JPH07244126A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回路図情報より計測の入力条件と出力規格を
自動で設定できる検査装置を提供する。 【構成】 回路図情報１１を読み取り部１２で読み取
り、回路図情報１１は回路図記憶部１３に格納される。
回路図情報１１から情報抽出部１４により任意の被測定
２点間の抵抗による接続情報を抽出し、情報記憶部１５
に格納する。任意の被測定２点間の抵抗による接続情報
により計測条件規格設定部１６で計測の入力条件と出力
規格を設定し、計測条件規格記憶部１７に格納する。計
測の入力条件と出力規格に基づき計測プログラムを計測
プログラム発生部３で作成し、この計測プログラムによ
り計測装置４から被計測回路装置５に与えられる入力条
件が設定され、計測装置４が計測プログラムで定められ
る検査規格で被計測回路装置５の動作電圧を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は回路装置の計測の効率化
を図り、人為的間違いのない計測の入力条件と出力規格
の自動設定に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、回路装置の計測の入力条件と出力
規格の発生手段は人間が回路装置の計測の入力条件と出
力規格を回路図より考案し、その考案された計測の入力
条件と出力規格を基に計測プログラムを自動発生するこ
とによりなされるようになってきた。

【０００３】以下に従来の回路装置の計測の入力条件と
出力規格の発生手段について説明する。図２は従来の計
測の入力条件と出力規格の発生手段の図であり、１は計
測条件規格入力部、２は計測条件規格記憶部、３は計測
プログラム発生部、４は計測装置、５は被計測回路装置
である。

【０００４】まず人が被計測回路装置の回路図より計測
の入力条件と出力規格を考案する。次に考案された計測
の入力条件と出力規格が計測条件規格設定部１に入力さ
れると計測条件規格記憶部２に格納され、計測プログラ
ム発生部３により計測プログラムが自動発生される。計
測プログラム発生部３で自動発生された計測プログラム
より計測装置４が駆動される。計測装置４が駆動される
ことにより、被計測回路装置５が計測される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では人間が回路図より計測の入力条件と出力規
格を考案していたので、計測の入力条件と出力規格の設
定に人為的間違いを含むという欠点を有していた。

【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で回路図情報（トランジスタ、抵抗、容量等の回路装置
を構成する素子や、前記素子の電気的特性を決定するパ
ラメータ情報や、前記素子間の接続情報をあわせて回路
図情報という。以下回路図情報として記述する）より直
接に計測の入力条件と出力規格を自動で設定することの
できる検査装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の検査装置は、回路図情報を読み取る読み取り
部と、前記読み取り部により得られた前記回路図情報を
格納する回路図記憶部と、前記回路図記憶部に格納され
た前記回路図情報より任意の被測定２点間の抵抗による
接続状態を抽出する情報抽出部と前記情報抽出部より得
られた前記任意の被測定２点間の抵抗による接続状態を
格納する情報記憶部と前記任意の被測定２点間の抵抗に
よる接続状態により計測の入力条件と出力規格を自動で
設定する計測条件規格設定部と前記計測規格条件を格納
する計測条件規格記憶部の構成を有している。

【０００８】

【作用】この構成によって前記回路図情報を前記読み取
り部により読み取り、読み取られた前記回路図情報の内
容は前記回路図記憶部に格納される。前記回路図記憶部
の前記回路図情報から前記情報抽出部により前記任意の
被測定２点間における抵抗による接続情報を抽出する。
前記情報抽出部により得られた前記任意の被測定２点間
の抵抗による接続情報を前記情報記憶部に格納する。前
記情報記憶部に格納された前記任意の被測定２点間の抵
抗による接続情報により前記計測条件規格設定部により
前記計測の入力条件と出力規格を設定する。前記条件規
格設定部により設定された前記計測の入力条件と出力規
格を前記計測条件規格記憶部に格納する。前記計測条件
規格記憶部に格納された前記計測の入力条件と出力規格
に基づき前記計測プログラムを前記プログラム発生部に
より作成する。前記プログラム発生部により作成された
前記計測プログラムにより前記計測装置が駆動される。
前記計測装置が駆動されることにより、人為的間違いの
ない前記被測定回路装置の測定ができる。

【０００９】

【実施例】以下第１の発明の一実施例について、図面を
参照しながら説明する。

【００１０】この実施例は回路図情報を入力し、この回
路図通りに実現された回路装置の計測の入力条件と出力
規格を自動発生するもので、図１はその実施例装置の概
略構成図を示すものである。

【００１１】図１において、１１は被計測回路装置の回
路図情報、１２は前記被測定回路装置の回路図情報１１
を読み取る読み取り部、１３は読み取り部１２により読
み込まれた被測定回路図情報１１を格納する回路図記憶
部、１４は回路図記憶部１３に格納された被測定回路図
情報１１より任意の被測定２点間の抵抗による接続情報
を抽出する情報抽出部、１５は情報抽出部１４により得
られた任意の被測定２点間の抵抗による接続情報を格納
する情報記憶部、１６は情報記憶部１５に格納された任
意の被測定２点間の抵抗による接続情報より計測の入力
条件と出力規格を設定する計測条件規格設定部、１７は
計測条件規格設定部１６で設定された計測条件規格を格
納する計測条件規格記憶部、３は計測条件規格記憶部１
７に格納された計測条件規格より計測プログラムをコー
ディングする計測プログラム発生部、４は計測プログラ
ム発生部３により得られたプログラムにより駆動する計
測装置、５は計測装置４により計測される被計測回路装
置を示す。

【００１２】この検査装置の動作について、以下説明す
る。回路図情報１１を前記読み取り部１２により読み取
り、読み取られた回路図情報１１の内容は回路図記憶部
１３に格納される。回路図記憶部１３の回路図情報１１
から情報抽出部１４により任意の被測定２点間における
抵抗による接続情報を抽出する。情報抽出部１４により
得られた任意の被測定２点間の抵抗による接続情報を情
報記憶部１５に格納する。情報記憶部１５に格納された
任意の被測定２点間の抵抗による接続情報により計測条
件規格設定部１６により計測の入力条件と出力規格を設
定する。計測条件規格設定部１６により設定された計測
の入力条件と出力規格を計測条件規格記憶部１７に格納
する。計測条件規格記憶部１７に格納された計測の入力
条件と出力規格に基づき計測プログラムを計測プログラ
ム発生部３により作成する。計測プログラム発生部３に
より作成された計測プログラムにより計測装置４が駆動
される。計測装置４が駆動されることにより、被計測回
路装置５が測定される。

【００１３】例えば、計測装置４のプローブと被計測回
路装置５との電気的接触を計測する条件は、被測定回路
装置５の計測したい任意の点と抵抗により接続されてい
る被測定回路装置の任意の他の点を情報記憶部１５に存
在する任意の被測定２点間の抵抗による接続情報より得
て計測すべき任意の２点間を計測条件規格設定部１６に
より決定する。また、この計測すべき２点間の抵抗値に
より任意の一方の点に流し込む電流値を決定する。

【００１４】また、被計測回路装置５の内部の金属配線
の短絡の有無を検査する条件は検査時に任意の測定点を
印加電圧の高いグループと印加電圧の低いグループにグ
ループ分けして各々のグループの任意の測定点に電圧を
印加し、グループ間で発生する電流を測定する。異なる
前記グループに存在する任意の測定点間には抵抗による
接続が存在してはならない。抵抗による接続が存在すれ
ば、グループ間で発生する電流がグループ間の金属配線
の短絡に起因するのか、グループ間に存在する抵抗に起
因するのか区別できない。このグループ分けを行なうと
き情報記憶部１５に格納されている任意の被測定２点間
の抵抗接続情報を用いる。

【００１５】また、被計測回路装置５の抵抗値を測定す
るのであれば、情報記憶部１５の任意の被測定２点間の
抵抗による接続情報より抵抗の経路の合成抵抗を求め、
印加すべき電流値を決定する。

【００１６】これらの結果を計測条件規格記憶部１７に
格納し、計測プログラム発生部３により計測装置４を駆
動する計測プログラムをコーディングする。

【００１７】以上の構成により、被計測回路装置５の回
路図情報１１により被計測回路装置５を計測する計測の
入力条件と出力規格を自動で発生したことにより計測の
入力条件と出力規格の人為的な設定間違いを無くし、計
測の効率向上を図ることができる。

【００１８】しかしながら、上記第１の発明では、任意
の被測定２点間に電圧を印加し、前記任意の被測定２点
間に流れる電流値を計測する事により、前記任意の被測
定２点間の金属配線による短絡を計測する入力条件と出
力規格を設定するときは、前記任意の被測定２点間に抵
抗による接続経路が存在すれば、前記任意の被測定２点
間には電圧は印加できない。即ち、金属配線による短絡
を検査できる任意の被測定２点間には抵抗による接続経
路が存在しないという制限が設けられたことになる。金
属配線による短絡を検査する２点間の抵抗による接続経
路の合成抵抗と前記２点間に印加する電圧により決まる
電流値が計測の出力規格に比べ無視し得る範囲内であれ
ば、金属配線による短絡を検査する前記２点間には抵抗
による影響を及ぼさないにもかかわらず、計測の入力条
件と出力規格の設定に制限が加えられている問題が発生
する可能性がある。図３（ａ）を用いて説明する。任意
の被計測２点であるＡ１とＢ１の間の金属配線による短
絡の有無を入力条件として、Ａ１に０.３Ｖ印加し、Ｂ
１に０Ｖ印加する。また、出力規格を０.００１Ａとす
ると図３（ａ）に示す抵抗Ｒ１が５０ｋΩであるので、
抵抗Ｒ１により発生する電流値は６μＡとなり、抵抗Ｒ
１により発生する電流の影響は無視し得る。あるいは、
図３（ｂ）に示すように、任意の被計測２点であるＡ２
とＢ２との間の抵抗Ｒ２は本来１０００Ωであるにもか
かわらず、回路図の入力間違いで図３（ｃ）に示すよう
に抵抗Ｒ２が回路図作成時の入力間違いにより２Ωとな
っていても第１の発明では、扱いは同等である。

【００１９】第２の発明は、基本的な構成は上記の第１
の発明と同様であるが、回路図記憶部１３からの情報を
受信する際に、抵抗の値の受信可能な範囲を半導体装置
内に集積化可能な抵抗値で入力制限する機能を有した情
報抽出部１４を用いる点が、第１の発明と異なる。

【００２０】以上の第２の発明の構成によれば、回路図
情報１１中の各抵抗の情報を抽出する際に、各抵抗毎に
抵抗値の値がチェックされ、任意の被測定２点間の合成
抵抗が前記入力制限の値以上となれば、前記任意の被測
定２点間には抵抗による接続はないとすることにより、
上記入力条件と出力規格設定の制限を防止できる。ある
いは前記入力制限の値の範囲内であるにもかかわらず、
抵抗による接続情報が存在せず、抵抗測定の計測の入力
条件と出力規格が設定されなかった場合は前記回路図作
成時の入力間違いが検出される。

【００２１】また、上記第２の発明では、任意の被測定
２点間に電流を印加し、前記任意の被測定２点間に発生
する電圧値を計測する事により、前記任意の被測定２点
間の抵抗値を計測する入力条件と出力規格を設定すると
きは、前記任意の被測定２点間の抵抗による接続経路が
存在すれば、前記任意の被測定２点間には抵抗値を計測
する入力条件と出力規格が必ず設定される。しかしなが
ら、被測定回路装置５が半導体装置である場合、半導体
装置内の抵抗を形成する拡散の状態を知るための抵抗値
測定ならば、測定すべき２点間の抵抗による接続経路上
に存在する抵抗の本数は少ない事が望ましいが、抵抗に
よる接続経路上の抵抗の本数にかかわらず計測の入力条
件と出力規格が設定される問題が発生する可能性があ
る。図４（ａ）に示すように、任意の被計測２点である
Ａ３とＢ３間は抵抗Ｒ３，Ｒ４，Ｒ５，Ｒ６，Ｒ７によ
って接続されていても、あるいは、図４（ｂ）に示すよ
うに抵抗Ｒ３のみで接続されていても、同様に抵抗値を
測定する入力の条件と出力規格が設定される。あるい
は、図４（ｂ）に示すように本来１本の抵抗で接続され
ている任意の被計測２点であるＡ３とＢ３間に、図４
（ａ）で示すように５本の抵抗が回路図作成時に間違っ
て入力されていても、同様に抵抗値を測定する入力の条
件と出力規格が設定される。

【００２２】第３の発明は、基本的な構成は上記の第１
の発明と同様であるが、回路図記憶部１３からの情報を
受信する際に、任意の被測定２点間の抵抗による接続情
報を抵抗による接続経路上の受信可能な抵抗の本数で入
力制限する機能を有した情報抽出部１４を用いる点が、
第１の発明と異なる。

【００２３】以上の第３の発明の構成によれば、回路図
情報１１中の各抵抗の情報を抽出する際に、各経路上の
抵抗の本数がチェックされ、任意の被測定２点間の抵抗
による接続経路上の抵抗の本数が前記入力制限の値以上
となれば、前記任意の被測定２点間には抵抗値を計測す
る入力条件と出力規格は設定されないことにより上記望
ましくない抵抗の計測の入力条件と出力規格の設定を防
止できる。あるいは本来、前記入力制限の値の範囲内で
あるにもかかわらず、抵抗による接続情報が存在せず、
抵抗測定の計測の入力条件と出力規格が設定されなかっ
た場合は前記回路図作成時の入力間違いが検出される。

【００２４】また、上記第３の発明では、任意の被測定
２点間に電流を印加し、前記任意の被測定２点間に発生
する電圧値を計測する事により、前記任意の被測定２点
間の抵抗値を計測する入力条件と出力規格を設定すると
きは、前記任意の被測定２点間の抵抗による接続経路が
存在すれば、前記任意の被測定２点間には抵抗値を計測
する入力条件と出力規格が必ず設定される。しかしなが
ら、被測定回路装置５が半導体装置である場合、半導体
装置内の抵抗を形成する拡散の状態を知るための抵抗値
測定ならば、測定すべき２点間に存在する抵抗の並列な
接続経路数は少ない事が望ましいが、並列に存在する接
続経路の数にかかわらず計測の入力条件と出力規格が設
定される問題が発生する可能性がある。図５（ａ）に示
すように任意の被計測２点であるＡ４とＢ４間は抵抗Ｒ
８，Ｒ９，Ｒ１０，Ｒ１１によって接続されていても、
あるいは、図５（ｂ）に示すように抵抗Ｒ１２のみで接
続されていても、同様に抵抗値を測定する入力の条件と
出力規格が設定される。あるいは、図５（ｂ）に示すよ
うに本来抵抗Ｒ８の１本で接続されている任意の被計測
２点であるＡ４とＢ４間に、図５（ａ）で示すように４
本の抵抗が回路図作成時に間違って並列に入力されてい
ても、同様に抵抗値を測定する入力の条件と出力規格が
設定される。

【００２５】第４の発明は、基本的な構成は上記の第１
の発明と同様であるが、回路図記憶部１３からの情報を
受信する際に、任意の被測定２点間の抵抗による接続情
報を被測定２点間に並列に存在する受信可能な接続経路
数で入力制限する機能を有した情報抽出部１４を用いる
点が、第１の発明と異なる。

【００２６】以上の第４の発明の構成によれば、回路図
情報１１中の各抵抗の情報を抽出する際に、被測定２点
間の抵抗による接続経路の数がチェックされ、任意の被
測定２点間の抵抗による接続経路の数が前記入力制限の
値以上となれば、前記任意の被測定２点間には抵抗値を
計測する入力条件と出力規格は設定されないことにより
上記望ましくない抵抗の計測の入力条件と出力規格の設
定を防止できる。あるいは、本来前記入力制限の値の範
囲内であるにもかかわらず、抵抗による接続情報が存在
せず、抵抗測定の計測の入力条件と出力規格が設定され
なかった場合は前記回路図作成時の入力間違いが検出さ
れる。

【００２７】

【発明の効果】第１の発明は、回路図情報より任意の被
測定２点間の抵抗による接続情報を全て抽出し、前記任
意の被測定２点間の抵抗による接続情報を基に計測の入
力条件と出力規格を自動で設定する。計測の入力条件と
出力条件を自動で設定することにより、人為的な設定間
違いのない計測ができるという効果を得ることができる
優れた検査装置を実現できるものである。

【００２８】第２の発明は、基本的な構成は第１の発明
と同様であるが、回路図記憶部からの情報を受信する際
に、抵抗の値の受信可能な範囲を半導体装置内に集積化
可能な抵抗値で入力制限する機能を有した情報抽出部を
用いることにより、金属配線による短絡を検査する２点
間の抵抗による接続経路の合成抵抗と前記２点間に印加
する電圧により決まる電流値が計測の出力規格に比べて
無視し得る範囲内であれば、金属配線による短絡を検査
する前記２点間には、計測の入力条件と出力規格が設定
できる。あるいは前記入力制限の値の範囲内であるにも
かかわらず、抵抗による接続情報が存在せず、抵抗測定
の計測の入力条件と出力規格が設定されなかった場合は
前記回路図作成時の入力間違が検出されるという効果を
得ることができる優れた検査装置を実現できるものであ
る。

【００２９】第３の発明は、基本的な構成は上記の第１
の発明と同様であるが、回路図記憶部からの情報を受信
する際に、任意の被測定２点間の抵抗による接続情報を
抵抗による接続経路上の受信可能な抵抗の本数で入力制
限する機能を有した情報抽出部を用いることにより、任
意の被測定２点間の抵抗による接続経路上の抵抗の本数
が前記入力制限の値より少ない時のみ、抵抗値を計測す
る入力条件と出力規格が設定され、より信頼性のある計
測が実行できる。あるいは本来、前記入力制限の値の範
囲内であるにもかかわらず、抵抗による接続情報が存在
せず、抵抗測定の計測の入力条件と出力規格が設定され
なかった場合は前記回路図作成時の入力間違いが検出さ
れるという効果を得ることができる優れた検査装置を実
現できるものである。

【００３０】第４の発明は、基本的な構成は上記の第１
の発明と同様であるが、回路図記憶部からの情報を受信
する際に、任意の被測定２点間の抵抗による接続情報を
被測定２点間に並列に存在する受信可能な接続経路数で
入力制限する機能を有した情報抽出部１４を用いること
により、任意の被測定２点間に並列に存在する接続経路
上の数が前記入力制限の値より少ない時のみ、抵抗値を
計測する入力条件と出力規格が設定され、より信頼性の
ある計測が実行できる。あるいは、本来入力制限の値の
範囲内であるにもかかわらず、抵抗による接続情報が存
在せず、抵抗測定の計測の入力条件と出力規格が設定さ
れなかった場合は前記回路図作成時の入力間違いが検出
されるという効果を得ることができる優れた検査装置を
実現できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の発明の検査装置の計測の入力条件と出力
規格の発生手段の概略図

【図２】従来例の計測の入力条件と出力規格の発生手段
の概略図

【図３】第１の発明における任意の被測定２点間の抵抗
値を示す図

【図４】第２の発明における任意の被測定２点間の抵抗
値を示す図

【図５】第３の発明における任意の被測定２点間の抵抗
値を示す図

【符号の説明】

１ 計測条件規格入力部 ２ 計測条件規格記憶部 ３ 計測プログラム発生部 ４ 計測装置 ５ 被計測回路装置 １１ 回路図情報 １２ 読み取り部 １３ 回路図記憶部 １４ 情報抽出部 １５ 情報記憶部 １６ 計測条件規格設定部 １７ 計測条件規格記憶部 Ａ１，Ｂ１ 任意の被測定２点間 Ａ２，Ｂ２ 任意の被測定２点間 Ａ３，Ｂ３ 任意の被測定２点間 Ａ４，Ｂ４ 任意の被測定２点間 Ａ５，Ｂ５ 任意の被測定２点間 Ｒ１〜Ｒ１１ 抵抗

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回路図情報を読み取る読み取り部と、前
   記読み取り部により得られた前記回路図情報を格納する
   回路図記憶部と、前記回路図記憶部に格納された前記回
   路図情報より任意の被測定２点間の抵抗による接続状態
   を抽出する情報抽出部と、前記情報抽出部より得られた
   前記任意の被測定２点間の抵抗による接続状態を格納す
   る情報記憶部と、前記任意の被測定２点間の抵抗による
   接続状態により計測の入力条件と出力規格を自動で設定
   する計測条件規格設定部と、前記計測条件規格を格納す
   る計測条件規格記憶部とを具備した検査装置。
2. 【請求項２】 情報抽出部は、抵抗の値の受信可能な範
   囲を半導体装置内に集積化可能な抵抗値で制限すること
   を特徴とする請求項１記載の検査装置。
3. 【請求項３】 情報抽出部は、直列接続される抵抗の本
   数の受信可能な範囲を制限することを特徴とする請求項
   １記載の検査装置。
4. 【請求項４】 情報抽出部は、並列接続された抵抗の経
   路数の受信可能な範囲を制限することを特徴とする請求
   項１記載の検査装置。