泡適
性を有する溶融粘弾性に温度制御することは困難な場合
が多く、架橋構造を有さず高いセル密度を持つ発泡体は
事実上困難と考えられ実質的に適用できるフッ素系樹脂
に限界があった。

【００２９】本発明者等は物理発泡剤として種々検討し
た結果、炭素数８個以下でフッ素系樹脂の結晶融解温度
以下の沸点を有するハイドロフルオロカ−ボン及び／ま
たはパ−フルオロカ−ボンを主体とし、必要によりフッ
素系樹脂に対して不活性な無機ガス（以下添加物Ａとい
う）及び／または沸点１５０℃以下で蒸発潜熱７．０ｋ
ｃａｌ／ｍｏｌｅ以上を有する化合物（以下添加物Ｂと
いう）を添加した発泡剤を使用することにより架橋構造
を有さずとも、また無機核剤を使用せずとも高いセル密
度の気泡構造の発泡体が得られることを発見した。

【００３０】ハイドロフルオロカ−ボン及びパ−フルオ
ロカ−ボンの一例を挙げれば、ヘキサフルオロエタン、
ペンタフルオロエタン、テトラフルオロエタン、トリフ
ルオロエタン、ジフルオロエタン、フルオロエタン、テ
トラフルオロメタン、トリフルオロメタン、ジフルオロ
メタン、フルオロメタン、パ−フルオロシクロブタン、
ヘキサフルオロブタン、パ−フルオロプロパン、パ−フ
ルオロブタン、パ−フルオロペンタン、パ−フルオロヘ
キサン、パ−フルオロヘプタン等であり、それらは単独
または２種以上組み合わせて使用することが出来る。

【００３１】また、これらを主成分とする他の揮発性有
機化合物、例えばプロパン、ブタン、ペンタンや塩化メ
チル、塩化メチレン、塩化エチル、塩化エチレンなどと
の混合物として用いてもよい。また、上記のハイドロフ
ルオロカ−ボン、パ−フルオロカ−ボンにフッ素系アル
コ−ルを添加して使用しても良い。該フッ素系アルコ−
ルの一例を挙げれば、トリフルオロエタノ−ル、テトラ
フルオロプロパノ−ル、ペンタフルオロプロパノ−ル等
である。使用される各発泡剤の混合割合は安全性、経済
性、入手のし易さ、フッ素系樹脂の発泡性等を勘案して
適宜選択して使用される。

【００３２】上記の物理発泡剤は、必要により添加物Ａ
及び／または添加物Ｂを添加して使用され、またその方
が高いセル密度や高独立気泡率を得るのに好ましい場合
が多い。添加物Ａとしての一例を挙げれば、空気、窒
素、酸素、アルゴン、ヘリウム、炭酸ガスなどであり、
添加物Ｂとしては水、メタノ−ル、エタノ−ル、ｎ−プ
ロパノ−ル、ｉ−プロパノ−ル、ｎ−ブタノ−ル、トル
エン、ｏ−キシレン、ｐ−キシレン等である。添加物Ｂ
の沸点が１５０℃を越えたり、蒸発潜熱が７．０ｋｃａ
ｌ／ｍｏｌｅ未満であるとフッ素系樹脂の発泡時に蒸発
潜熱が有効に寄与しないためか独立気泡率が低下する傾
向にあり好ましくない。

【００３３】添加物Ａ及び／または添加物Ｂが高セル密
度化や高独立気泡率化に有効な理由は明確ではないが、
発泡に際して一種の気泡核として機能したり大きな蒸発
潜熱により発泡時の気泡膜の冷却・固定化に有効に作用
し気泡の融合や連通化を阻止しているのではないかと考
えられる。また、添加物Ａ及び／または添加物Ｂが樹脂
との相互作用のためか発泡時における発泡温度近傍での
溶融粘弾性の急激な低下をある程度緩和して、樹脂に良
好な発泡適性を賦与しているのではないかと考えられ
る。特に、添加物Ｂが有効に機能するという事実は驚く
べき発見である。何故なら通常フッ素系樹脂はその特性
として溌水、溌油性を有することが一大特徴と考えられ
ており、上記添加物Ｂをフッ素系樹脂に適用することは
通常考えられないことであった。本発明者らは物理発泡
剤に上記添加物Ｂを添加することにより、気泡径の微細
化や高独立気泡率化に有効であることを発見した。

【００３４】添加物Ａ及び添加物Ｂは気体状または液体
状にて使用される。添加物Ａ及び／または添加物Ｂは物
理発泡剤をフッ素系樹脂に含浸する前、或いは含浸した
後、または含浸と同時に該樹脂中に導入される。例え
ば、予め気体状または液体状の添加物Ａ及び／または添
加物Ｂにフッ素系樹脂を曝したり、浸漬したりして所定
量の添加物Ａ及び／または添加物Ｂをフッ素系樹脂中に
導入した後該樹脂に物理発泡剤を導入するとか、所定量
の添加物Ａ及び／または添加物Ｂを含む物理発泡剤を使
用して添加物Ａ及び／または添加物Ｂと物理発泡剤をフ
ッ素系樹脂中に同時に導入するとか、予め物理発泡剤を
含むフッ素系樹脂を気体状または液体状の添加物Ａ及び
／または添加物Ｂに曝したり、浸漬したりして所定量の
添加物Ａ及び／または添加物Ｂをフッ素系樹脂中に導入
される。これらのうち、製造工程簡略化の面からは物理
発泡剤の該樹脂中への導入と同時に行うことが好まし
い。

【００３５】化学発泡剤としてはその分解温度が使用さ
れるフッ素系樹脂の融点よりも高いものであればよく、
例えばヒドラゾジカルボン酸ジエステル、５−フェニル
テトラゾ−ル、５−フェニルテトラゾ−ル塩、トリヒド
ラジノトリアジン、塩基性炭酸塩、炭酸塩などが使用さ
れる。上記発泡剤の中で、揮発性の物理発泡剤がフッ素
系樹脂への均一分散が容易で、気泡径も小さくなる傾向
にあり発泡後の分解残渣が残らないため発泡体に不純物
を含有しないという点で好ましい。

【００３６】本発明の発泡体は上述の発泡剤を使用して
種々の方法により製造される。物理発泡剤を使用する場
合の方法を例示すれば、耐圧容器内にシ−ト状、フィル
ム状、繊維状、チュ−ブ状、パイプ状等に成形された樹
脂や射出、ブロ−または圧縮成形による樹脂成形品を入
れ気体状または液体状の該発泡剤を注入し、密閉加圧下
で加熱して樹脂に発泡剤を含浸せしめた後、加熱発泡す
る含浸発泡方法、押出成形機の出口側に設けられた注入
装置から溶融した樹脂に該発泡剤を圧入して冷却しなが
ら押出成形する押出発泡方法等が適宜用いられる。高セ
ル密度や発泡シ−ト、発泡フィルムの表面平担性を考慮
すると含浸発泡方法が好ましい。

【００３７】前述の添加物Ａ及び／または添加物Ｂを併
用する場合には、特に含浸発泡方法に好適である。添加
物Ａ及び／または添加物Ｂの種類や樹脂に導入する量
は、樹脂及び物理発泡剤の種類、樹脂の物理発泡剤及び
該添加物の保持性、発泡時のセル密度、独立気泡率を勘
案して適宜選択される。元来、添加物Ｂはフッ素系樹脂
及び本発明で使用される物理発泡剤に対する親和性が低
いため該樹脂に含浸される量は多くなく、フッ素系樹脂
の種類によってもその最適量は変動するものであるが、
それでも本発明の発泡体を得るに適当な量として通常フ
ッ素系樹脂に対して少なくとも３００ｐｐｍ、好ましく
は４００ｐｐｍ、更に好ましくは５００ｐｐｍ使用され
る。その一例として、図２にフッ素樹脂中の添加物Ｂと
しての水の含水量とセル密度との関係を示している。そ
の上限は物理発泡剤を樹脂に含浸する際の該発泡剤中へ
の飽和溶解度や得られる発泡体のセル密度、独立気泡率
の状態を見ながら適宜決定される。

【００３８】含浸発泡方法で樹脂に含浸する物理発泡剤
の量や押出発泡方法で溶融樹脂に注入する物理発泡剤の
量は樹脂のセル密度、独立気泡率などを考慮し適宜選択
される。含浸発泡方法で物理発泡剤を樹脂に含浸する温
度は該発泡剤の物理諸特性及び発泡に必要な適正量を考
慮して決められる。物理発泡剤の含浸量は温度、時間、
該発泡剤と樹脂の親和性により決まるものであり、少な
くとも樹脂１００重量部に対して１重量部を必要とす
る。また樹脂の形状保持の観点から含浸温度は樹脂の融
点以下に設定され、通常２０〜３００℃、好ましくは２
５〜２５０℃更に好ましくは３０〜２００℃が適用され
る。

【００３９】含浸時間はセル密度に著しく影響するので
該時間の設定は極めて重要である。すなわち、所定の含
浸温度において平衡含浸量に到達する時間に加えて、少
なくとも５時間、好ましくは７時間、更に好ましくは１
０時間で設定される。平衡含浸量に到達する時間以前ま
たは到達直後での発泡はセル密度が低く好ましくない。
この原因は明確でないが、平衡含浸量に到達後一定時間
経過する間に樹脂の分子鎖の再配列が生じる結果、最適
な気泡核が形成されるためではないかと考えられる。

【００４０】含浸発泡方法において物理発泡剤が含浸さ
れた樹脂の加熱温度及び時間は、該発泡剤の種類、発泡
体のセル密度、硬度、発泡体の所望する独立気泡率など
を勘案して適宜選択されるが通常樹脂の融点より高い温
度が適用され、好ましくは融点より１０℃高い温度であ
り、時間は１秒から１２０秒が適用される。化学発泡剤
を使用する場合の方法の一例を示せば、化学発泡剤とフ
ッ素系樹脂とを該樹脂の溶融温度以上発泡剤の分解温度
以下で溶融混練し、該混練物をシ−ト状、フィルム状、
繊維状等に成形した後発泡剤の分解温度以上に加熱する
方法が好ましい。

【００４１】上述で例示した発泡方法により発泡体のテ
−バ−摩耗量や硬度が所定の値に達しない場合は、該発
泡体に再度物理発泡剤を含浸して加熱発泡することがで
きる。この際使用される物理発泡剤は、上述した物理発
泡剤や添加物Ａがそれぞれ単独または混合して使用され
る。発泡剤の種類、発泡剤の含浸量は再発泡させた発泡
体のテ−バ−摩耗量、硬度、セル密度、独立気泡率を勘
案して決定される。再発泡時の加熱温度、加熱時間は通
常上述した含浸発泡の条件から選択して適用される。

【００４２】

【実施例】実施例における各測定値は次のようにして求
めた。バラツキ指数及び変動係数の測定発泡体の任意の箇所をスライスして、その切断面を走差
型電子顕微鏡で５０倍から１５０倍の範囲で拡大した写
真を撮る。該写真から任意の箇所で約０．０４ｍｍ²の
視野を設定し、画像処理装置にかける。画像処理装置は
日本アビオニクス（株）製ＣｏｌｏｒＩｍａｇｅＰ
ｒｏｃｅｓｓｏｒＳＰＩＣＣＡ−ＩＩを用いた。画像処
理から個々のオ−プンセルの最大径を測定し、該視野に
存在する開放された気泡（オ−プンセル）の中から気泡
の最大径の最大値Ｌ_Max.、その最小値Ｌ_Min.、及びその
平均値Ｌ_av．からバラツキ指数：｛（Ｌ_Max.−Ｌ_Min.）
／Ｌ_av.｝及び変動係数：（Ｃ０）を算出した。

【００４３】セル密度発泡体の任意の箇所をスライスして、その切断面を走差
型電子顕微鏡で５０倍から１５０倍の範囲で拡大した写
真を撮る。該写真から任意の箇所で４００μｍ×４００
μｍの視野を設定し、該視野に存在する気泡の個数
（Ｍ）を数える。Ｍから下式に従いセル密度を算出す
る。

【００４４】セル密度（個／ｃｍ³）＝｛（Ｍ）^1/2×
１００００／４００｝³×発泡倍率テ−バ−摩耗量厚み約１ｍｍの試験片を使用してＪＩＳＫ７２０４に
記載の方法に従い、試験片に加える加重を１０００ｇと
し，回転数１０００回での摩耗質量を測定し、該質量を
樹脂の密度で除して摩耗量とする。

【００４５】発泡倍率次式により算出した。発泡倍率＝｛樹脂密度（ｇ／ｃｍ³）｝／｛発泡体密度
（ｇ／ｃｍ³）｝独立気泡率ＡＳＴＭＤ２８５６に記載のエアピクノメ−タ−法
による連続気泡率の差分として計算した。

【００４６】硬度日本ゴム協会標準規格ＳＲＩＳ０１０１に従い高分
子計器（株）製ＡＳＫＥＲＴｙｐｅＣを使用して測
定した。研磨特性評価前加工として平均粒径が５μｍのアルミナ砥粒を使用し
てラッピングした直径５０ｍｍ、厚さ４５０μｍのＧａ
Ａｓ単結晶ウエハ−を、図１に示す研磨装置を用い研磨
し、その時のウエハ−表面の品質から研磨特性を評価し
た。

【００４７】研磨装置は相対抗して回転する上下２枚の
プレ−ト１、３からなり、上記ＧａＡｓ単結晶ウエハ−
５と直径３００ｍｍ、厚さ１．０ｍｍの研磨布６を貼り
付け、両プレ−ト間に８０ｇ／ｃｍ²の圧力を加え、上
下プレ−トをそれぞれ毎分１２０回転で回転させ、研磨
液として２％のＢｒ₂のメタノール溶液を点滴装置７か
ら毎分１０ｃｃの割合で滴下しながら１枚のウエハ−に
ついて１時間研磨を行った。

【００４８】この操作を繰り返し合計２４枚のウエハ−
を研磨後、最後のウエハ−表面を直視または拡大観察に
より研磨表面の品質評価を行った。評価判定の基準は下
記とした。表面平滑性優良、スクラッチ傷なし：◎ 表面平滑性良、スクラッチ傷なし：○ 表面平滑性不良またはスクラッチ傷あり：× 誘電率測定横河ヒュ−レッドパッカ−社製ＹＨＰ−４１９２Ａを使
用して、周波数１メガヘルツにて測定した。

【００４９】樹脂のリサイクル性評価発泡体を樹脂の融点よりも６０〜８０℃高い温度にて加
熱溶融させてプレス製膜し、その時の溶融均一性及び着
色度合いにより評価する。評価判定の基準は下記とし
た。発泡前の原反シ−トと同等の溶融均一性及び着色なし：
◎ 発泡前の原反シ−トに比較し溶融不均一及び着色あり：
×

【００５０】

【実施例１】フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピ
レン共重合樹脂（密度１．７６ｇ／ｃｍ³、融点１５０
℃）を使用し、ホットプレスを用いて厚み１．１ｍｍの
シ−トを作成した。該シ−ト１００重量部を耐圧容器に
入れた後、テトラフルオロエタンを該耐圧容器に圧入
し、該シ−トがテトラフルオロエタンの液相に浸漬出来
るようにした。

【００５１】該耐圧容器を４０℃の恒温水槽に入れ、６
４時間保持した後、該シ−トを該耐圧容器より取り出し
重量測定によりテトラフルオロエタンの含浸量を計算し
たところ７．５重量部であり、また該シ−ト中の水分は
１２０ｐｐｍであった（原シ−トと呼ぶ）。該原シ−ト
を３０℃、相対湿度９５％の雰囲気に曝し２６時間放置
したところ、テトラフルオロエタンの含浸量は４．５重
量部に減少し水分は４８０ｐｐｍであった。

【００５２】該含浸シ−トを、遠赤外ヒ−タ−を備えた
温度１９０℃の加熱炉中に１５秒保持した。該シ−トは
発泡しており、その密度は０．１４ｇ／ｃｍ³であり、
発泡倍率は１２．５倍であった。また独立気泡率は９０
％であり、その断面を走差型電子顕微鏡にて観察し、気
泡の最大径のバラツキ指数、該最大径の変動係数、セル
密度を測定したところ、それぞれ３．０、０．８１、
５．７×１０⁹個／ｃｍ³であった。

【００５３】得られた発泡シ−トの特性を表１にまとめ
た。

【００５４】

【実施例２】実施例１で使用した原シ−トを１５℃、相
対湿度９５％の雰囲気に曝し４８時間放置したところテ
トラフルオロエタンの含浸量は５．２重量部に減少し水
分は３１０ｐｐｍであった。該シ−トを、遠赤外ヒ−タ
−を備えた温度１９０℃の加熱炉中に１５秒保持し、発
泡させた。得られた発泡シ−トの特性を表１にまとめ
た。

【００５５】

【実施例３】実施例１で使用した原シ−トを３０℃、相
対湿度９５％の雰囲気に曝し１２０時間放置したところ
テトラフルオロエタンの含浸量は３．１重量部に減少し
水分は４９０ｐｐｍであった。該シ−トを、遠赤外ヒ−
タ−を備えた温度１９０℃の加熱炉中に１５秒保持し、
発泡させた。得られた発泡シ−トの特性を表１にまとめ
た。

【００５６】

【比較例１】実施例１で使用した原シ−トを３０℃、相
対湿度５０％の雰囲気に曝し２４時間放置したところテ
トラフルオロエタンの含浸量は５．５重量部に減少し水
分は１４０ｐｐｍであった。該シ−トを、遠赤外ヒ−タ
−を備えた温度１９０℃の加熱炉中に１５秒保持し、発
泡させた。該発泡体の気泡径が比較的大きいため、走差
型顕微鏡写真での視野を大きく設定してバラツキ指数及
び変動係数等を測定した。得られた発泡シ−トの特性を
表１にまとめた。

【００５７】

【比較例２】実施例１で使用した原シ−トを遠赤外ヒ−
タ−を備えた温度１９０℃の加熱炉中に１５秒保持し、
発泡させた。該発泡体は巨大気泡からなっているため、
走差型顕微鏡写真での視野を大きく設定してバラツキ指
数及び変動係数等を測定した。得られた発泡シ−トの特
性を表１にまとめた。

【００５８】

【比較例３】実施例１で使用した厚み１．１ｍｍのシ−
トを使用して、該シ−トを耐圧容器に入れた後、テトラ
フルオロエタンを該容器に圧入し該シ−トがテトラフル
オロエタンの液相に浸漬出来るようにした。該容器を７
０℃の恒温水槽に入れ、４８時間保持した後、該容器か
らテトラフルオロエタンを完全に抜き取り窒素ガスを圧
入し２６ｋｇ／ｃｍ²の圧力下で３０℃、４８時間放置
したところテトラフルオロエタンの含浸量は３．９重量
部で水分は１００ｐｐｍであった。

【００５９】該シ−トを、遠赤外ヒ−タ−を備えた温度
１９０℃の加熱炉中に１５秒保持し、発泡させた。得ら
れた発泡シ−トの特性を表１にまとめた。

【００６０】

【比較例４】実施例１で使用した厚み１．１ｍｍのシ−
トを使用して、５００ｋＶの電子線照射装置で２０Ｍｒ
ａｄの吸収線量に相当する電子線をシ−トの両面に照射
した。該シ−トからは酸性ガスの発生が認められた。該
シ−トをジクロロジフルオロメタンに耐圧容器内にて浸
漬し、７５℃、１００時間保持した後耐圧容器から取り
出した。

【００６１】該シ−トを、遠赤外ヒ−タ−を備えた温度
１９０℃の加熱炉中に１５秒保持し、発泡させた。得ら
れた発泡シ−トの特性を表１にまとめた。該発泡シ−ト
を細かく切断し、再度熱プレスによる溶融製膜を試みた
が樹脂が褐変し均一な溶融シ−トが得られなかった。

【００６２】

【実施例４】実施例１で使用した原シ−トを５０℃の温
水に浸漬して２９時間保持した後、表面に付着している
水分を拭い去ってテトラフルオロエタンの含浸量を測定
したところ３．３重量部であり、含水量は９１０ｐｐｍ
であった。該シ−トを、遠赤外ヒ−タ−を備えた温度１
９０℃の加熱炉中に１５秒保持し、発泡させた。得られ
た発泡シ−トの特性を表１にまとめた。

【００６３】

【実施例５】実施例１で使用したフッ化ビニリデン−ヘ
キサフルオロプロピレン共重合樹脂をホットプレスを用
い、厚み０．２ｍｍのシ−トを作製した。該シ−ト１０
０重量部を耐圧容器に入れた後、テトラフルオロエタン
を該容器に圧入し該シ−トがテトラフルオロエタンの液
相に浸漬出来るようにした。

【００６４】該耐圧容器を７０℃の恒温水槽に入れて２
４時間保持した後、該シ−トを該容器から取り出して、
６℃、相対湿度９５％の雰囲気に曝し、２６時間放置し
たところ、テトラフルオロエタンの含浸量は３．７重量
部で水分は４００ｐｐｍであった。該シ−トを、遠赤外
ヒ−タ−を備えた温度１９０℃の加熱炉中に１５秒保持
し、発泡させた。得られた発泡シ−トの倍率は６．４
倍、独立気泡率は９３％であった。該シ−トの誘電率は
１．４であり発泡前のシ−トの誘電率７．７に比較して
著しく低下していた。得られた発泡シ−トの特性を表１
にまとめた。

【００６５】

【比較例５】実施例５で使用した厚み０．２ｍｍのシー
ト１００重量部を耐圧容器に入れ、飽和含水したテトラ
フルオロエタンを該容器に圧入して該シ−トを浸漬し
た。該容器を７０℃の恒温水槽に入れ、２４時間保持し
た。その後該容器から該シートを取り出し、遠赤外ヒー
ターを備えた温度２００℃の加熱炉中に２５秒保持して
発泡させた。

【００６６】得られた発泡シートの発泡倍率は７．５倍
で独立気泡率は３５％であった。発泡前のテトラフルオ
ロエタンの含漬量は８重量部で水分は７００ｐｐｍであ
った。また、該発泡シートの誘電率は１．３であり、発
泡前のシートの誘電率７．７に比較して著しく低下して
いた。得られた発泡シートの特性を表１にまとめた。該
発泡シートを２５℃の雰囲気下、２Ｋｇ／ｃｍ²の圧力
でプレスし、１０時間保持した後、圧力を開放し、５時
間放置した。該シートの誘電率は２．８と著しく上昇し
ており、外力による誘電率の変化が顕著であった。

【００６７】一方、実施例５で得られた発泡シートを、
同様に２５℃の雰囲気下、２Ｋｇ／ｃｍ²の圧力でプレ
スし、１０時間保持した後、圧力を開放し、５時間放置
した。該シートの誘電率は１．５であり、殆ど変化しな
かった。

【００６８】

【実施例６】実施例５で得られたテトラフルオロエタン
を含浸したシ−トを耐圧容器に入れ、窒素ガスを圧力１
０ｋｇ／ｃｍ²で圧入し室温で２４時間保持した。該シ
−トを耐圧容器から取り出し、遠赤外ヒ−タ−を備えた
温度１９０℃の加熱炉中に１５秒保持し、発泡させた。
得られた発泡シ−トの特性を表１にまとめた。

【００６９】

【実施例７】実施例５で使用した厚み０．２ｍｍのシ−
ト１００重量部を耐圧容器に入れ、メタノ−ルを含有す
るテトラフルオロエタンに浸漬し、４０℃、６４時間保
持した後、該シ−トを該耐圧容器より取り出し３０℃、
４８時間放置したところ、テトラフルオロエタンの含浸
量は４．０重量部で、メタノ−ルは６００ｐｐｍであっ
た。

【００７０】該シ−トを、遠赤外ヒ−タ−を備えた温度
１９０℃の加熱炉中に１５秒保持し、発泡させた。得ら
れた発泡シ−トの特性を表１にまとめた。

【００７１】

【実施例８】テトラフルオロエチレンとパ−フルオロア
ルキルパ−フルオロビニルエ−テルの共重合体（ダイキ
ン製、ネオフロンＰＦＡ、密度２．１５ｇ／ｃｍ³、融
点３０８℃）を使用して、ホットプレスを用い、厚み１
ｍｍのシ−トを作成した。該シ−ト１００重量部を耐圧
容器に入れた後、水分含有のパ−フルオロペンタンに浸
漬し７０℃、５０時間保持した。該耐圧容器からシ−ト
を取り出し、重量を測定してパ−フルオロペンタンの含
浸量を計算したところ６．４重量部で水分は３００ｐｐ
ｍであった。

【００７２】該シ−トを遠赤外ヒ−タ−を備えた加熱炉
中で４００℃、３５秒加熱したところ、発泡倍率５．９
倍の発泡シ−トが得られた。また、独立気泡率は７２％
であった。得られた発泡シ−トの特性を表１にまとめ
た。該発泡シ−トを細かく切断し、再度熱プレスによる
溶融製膜を試みたところ無色、半透明の均一な溶融シ−
トが得られた。

【００７３】

【実施例９】実施例８のシ−トを使用し、耐圧容器中で
水分含有のパ−フルオロヘキサンに浸漬し、７０℃、２
４時間保持した。その後該シ−トを真空乾燥し再度パ−
フルオロヘキサンとペンタフルオロプロパノ−ルの混合
物（重量比３：７）に７０℃、２４時間含浸したところ
含浸量は５．２重量部であった。

【００７４】該シ−トを遠赤外ヒ−タ−を備えた加熱炉
中で４００℃、３５秒加熱し発泡させたところ発泡倍率
６．２倍の発泡シ−トが得られた。独立気泡率は６５％
であった。得られた発泡シ−トの特性を表１にまとめ
た。

【００７５】

【実施例１０】実施例８で使用したテトラフルオロエチ
レンとパ−フルオロアルキルパ−フルオロビニルエ−テ
ルの共重合体樹脂を使用して厚み０．２ｍｍのシ−トを
得た。該シ−トを使用して実施例９と同様な操作により
発泡シ−トが得られた。該シ−トの誘電率は１．１であ
り、発泡前のシ−トの誘電率２．１に比較して著しく低
下していた。該発泡シ−トの特性を表１にまとめた。

【００７６】

【実施例１１】実施例１０のシ−トを用いて水分含有の
パ−フルオロヘキサンに１５０℃で２４時間浸漬した。
その後、３０℃、相対湿度９５％の雰囲気に４８時間曝
した。パ−フルオロヘキサンの含浸量は７．０重量部で
あり、水分は２８０ｐｐｍであった。

【００７７】該シ−トを遠赤外ヒ−タ−を備えた加熱炉
中で４００℃、３５秒加熱し発泡させたところ、発泡シ
−トの発泡倍率は１６．９倍であり、誘電率は１．１で
あった。

【００７８】

【表１】

【００７９】

【発明の効果】本発明のフッ素樹脂発泡体は任意の切断
面におけるオ−プンセルの最大径が極めて均一であり、
かつセル密度が高く適度なテ−バ−摩耗量と硬度を有し
ているため研磨布として使用したときに長時間安定した
研磨性能を発揮する。また、セル密度が高く、独立気泡
率が高いという特徴により厚みの薄いテ−プ状への加工
が可能であり、絶縁テ−プとしてだけでなく広範な用途
に極めて有用である。

【００８０】しかも、本発明の発泡体は架橋構造を有し
ないため再度溶融加工でき、製造工程内での樹脂のリサ
イクル、製品の粗原料樹脂へのリサイクルという観点か
らも環境負荷の低い発泡体である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の研磨特性評価のための研磨装置の略図
である。

【図２】本発明の発泡剤としてテトラフルオロエタンを
使用したフッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレン
共重合樹脂シ−トの含水量とセル密度との関係を示した
図である。

【符号の説明】

１上プレ−ト２上プレ−トの回転軸３下プレ−ト４下プレ−トの回転軸５ＧａＡｓウエハ− ６研磨布７研磨液滴下装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】架橋構造を有しない熱可塑性フッ素系樹
脂からなる発泡体で、該発泡体の任意の切断面に存在す
る開放された気泡の最大径の最大値（Ｌ_Max.）、最小値
（Ｌ_Min.）及び平均値（Ｌ_av.）で表されるバラツキ指
数（（Ｌ_Max.−Ｌ_Min.）／Ｌ_av.）、及び該気泡の最大
径の変動係数（Ｃｖ）が下記の（１）、（２）式を満足
する新規なフッ素系樹脂発泡体。０＜（Ｌ_Max.−Ｌ_Min.）／Ｌ_av.≦６（１）０＜Ｃｖ≦１（２）
【請求項２】発泡体の単位体積あたりに存在する気泡
の数が、少なくとも１０⁷個／ｃｍ³である請求項１記
載の新規なフッ素系樹脂発泡体。
【請求項３】表層に未発泡体層を含む請求項２記載の
新規なフッ素系樹脂発泡体。
【請求項４】テ−バ−摩耗量が２５ｍｍ³以上２４０
ｍｍ³以下である請求項１または請求項２記載の新規な
フッ素系樹脂発泡体。
【請求項５】発泡体の硬度が１５以上９３以下である
請求項４記載の新規なフッ素系樹脂発泡体。
【請求項６】独立気泡率が４０％以上の請求項２記載
の新規なフッ素系樹脂発泡体。