JPH07253547A - 顕微鏡用照明装置 - Google Patents

顕微鏡用照明装置

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JPH07253547A
JPH07253547A JP6068213A JP6821394A JPH07253547A JP H07253547 A JPH07253547 A JP H07253547A JP 6068213 A JP6068213 A JP 6068213A JP 6821394 A JP6821394 A JP 6821394A JP H07253547 A JPH07253547 A JP H07253547A
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JP
Japan
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aperture
pinhole
diaphragm
aperture stop
objective lens
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JP6068213A
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English (en)
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Hidehiko Furuhashi
英彦 古橋
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Nikon Corp
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Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 ピンホール型開口絞りを絞り径可変型開口絞
りと同一の、対物レンズの瞳面と互いに共役な位置に、
容易に交換装着可能な顕微鏡用照明装置を提供する。 【構成】 移動部材14に、絞り径可変型開口絞り3
と、少なくとも1個又は2個以上のピンホール型開口絞
り13とを含む複数の開口絞りが装備されており、絞り
径可変型開口絞り3と、ピンホール型開口絞り13の何
れかが選択され、移動部材14の移動により、対物レン
ズ8の瞳面と互いに共役な位置に配置される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は顕微鏡用照明装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来の顕微鏡用照明装置の1例の全体構
成の断面図を図5に示す。光源1からの照射光は集光レ
ンズ2で集光され、開口絞り3で絞られ、照射光の光束
の一部が制限される。開口絞り3で絞られた照射光は、
順次リレーレンズ4、視野絞り5、視野レンズ6を通過
し、ハーフミラー7で反射された後、対物レンズ8の後
側焦点位置に、光源1と開口絞り3の実像9が結像され
る。照射光は対物レンズ8を通過して標本10に照射さ
れる。
【0003】一般に、対物レンズを使用して標本を照射
するとき、対物レンズの開口数の最大の開口角で標本を
照明すると、その対物レンズの最大の分解能が得られる
が、像のコントラストが低下する。逆に、開口絞りを絞
るにつれて分解能は低下するが、他方、像のコントラス
トは向上する。そこで、分解能があまり低下せず、像の
コントラストがほど良い照明は、使用する対物レンズの
開口数の70〜80%に開口絞りを絞ると得られる。
【0004】しかしながら、一般に、倍率の高い対物レ
ンズを使用するときは、対物レンズの開口数が大きく、
即ち、最大の開口角は大きくなる。このような倍率の高
い対物レンズを使用し、開口角が大きくなるような照明
条件で、例えばアスペクト比の大きなLSIに於けるコ
ンタクトホールを有する標本を観察するような場合、次
のような問題が生じている。
【0005】図5及び図6に示すように、光源1の光軸
L上の光源部分1aからの光束11aは標本10のコン
タクトホール10aの底部10bに到達するが、光軸L
から離れた位置の光源部分1b、1cからの光束11
b、11cはコンタクトホール10aの底部10bに到
達することができない。すると、標本10のコンタクト
ホール10aの底部10bの照度と表面10cの照度と
の差が非常に大きくなる。照度差が非常に大きくなる
と、コンタクトホール10aの底部10bの形状を明確
に観察することができず、単なる黒い点としてしか観察
することができない。
【0006】開口絞り3を最小に絞っても、コンタクト
ホール10aの形状を明確に観察することができないと
きの対応として、図7に示すように、本体12の開口絞
り3の近傍に、ピンホール絞り13を装着したソリ14
を差し込む溝15を設け、そのピンホール絞り13にピ
ンホール16を設置して光軸Lに合致するように配置す
ることが行われていた。このようにすると、ピンホール
16の径は非常に小さいので、非常に小さな開口角で標
本10を照明することになるので、コンタクトホール1
0aの底部10bと表面10cとの照度差が小さくな
り、コンタクトホール10aの底部10bを良く観察す
ることができる。
【0007】又、この問題を解決するためのその他のも
のとして、図示はしないが、ソリに装着された開口絞り
と、他のソリに装着されたピンホール絞りを照明装置か
ら着脱可能に設けて、開口絞りを取り除き、その代わり
にピンホール絞りを取り付けるようにして、両者を交換
装着する装置もあった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところが、開口絞りの
近傍にピンホール絞りを差し込む装置では、ピンホール
絞りと開口絞りとは同一位置に設置できないから、光軸
上の位置が離れている。このためピンホール絞りと対物
レンズの前側焦点(瞳面)とは互いに共役の位置にない
ことになり、これが口径食の原因になって結像した像は
劣化し、コンタクトホールを良好な状態で観察すること
を阻害するるという問題があった。
【0009】又、開口絞りを取り除き、その代わりにピ
ンホール絞りを取り付ける形式の装置は、ピンホール絞
りと対物レンズの前側焦点(瞳面)とを互いに共役の位
置に設置することは可能であるが、観察対象物ごとに開
口絞りや1個以上のピンホール絞りを適合させるため
に、絞り装備用のソリを交換するという極めて煩わしい
手間が頻繁に発生するという問題があった。
【0010】本発明は上記の課題に鑑み、ピンホール型
開口絞りを、絞り径可変型開口絞りと同一の、対物レン
ズの瞳面と互いに共役な位置に、容易に交換装着可能な
顕微鏡用照明装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】光源からの照明光を集光
する集光レンズと、前記集光レンズにより集光された前
記照明光の光束の一部を制限する開口絞りと、前記開口
絞りを通過した前記照明光を標本上に集光する対物レン
ズとを具備し、前記開口絞りと前記対物レンズの瞳面と
が互いに共役な位置に配置された顕微鏡用照明装置にお
いて、前記顕微鏡用照明装置本体に対して移動可能な移
動部材を具備し、前記移動部材は、絞り径可変型開口絞
りと、ピンホール型開口絞りとを含む複数の開口絞りを
装備し、前記複数の開口絞りは、前記移動部材が前記顕
微鏡用照明装置本体に対して移動することにより、それ
ぞれ前記対物レンズの瞳面と互いに共役な位置に配置可
能であることを特徴とするものである。
【0012】前記複数の開口絞りのそれぞれの中心は1
本の直線上に配置され、前記移動部材の移動は直線移動
であり、前記直線移動の方向は前記複数の開口絞りのそ
れぞれの中心が配置された直線と平行であることが好ま
しい。
【0013】又、前記ピンホール型開口絞りの少なくと
も1個は、前記移動部材に対して着脱可能に装備された
ものであることが望ましい。
【0014】更に、前記移動部材を移動させ、前記複数
の開口絞りのそれぞれの中心を光軸にそれぞれ一致させ
たとき、前記移動部材の移動を制限する移動制限部材を
少なくとも1個具備することが望ましい。
【0015】
【作用】本発明によれば、顕微鏡用照明装置本体に具備
された移動部材に、絞り径可変型開口絞りと、ピンホー
ル型開口絞りとを含む複数の開口絞りが装備されてお
り、絞り径可変型開口絞りと、少なくとも1個又は2個
以上のピンホール型開口絞りの何れかが選択され、選択
された何れかの開口絞りが移動部材の移動により、対物
レンズの瞳面と互いに共役な位置に配置される。
【0016】
【実施例】図1及び図2は本実施例の断面図、図3は図
1のA−A矢視図、図4は図2のB−B矢視図である。
光源1の前方には照明光を集光する集光レンズ2が配置
され、集光レンズ2の前方には開口絞り3又はピンホー
ル絞り13がソリ14に装着され配置されている。ソリ
14は本体12に設けられた溝15の中に光軸Lとほぼ
垂直方向に移動可能に嵌合していて、開口絞り3及びピ
ンホール絞り13はソリ14の移動に伴い、それぞれそ
の中心が光軸L上に位置することが可能となっている。
図1及び図2は、それぞれ開口絞り3が光軸L上に配置
された状態、及びピンホール絞り13が光軸L上に配置
された状態を示している。尚溝15にはクリックストッ
プ用の穴15aが設けられている。
【0017】開口絞り3は照明光の一部を制限する絞り
で、絞り径の大きさは所定範囲内で変更可能である。ピ
ンホール絞り13の中央には円形のピンホール16が穿
設されている。ピンホール16の絞り径の大きさが極め
て小さく、且つ一定に固定され、開口絞り3の最小絞り
径よりも小さい。
【0018】開口絞り3、又はピンホール絞り13の前
方にはリレーレンズ4、視野絞り5、及び視野レンズ6
が配置され、更に視野レンズ6の前方に視野レンズ6を
透過した照明光を直角に偏角するハーフミラー7が配置
されている。リレーレンズ4及び視野レンズ6は光軸の
微調整のために微細な移動が可能である。照明光はハー
フミラー7で反射された後、対物レンズ8の後側焦点位
置に、光源1と開口絞り3の実像9を結像する。照射光
は対物レンズ8を通過して標本10に照射される。この
照明はいわゆるケーラー照明になっている。尚対物レン
ズ8の後方の光路上には図示しない接眼レンズが配置さ
れている。
【0019】図3に示すように、ソリ14にはソリ14
を貫通する、共にほぼ円筒状の孔14a、孔14bが設
けられ、孔14aには開口絞り3が、孔14bにはピン
ホール絞り13がそれぞれ設けらている。開口絞り3は
複数枚の板羽根3cから構成され、板羽根3cにはピン
3aが植立していて、ピン3aはソリ14に設けられた
孔14cに回転可能に嵌合している。従って、板羽根3
cはピン3aを中心として回転し、開口絞り3の絞り径
を変更することができる。又板羽根3cにはピン3b
が、ピン3aの植立していている面の反対側に植立され
ている。
【0020】絞り開閉リング20は孔14aに回転可能
に嵌合し、絞り開閉リング20の板羽根3cに対する面
20aには、板羽根3cに植立したピン3bと嵌合する
溝20bが刻設されていて、絞り開閉リング20を回転
すると、溝20b及びピン3bを介して開口絞り3の絞
り径が変化する構造になっている。絞り開閉リング20
の外周側の一部には歯車20cが刻設されており、歯車
21と噛合している。歯車21の一部21aはソリ14
の外側に露呈し、歯車21はソリ14の外側から回転可
能であり、歯車21の回転により、歯車20cを介して
絞り開閉リング20が回転するようになっている。板2
2は図4に示す複数の小ねじ22aでソリ14に固定さ
れ、絞り開閉リング20及び歯車21を回転可能に保持
している。
【0021】他方、ピンホール絞り受け部材23はソリ
14に設けられた孔14bに設けられている。孔14b
にはネジ14dが、ピンホール絞り受け部材23にはネ
ジ23aがそれぞれ設けられていて、ピンホール絞り受
け部材23はネジ23a及びネジ14dを介して、ソリ
14に対して着脱可能となっている。
【0022】ピンホール絞り受け部材23にはピンホー
ル絞り13が接着等により固定されていて、そのピンホ
ール絞り13には、光軸Lに合致可能にピンホール16
が設けられている。
【0023】開口絞り3とピンホール16とは、図4に
示すように、それぞれの中心24と中心25とを結ぶ線
26が、ソリ14の移動方向27と平行となっている。
【0024】又、ソリ14の溝15に対する面には、穴
28が設けられ、更に穴28の中にはバネ28aが設け
られ、バネ28aの一端に設けられた部材28bは図1
に示した溝15に設けられた穴15aに嵌入してクリッ
クストップ作用をするようになっている。
【0025】次に動作について説明する。先ず、ソリ1
4を溝15の中で移動させ、開口絞り3の中心が光軸L
上に位置するように設定する。これは図1にその断面図
を示す状態である。このとき、部材28bが穴15aの
1個に嵌入してクリックストップ効果によりソリ14は
停止している。尚、ソリ14の設定のみで開口絞り3の
中心と対物レンズ8の瞳の中心とが一致しないときは、
リレーレンズ4を調整して、光軸を微調整する。光源1
を点灯すると、光源1からの照明光は集光レンズ2に集
光されてから、開口絞り3を通過する。開口絞り3は使
用する対物レンズ8に適合した絞り径に調節しておく。
開口絞り3を通過した照明光は、リレーレンズ4、視
野絞り5、視野レンズ6、ハーフミラー7を介し、対物
レンズ8により集光して標本10上に照射される。標本
10からの光は図示しない接眼レンズを介して観察され
る。
【0026】開口絞り3を交換せず、標本10をコンタ
クトホールを有するLSIに変更し、表面のコンタクト
ホールを観察しようとするときは、開口絞り3の絞り径
を歯車21を回転操作して小さくする。即ちソリ14の
外側に露呈している歯車21の一部21aにより歯車2
1を回転操作すると、歯車20cを介して絞り開閉リン
グ20が回転し、更に、溝20b及びピン3bを介して
開口絞り3の絞り径が変化し標本10を照明する角度は
所定の最大の大きさから最小の大きさまで小さくでき
る。
【0027】開口絞り3の絞り径を最小の大きさまで絞
っても次のような状態となることがある。即ち、光源1
の中央部の光源部分1aからの照明光11aは図6に示
すコンタクトホール10aの底部10bを照明する。し
かし、光源1の端部の光源部分1b、1caからの照明
光11b、11cはコンタクトホール10aの底部10
bに到達しないか、或いは小部分を照明するに過ぎな
い。そのために、表面10cの照度と底部10bの照度
との差が大きくて、コンタクトホール10aの底部10
bは単なる黒点として観察することしかできない。
【0028】このような場合、ソリ14を操作し、ピン
ホール16の中心が光軸L上に位置するように移動させ
る。これは図2にその断面図を示す状態である。照明光
はハーフミラー7で反射された後、対物レンズ8の後側
焦点位置に、光源1による開口絞り3の実像9を結像
し、照射光は対物レンズ8により集光されて標本10上
に照射される。図2に示すように、光源1からの照明光
11dは対物レンズ8を透過して、図9に示すコンタク
トホール10aの底部10bを小さい角度で照明する。
そして、底部10bのほぼ全域を照明するから、底部1
0bの明確な像を観察できる。
【0029】標本が他のものと変更され、又は同一の標
本でもコンタクトホール10aの形状等により使用した
ピンホール16では充分な観察ができないときは、他の
更に絞り径の小さいピンホール16を光軸L上に位置さ
せればよい。このためにはピンホール絞り受け部材23
を交換すればよい。ピンホール絞り受け部材23はネジ
23a及びネジ14dを介して、ソリ14に対して着脱
可能となっているから、ソリ14を本体12の溝15か
ら一旦取り出して、ピンホール絞り受け部材23を回転
し取り外して、他のものを取り付け、ふたたび本体17
の溝15に戻し、ピンホール16の中心を光軸L上に位
置させればよい。このようにして、更に絞り径の小さい
ピンホール16を有するピンホール絞り13を装備する
ピンホール絞り受け部材23と交換することができる。
【0030】次に、他の態様のソリについて説明する。
図8に示すように開口絞り3と2個の絞り径の異なるピ
ンホール16がソリ14に装備されている。開口絞り3
と2個のピンホール16とは、それぞれの中心24と中
心25とを結ぶ線26が、ソリ14の移動方向27と平
行となっている。
【0031】このようなソリを使用すると、標本及び観
察目的に合致したピンホール16を、ソリを溝から一端
取り出すことなしに選択して使用することが可能であ
る。
【0032】尚、実施例においては反射照明の場合につ
いて説明したが、透過照明でも使用であることは言うま
でもない。この場合には開口絞りを通過した照明光を標
本上に集光するのはコンデンサーレンズである。
【0033】
【発明の効果】本発明によれば、顕微鏡用照明装置本体
に具備された移動部材に、絞り径可変型開口絞りと、少
なくとも1個又は2個以上のピンホール型開口絞りとを
含む複数の開口絞りが装備されていて、絞り径可変型開
口絞りと、少なくとも1個又は2個以上のピンホール型
開口絞りの何れかが選択され、移動部材の移動により、
対物レンズの瞳面と互いに共役な位置に配置されるか
ら、一般的な絞り径可変型開口絞りを使用するケーラー
照明による観察が可能であると共に、ピンホール型開口
絞りを使用するピンホール照明による深度の大きいコン
タクトホールのような孔の内部の観察が口径食等が起こ
らないで行うことが可能である。そして移動部材によ
り、両者の交換装着は容易であるから、標本ごとに最も
適合した照明方法を容易に取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる一実施例の断面図。
【図2】本発明にかかる一実施例の他の断面図。
【図3】本発明にかかる一実施例の図1に示す断面図の
A−A矢視図。
【図4】本発明にかかる一実施例の図2に示す断面図の
B−B矢視図。
【図5】従来例の1例を示す断面図。
【図6】コンタクトホールの照明を説明する図。
【図7】従来例の他の例を示す断面図。
【図8】本発明にかかる一実施例の図2に示す断面図の
他の態様のB−B矢視図。
【図9】コンタクトホールの照明を説明する図。
【符号の説明】
1・・・・光源 2・・・・集光レンズ 3・・・・開口絞り 8・・・・対物レンズ 10・・・・標本 13・・・・ピンホール絞り 14・・・・ソリ 15・・・・溝 16・・・・ピンホール 20・・・・絞り開閉リング 21・・・・歯車 23・・・・ピンホール絞り受け部材 11a、11b、11c、11d・・・・照明光 L・・・・光軸

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源からの照明光を集光する集光レンズ
    と、前記集光レンズにより集光された前記照明光の光束
    の一部を制限する開口絞りと、前記開口絞りを通過した
    前記照明光を標本上に集光する対物レンズとを具備し、
    前記開口絞りと前記対物レンズの瞳面とが互いに共役な
    位置に配置された顕微鏡用照明装置において、 前記顕微鏡用照明装置本体に対して移動可能な移動部材
    を具備し、前記移動部材は、絞り径可変型開口絞りと、
    ピンホール型開口絞りとを含む複数の開口絞りを装備
    し、前記複数の開口絞りは、前記移動部材が前記顕微鏡
    用照明装置本体に対して移動することにより、それぞれ
    前記対物レンズの瞳面と互いに共役な位置に配置可能で
    あることを特徴とする顕微鏡用照明装置。
  2. 【請求項2】前記複数の開口絞りのそれぞれの中心は1
    本の直線上に配置され、前記移動部材の移動は直線移動
    であり、前記直線移動の方向は前記複数の開口絞りのそ
    れぞれの中心が配置された直線と平行であることを特徴
    とする請求項1に記載の顕微鏡用照明装置。
  3. 【請求項3】前記ピンホール型開口絞りの少なくとも1
    個は、前記移動部材に対して着脱可能に装備されたもの
    であることを特徴とする請求項1又は2に記載の顕微鏡
    用照明装置。
  4. 【請求項4】前記移動部材を移動させ、前記複数の開口
    絞りのそれぞれの中心を光軸にそれぞれ一致させたと
    き、前記移動部材の移動を制限する移動制限部材を少な
    くとも1個具備することを特徴とする請求項1、2又は
    3に記載の顕微鏡用照明装置。
JP6068213A 1994-03-14 1994-03-14 顕微鏡用照明装置 Pending JPH07253547A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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