JPH07239366A - Auto handler for tab - Google Patents

Auto handler for tab

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JPH07239366A
JPH07239366A JP6054581A JP5458194A JPH07239366A JP H07239366 A JPH07239366 A JP H07239366A JP 6054581 A JP6054581 A JP 6054581A JP 5458194 A JP5458194 A JP 5458194A JP H07239366 A JPH07239366 A JP H07239366A
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tab
stepped
sprocket
pulley
guide
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Mitsuhiro Furuta
光弘 古田
Hiroyuki Makishita
裕之 牧下
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Ando Electric Co Ltd
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    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide an auto handler for TAB which needs a short index time and can easily change width of a TAB. CONSTITUTION:Guides 5A, 5B are set on both sides of sprockets 7A, 7B to fix a rotary center. Pulleys 4A, 4B are set on both sides of the guides 5A, 5B to fix the rotary center. Moreover, sprockets 3A, 3B are arranged on both sides of the pulleys 4A, 4B. An XY stage starts to correct a TAB 1 simultaneously in X and Y directions. Pushers 9, 10 start to ascend/descend at the same time. When the pushers 9, 10 move down and a punch unit 11 operates, the TAB 1 is measured by cameras 15A, 15B or an image of the TAB before and after a punch hole is detected. A guide width for the TAB 1 is changed by the sprockets 3A, 3B, pulleys 4A, 4B, guides 5A, 5B on the rotary axis.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、TAB用オートハン
ドラについてのものである。TAB用オートハンドラは
ICテスタと接続してTABの電気的特性を測定し、分
類する。TABには、例えばLCD(液晶ディスプレ
イ)の駆動用ICがある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a TAB auto handler. The TAB auto handler is connected to an IC tester to measure and classify the electrical characteristics of the TAB. The TAB includes, for example, an LCD (liquid crystal display) driving IC.

【0002】[0002]

【従来の技術】TAB用オートハンドラは、リールに巻
かれたTABを自動的に測定位置まで逐次搬送し、IC
テスタのテスト結果にもとづいて選別する装置である。
なお、リールに巻かれたTAB用ローラのテンション機
構は実願平2- 41356号明細書に記載されいる。また、T
ABと電極の精密位置決め機構は、実開昭64-34576号公
報、実開平1-163335号公報、実願平2-106251号明細書な
どに記載されている。
2. Description of the Related Art A TAB auto handler automatically sequentially conveys TAB wound on a reel to a measurement position, and
This is a device that selects based on the test results of the tester.
The tension mechanism of the TAB roller wound on the reel is described in Japanese Patent Application No. 2-41356. Also, T
The precise positioning mechanism for the AB and the electrode is described in Japanese Utility Model Laid-Open No. 64-34576, Japanese Utility Model Laid-Open No. 1-163335, Japanese Patent Application No. 2-106251.

【0003】次に、従来技術によるTAB用オートハン
ドラの構成を図8により説明する。図8の1はTAB、
2Aは供給リール、2Bは収容リール、4Cと4Dはプ
ーリ、5Cと5Dはテンションプーリ、6Cと6Dはガ
イド、7Aと7Bはスプロケット、8はテープクラン
プ、9と10はプッシャである。
Next, the structure of a conventional TAB auto handler will be described with reference to FIG. 8 in FIG. 8 is TAB,
2A is a supply reel, 2B is a storage reel, 4C and 4D are pulleys, 5C and 5D are tension pulleys, 6C and 6D are guides, 7A and 7B are sprockets, 8 is a tape clamp, and 9 and 10 are pushers.

【0004】図8では、供給リール2Aに巻かれたTA
B1を収容リール2Bは巻き取る。プッシャ9の両翼に
はスプロケット7A・7Bが配置され、スプロケット7
Aとスプロケット7Bは同期回転してTAB1を走行さ
せる。プッシャ9の下面にはテープクランプ8が配置さ
れ、TAB1はプッシャ9とテープクランプ8間を走行
する。プッシャ10はプッシャ9を昇降させ、テープク
ランプ8とプッシャ9で保持されたTAB1をプッシャ
10は降下させ、前記TAB1をプローブカード12に
接触させて試験する。
In FIG. 8, the TA wound around the supply reel 2A
The accommodation reel 2B winds B1 up. Sprockets 7A and 7B are arranged on both wings of the pusher 9,
A and the sprocket 7B rotate synchronously to drive the TAB1. A tape clamp 8 is arranged on the lower surface of the pusher 9, and the TAB 1 travels between the pusher 9 and the tape clamp 8. The pusher 10 raises and lowers the pusher 9, and the TAB 1 held by the tape clamp 8 and the pusher 9 is lowered, and the TAB 1 is brought into contact with the probe card 12 for testing.

【0005】図8のプローブカード12はプッシャ9と
対向する形で装置に保持される。プローブカード12と
アタッチメントユニット13は機械的または電気的に分
離可能接続される。ICテスタのテストヘッド14は上
部にアタッチメントユニット13を配置する。プローブ
カード12とアタッチメントユニット13間にはTAB
1を撮像する画像認識用のカメラ17が配置される。
The probe card 12 shown in FIG. 8 is held by the apparatus so as to face the pusher 9. The probe card 12 and the attachment unit 13 are mechanically or electrically separably connected. The attachment unit 13 is arranged on the upper part of the test head 14 of the IC tester. TAB is placed between the probe card 12 and the attachment unit 13.
An image recognition camera 17 for picking up an image 1 is arranged.

【0006】図8では、TAB1はスプロケット7A・
7Bが同期して回転することによりTABのピッチ分送
られ、供給リール2Aからテンションプーリ5C、スプ
ロケット7A・7B、テンションプーリ5D、収容リー
ル2Bの順に移動する。
In FIG. 8, TAB1 is a sprocket 7A.
When 7B rotates in synchronization, it is fed by the pitch of TAB, and moves from the supply reel 2A to the tension pulley 5C, the sprockets 7A and 7B, the tension pulley 5D, and the accommodation reel 2B in this order.

【0007】プーリ4Cは供給リール2Aとテンション
プーリ5C間に配置され、プーリ4Dは収容リール2B
とテンションプーリ5D間に配置される。プーリ4C・
4DDは回転中心が固定され、円周面が転動してTAB
1を案内する。テンションプーリ5C・5Dは回転中心
が水平方向に自在に移動する。ガイド6Cはテンション
プーリ5Cとスプロケット7A間に配置され、ガイド6
Dはテンションプーリ5Dとスプロケット7B間に配置
される。ガイド6C・6DはTAB1を介在させ、スプ
ロケット7A・7Bと対向する形で配置されており、ガ
イド6C・6Dの上面は円弧状に形成され、TAB1を
案内する。
The pulley 4C is arranged between the supply reel 2A and the tension pulley 5C, and the pulley 4D is contained reel 2B.
And the tension pulley 5D. Pulley 4C
In 4DD, the center of rotation is fixed, the circumferential surface rolls, and TAB
Guide 1 The center of rotation of the tension pulleys 5C and 5D freely moves in the horizontal direction. The guide 6C is arranged between the tension pulley 5C and the sprocket 7A,
D is arranged between the tension pulley 5D and the sprocket 7B. The guides 6C and 6D are arranged so as to face the sprockets 7A and 7B with the TAB 1 interposed, and the upper surfaces of the guides 6C and 6D are formed in an arc shape to guide the TAB 1.

【0008】図8では、TAB1の屈曲や波うちを防止
するためTAB1にある程度の張力をかける。すなわ
ち、テンションプーリ5Cは図8の左側に移動するする
力が付与されている。同様に、テンションプーリ5Dは
図8の右側に移動する力が付与されている。
In FIG. 8, a certain amount of tension is applied to TAB1 in order to prevent bending and waviness of TAB1. That is, the tension pulley 5C is given a force to move it to the left side in FIG. Similarly, the tension pulley 5D is given a force to move it to the right side in FIG.

【0009】次に、テンションプーリ5C・5Dのテン
ション機構を図9により説明する。なお、図8のTAB
用オートハンドラは左右対称になっており、前述のテン
ション機構も構成は左右対称となっている。したがっ
て、図9ではテンションプーリ5Cの部分拡大図を例に
とって説明する。
Next, the tension mechanism of the tension pulleys 5C and 5D will be described with reference to FIG. The TAB in FIG.
The auto-handler for is symmetrical, and the tension mechanism described above is also symmetrical. Therefore, in FIG. 9, a partial enlarged view of the tension pulley 5C will be described as an example.

【0010】図9では、スプロケット7Aにより送り出
されるTAB1の移動方向にプーリ52Cを配置し、プ
ーリ案内51Cで移動するテンションプーリ5Cの中心
軸にロープ53Cの一端を連結する。ロープ53Cはプ
ーリ52Cに掛けられ、ロープ53Cの他端に重り54
Cを吊るしている。重り54Cにかかる重力をロープ5
3Cとプーリ52Cを仲介してテンションプーリ5Cに
伝えることにより、テンションプーリ5Cはプーリ案内
51Cに沿い、左方に引かれる。図9では、テンション
プーリ5Cがどの位置にあっても重り54Cの重力によ
りTAB1は一定の張力が与えられる。
In FIG. 9, a pulley 52C is arranged in the moving direction of the TAB 1 fed by the sprocket 7A, and one end of a rope 53C is connected to the central axis of the tension pulley 5C moving by the pulley guide 51C. The rope 53C is hung on the pulley 52C, and the weight 54 is attached to the other end of the rope 53C.
Hanging C. The gravity applied to the weight 54C is applied to the rope 5
The tension pulley 5C is pulled to the left along the pulley guide 51C by transmitting the tension pulley 5C to the tension pulley 5C via the pulley 3C and the pulley 52C. In FIG. 9, TAB1 is given a constant tension by the gravity of the weight 54C regardless of the position of the tension pulley 5C.

【0011】次に、図9のテンション機構を採用したテ
ンションプーリ5Cの動作を図10から図12により説
明する。図10の55Cはテンションプーリ5Cに取り
付けられた検出板、56C〜58Cはセンサである。図
10では、テンションプーリ5Cが右方に移動すると、
検出板55Cがセンサ56Cで検出される。このとき、
供給リール2AはTAB1を送り出す方向にTAB1の
送り速度より速い速度で回転する。
Next, the operation of the tension pulley 5C adopting the tension mechanism shown in FIG. 9 will be described with reference to FIGS. In FIG. 10, 55C is a detection plate attached to the tension pulley 5C, and 56C to 58C are sensors. In FIG. 10, when the tension pulley 5C moves to the right,
The detection plate 55C is detected by the sensor 56C. At this time,
The supply reel 2A rotates in a direction in which the TAB1 is fed out at a speed higher than the feeding speed of the TAB1.

【0012】図11は、図10の状態からテンションプ
ーリ5Cが左方に移動している状態図である。図10の
状態から供給リール2Aが回転すると、テンションプー
リ5CはTAB1の送りに関係なく、左方向に移動す
る。
FIG. 11 is a state diagram in which the tension pulley 5C is moving leftward from the state of FIG. When the supply reel 2A rotates from the state of FIG. 10, the tension pulley 5C moves leftward regardless of the feeding of the TAB 1.

【0013】図12は、図11の状態からテンションプ
ーリ5Cがさらに左方に移動した状態図である。図11
の状態が続くと、テンションプーリ5Cは図12の位置
にくる。図12では、検出板55Cはセンサ57Cで検
出され、供給リール2AはTAB1の送りに関係なく停
止する。図12の状態からTAB1を送り出すことによ
り、テンションプーリ5Cは図10の状態になるまで右
方に移動する。
FIG. 12 is a state diagram in which the tension pulley 5C is moved further leftward from the state of FIG. Figure 11
When the state of (3) continues, the tension pulley 5C comes to the position shown in FIG. In FIG. 12, the detection plate 55C is detected by the sensor 57C, and the supply reel 2A is stopped regardless of the feeding of the TAB1. By sending out TAB1 from the state of FIG. 12, the tension pulley 5C moves to the right until the state of FIG. 10 is reached.

【0014】図10から図12に示されるように、テン
ションプーリ5Cは左右に移動するが、TAB1にかか
る張力は一定となる。なお、TAB1が切れた場合はテ
ンションプーリ5Cは左方に移動し、検出板55Cがセ
ンサ58Cで検出される。センサ58Cの検出で装置を
停止するので、TAB1を保護できる。
As shown in FIGS. 10 to 12, the tension pulley 5C moves left and right, but the tension applied to the TAB 1 is constant. When the TAB1 is cut off, the tension pulley 5C moves to the left and the detection plate 55C is detected by the sensor 58C. Since the device is stopped by the detection of the sensor 58C, the TAB1 can be protected.

【0015】図13は、図9のテンション機構を採用し
たテンションプーリ5Dの近傍の構成図である。図13
では、テンションプーリ5Dが右方に移動すると、検出
板55Dがセンサ57Dで検出される。このとき、収容
リール2BはTAB1を卷き取る方向にTAB1の送り
速度より速い速度で回転を始める。図13の状態から、
収容リール2Bが回転すると、テンションプーリ5Dは
TAB1の送りに関係なく、左方向に移動する。テンシ
ョンプーリ5Dが移動して、検出板55Dがセンサ56
Dで検出されると、収容リール2BはTAB1の送りに
関係なく停止する。次に、TAB1を送り出すことによ
り、テンションプーリ5Dは図13の状態になるまで右
方に移動する。なお、TAB1が切れた場合はテンショ
ンプーリ5Dは左方に移動し、検出板55Dがセンサ5
8Dで検出される。センサ58Dの検出で装置は停止す
る。
FIG. 13 is a block diagram of the vicinity of a tension pulley 5D which employs the tension mechanism of FIG. FIG.
Then, when the tension pulley 5D moves to the right, the detection plate 55D is detected by the sensor 57D. At this time, the accommodation reel 2B starts rotating at a speed higher than the feeding speed of the TAB1 in the direction of winding the TAB1. From the state of FIG.
When the accommodation reel 2B rotates, the tension pulley 5D moves leftward regardless of the feeding of the TAB1. The tension pulley 5D moves, and the detection plate 55D moves to the sensor 56.
When detected in D, the accommodation reel 2B stops regardless of the feeding of TAB1. Next, by sending out TAB1, the tension pulley 5D moves to the right until the state shown in FIG. 13 is reached. When TAB1 is cut off, the tension pulley 5D moves to the left, and the detection plate 55D causes the sensor 5 to move.
Detected in 8D. The device is stopped by the detection of the sensor 58D.

【0016】図8に戻り、動作を説明する。スプロケッ
ト7A・7Bで位置決めされたTAB1は、テープクラ
ンプ8とプッシャ9により固定される。次に、プッシャ
10はテープクランプ8とプッシャ9を一体にしてTA
B1を下降させ、TAB1をプローブカード12のプロ
ーブ12Aに接触させる。TAB1がプローブ12Aに
接触した状態で、カメラ17はTAB1の画像データを
取り込み、TAB1の位置の補正量を算出する。画像デ
ータを取り込み後、TAB1を一度上昇し、TAB1の
位置を補正後、TAB1を再下降する。次に、TAB1
がプローブ12Aに接触した状態で、ICテスタ側にオ
ートハンドラからテストスタート要求信号を送る。テス
トが終了するとプッシャ9・10は上昇し、スプロケッ
ト7A・7Bが回転して次のTAB1が送られる。
Returning to FIG. 8, the operation will be described. The TAB 1 positioned by the sprockets 7A and 7B is fixed by the tape clamp 8 and the pusher 9. Next, the pusher 10 integrates the tape clamp 8 and the pusher 9 into a TA.
B1 is lowered to bring TAB1 into contact with the probe 12A of the probe card 12. With the TAB1 in contact with the probe 12A, the camera 17 captures the image data of the TAB1 and calculates the correction amount of the position of the TAB1. After capturing the image data, TAB1 is raised once, the position of TAB1 is corrected, and then TAB1 is lowered again. Next, TAB1
Sends a test start request signal from the auto-handler to the IC tester side while the probe is in contact with the probe 12A. When the test is completed, the pushers 9 and 10 rise, the sprockets 7A and 7B rotate, and the next TAB1 is sent.

【0017】図8では、スプロケット7A・7Bが反時
計方向に同期して回転することにより、TAB1は図8
の左側から右側に送られていく。図8では、TAB1に
無理な力が加わらないようにしているので、プッシャ9
が降下前にはTAB1はたわんでいる。TAB1のたわ
みをとって測定するため、図8では、スプロケット7B
の回転を停止し、スプロケット7Aを時計方法に逆回転
する。
In FIG. 8, the sprocket 7A and 7B rotate counterclockwise in synchronization with each other, so that the TAB 1 is moved to the position shown in FIG.
From the left side to the right side. In FIG. 8, since the TAB1 is not applied with an excessive force, the pusher 9
However, TAB1 is bending before the descent. In order to measure the deflection of TAB1, the sprocket 7B is shown in FIG.
And the sprocket 7A is rotated counterclockwise.

【0018】前述のTAB測定時のたわみ取り機構は、
この出願人が実願平1-131293号で開示している。このた
わみ取り機構をオートハンドラに採用することにより、
TAB1のテストパッドとプローブカード12のプロー
ブ12Aは±60μmの位置合わせ精度が確保される。T
AB1を±60μm以上の高精度でプローブ12Aと位置
合わせするためには、後述するアライメント機能が必要
となる。
The flexure removing mechanism at the time of the above-mentioned TAB measurement is
This applicant discloses in Japanese Patent Application No. 1-131293. By adopting this bending mechanism in the auto handler,
The test pad of the TAB1 and the probe 12A of the probe card 12 ensure the alignment accuracy of ± 60 μm. T
In order to align the AB1 with the probe 12A with high accuracy of ± 60 μm or more, an alignment function described later is required.

【0019】次に、TAB1とプローブ12Aの位置決
め方法を説明する。図14はTAB1を部分拡大したパ
ターン図であり、パターン図の一隅に位置決め用の基準
マーク1Aがある。中央部にはICチップ1Bが実装さ
れ、ICチップ1Bの両側にはICチップ1Bとパター
ンで接続するテストパッド1Cが配置される。TAB1
は、図14のパターン図が等間隔で連続して形成されて
おり、図14のパターンの単位をデバイスと呼ぶことと
する。
Next, a method of positioning the TAB 1 and the probe 12A will be described. FIG. 14 is a partially enlarged pattern diagram of TAB1, and a reference mark 1A for positioning is provided at one corner of the pattern diagram. An IC chip 1B is mounted in the central portion, and test pads 1C connected to the IC chip 1B in a pattern are arranged on both sides of the IC chip 1B. TAB1
The pattern diagram of FIG. 14 is continuously formed at equal intervals, and the unit of the pattern of FIG. 14 is called a device.

【0020】図14に示されるTAB1は、装置が稼動
する前に予め位置決め調整される。この位置決め調整を
初期設定と呼称することとする。初期設定後、装置が稼
動するとTAB1は自動的に位置調整される。この自動
調整をアライメント機能と呼ぶこととする。
The TAB 1 shown in FIG. 14 is prepositioned and adjusted before the apparatus is put into operation. This positioning adjustment will be referred to as initial setting. After the initial setting, the TAB1 is automatically adjusted when the apparatus is operated. This automatic adjustment is called an alignment function.

【0021】次に、TAB1の初期設定の手順を図15
により説明する。図15は図8の要部拡大断面図であ
る。図15の7Cと7Dはそれぞれスプロケット7A・
7Bに転動してTAB1を案内するローラである。ま
た、17Aはカメラ17に接続される画像処理装置であ
り、17Bはカメラ17に接続され、カメラ17の撮像
を表示するテレビモニタである。なお、図15に示され
るそれぞれの可動部はボタンまたはスイッチの切り換え
により個別に操作できる。
Next, the procedure of initial setting of TAB1 is shown in FIG.
Will be described. FIG. 15 is an enlarged cross-sectional view of the main part of FIG. 7C and 7D in FIG. 15 are sprockets 7A, respectively.
It is a roller that rolls to 7B and guides TAB1. Further, 17A is an image processing apparatus connected to the camera 17, and 17B is a television monitor connected to the camera 17 and displaying an image captured by the camera 17. The movable parts shown in FIG. 15 can be individually operated by switching buttons or switches.

【0022】図15では、テープクランプ8とプッシャ
9でTAB1を固定する。次に、プッシャ10でTAB
1を下降し、TAB1をプローブ12Aに接触させる。
次に、カメラ17を移動してテストパッド1Cとプロー
ブ12Aとの接触状態をテレビモニタ17Bで確認す
る。テレビモニタ17Bで確認しながら、プローブ12
Aの接触端がテストパッド1Cの中央に位置するように
プローブカード12を微小移動またはスプロケット7A
・7Bを微少回転し、位置補正する。なお、TAB1を
移動する場合は、プローブ12Aを損傷しないようTA
B1を上昇させておく。
In FIG. 15, the TAB 1 is fixed by the tape clamp 8 and the pusher 9. Next, pusher 10 TAB
1 is lowered to bring TAB1 into contact with the probe 12A.
Next, the camera 17 is moved to check the contact state between the test pad 1C and the probe 12A on the television monitor 17B. While checking on the TV monitor 17B, the probe 12
Finely move the probe card 12 so that the contact end of A is located in the center of the test pad 1C or the sprocket 7A.
・ Slightly rotate 7B to correct the position. In addition, when moving TAB1, be careful not to damage the probe 12A.
Increase B1.

【0023】テストパッド1Cとプローブ12Aの位置
合わせが完了すると、次に、カメラ17で基準マーク1
Aを撮像し、撮像データを基準撮像データとして装置に
記憶する。この基準撮像データがTAB1とプローブカ
ード12が接触する位置の基準となり、初期設定が完了
する。
When the alignment between the test pad 1C and the probe 12A is completed, the reference mark 1 is then read by the camera 17.
A is imaged and the imaged data is stored in the device as reference imaged data. The reference imaging data serves as a reference for the position where the TAB 1 and the probe card 12 come into contact with each other, and the initial setting is completed.

【0024】次に、アライメント機能を実現する構成を
図16と図17により説明する。図16はプッシャ9・
10の拡大斜視図であり、図17は図16の断面図であ
る。図16の9Aと10Aはモータであり、図17の1
6AはXテーブル、16BはYテーブル、16Xと16
Yはモータである。
Next, the structure for realizing the alignment function will be described with reference to FIGS. Figure 16 shows pusher 9
10 is an enlarged perspective view of FIG. 10, and FIG. 17 is a sectional view of FIG. 16. 9A and 10A in FIG. 16 are motors, and 1A in FIG.
6A is an X table, 16B is a Y table, 16X and 16
Y is a motor.

【0025】図16では、モータ7Eはスプロケット7
Aを回転し、モータ7Fはスプロケット7Bを回転す
る。スプロケット7Aはアーム7Gで保持され、アーム
7Gはブロック9Bの第1の側面に取り付けられる。ス
プロケット7Bはアーム7Hで保持され、アーム7Hは
ブロック9Bの第1の側面と反対側の第2の側面に取り
付けられる。
In FIG. 16, the motor 7E is the sprocket 7
A rotates, and the motor 7F rotates the sprocket 7B. The sprocket 7A is held by an arm 7G, and the arm 7G is attached to the first side surface of the block 9B. The sprocket 7B is held by the arm 7H, and the arm 7H is attached to the second side surface of the block 9B opposite to the first side surface.

【0026】図17では、モータ9Aはブロック9Bの
上面に取り付けられ、モータ9Aの回転軸はボールねじ
9Dに連結し、ボールねじ9Dはプッシャ9に保持され
るボールナットと結合する。モータ9Aが回転すると、
プッシャ9はガイド9Cに案内されて昇降する。
In FIG. 17, the motor 9A is mounted on the upper surface of the block 9B, the rotating shaft of the motor 9A is connected to the ball screw 9D, and the ball screw 9D is connected to the ball nut held by the pusher 9. When the motor 9A rotates,
The pusher 9 is guided by the guide 9C to move up and down.

【0027】モータ10AはXテーブル16Aの前段上
面に取り付けられ、モータ10Aの回転軸はボールねじ
10Dに連結し、ボールねじ10Dはブロック9Bに保
持されるボールナットと結合する。モータ10Aが回転
すると、ブロック9Bはガイド10Cに案内されて昇降
する。すなわち、プッシャ10は、スプロケット7A・
7Bとテープクランプ8とプッシャ9を一体にして昇降
する。図17ではモータ10AでTAB1の昇降位置を
粗調整し、モータ9Aでプッシャ9によるTAB1の昇
降位置を微調整している。
The motor 10A is mounted on the upper surface of the front stage of the X-table 16A, the rotating shaft of the motor 10A is connected to the ball screw 10D, and the ball screw 10D is connected to the ball nut held by the block 9B. When the motor 10A rotates, the block 9B moves up and down under the guidance of the guide 10C. That is, the pusher 10 has the sprocket 7A
7B, the tape clamp 8 and the pusher 9 are integrally lifted. In FIG. 17, the vertical movement position of the TAB1 is roughly adjusted by the motor 10A, and the vertical movement position of the TAB1 by the pusher 9 is finely adjusted by the motor 9A.

【0028】次に、XYステージ16の構成を説明す
る。XYステージ16はXテーブルとYテーブルで構成
される。Xテーブル16Aの後段にはモータ16Xが連
結される。モータ16Xが回転すると、Xテーブル16
AはTAB1の走行方向と平行に微小移動する。すなわ
ち、モータ16XはTAB1とスプロケット7A・7B
とプッシャ9・10を一体にしてX方向に移動する。モ
ータ16Xが取り付けられるYテーブル16Bの下段は
モータ16Yが連結される。モータ16Yが回転する
と、Yテーブル16BはTAB1の走行方向と直交する
方向と平行に微小移動する。すなわち、モータ16Yは
TAB1をY方向に移動させる。
Next, the structure of the XY stage 16 will be described. The XY stage 16 is composed of an X table and a Y table. The motor 16X is connected to the subsequent stage of the X table 16A. When the motor 16X rotates, the X table 16
A slightly moves in parallel with the traveling direction of TAB1. That is, the motor 16X includes the TAB1 and the sprockets 7A and 7B.
And pushers 9 and 10 are moved together in the X direction. The motor 16Y is connected to the lower stage of the Y table 16B to which the motor 16X is attached. When the motor 16Y rotates, the Y table 16B slightly moves in parallel to the direction orthogonal to the traveling direction of TAB1. That is, the motor 16Y moves the TAB1 in the Y direction.

【0029】次に、アライメント機能を説明する。装置
が稼動すると、カメラ17は基準マーク1Aを撮像し、
初期設定で記憶された基準撮像データと比較する。次
に、前記比較値から補正値を演算し、補正値分XYステ
ージ16を移動すると、TABのテストパッド1Cとプ
ローブ12Aが位置合わせできる。このアライメント機
能を採用することにより、TAB1とプローブカード1
2を±10μm以内の高精度で位置合わせできる。
Next, the alignment function will be described. When the device operates, the camera 17 captures the fiducial mark 1A,
The reference image data stored in the initial setting is compared. Next, a correction value is calculated from the comparison value, and the XY stage 16 is moved by the correction value, so that the TAB test pad 1C and the probe 12A can be aligned. By adopting this alignment function, TAB1 and probe card 1
2 can be aligned with high accuracy within ± 10 μm.

【0030】図14におけるTAB1のテープ幅Wは、
例えば、35mm、48mm、70mmと複数種類ある。図8におけ
るTAB用オートハンドラでは、機械的にも電気的にも
複数種類のTABに対応できるようになっている。図8
では、スプロケット7A・7Bとスプロケットガイド7
C・7Dとガイド6C・6Dおよびテープクランプ8は
テープ幅Wに対応して交換する。一方、プーリ4C・4
Dとテンションプーリ5C・5Dはテープ幅Wがかわっ
ても交換しないで共用できる。図18はこのような共用
プーリであるプーリ4Cの一例を示している。図18で
はテープ幅Wに対応して、TABの案内面である回転軸
の外径に段差を設けてある。プーリ4C・4Dとテンシ
ョンプーリ5C・5Dは図18に示されるような構造に
なっているのでテープ幅の変更時は交換の必要がない。
The tape width W of TAB1 in FIG.
For example, there are multiple types such as 35mm, 48mm, and 70mm. The TAB auto-handler in FIG. 8 can handle a plurality of types of TAB both mechanically and electrically. Figure 8
Then, the sprockets 7A and 7B and the sprocket guide 7
C. 7D, guides 6C and 6D, and tape clamp 8 are replaced according to the tape width W. On the other hand, pulley 4C / 4
D and the tension pulleys 5C and 5D can be shared without changing even if the tape width W changes. FIG. 18 shows an example of a pulley 4C which is such a shared pulley. In FIG. 18, a step is provided corresponding to the tape width W on the outer diameter of the rotating shaft that is the guide surface of the TAB. Since the pulleys 4C and 4D and the tension pulleys 5C and 5D have the structure shown in FIG. 18, they need not be replaced when the tape width is changed.

【0031】図8の検出器群19・20は、TAB1上
のICチップ1Bの有無などの情報を読み取るためのも
のである。図8では、検出器群19は3つの検出器で構
成され、スプロケット7Aの前段に配置される。検出器
群20は3つの検出器で構成され、パンチユニット11
の後段に配置される。なお、検出器群19と検出器群2
0は同様の構成である。
The detector groups 19 and 20 in FIG. 8 are for reading information such as the presence or absence of the IC chip 1B on the TAB 1. In FIG. 8, the detector group 19 is composed of three detectors and is arranged in front of the sprocket 7A. The detector group 20 includes three detectors, and the punch unit 11
It is placed in the latter stage. In addition, the detector group 19 and the detector group 2
0 has the same configuration.

【0032】図19は検出器群20の1検出器の構成図
である。検出体20Aはコの字状に形成され、検出体2
0Aの先端部の第1の端部には投光器20Bが取り付け
られ、第1の端部と反対面の第2の端部には投光器20
Bの光出力を受光する受光器2Cが取り付けられる。
FIG. 19 is a block diagram of one detector in the detector group 20. The detection body 20A is formed in a U-shape, and the detection body 2
A light projector 20B is attached to the first end of the front end of 0A, and the light projector 20 is attached to the second end opposite to the first end.
A light receiver 2C for receiving the light output of B is attached.

【0033】図19では、検出体20Aの溝にTAB1
が走行し、TABを検出する。検出体20Aは移動体2
0Dに保持され、TAB1の走行方向に対して横切る形
で前後進できる。移動体20Dは検出体20AをTAB
1の走行方向と平行に移動し保持できる。検出器群19
・20の検出器はすべて図19に示された構成であり、
装置の稼動に先立ち、TABの検出位置が調整される。
In FIG. 19, TAB1 is placed in the groove of the detector 20A.
Runs and detects TAB. The detection body 20A is the moving body 2
It is held at 0D and can move forward and backward across the traveling direction of TAB1. The moving body 20D uses the detection body 20A as the TAB.
1 can be moved and held in parallel with the traveling direction. Detector group 19
All 20 detectors have the configuration shown in FIG.
Prior to the operation of the device, the TAB detection position is adjusted.

【0034】図20はTAB1上の検出器群20の配置
図である。図20では、検出器K1は検出光がテストパ
ッド1Cを遮光する位置に移動調整される。検出器K2
は検出光がICチップ1Bを遮光する位置に移動調整さ
れる。検出器K3は検出光がパンチ穴1Dを遮光する位
置に移動調整される。
FIG. 20 is a layout diagram of the detector group 20 on the TAB 1. In FIG. 20, the detector K1 is moved and adjusted to a position where the detection light shields the test pad 1C. Detector K2
Is moved and adjusted to a position where the detection light shields the IC chip 1B. The detector K3 is moved and adjusted to a position where the detection light shields the punch hole 1D.

【0035】図20では、検出器K1は検出光の有無で
TAB1がリーダテープか被測定TABかを確認する。
検出器K2は検出光の有無でICチップ1Bの有無を確
認し、TAB1の測定の可否を判断する。検出器K3は
検出光の有無でパンチ穴1Dの有無を確認し、TAB1
が測定分類済みかを判断する。図20では、前述の機能
をはたしており、TABのテープ幅Wも複数種類あるの
で、図19の機構で検出器が位置調整される。なお、図
19と図20は特願平5-254806号明細書に記載の図5と
図6と技術的に同じものである。
In FIG. 20, the detector K1 confirms whether TAB1 is a leader tape or a TAB to be measured by the presence or absence of detection light.
The detector K2 confirms the presence / absence of the IC chip 1B based on the presence / absence of detection light, and determines whether or not the TAB1 can be measured. The detector K3 confirms the presence or absence of the punch hole 1D by the presence or absence of the detection light, and the TAB1
Determine if is already measured and classified. In FIG. 20, the above-described function is performed, and since the TAB tape width W is plural, the position of the detector is adjusted by the mechanism of FIG. 19 and 20 are technically the same as FIGS. 5 and 6 described in Japanese Patent Application No. 5-254806.

【0036】なお、図20に示されるTAB上のパンチ
穴1DはTABの様々な検査工程の関係で、パンチ穴1
DがあけられたTABを再試験する場合や、試験終了後
に良品・不良品の識別穴としてパンチユニット11でパ
ンチ穴1Dを設ける場合など様々である。さらに、パン
チユニット11はパンチ穴をあける場合と不良品と判定
されたTABのICチップ1Bを打ち抜く場合がある。
The punched holes 1D on the TAB shown in FIG. 20 are related to the various inspection steps of the TAB.
There are various cases, such as retesting a TAB having D punched, or providing a punch hole 1D with the punch unit 11 as a hole for identifying a good product or a defective product after the test. Further, the punch unit 11 may punch a punch hole or may punch the TAB IC chip 1B determined to be defective.

【0037】図21は前述に記載されたように様々なT
ABの種類や打抜方法に対応したパンチユニット11の
外観図である。図21では駆動源11Aとフレーム11
Bとベース11Cを第1のユニットとし、パンチ11D
とパンチガイド11Eとパンチホルダ11Fとパンチダ
イ11Gを第2のユニットとしているので、第1のユニ
ットに第2のユニットを交換すれば前記の色々な対応が
可能となる。なお、図21は実願平04-26012号明細書の
図3と同じものである。
FIG. 21 shows the various T as described above.
It is an external view of the punch unit 11 corresponding to the type of AB and the punching method. In FIG. 21, the drive source 11A and the frame 11
B and base 11C as the first unit, punch 11D
Since the punch guide 11E, the punch holder 11F, and the punch die 11G are used as the second unit, the above-mentioned various measures can be achieved by exchanging the second unit for the first unit. Note that FIG. 21 is the same as FIG. 3 of the specification of Japanese Utility Model Application No. 04-26012.

【0038】次に、図8の動作を図22のフローチャー
トにより説明する。図22のステップ201では、スプ
ロケット7A・7Bは同期回転して1デバイス分TAB
1を送る。ステップ202では、プッシャ9を下降し、
TAB1をテープクランプ8に挟み固定する。ステップ
203では、プッシャ10を下降し、TAB1をプロー
ブカード12との接触位置まで下降させる。このとき、
前述のたわみ取り機構によりTAB1は±60μmの精度
で位置決めされる。
Next, the operation of FIG. 8 will be described with reference to the flowchart of FIG. In step 201 of FIG. 22, the sprockets 7A and 7B rotate synchronously and TAB for one device.
Send 1. In step 202, the pusher 9 is lowered,
The TAB 1 is clamped and fixed in the tape clamp 8. In step 203, the pusher 10 is lowered, and the TAB 1 is lowered to the contact position with the probe card 12. At this time,
The TAB1 is positioned with an accuracy of ± 60 μm by the flexure removing mechanism described above.

【0039】ステップ204では、カメラ17で基準マ
ーク1Aを取り込み、XYステージ16の補正値を計算
する。ステップ205では、プッシャ10を上昇する。
ステップ206では前記補正値にもとづきXテーブル1
6Aを微小移動する。ステップ207では前記補正値に
もとづきYテーブル16Bを微小移動する。
At step 204, the reference mark 1A is captured by the camera 17 and the correction value of the XY stage 16 is calculated. In step 205, the pusher 10 is raised.
In step 206, the X table 1 is calculated based on the correction value.
6A is slightly moved. In step 207, the Y table 16B is slightly moved based on the correction value.

【0040】ステップ208では、プッシャ10を下降
し、TAB1をプローブカード12に接触させる。ステ
ップ209では、TAB1を測定する。ステップ210
では、プッシャ10を上昇し、TAB1とプローブカー
ド12との接触を解除する。ステップ211ではプッシ
ャ9を上昇し、TAB1をテープクランプ8から解除す
る。ステップ212では、パンチユニット11を駆動
し、検出器群20でTAB1を読み込み、1インデック
スが終了する。
In step 208, the pusher 10 is lowered to bring the TAB 1 into contact with the probe card 12. In step 209, TAB1 is measured. Step 210
Then, the pusher 10 is lifted to release the contact between the TAB 1 and the probe card 12. In step 211, the pusher 9 is raised to release the TAB 1 from the tape clamp 8. In step 212, the punch unit 11 is driven, TAB1 is read by the detector group 20, and one index is completed.

【0041】図23は、図22のフローチャートをタイ
ムチャートで示したものである。図23アでスプロケッ
ト7A・7Bが同期回転終了すると、図23イで、プッ
シャ9が下降する。プッシャ9が下降停止すると、図2
3ウで、プッシャ10が下降する。プッシャ10が下降
停止すると、図23エで、TAB1の画像を読み込み、
補正値を算出する。前記演算が完了すると、次に、図2
3ウでプッシャ10が上昇完了すると、図23オでXテ
ーブル16Aが移動する。図23オでXテーブル16A
が移動完了すると、図23カでYテーブル16Bが移動
する。
FIG. 23 is a time chart showing the flowchart of FIG. When the synchronous rotation of the sprockets 7A and 7B is completed in FIG. 23A, the pusher 9 is lowered in FIG. When the pusher 9 stops descending,
The pusher 10 descends after 3 c. When the pusher 10 stops descending, the image of TAB1 is read in FIG.
Calculate the correction value. When the above calculation is completed, next, as shown in FIG.
When the pusher 10 is completely lifted in 3c, the X table 16A moves in FIG. X table 16A in FIG.
Is completed, the Y table 16B moves in FIG.

【0042】図23カでYテーブル16Bが移動完了す
ると、図23ウでプッシャ10が上昇する。プッシャ1
0が上昇完了すると、ICテスタ側にオートハンドラか
らテストスタート要求信号を送る。図23キで測定が終
了すると、図23ウでプッシャ10が上昇する。プッシ
ャ10が上昇完了すると、図23イでプッシャ9が上昇
する。プッシャ9が上昇完了する、図23クでパンチユ
ニット11が駆動し、検出器群20でTAB1を確認す
る。図23アでTAB1が確認されると、スプロケット
7A・7Bが回転して次のTAB1が送るよう指令され
る。図23アで、スプロケット7A・7Bが駆動開始し
て次に駆動開始するまでの時間TINDEXがこの装置の1
インデックス時間となる。
When the Y table 16B is completely moved in FIG. 23C, the pusher 10 is raised in FIG. 23C. Pusher 1
When the value of 0 is completed, a test start request signal is sent from the auto handler to the IC tester side. When the measurement is completed in FIG. 23C, the pusher 10 rises in FIG. 23C. When the pusher 10 is completely lifted, the pusher 9 moves up in FIG. When the pusher 9 is completely lifted, the punch unit 11 is driven in FIG. 23 and the TAB 1 is confirmed by the detector group 20. When TAB1 is confirmed in FIG. 23A, the sprockets 7A and 7B rotate to instruct to send the next TAB1. In FIG. 23A, the time TINDEX from the start of driving the sprockets 7A and 7B to the next driving is 1 of this device.
It will be index time.

【0043】[0043]

【発明が解決しようとする課題】図24はパンチユニッ
ト11を中心とした部分構成図である。図24アの状態
から、プッシャ9・10がTAB1を下降させると、テ
ンションプーリ5Dは左方に移動して図24イの状態に
なる。図24イの状態では、パンチユニット11、検出
器群20の位置で、TAB1は数ミリ移動している。図
24アの状態では、パンチ穴の位置精度とデバイスの検
出が補償できない。したがって、従来技術では、測定終
了後にプッシャ9・10を上昇させた状態でパンチユニ
ット11を駆動または、検出器群20でデバイスを検出
する。このため、図23に示されるインデックス時間T
INDEXは約4sec程度要するという問題がある。ま
た、図23に示されるように、Xテーブル16AとYテ
ーブル16Bおよび、プッシャ9とプッシャ10を個別
に駆動制御していることがインデックス時間が長くする
要因となっている。
FIG. 24 is a partial configuration diagram centering on the punch unit 11. When the pushers 9 and 10 lower the TAB 1 from the state of FIG. 24A, the tension pulley 5D moves to the left to the state of FIG. In the state of FIG. 24A, TAB1 has moved several millimeters at the positions of the punch unit 11 and the detector group 20. In the state of FIG. 24A, the punch hole position accuracy and device detection cannot be compensated. Therefore, in the prior art, after the measurement is completed, the punch unit 11 is driven or the device is detected by the detector group 20 while the pushers 9 and 10 are raised. Therefore, the index time T shown in FIG.
There is a problem that INDEX takes about 4 seconds. In addition, as shown in FIG. 23, the drive time of the X table 16A and the Y table 16B, and the pushers 9 and 10 are individually controlled, which is a factor that lengthens the index time.

【0044】インデックス時間を短くするため、スプロ
ケット7A・7Bの回転速度を速くすると、図10に示
されるテンション機構では、供給リール2Aの回転速度
をスプロケット7A・7Bの送り速度より速くしなけれ
ばならない。しかし、テンションプーリ5Cの追従能力
にも限界があるので、TAB1に衝撃を与えることにな
る。この事情は収容リール2B側も同様であり、インデ
ックス時間を短くするためのテンション機構が要求され
る。
When the rotation speed of the sprockets 7A and 7B is increased in order to shorten the index time, the tension mechanism shown in FIG. 10 must make the rotation speed of the supply reel 2A faster than the feed speed of the sprockets 7A and 7B. . However, since the following ability of the tension pulley 5C is also limited, the TAB1 is impacted. This situation is the same on the accommodation reel 2B side, and a tension mechanism for shortening the index time is required.

【0045】また、図8では、TAB1のテープ幅変更
時には、スプロケット7A・7B、スプロケットガイド
7C・7D、ガイド6C・6D、テープクランプ8を交
換する。テンションプーリ5C・5Dとプーリ4C・4
Dは図18に示されるように交換は不要であるが、TA
B1の幅により走行高さが変わる。このため、図24と
同様な事情で、パンチ穴の位置精度とデバイスの検出が
安定しないという問題がある。
Further, in FIG. 8, when changing the tape width of the TAB 1, the sprockets 7A and 7B, the sprocket guides 7C and 7D, the guides 6C and 6D, and the tape clamp 8 are replaced. Tension pulley 5C / 5D and pulley 4C / 4
D does not require replacement as shown in FIG. 18, but TA
The running height changes depending on the width of B1. Therefore, in the same situation as in FIG. 24, there is a problem in that the positional accuracy of punch holes and the device detection are not stable.

【0046】第1の発明は、TABを測定中にTABに
パンチ穴をあける構成のTAB用オートハンドラを提供
することを目的とする。第2と第3の発明は第1の発明
において、インデック時間を短くする方法を提供する。
第4と第5の発明は第1の発明において、TABに衝撃
力を与えない卷き取り機構を提供する。第6から第9の
発明は、第1の発明において、TABのテープ幅の切換
容易な案内構造の提供を目的とする。
It is an object of the first invention to provide an TAB autohandler having a structure in which a punch hole is formed in the TAB during measurement of the TAB. 2nd and 3rd invention provides the method of shortening an index time in 1st invention.
4th and 5th invention provides the winding mechanism which does not give an impact force to TAB in 1st invention. A sixth to a ninth invention are, in the first invention, an object of the present invention to provide a guide structure for easily switching the tape width of the TAB.

【0047】[0047]

【課題を解決するための手段】これらの目的を達成する
ため、第1の発明は、供給リール2Aに巻かれたTAB
1を収容リール2Bは巻き取り、スプロケット7Aとス
プロケット7Bは同期回転してTAB1を走行し、スプ
ロケット7Aとスプロケット7Bの間にテープクランプ
8とプッシャ9を配置し、テープクランプ8とプッシャ
9で保持されたTAB1をプッシャ10は降下させ、前
記TAB1をプローブカード12に接触させて試験する
TAB用オートハンドラにおいて、供給リール2Aが送
り出すTAB1をプッシャ9側に走行するスプロケット
3Aと、収容リール2B側にTAB1を走行するスプロ
ケット3Bと、スプロケット3Aとスプロケット7A間
に介在し、回転中心を固定するプーリ4Aと、スプロケ
ット7Bとスプロケット3B間に介在し、回転中心を固
定するプーリ4Bと、プーリ4Aとスプロケット7A間
に配置し、TAB1を上昇方向に押圧するテンションプ
ーリ6Aと、スプロケット7Bとプーリ4B間に配置
し、TAB1を上昇方向に押圧するテンションプーリ6
Bと、プーリ4Aとテンションプーリ6A間に配置し、
回転中心を固定し、TAB1を案内するガイド5Aと、
テンションプーリ6Bとプーリ4B間に配置し、回転中
心を固定し、TAB1を案内するガイド5Bと、ガイド
5Bとプーリ4B間に配置し、試験結果によりTAB1
にパンチ穴をあけるパンチユニット11とを備え、スプ
ロケット3Bの回転を保持し、TAB1を測定中にパン
チ穴をあける。
In order to achieve these objects, the first invention is a TAB wound around a supply reel 2A.
The reel 2B is wound up, the sprocket 7A and the sprocket 7B rotate synchronously and travels on the TAB 1, and the tape clamp 8 and the pusher 9 are arranged between the sprocket 7A and the sprocket 7B, and are held by the tape clamp 8 and the pusher 9. In the TAB auto-handler in which the pushed TAB1 is lowered by the pusher 10 and the TAB1 is brought into contact with the probe card 12, the TAB1 sent from the supply reel 2A is moved to the pusher 9 side and the sprocket 3A is moved to the accommodation reel 2B side. Sprocket 3B traveling on TAB1, pulley 4A interposed between sprocket 3A and sprocket 7A to fix the center of rotation, pulley 4B interposed between sprocket 7B and sprocket 3B to fix the center of rotation, pulley 4A and sprocket 4A Placed between 7A, TAB A tension pulley 6A to press the rising direction, the tension pulley 6 is arranged between the sprockets 7B and the pulley 4B, pressed against the upward direction TAB1
B, between the pulley 4A and the tension pulley 6A,
A guide 5A for fixing the rotation center and guiding the TAB 1,
It is arranged between the tension pulley 6B and the pulley 4B, the rotation center is fixed, and the guide 5B for guiding the TAB1 and the guide 5B and the pulley 4B are arranged.
And a punch unit 11 for punching holes, hold the rotation of the sprocket 3B, and punch holes while measuring TAB1.

【0048】第2の発明は、スプロケット7Aと、スプ
ロケット7Bと、テープクランプ8と、プッシャ9と、
プッシャ10を一体にしてXYステージ16上に配置
し、Xテーブル16AはXYステージ16上のTAB1
を走行方向に微小移動し、Yテーブル16BはXYステ
ージ16上のTAB1を走行方向と直交する方向に微小
移動し、画像処理用のカメラ15でTAB1の基準マー
ク1Aを参照し、XYステージ16に保持されたTAB
1の位置を補正するとき、Xテーブル16AとYテーブ
ル16Bは同時に移動開始する。
A second aspect of the present invention is a sprocket 7A, a sprocket 7B, a tape clamp 8, a pusher 9,
The pusher 10 is integrally arranged on the XY stage 16, and the X table 16A is TAB1 on the XY stage 16.
Is slightly moved in the traveling direction, the TAB1 on the XY stage 16 is slightly moved in the direction orthogonal to the traveling direction, the camera 15 for image processing refers to the reference mark 1A of the TAB1, and the XY stage 16 is moved to the XY stage 16. TAB retained
When the position 1 is corrected, the X table 16A and the Y table 16B start moving at the same time.

【0049】第3の発明は、プッシャ9とプッシャ10
は同時に降下開始または同時に上昇開始する。
A third aspect of the invention is a pusher 9 and a pusher 10.
Start descent at the same time or start rising at the same time.

【0050】第4の発明は、供給リール2Aの下方外側
にスプロケット3Aを配置し、傾斜ガイド21は供給リ
ール2Aから自重で垂下するTAB1を案内し、センサ
23とセンサ24は傾斜ガイド21とスプロケット3A
間で垂下するTAB1の有無を検出し、センサ23とセ
ンサ24がTAB1を検出しないときは供給リール2A
はTAB1を送り出し、センサ23とセンサ24がTA
B1を検出したときは供給リール2Aは回転を停止す
る。
In the fourth aspect of the invention, the sprocket 3A is arranged below the supply reel 2A, the tilt guide 21 guides the TAB 1 hanging from the supply reel 2A by its own weight, and the sensors 23 and 24 are the tilt guide 21 and the sprocket. 3A
If the sensor 23 and the sensor 24 do not detect TAB1, the supply reel 2A
Sends TAB1 and sensor 23 and sensor 24
When B1 is detected, the supply reel 2A stops rotating.

【0051】第5の発明は、収容リール2Bの下方外側
にスプロケット3Bを配置し、傾斜ガイド22は収容リ
ール2Bから自重で垂下するTAB1を案内し、センサ
25とセンサ26は傾斜ガイド22とスプロケット3B
間で垂下するTAB1の有無を検出し、センサ25とセ
ンサ26がTAB1を検出しないときは収容リール2B
は回転を停止し、センサ25とセンサ26がTAB1を
検出したときは収容リール2BはTAB1を巻き取る。
In the fifth aspect of the invention, a sprocket 3B is arranged below and outside the accommodation reel 2B, the inclined guide 22 guides the TAB 1 hanging from the accommodation reel 2B by its own weight, and the sensors 25 and 26 are inclined guides 22 and the sprocket. 3B
If the sensor 25 and the sensor 26 do not detect TAB1 when the presence or absence of TAB1 hanging between them is detected, the accommodation reel 2B
Stops its rotation, and when the sensors 25 and 26 detect TAB1, the accommodation reel 2B winds TAB1.

【0052】第6の発明は、スプロケット3Aは段付き
スプロケット31と段付きスプロケット32と回転軸3
3で構成し、スプロケット3Bは段付きスプロケット3
4と段付きスプロケット35と回転軸36で構成し、回
転軸33と回転軸36に幅の違うTABに対応する複数
の溝Vを円周に形成し、段付きスプロケット31と段付
きスプロケット32と段付きスプロケット34と段付き
スプロケット35の段部に溝Vに入る球Bを設け、球B
を押圧する圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵し、幅の
違うTABに対応する。
In the sixth invention, the sprocket 3A comprises a stepped sprocket 31, a stepped sprocket 32 and a rotary shaft 3.
3 and the sprocket 3B is a stepped sprocket 3
4 and the stepped sprocket 35 and the rotary shaft 36, the rotary shaft 33 and the rotary shaft 36 are formed with a plurality of grooves V corresponding to TABs having different widths on the circumference, and the stepped sprocket 31 and the stepped sprocket 32 are formed. A ball B that enters the groove V is provided on the stepped portion of the stepped sprocket 34 and the stepped sprocket 35, and the ball B
A compression coil spring S for pressing is built in the stepped portion to accommodate TABs having different widths.

【0053】第7の発明は、プーリ4Aは段付きプーリ
41と段付きプーリ42と回転軸43で構成し、プーリ
4Bは段付きプーリ44と段付きプーリ45と回転軸4
6で構成し、回転軸43と回転軸46に幅の違うTAB
に対応する複数の溝Vを円周に形成し、段付きプーリ4
1と段付きプーリ42と段付きプーリ44と段付きプー
リ45の段部に溝Vに入る球Bを設け、球Bを押圧する
圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵し、段付きプーリ4
1の段部と段付きプーリ42の段部を対向して配置し、
段付きプーリ44の段部と段付きプーリ45の段部を対
向して配置し、前記段部で幅の違うTABを案内する。
In the seventh invention, the pulley 4A comprises a stepped pulley 41, a stepped pulley 42 and a rotary shaft 43, and the pulley 4B has a stepped pulley 44, a stepped pulley 45 and a rotary shaft 4.
TAB with different widths for the rotary shaft 43 and the rotary shaft 46.
To form a plurality of grooves V corresponding to
1, a stepped pulley 42, a stepped pulley 44, and a stepped pulley 45 are provided with a ball B that enters the groove V, and a compression coil spring S for pressing the ball B is built in the stepped portion.
The step portion of 1 and the step portion of the stepped pulley 42 are arranged to face each other,
The stepped portion of the stepped pulley 44 and the stepped portion of the stepped pulley 45 are arranged so as to face each other, and the TAB having a different width is guided by the stepped portion.

【0054】第8の発明は、ガイド5Aは段付きガイド
51と段付きガイド52と回転軸53で構成し、ガイド
5Bは段付きガイド54と段付きガイド55と回転軸5
6で構成し、回転軸53と回転軸56に幅の違うTAB
に対応する複数の溝Vを円周に形成し、段付きガイド5
1と段付きガイド52と段付きガイド54と段付きガイ
ド55の段部に溝Vに入る球Bを設け、球Bを押圧する
圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵し、段付きガイド5
1の段部と段付きガイド52の段部を対向して配置し、
段付きガイド54の段部と段付きガイド55の段部を対
向して配置し、前記段部で幅の違うTABを案内する。
In the eighth invention, the guide 5A comprises a stepped guide 51, a stepped guide 52 and a rotary shaft 53, and the guide 5B has a stepped guide 54, a stepped guide 55 and a rotary shaft 5.
TAB with different widths for the rotary shaft 53 and the rotary shaft 56.
A plurality of grooves V corresponding to the
1, a stepped guide 52, a stepped guide 54, and a stepped guide 55 are provided with a ball B that enters the groove V, and a compression coil spring S for pressing the ball B is built in the stepped portion.
The step portion of 1 and the step portion of the stepped guide 52 are arranged to face each other,
The stepped portion of the stepped guide 54 and the stepped portion of the stepped guide 55 are arranged so as to face each other, and the TAB having a different width is guided by the stepped portion.

【0055】第9の発明は、テンションプーリ6Aは段
付き円弧ブロック61と段付き円弧ブロック62と揺動
板63で構成し、テンションプーリ6Bは段付き円弧ブ
ロック64と段付き円弧ブロック65と揺動板66で構
成し、揺動板63と揺動板66に幅の違うTABに対応
する複数の穴Hをあけ、段付き円弧ブロック61と段付
き円弧ブロック62と段付き円弧ブロック64と段付き
円弧ブロック65の底面に穴Hに入るピンPを突出し、
段付き円弧ブロック61の円弧段部と段付き円弧ブロッ
ク62の円弧段部を対向して配置し、段付き円弧ブロッ
ク64の円弧段部と段付き円弧ブロック65の円弧段部
を対向して配置し、前記円弧段部で幅の違うTABを案
内する。
In the ninth invention, the tension pulley 6A comprises a stepped circular arc block 61, a stepped circular arc block 62 and a swing plate 63, and the tension pulley 6B swings between a stepped circular arc block 64 and a stepped circular arc block 65. The swing plate 63 and the swing plate 66 are provided with a plurality of holes H corresponding to TABs having different widths, and the stepped arc block 61, the stepped arc block 62, the stepped arc block 64, and the step. Project the pin P into the hole H on the bottom of the attached circular arc block 65,
The circular arc step portion of the stepped circular arc block 61 and the circular arc step portion of the stepped circular arc block 62 are arranged to face each other, and the circular arc step portion of the stepped circular arc block 64 and the circular arc step portion of the stepped circular arc block 65 are arranged to face each other. Then, the TAB having a different width is guided at the circular arc step portion.

【0056】[0056]

【作用】第1の発明の構成によれば、TAB1を同期回
転するスプロケット7A・7Bの両翼には、回転中心を
固定するガイド5A・5Bが配置される。ガイド5A・
5Bの両翼にはTAB1の走行を平行にし、回転中心を
固定するプーリ4A・4Bが配置される。プーリ4A・
4Bの両翼にはTAB1をピッチ送りするスプロケット
3A・3Bが配置される。プッシャ9・10とスプロケ
ット7A・7Bが一体になってTAB1を昇降すると
き、スプロケット3Bは回転を停止しているので、TA
B1がプッシャ9・10側に走行しない。したがって、
プッシャ9・10の動作にかからわらずパンチユニット
11が駆動でき、パンチユニット11の駆動後のTAB
1の状態も安定して検出できる。
According to the structure of the first invention, guides 5A and 5B for fixing the center of rotation are arranged on both wings of the sprockets 7A and 7B which rotate the TAB 1 synchronously. Guide 5A
Pulleys 4A and 4B that fix the center of rotation of the TAB 1 are arranged on both wings of the 5B so that the traveling of the TAB 1 is parallel. Pulley 4A
Sprockets 3A and 3B for pitch-feeding TAB1 are arranged on both wings of 4B. When the pushers 9 and 10 and the sprockets 7A and 7B are united to move the TAB 1 up and down, the sprocket 3B stops rotating.
B1 does not run to the pusher 9/10 side. Therefore,
The punch unit 11 can be driven regardless of the operation of the pushers 9 and 10, and the TAB after the punch unit 11 is driven.
The state 1 can be detected stably.

【0057】第2の発明では、TAB1を走行方向に微
小移動補正するXテーブル16AとTAB1を走行方向
と直交する方向に微小移動補正するYテーブル16Bは
同時に移動開始するので、従来の制御方法よりインデッ
クス時間を短縮できる。
In the second aspect of the invention, the X table 16A for correcting the minute movement of the TAB1 in the traveling direction and the Y table 16B for correcting the minute movement of the TAB1 in the direction orthogonal to the traveling direction start to move at the same time. Index time can be shortened.

【0058】第3の発明では、第1のプッシャ9と第2
のプッシャ10は同時に降下開始または同時に上昇開始
するので、従来の制御方法よりインデックス時間を短縮
できる。
In the third invention, the first pusher 9 and the second pusher 9
Since the pusher 10 starts descent or rises at the same time, the indexing time can be shortened as compared with the conventional control method.

【0059】第4の発明では、供給リール2Aは常時余
裕をもってスプロケット3AにTAB1を供給するの
で、スプロケット7A・7Bのインデックス送り速度を
速くできる。また、TABは自重で落下するため、衝撃
力が加わることはない。
In the fourth invention, the supply reel 2A always supplies the TAB1 to the sprocket 3A with a margin, so that the index feeding speed of the sprockets 7A and 7B can be increased. Moreover, since the TAB falls by its own weight, no impact force is applied.

【0060】第5の発明では、収容リール2Bは常時余
裕をもってスプロケット3Bから送られるTAB1を収
容するので、スプロケット7A・7Bのインデックス送
り速度を速くできる。また、TABは自重で落下するた
め、衝撃力が加わることはない。
In the fifth aspect of the invention, since the accommodation reel 2B always accommodates the TAB1 fed from the sprocket 3B with a margin, the index feeding speed of the sprockets 7A and 7B can be increased. Moreover, since the TAB falls by its own weight, no impact force is applied.

【0061】第6から第8の発明では、TAB1のテー
プ幅に対応して回転軸の円周に複数の溝Vを形成し、駆
動輪または案内輪は回転軸上の保持位置を前記溝Vに押
圧すことにより規制され、相対向する駆動輪または案内
輪の位置を容易に変える。
In the sixth to eighth inventions, a plurality of grooves V are formed on the circumference of the rotary shaft corresponding to the tape width of the TAB 1, and the drive wheel or the guide wheel has the holding position on the rotary shaft at the groove V. The position of the drive wheel or the guide wheel opposed to each other is easily changed by being pressed by.

【0062】第9の発明では、揺動板には幅の違うTA
Bに対応する複数の穴Hがあけられ、段付き円弧ブロッ
クに穴HにはいるピンPを形成し、相対向する段付き円
弧ブロックの間隔を揺動板上で容易に変えられる。
In the ninth aspect of the invention, the oscillating plate has TAs of different widths.
A plurality of holes H corresponding to B are formed, and a pin P that fits into the hole H is formed in the stepped arc block, so that the interval between the opposed stepped arc blocks can be easily changed on the oscillating plate.

【0063】[0063]

【実施例】次に、この発明によるTAB用オートハンド
ラの構成を図1の実施例により説明する。図1の3Aと
3Bはスプロケット、4Aと4Bはプーリ、5Aと5B
はガイド、6Aと6Bはテンションプーリ、15Aと1
5Bは画像処理用のカメラ、その他は図8と同じもので
ある。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the structure of the TAB auto handler according to the present invention will be described with reference to the embodiment of FIG. In FIG. 1, 3A and 3B are sprockets, 4A and 4B are pulleys, 5A and 5B.
Is a guide, 6A and 6B are tension pulleys, 15A and 1
5B is a camera for image processing, and others are the same as those in FIG.

【0064】図1では、スプロケット3Aは、供給リー
ル2Aが送り出すTAB1をプッシャ9側に走行させ
る。スプロケット3Bは、収容リール2B側にTAB1
を走行させる。プーリ4Aは回転中心を固定し、スプロ
ケット3Aとスプロケット7A間に介在して配置され
る。プーリ4Bは回転中心を固定し、スプロケット7B
とスプロケット3B間に介在して配置される。
In FIG. 1, the sprocket 3A causes the TAB 1 sent by the supply reel 2A to travel to the pusher 9 side. The sprocket 3B has a TAB1 on the accommodation reel 2B side.
Run. The pulley 4A fixes the center of rotation and is disposed between the sprocket 3A and the sprocket 7A. The pulley 4B fixes the center of rotation, and the sprocket 7B
And the sprocket 3B.

【0065】テンションプーリ6Aは、プーリ4Aとス
プロケット7A間に配置され、TAB1を上昇方向に押
圧する。テンションプーリ6Bは、スプロケット7Bと
プーリ4B間に配置され、TAB1を上昇方向に押圧す
る。ガイド5Aは回転中心を固定し、プーリ4Aとテン
ションプーリ6A間に配置され、TAB1を案内する。
ガイド5Bは回転中心を固定し、テンションプーリ6B
とプーリ4B間に配置され、TAB1を案内する。パン
チユニット11はガイド5Bとプーリ4B間に配置され
る。
The tension pulley 6A is arranged between the pulley 4A and the sprocket 7A and presses the TAB 1 in the upward direction. The tension pulley 6B is arranged between the sprocket 7B and the pulley 4B and presses the TAB 1 in the upward direction. The guide 5A fixes the center of rotation, is arranged between the pulley 4A and the tension pulley 6A, and guides the TAB 1.
The guide 5B fixes the center of rotation, and the tension pulley 6B
And the pulley 4B, and guides the TAB1. The punch unit 11 is arranged between the guide 5B and the pulley 4B.

【0066】図1の21と22は傾斜ガイドであり、2
3〜26は光反射型のセンサである。図1では、供給リ
ール2Aの下方外側にスプロケット3Aが配置され、傾
斜ガイド21は供給リール2Aから自重で垂下するTA
B1を案内する形で配置される。センサ23とセンサ2
4は傾斜ガイド21とスプロケット3A間で垂下するT
AB1の有無を検出する。収容リール2Bの下方外側に
スプロケット3Bが配置され、傾斜ガイド22は収容リ
ール2Bから自重で垂下するTAB1を案内する形で配
置される。センサ25とセンサ26は傾斜ガイド22と
スプロケット3B間で垂下するTAB1の有無を検出す
る。
Reference numerals 21 and 22 in FIG.
3 to 26 are light reflection type sensors. In FIG. 1, a sprocket 3A is arranged on the lower outside of the supply reel 2A, and the inclined guide 21 hangs from the supply reel 2A by its own weight.
It is arranged to guide B1. Sensor 23 and sensor 2
4 is a T that hangs between the tilt guide 21 and the sprocket 3A.
The presence or absence of AB1 is detected. A sprocket 3B is arranged on the outer side below the accommodation reel 2B, and the inclined guide 22 is arranged so as to guide the TAB 1 hanging from the accommodation reel 2B by its own weight. The sensor 25 and the sensor 26 detect the presence or absence of the TAB 1 that hangs between the tilt guide 22 and the sprocket 3B.

【0067】カメラ15Aはプーリ4Aとガイド5A間
に配置され、カメラ15Bはパンチユニット11とプー
リ4B間に配置される。カメラ15Aとカメラ15Bは
画像処理装置15Cに接続する。カメラ15Aは測定前
のTAB1を撮像し、撮像データを画像処理装置15C
に送出する。カメラ15BはTAB1を撮像し、カメラ
15Aによる画像データと比較照合またはパンチユニッ
ト11の打ち抜き指令と比較照合する。カメラ15A・
15Bは図8の検出器群19・20を画像処理に置き換
えたものである。
The camera 15A is arranged between the pulley 4A and the guide 5A, and the camera 15B is arranged between the punch unit 11 and the pulley 4B. The cameras 15A and 15B are connected to the image processing device 15C. The camera 15A images the TAB1 before measurement, and the captured data is used as the image processing device 15C.
Send to. The camera 15B images the TAB 1 and compares it with the image data from the camera 15A or compares it with the punching command of the punch unit 11. Camera 15A
In FIG. 15B, the detector groups 19 and 20 in FIG. 8 are replaced with image processing.

【0068】カメラ15はテストヘッド14の下方に配
置され、テストヘッド14の中央中空穴を通して、TA
B1の画像を認識する。カメラ15は画像処理装置15
Cと接続され、TAB1の接触位置を補正演算する。
The camera 15 is arranged below the test head 14 and passes through the central hollow hole of the test head 14 to
The image of B1 is recognized. The camera 15 is the image processing device 15.
It is connected to C and corrects the contact position of TAB1.

【0069】次に、図1のセンサ23〜26の作用を説
明する。センサ23とセンサ24がTAB1を検出しな
いときは供給リール2Aは回転してTAB1を送り出
す。センサ23とセンサ24がTAB1を検出したとき
は、供給リール2Aは回転を停止し、スプロケット3A
は回転してTAB1を送る。センサ25とセンサ26が
TAB1を検出しないときは、収容リール2Bは回転を
停止し、スプロケット3Bは回転してTAB1を送る。
センサ25とセンサ26がTAB1を検出したときは、
スプロケット3Bは回転を停止し、収容リール2BはT
AB1を巻き取る。このように、図1ではTAB1を常
時余裕をもって供給、収容する。
Next, the operation of the sensors 23 to 26 shown in FIG. 1 will be described. When the sensors 23 and 24 do not detect TAB1, the supply reel 2A rotates and sends out TAB1. When the sensor 23 and the sensor 24 detect TAB1, the supply reel 2A stops rotating and the sprocket 3A is stopped.
Rotates and sends TAB1. When the sensor 25 and the sensor 26 do not detect TAB1, the accommodation reel 2B stops rotating, and the sprocket 3B rotates to send TAB1.
When the sensor 25 and the sensor 26 detect TAB1,
The sprocket 3B stops rotating, and the storage reel 2B moves to the T
Take up AB1. Thus, in FIG. 1, TAB1 is always supplied and accommodated with a margin.

【0070】次に、図1の動作を図2のフローチャート
により説明する。図2のステップ101では、スプロケ
ット7A・7Bは同期回転するとともにスプロケット3
A・3Bが回転して1デバイス分TAB1を送る。ステ
ップ102では、プッシャ9・10は同時に駆動し、T
AB1をテープクランプ8に挟み固定するとともにTA
B1をプローブカード12との接触位置まで下降させ
る。このとき、たわみ取り機構によりTAB1は±60μ
mの精度で位置決めされる。
Next, the operation of FIG. 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. In step 101 of FIG. 2, the sprockets 7A and 7B rotate synchronously and the sprocket 3
A and 3B rotate and send TAB1 for one device. In step 102, the pushers 9 and 10 are driven simultaneously, and T
Hold AB1 in the tape clamp 8 and fix it
B1 is lowered to the contact position with the probe card 12. At this time, TAB1 is ± 60μ due to the bending mechanism.
Positioned with an accuracy of m.

【0071】ステップ103では、カメラ15で基準マ
ーク1Aを取り込み、XYステージ16の補正値を計算
する。ステップ104では、プッシャ10を上昇する。
ステップ105では前記補正値にもとづきXテーブル1
6AとYテーブル16Bを同時に微小移動する。
In step 103, the camera 15 captures the reference mark 1A and calculates the correction value of the XY stage 16. In step 104, the pusher 10 is raised.
In step 105, the X table 1 is calculated based on the correction value.
6A and Y table 16B are simultaneously minutely moved.

【0072】ステップ106では、プッシャ10を下降
し、TAB1をプローブカード12に接触させる。ステ
ップ107では、ICテスタにテストスタート要求信号
が送出され、TAB1を測定する。同時にパンチユニッ
ト11を駆動し、カメラ15A・15BでTAB1の画
像を読み込み、画像データを比較する。
In step 106, the pusher 10 is lowered to bring the TAB 1 into contact with the probe card 12. In step 107, a test start request signal is sent to the IC tester and TAB1 is measured. At the same time, the punch unit 11 is driven, the images of TAB1 are read by the cameras 15A and 15B, and the image data are compared.

【0073】ステップ107で測定が終了すると、ステ
ップ108ではプッシャ9・10を同時に上昇開始し、
TAB1とプローブカード12との接触を解除するとと
もにTAB1をテープクランプ8から解除し、1インデ
ックスが終了する。
When the measurement is completed in step 107, the pushers 9 and 10 are simultaneously raised in step 108,
The contact between the TAB1 and the probe card 12 is released, the TAB1 is released from the tape clamp 8, and one index is completed.

【0074】図3は、図2のフローチャートをタイムチ
ャートで示したものである。図3アでスプロケット7A
・7Bおよびスプロケット3A・3BがTAB1を1イ
ンデック分走行終了すと、図3イ・ウでプッシャ9・1
0が同時に下降開始する。図3エで、TAB1の画像を
読み込み、補正値を算出する。前記演算が完了すると、
次に、図3ウでプッシャ10が上昇する。
FIG. 3 is a time chart showing the flowchart of FIG. Sprocket 7A in Figure 3a
・ When 7B and sprockets 3A and 3B have finished running TAB1 for one index, pusher 9.1
0 starts descending at the same time. In FIG. 3D, the image of TAB1 is read and the correction value is calculated. When the above calculation is completed,
Next, the pusher 10 rises in FIG.

【0075】プッシャ10が上昇完了すると、図3オ・
カで示されるようにXテーブル16AとYテーブル16
Bが同時に移動する。図3ウでプッシャ10が下降完了
すると、図3キで測定が開始されると同時に、図3クで
パンチユニット11が駆動し、カメラ15A・15Bで
TAB1を確認する。
When the pusher 10 is completely lifted, the operation shown in FIG.
X table 16A and Y table 16 as shown by
B moves at the same time. When the pusher 10 is completely lowered in FIG. 3C, the measurement is started in FIG. 3C, and at the same time, the punch unit 11 is driven in FIG. 3C and the TAB 1 is confirmed by the cameras 15A and 15B.

【0076】図3キで測定が終了すると、図3イ・ウで
プッシャ9・10が同時に上昇開始する。プッシャ9・
10が上昇完了すると、図3アで、次のTAB1が送る
よう指令される。図3では、プッシャ9・10が同時に
駆動開始している。また、Xテーブル16AとYテーブ
ル16Bも同時に駆動開始する。測定開始動作とパンチ
駆動動作と、TAB1の画像読込みを並列して開始して
いるので、インデックスタイムTINDEXが短縮する。
When the measurement is completed in FIG. 3C, the pushers 9 and 10 simultaneously start to rise in FIGS. Pusher 9
When 10 has been raised, the next TAB1 is commanded to be sent in FIG. In FIG. 3, the pushers 9 and 10 start driving at the same time. Further, the X table 16A and the Y table 16B are simultaneously driven. Since the measurement start operation, punch drive operation, and image reading of TAB1 are started in parallel, the index time TINDEX is shortened.

【0077】次に、この発明によるTABのテープ幅の
切換容易な案内構造を説明する。図4アはスプロケット
3Aの側面図、図4イはスプロケット3Bの側面図であ
る。図3では、スプロケット3Aは段付きスプロケット
31と段付きスプロケット32と回転軸33で構成され
る。同様にスプロケット3Bは段付きスプロケット34
と段付きスプロケット35と回転軸36で構成される。
回転軸33と回転軸36には幅の違うTABに対応する
3の溝Vが円周に形成される。段付きスプロケット31
と段付きスプロケット32と段付きスプロケット34と
段付きスプロケット35の段部に溝Vに入る球Bを設
け、球Bを押圧する圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵
する。図4では、幅の違うTABに対応するため、相対
向する段付きスプロケットの間隔W1 を回転軸上で容易
に切り換えることができる。
Next, a guide structure for easily switching the tape width of the TAB according to the present invention will be described. 4A is a side view of the sprocket 3A, and FIG. 4A is a side view of the sprocket 3B. In FIG. 3, the sprocket 3A includes a stepped sprocket 31, a stepped sprocket 32, and a rotating shaft 33. Similarly, the sprocket 3B has a stepped sprocket 34
And a stepped sprocket 35 and a rotary shaft 36.
Three grooves V corresponding to TABs having different widths are circumferentially formed on the rotary shaft 33 and the rotary shaft 36. Stepped sprocket 31
The stepped sprocket 32, the stepped sprocket 34, and the stepped sprocket 35 are provided with a ball B entering the groove V, and a compression coil spring S for pressing the ball B is built in the stepped portion. In FIG. 4, since the TABs having different widths are supported, the interval W1 of the stepped sprockets facing each other can be easily switched on the rotation axis.

【0078】図5アはプーリ4Aの側面図、図5イはプ
ーリ4Bの側面図である。図4では、プーリ4Aは段付
きプーリ41と段付きプーリ42と回転軸43で構成さ
れる。プーリ4Bは段付きプーリ44と段付きプーリ4
5と回転軸46で構成される。回転軸43と回転軸46
に幅の違うTABに対応する複数の溝Vを円周に形成す
る段付きプーリ41と段付きプーリ42と段付きプーリ
44と段付きプーリ45の段部に溝Vに入る球Bを設
け、球Bを押圧する圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵
する。図5では段付きプーリ41の段部と段付きプーリ
42の段部を対向して配置し、段付きプーリ44の段部
と段付きプーリ45の段部を対向して配置し、前記段部
で幅の違うTABを案内する。すなわち、図5の間隔W
2 は回転軸上で容易に切り換えることができる。
FIG. 5A is a side view of the pulley 4A, and FIG. 5A is a side view of the pulley 4B. In FIG. 4, the pulley 4A includes a stepped pulley 41, a stepped pulley 42, and a rotating shaft 43. Pulley 4B is stepped pulley 44 and stepped pulley 4
5 and a rotary shaft 46. Rotating shaft 43 and rotating shaft 46
In the stepped pulley 41, the stepped pulley 42, the stepped pulley 44, and the stepped pulley 45 that form a plurality of grooves V corresponding to TABs having different widths on the circumference, a ball B that enters the groove V is provided. A compression coil spring S for pressing the ball B is built in the step portion. In FIG. 5, the stepped portion of the stepped pulley 41 and the stepped portion of the stepped pulley 42 are arranged to face each other, and the stepped portion of the stepped pulley 44 and the stepped portion of the stepped pulley 45 are arranged to face each other. Will guide you through TABs with different widths. That is, the interval W in FIG.
2 can be easily switched on the axis of rotation.

【0079】図6アはガイド5Aの側面図、図6イはガ
イド5Bの側面図である。図6では、ガイド5Aは段付
きガイド51と段付きガイド52と回転軸53で構成さ
れる。ガイド5Bは段付きガイド54と段付きガイド5
5と回転軸56で構成される。回転軸53と回転軸56
に幅の違うTABに対応する複数の溝Vを円周に形成す
る。段付きガイド51と段付きガイド52と段付きガイ
ド54と段付きガイド55の段部に溝Vに入る球Bを設
け、球Bを押圧する圧縮コイルばねSを前記段部に内蔵
する。段付きガイド51の段部と段付きガイド52の段
部を対向して配置し、段付きガイド54の段部と段付き
ガイド55の段部を対向して配置し、TAB1のテープ
幅をW3 を変えることにより、幅の違うTABを案内す
る。
FIG. 6A is a side view of the guide 5A, and FIG. 6A is a side view of the guide 5B. In FIG. 6, the guide 5A includes a stepped guide 51, a stepped guide 52, and a rotary shaft 53. The guide 5B is a stepped guide 54 and a stepped guide 5.
5 and a rotary shaft 56. Rotating shaft 53 and rotating shaft 56
A plurality of grooves V corresponding to TABs having different widths are formed on the circumference. The stepped guide 51, the stepped guide 52, the stepped guide 54, and the stepped guide 55 are provided with a ball B entering the groove V, and a compression coil spring S for pressing the ball B is built in the stepped part. The step portion of the step guide 51 and the step portion of the step guide 52 are arranged to face each other, the step portion of the step guide 54 and the step portion of the step guide 55 are arranged to face each other, and the tape width of the TAB1 is set to W3. Guide TABs with different widths by changing.

【0080】図7はテンションプーリ6Bの詳細図であ
る。テンションプーリ6Aとテンションプーリ6Bは図
1において、線対称に配置されるので、図7ではテンシ
ョンプーリ6Aの詳細図は省略する。なお、図7におい
て、括弧内の符号はテンションプーリ6Aの構成品を示
している
FIG. 7 is a detailed view of the tension pulley 6B. Since the tension pulley 6A and the tension pulley 6B are arranged line-symmetrically in FIG. 1, a detailed view of the tension pulley 6A is omitted in FIG. Note that, in FIG. 7, reference numerals in parentheses indicate components of the tension pulley 6A.

【0081】図7アは正面図、図7イは側面図、図7ウ
は平面図である。図7では、テンションプーリ6Bは段
付き円弧ブロック64と段付き円弧ブロック65と揺動
板66で構成される。揺動板66には幅の違うTABに
対応する複数の穴Hがあけられる。円弧ブロック64と
段付き円弧ブロック65の底面には穴Hに入るピンPが
突出する。段付き円弧ブロック64の円弧段部と段付き
円弧ブロック65の円弧段部を対向して配置し、TAB
1の幅Wに対応して段付き円弧ブロック64・65間の
幅W4 を簡単に変えることができる。
FIG. 7A is a front view, FIG. 7A is a side view, and FIG. 7C is a plan view. In FIG. 7, the tension pulley 6B includes a stepped circular arc block 64, a stepped circular arc block 65, and a swing plate 66. The swing plate 66 has a plurality of holes H corresponding to TABs having different widths. A pin P that enters the hole H projects from the bottom surfaces of the circular arc block 64 and the stepped circular arc block 65. Arrange the circular arc step portion of the stepped circular arc block 64 and the circular arc step portion of the stepped circular arc block 65 so as to face each other.
The width W4 between the stepped circular arc blocks 64 and 65 can be easily changed corresponding to the width W of 1.

【0082】図7では、揺動板66は回転軸心66Aを
中心に揺動する。回転軸心66Aの縁端にはワイヤーロ
ープ67の一端が連結される。ワイヤーロープ67はプ
ーリ68に掛けられ、ワイヤーロープ67の他端に重り
69を吊るしている。重り69にかかる重力でTAB1
は常に上昇方向に一定の力で押圧される。
In FIG. 7, the oscillating plate 66 oscillates around the rotation axis 66A. One end of the wire rope 67 is connected to the edge of the rotation axis 66A. The wire rope 67 is hung on a pulley 68, and a weight 69 is hung on the other end of the wire rope 67. Gravity on the weight 69 causes TAB1
Is always pressed with a constant force in the ascending direction.

【0083】テンションプーリ6Aは段付き円弧ブロッ
ク61と段付き円弧ブロック62と揺動板63で構成さ
れる。揺動板63には幅の違うTABに対応する複数の
穴Hがあけられる。円弧ブロック61と段付き円弧ブロ
ック62の底面には穴Hに入るピンPが突出する。段付
き円弧ブロック61の円弧段部と段付き円弧ブロック6
2の円弧段部を対向して配置し、TAB1の幅Wに対応
して段付き円弧ブロック61・62間の幅W4 を簡単に
変えることができる。
The tension pulley 6A comprises a stepped circular arc block 61, a stepped circular arc block 62, and a swing plate 63. The swing plate 63 has a plurality of holes H corresponding to TABs having different widths. A pin P that enters the hole H projects from the bottom surface of the arc block 61 and the stepped arc block 62. Stepped arc block 61 and stepped arc block 6
By arranging two arcuate step portions so as to face each other, the width W4 between the stepped arc blocks 61 and 62 can be easily changed corresponding to the width W of the TAB 1.

【0084】揺動板63は回転軸心63Aを中心に揺動
する。回転軸心63Aの縁端にはワイヤーロープ67の
一端が連結される。ワイヤーロープ67はプーリ68に
掛けられ、ワイヤーロープ67の他端に重り69を吊る
している。重り69にかかる重力でTAB1は常に上昇
方向に一定の力で押圧される。
The swing plate 63 swings around the rotation axis 63A. One end of the wire rope 67 is connected to the edge of the rotation axis 63A. The wire rope 67 is hung on a pulley 68, and a weight 69 is hung on the other end of the wire rope 67. Due to the gravity applied to the weight 69, the TAB 1 is constantly pressed in the upward direction with a constant force.

【0085】[0085]

【発明の効果】第1の発明は、TABを同期回転する第
1のスプロケットと第2のスプロケットの両翼に、回転
中心を固定する第1のガイドと第2のガイドを配置す
る。第1のガイドと第2のガイドの両翼にはTABの走
行を平行にし、回転中心を固定する第1のプーリと第2
のプーリを配置する。第1のプーリと第2のプーリの両
翼にはTABをピッチ送りする第3のスプロケットと第
4のスプロケットを配置する。第1のプッシャと第2の
プッシャと第1のスプロケットと第2のスプロケットス
プロケットが一体になってTABを昇降するとき、第4
のスプロケットは回転を停止しているので、TABがプ
ッシャ側に走行しない。したがって、プッシャの動作に
かからわらずパンチユニットが駆動でき、パンチユニッ
トの駆動中にTABの状態も安定して検出できる。
According to the first aspect of the present invention, the first guide and the second guide for fixing the center of rotation are arranged on both blades of the first sprocket and the second sprocket that rotate the TAB synchronously. A first pulley and a second pulley that fix the center of rotation by making the traveling of the TAB parallel to both wings of the first guide and the second guide.
Place the pulley. A third sprocket and a fourth sprocket for pitch-feeding the TAB are arranged on both blades of the first pulley and the second pulley. The first pusher, the second pusher, the first sprocket and the second sprocket
The sprocket stops rotating, so the TAB does not travel to the pusher side. Therefore, the punch unit can be driven regardless of the operation of the pusher, and the TAB state can be stably detected during the driving of the punch unit.

【0086】第2の発明は、TABを走行方向に微小移
動補正するXテーブルと、TABを走行方向と直交する
方向に微小移動補正するYテーブルを同時に移動開始す
るので、従来の制御方法よりインデックス時間を短縮で
きる。
According to the second aspect of the present invention, the X table for correcting the slight movement of the TAB in the traveling direction and the Y table for correcting the small movement of the TAB in the direction orthogonal to the traveling direction are simultaneously started to move, so that the index table can be used as compared with the conventional control method. You can save time.

【0087】第3の発明は、TABを昇降する第1のプ
ッシャと第2のプッシャは同時に降下開始または同時に
上昇開始するので、従来の制御方法よりインデックス時
間を短縮できる。
In the third aspect of the invention, the first pusher and the second pusher for raising and lowering the TAB simultaneously start to descend or simultaneously rise, so that the index time can be shortened as compared with the conventional control method.

【0088】第4の発明は、供給リールは常時余裕をも
って第3のスプロケットにTABを供給するので、第1
のスプロケットと第2のスプロケットのインデックス送
り速度を速くできる。また、TABは自重で落下するた
め、衝撃力が加わることはない。
In the fourth aspect of the invention, the supply reel always supplies TAB to the third sprocket with a margin, so
The index feed speed of the sprocket and the second sprocket can be increased. Moreover, since the TAB falls by its own weight, no impact force is applied.

【0089】第5の発明は、収容リールは常時余裕をも
って第4のスプロケットから送られるTABを収容する
ので、第1のスプロケットと第2のスプロケットのイン
デックス送り速度を速くできる。また、TABは自重で
落下するため、衝撃力が加わることはない。
According to the fifth aspect of the invention, the accommodation reel always accommodates the TAB fed from the fourth sprocket with a margin, so that the index feeding speed of the first sprocket and the second sprocket can be increased. Moreover, since the TAB falls by its own weight, no impact force is applied.

【0090】第6から第8の発明では、TABのテープ
幅に対応して回転軸の円周に複数の溝Vを形成し、駆動
輪または案内輪は回転軸上の保持位置を前記溝Vに押圧
すことにより規制され、相対向する駆動輪または案内輪
の位置を容易に変えることができる。
In the sixth to eighth inventions, a plurality of grooves V are formed on the circumference of the rotating shaft in correspondence with the tape width of the TAB, and the drive wheel or the guide wheel has the holding position on the rotating shaft at the groove V. The positions of the driving wheels or the guide wheels facing each other can be easily changed by pressing the button.

【0091】第9の発明は、揺動板には幅の違うTAB
に対応する複数の穴があけられ、段付き円弧ブロックに
穴にはいるピンを形成し、相対向する段付き円弧ブロッ
クの間隔を揺動板上で容易変えられる。また、第1のテ
ンションプーリと第2のテンションプーリは定圧でTA
Bを押し上げる。
The ninth aspect of the invention is that the swing plate has a TAB with a different width.
Is formed in the stepped circular arc block, and a pin inserted into the hole is formed in the stepped circular arc block, and the interval between the opposed stepped circular arc blocks can be easily changed on the rocking plate. In addition, the first tension pulley and the second tension pulley are TA at a constant pressure.
Push B up.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明によるTAB用オートハンドラの構成
図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a TAB auto handler according to the present invention.

【図2】図1の動作を説明するフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart illustrating the operation of FIG.

【図3】図2のタイムチャートである。FIG. 3 is a time chart of FIG.

【図4】図1のスプロケット3A・3Bの側面図であ
る。
FIG. 4 is a side view of the sprockets 3A and 3B of FIG.

【図5】図1のプーリ4A・4Bの側面図である。5 is a side view of pulleys 4A and 4B of FIG. 1. FIG.

【図6】図1のガイド5A・5Bの側面図である。6 is a side view of the guides 5A and 5B of FIG. 1. FIG.

【図7】テンションプーリ6Bの詳細図である。FIG. 7 is a detailed view of a tension pulley 6B.

【図8】従来技術によるTAB用オートハンドラの構成
図である。
FIG. 8 is a configuration diagram of a conventional TAB auto handler.

【図9】図8のテンションプーリ5Cの部分拡大図であ
る。
9 is a partially enlarged view of the tension pulley 5C of FIG.

【図10】図9の状態変化図である。FIG. 10 is a state change diagram of FIG. 9;

【図11】図10の状態変化図である。11 is a state change diagram of FIG.

【図12】図11の状態変化図である。FIG. 12 is a state change diagram of FIG. 11.

【図13】図9のテンションプーリ5Dの近傍の構成図
である。
13 is a configuration diagram of the vicinity of a tension pulley 5D of FIG.

【図14】TAB1の部分拡大図であるFIG. 14 is a partially enlarged view of TAB1.

【図15】図8の要部拡大断面図である。15 is an enlarged cross-sectional view of the main parts of FIG.

【図16】プッシャ9・10の拡大斜視図である。16 is an enlarged perspective view of pushers 9 and 10. FIG.

【図17】図16の断面図である。FIG. 17 is a sectional view of FIG.

【図18】共用プーリであるプーリ4Cの一例を示した
図である。
FIG. 18 is a diagram showing an example of a pulley 4C that is a shared pulley.

【図19】検出器群20の1検出器の構成図である。19 is a configuration diagram of one detector in the detector group 20. FIG.

【図20】TAB1上の検出器群20の配置図である。20 is a layout diagram of a detector group 20 on the TAB 1. FIG.

【図21】パンチユニット11の外観図である。FIG. 21 is an external view of the punch unit 11.

【図22】図8の動作を説明するフローチャートであ
る。
FIG. 22 is a flowchart illustrating the operation of FIG.

【図23】図22のタイムチャートである。FIG. 23 is a time chart of FIG. 22.

【図24】パンチユニット11を中心とした部分構成図
である。
FIG. 24 is a partial configuration diagram centering on the punch unit 11.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 TAB 1A 基準マーク 2A 供給リール 2B 収容リール 3A スプロケット 3B スプロケット 4A プーリ 4B プーリ 5A ガイド 5B ガイド 6A テンションプーリ 6B テンションプーリ 7A プーリ 7B プーリ 8 テープクランプ 9 プッシャ 10 プッシャ 11 パンチユニット 12 プローブカード 13 アタッチメントユニット 14 テストヘッド 15 カメラ 16 XYステージ 16A Xテーブル 16B Yテーブル 21 傾斜ガイド 22 傾斜ガイド 23 センサ 24 センサ 25 センサ 26 センサ 31 段付きスプロケット 32 段付きスプロケット 33 回転軸 34 段付きスプロケット 35 段付きスプロケット 36 回転軸 41 段付きプーリ 42 段付きプーリ 43 回転軸 44 段付きプーリ 45 段付きプーリ 46 回転軸 51 段付きガイド 52 段付きガイド 53 回転軸 54 段付きガイド 55 段付きガイド 56 回転軸 61 段付き円弧ブロック 62 段付き円弧ブロック 63 揺動板 64 段付き円弧ブロック 65 段付き円弧ブロック 66 揺動板 B 球 H 穴 P ピン S 圧縮コイルばね V 溝 1 TAB 1A fiducial mark 2A supply reel 2B accommodation reel 3A sprocket 3B sprocket 4A pulley 4B pulley 5A guide 5B guide 6A tension pulley 6B tension pulley 7A pulley 7B pulley 8 tape clamp 9 pusher 10 pusher 11 punch unit 13 probe 12 Test head 15 Camera 16 XY stage 16A X table 16B Y table 21 Tilt guide 22 Tilt guide 23 Sensor 24 Sensor 25 Sensor 26 Sensor 31 Stepped sprocket 32 Stepped sprocket 33 Rotation shaft 34 Stepped sprocket 35 Stepped sprocket 36 Rotation axis 41 Step Pulley 42 Step Pulley 43 Rotation Shaft 44 Step Pulley 45 Step Pulley 46 Rotating shaft 51 Stepped guide 52 Stepped guide 53 Rotating shaft 54 Stepped guide 55 Stepped guide 56 Rotating shaft 61 Stepped arc block 62 Stepped arc block 63 Oscillating plate 64 Stepped arc block 65 Stepped arc block 66 Swing Moving plate B Ball H Hole P Pin S Compression coil spring V Groove

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 供給リール(2A)に巻かれたTAB(1) を
収容リール(2B)は巻き取り、第1のスプロケット(7A)と
第2のスプロケット(7B)は同期回転してTAB(1) を走
行し、第1のスプロケット(7A)と第2のスプロケット(7
B)の間にテープクランプ(8) と第1のプッシャ(9) を配
置し、テープクランプ(8) と第1のプッシャ(9) で保持
されたTAB(1) を第2のプッシャ(10)は降下させ、前
記TAB(1) をプローブカード(12)に接触させて試験す
るTAB用オートハンドラにおいて、 供給リール(2A)が送り出すTAB(1) を第1のプッシャ
(9) 側に走行する第3のスプロケット(3A)と、 収容リール(2B)側にTAB(1) を走行する第4のスプロ
ケット(3B)と、 第3のスプロケット(3A)と第1のスプロケット(7A)間に
介在し、回転中心を固定する第1のプーリ(4A)と、 第2のスプロケット(7B)と第4のスプロケット(3B)間に
介在し、回転中心を固定する第2のプーリ(4B)と、 第1のプーリ(4A)と第1のスプロケット(7A)間に配置
し、TAB(1) を上昇方向に押圧する第1のテンション
プーリ(6A)と、 第2のスプロケット(7B)と第2のプーリ(4B)間に配置
し、TAB(1) を上昇方向に押圧する第2のテンション
プーリ(6B)と、 第1のプーリ(4A)と第1のテンションプーリ(6A)間に配
置し、回転中心を固定し、TAB(1) を案内する第1の
ガイド(5A)と、 第2のテンションプーリ(6B)と第2のプーリ(4B)間に配
置し、回転中心を固定し、TAB(1) を案内する第2の
ガイド(5B)と、 第2のガイド(5B)と第2のプーリ(4B)間に配置し、試験
結果によりTAB(1)にパンチ穴をあけるパンチユニッ
ト(11)とを備え、 第4のスプロケット(3B)の回転を保持し、TAB(1) を
測定中にパンチ穴をあけることを特徴とするTAB用オ
ートハンドラ。
1. The accommodation reel (2B) winds up the TAB (1) wound around the supply reel (2A), and the first sprocket (7A) and the second sprocket (7B) rotate in synchronization with each other. 1) and drive the first sprocket (7A) and the second sprocket (7A)
The tape clamp (8) and the first pusher (9) are arranged between the tape clamp (8) and the TAB (1) held by the tape clamp (8) and the first pusher (9), and the second pusher (10). ) Is lowered and the TAB (1) sent from the supply reel (2A) is moved to the first pusher in the TAB autohandler for contacting and testing the TAB (1) with the probe card (12).
The third sprocket (3A) traveling to the (9) side, the fourth sprocket (3B) traveling the TAB (1) to the accommodation reel (2B) side, the third sprocket (3A) and the first sprocket (3A). The first pulley (4A) which is interposed between the sprockets (7A) and fixes the center of rotation, and the second pulley (4A) which is interposed between the second sprocket (7B) and the fourth sprocket (3B) and fixes the center of rotation. The pulley (4B), the first pulley (4A) and the first sprocket (7A), the first tension pulley (6A) that presses the TAB (1) in the upward direction, and the second pulley (4A). The second tension pulley (6B), which is arranged between the sprocket (7B) and the second pulley (4B) and presses the TAB (1) upward, the first pulley (4A) and the first tension pulley. It is placed between (6A), the center of rotation is fixed, and it is placed between the first guide (5A) that guides the TAB (1) and the second tension pulley (6B) and the second pulley (4B). , Times The center is fixed and it is placed between the second guide (5B) that guides the TAB (1) and the second guide (5B) and the second pulley (4B), and punched on the TAB (1) according to the test result. An auto-handler for TAB, comprising a punch unit (11) for making holes, holding rotation of a fourth sprocket (3B) and punching holes while measuring TAB (1).
【請求項2】 第1のスプロケット(7A)と、第2のスプ
ロケット(7B)と、テープクランプ(8) と、第1のプッシ
ャ(9) と、第2のプッシャ(10)を一体にしてXYステー
ジ(16)上に配置し、Xテーブル(16A) はXYステージ(1
6)上のTAB(1) を走行方向に微小移動し、Yテーブル
(16B) はXYステージ(16)上のTAB(1) を走行方向と
直交する方向に微小移動し、画像処理用のカメラ(15)
でTAB(1) の基準マーク(1A)を参照し、XYステージ
(16)に保持されたTAB(1) の位置を補正するとき、X
テーブル(16A) とYテーブル(16B) は同時に移動開始す
ることを特徴とする請求項1記載のTAB用オートハン
ドラ。
2. The first sprocket (7A), the second sprocket (7B), the tape clamp (8), the first pusher (9), and the second pusher (10) are integrally formed. It is placed on the XY stage (16) and the X table (16A) is placed on the XY stage (1
6) Move the upper TAB (1) slightly in the traveling direction, and
(16B) moves the TAB (1) on the XY stage (16) slightly in a direction orthogonal to the traveling direction, and the camera (15) for image processing
Refer to the TAB (1) reference mark (1A) in
When correcting the position of TAB (1) held in (16), X
The TAB auto-handler according to claim 1, wherein the table (16A) and the Y table (16B) start moving at the same time.
【請求項3】 第1のプッシャ(9) と第2のプッシャ(1
0)は同時に降下開始または同時に上昇開始することを特
徴とする請求項1記載のTAB用オートハンドラ。
3. A first pusher (9) and a second pusher (1).
The automatic handler for TAB according to claim 1, wherein 0) starts descent at the same time or simultaneously starts ascending.
【請求項4】 供給リール(2A)の下方外側に第3のスプ
ロケット(3A)を配置し、第1の傾斜ガイド(21)は供給リ
ール(2A)から自重で垂下するTAB(1) を案内し、第1
のセンサ(23)と第2のセンサ(24)は第1の傾斜ガイド(2
1)と第3のスプロケット(3A)間で垂下するTAB(1) の
有無を検出し、第1のセンサ(23)と第2のセンサ(24)が
TAB(1) を検出しないときは供給リール(2A)はTAB
(1) を送り出し、第1のセンサ(23)と第2のセンサ(24)
がTAB(1) を検出したときは供給リール(2A)は回転を
停止することを特徴とする請求項1記載のTAB用オー
トハンドラ。
4. A third sprocket (3A) is arranged below and outside the supply reel (2A), and a first inclined guide (21) guides a TAB (1) hanging from the supply reel (2A) by its own weight. And first
Sensor (23) and second sensor (24) of the first tilt guide (2
Supply if TAB (1) hanging between 1) and 3rd sprocket (3A) is detected, and if 1st sensor (23) and 2nd sensor (24) do not detect TAB (1) Reel (2A) is TAB
Sending out (1), the first sensor (23) and the second sensor (24)
2. The automatic handler for TAB according to claim 1, wherein the supply reel (2A) stops rotating when the TAB (1) is detected by.
【請求項5】 収容リール(2B)の下方外側に第4のスプ
ロケット(3B)を配置し、第2の傾斜ガイド(22)は収容リ
ール(2B)から自重で垂下するTAB(1) を案内し、第3
のセンサ(25)と第4のセンサ(26)は第2の傾斜ガイド(2
2)と第4のスプロケット(3B)間で垂下するTAB(1) の
有無を検出し、第3のセンサ(25)と第4のセンサ(26)が
TAB(1) を検出しないときは収容リール(2B)は回転を
停止し、第3のセンサ(25)と第4のセンサ(26)がTAB
(1) を検出したときは収容リール(2B)はTAB(1) を巻
き取ることを特徴とする請求項1記載のTAB用オート
ハンドラ。
5. A fourth sprocket (3B) is arranged on the lower outside of the accommodation reel (2B), and a second inclined guide (22) guides the TAB (1) hanging from the accommodation reel (2B) by its own weight. And then the third
Sensor (25) and fourth sensor (26) of the second tilt guide (2
2) and 4th sprocket (3B) hanging TAB (1) is detected, if the 3rd sensor (25) and 4th sensor (26) does not detect TAB (1) The reel (2B) stops rotating, and the third sensor (25) and the fourth sensor (26) move to TAB.
2. The automatic handler for TAB according to claim 1, wherein when the (1) is detected, the accommodation reel (2B) takes up the TAB (1).
【請求項6】 第3のスプロケット(3A)は第1の段付き
スプロケット(31)と第2の段付きスプロケット(32)と第
1の回転軸(33)で構成し、第4のスプロケット(3B)は第
3の段付きスプロケット(34)と第4の段付きスプロケッ
ト(35)と第2の回転軸(36)で構成し、第1の回転軸(33)
と第2の回転軸(36)に幅の違うTABに対応する複数の
溝(V) を円周に形成し、第1の段付きスプロケット(31)
と第2の段付きスプロケット(32)と第3の段付きスプロ
ケット(34)と第4の段付きスプロケット(35)の段部に溝
(V) に入る球(B) を設け、球(B) を押圧する圧縮コイル
ばね(S) を前記段部に内蔵し、幅の違うTABに対応す
ることを特徴とする請求項1記載の第3のスプロケット
と第4のスプロケット。
6. The third sprocket (3A) comprises a first stepped sprocket (31), a second stepped sprocket (32) and a first rotary shaft (33), and a fourth sprocket (3). 3B) comprises a third stepped sprocket (34), a fourth stepped sprocket (35) and a second rotating shaft (36), and a first rotating shaft (33)
And a plurality of grooves (V) corresponding to TABs having different widths are formed on the circumference of the second rotation shaft (36), and the first stepped sprocket (31) is formed.
And grooves on the steps of the second step sprocket (32), the third step sprocket (34) and the fourth step sprocket (35).
The sphere (B) that enters the (V) is provided, and the compression coil spring (S) that presses the sphere (B) is built in the step portion to accommodate TABs having different widths. Third sprocket and fourth sprocket.
【請求項7】 第1のプーリ(4A)は第1の段付きプーリ
(41)と第2の段付きプーリ(42)と第3の回転軸(43)で構
成し、第2のプーリ(4B)は第3の段付きプーリ(44)と第
4の段付きプーリ(45)と第4の回転軸(46)で構成し、第
3の回転軸(43)と第4の回転軸(46)に幅の違うTABに
対応する複数の溝(V) を円周に形成し、第1の段付きプ
ーリ(41)と第2の段付きプーリ(42)と第3の段付きプー
リ(44)と第4の段付きプーリ(45)の段部に溝(V) に入る
球(B) を設け、球(B) を押圧する圧縮コイルばね(S) を
前記段部に内蔵し、第1の段付きプーリ(41)の段部と第
2の段付きプーリ(42)の段部を対向して配置し、第3の
段付きプーリ(44)の段部と第4の段付きプーリ(45)の段
部を対向して配置し、前記段部で幅の違うTABを案内
することを特徴とする請求項1記載の第1のプーリと第
2のプーリ。
7. The first pulley (4A) is a first stepped pulley.
(41), the second stepped pulley (42) and the third rotating shaft (43), and the second pulley (4B) is the third stepped pulley (44) and the fourth stepped pulley. It is composed of (45) and the 4th rotation shaft (46), and the 3rd rotation shaft (43) and the 4th rotation shaft (46) are surrounded by a plurality of grooves (V) corresponding to TABs having different widths. The first stepped pulley (41), the second stepped pulley (42), the third stepped pulley (44), and the fourth stepped pulley (45) at the stepped portion (V ) Is provided, and the compression coil spring (S) that presses the ball (B) is built in the stepped portion, and the stepped portion of the first stepped pulley (41) and the second stepped pulley (41) are provided. The step portions of (42) are arranged to face each other, and the step portion of the third stepped pulley (44) and the step portion of the fourth stepped pulley (45) are arranged to face each other, and the step portion has a width The first pulley and the second pulley according to claim 1, which guide different TABs.
【請求項8】 第1のガイド(5A)は第1の段付きガイド
(51)と第2の段付きガイド(52)と第5の回転軸(53)で構
成し、第2のガイド(5B)は第3の段付きガイド(54)と第
4の段付きガイド(55)と第6の回転軸(56)で構成し、第
5の回転軸(53)と第6の回転軸(56)に幅の違うTABに
対応する複数の溝(V) を円周に形成し、第1の段付きガ
イド(51)と第2の段付きガイド(52)と第3の段付きガイ
ド(54)と第4の段付きガイド(55)の段部に溝(V) に入る
球(B) を設け、球(B) を押圧する圧縮コイルばね(S) を
前記段部に内蔵し、第1の段付きガイド(51)の段部と第
2の段付きガイド(52)の段部を対向して配置し、第3の
段付きガイド(54)の段部と第4の段付きガイド(55)の段
部を対向して配置し、前記段部で幅の違うTABを案内
することを特徴とする請求項1記載の第1のガイドと第
2のガイド。
8. The first guide (5A) is a first stepped guide.
(51), the second step guide (52) and the fifth rotating shaft (53), the second guide (5B) is the third step guide (54) and the fourth step guide. (55) and the 6th rotating shaft (56), the 5th rotating shaft (53) and the 6th rotating shaft (56) are surrounded by a plurality of grooves (V) corresponding to different TAB widths. To form a groove (V) in the step portion of the first step guide (51), the second step guide (52), the third step guide (54) and the fourth step guide (55). ) Is provided, and the compression coil spring (S) that presses the ball (B) is built in the step portion, and the step portion of the first step guide (51) and the second step guide are provided. The step portions of (52) are arranged so as to face each other, and the step portion of the third stepped guide (54) and the step portion of the fourth stepped guide (55) are arranged so as to face each other, and the width at the step portion is set. The first guide and the second guide according to claim 1, characterized in that they guide different TABs.
【請求項9】 第1のテンションプーリ(6A)は第1の段
付き円弧ブロック(61)と第2の段付き円弧ブロック(62)
と第1の揺動板(63)で構成し、第2のテンションプーリ
(6B)は第3の段付き円弧ブロック(64)と第4の段付き円
弧ブロック(65)と第2の揺動板(66)で構成し、第1の揺
動板(63)と第2の揺動板(66)に幅の違うTABに対応す
る複数の穴(H) をあけ、第1の段付き円弧ブロック(61)
と第2の段付き円弧ブロック(62)と第3の段付き円弧ブ
ロック(64)と第4の段付き円弧ブロック(65)の底面に穴
(H) に入るピン(P) を突出し、第1の段付き円弧ブロッ
ク(61)の円弧段部と第2の段付き円弧ブロック(62)の円
弧段部を対向して配置し、第3の段付き円弧ブロック(6
4)の円弧段部と第4の段付き円弧ブロック(65)の円弧段
部を対向して配置し、前記円弧段部で幅の違うTABを
案内することを特徴とする請求項1記載の第1のテンシ
ョンプーリと第2のテンションプーリ。
9. The first tension pulley (6A) comprises a first stepped arc block (61) and a second stepped arc block (62).
And the first swing plate (63), the second tension pulley
(6B) is composed of a third stepped circular arc block (64), a fourth stepped circular arc block (65) and a second rocking plate (66), and a first rocking plate (63) and a first rocking plate (63). A plurality of holes (H) corresponding to TABs having different widths are made in the second swing plate (66) to form the first stepped arc block (61).
And holes on the bottom of the second stepped arc block (62), the third stepped arc block (64) and the fourth stepped arc block (65)
The pin (P) that goes into (H) is projected, and the circular arc step portion of the first stepped circular arc block (61) and the circular arc stepped portion of the second stepped circular arc block (62) are arranged so as to face each other. Stepped arc block (6
2. The arc step portion of 4) and the arc step portion of the fourth stepped arc block (65) are arranged so as to face each other, and TABs having different widths are guided by the arc step portion. A first tension pulley and a second tension pulley.
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