JPH07239272A - 光波長計 - Google Patents
光波長計Info
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- JPH07239272A JPH07239272A JP6054586A JP5458694A JPH07239272A JP H07239272 A JPH07239272 A JP H07239272A JP 6054586 A JP6054586 A JP 6054586A JP 5458694 A JP5458694 A JP 5458694A JP H07239272 A JPH07239272 A JP H07239272A
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- motor
- moving mirror
- moving
- mirror
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
- G01J9/0246—Measuring optical wavelength
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定スタート、ストップ間の距離較正をする
ことにより高確度な光波長計を提供すること。 【構成】 周波数安定化レーザにより測長器６のスケー
ル中心から移動ミラー４の任意移動距離までの距離較正
をし、測定スタート、ストップ間の距離精度を上げ、さ
らには移動ミラーがベルトの弾性力によって戻り状態に
あることを検出する検出部１５と、移動ミラー４の行き
過ぎ量と戻り量を測定して相殺するＵＰ／ＤＯＷＮカウ
ント部１４を備えることにより、正確な波長測定スター
ト、ストップ点の検出を可能とする。
ことにより高確度な光波長計を提供すること。 【構成】 周波数安定化レーザにより測長器６のスケー
ル中心から移動ミラー４の任意移動距離までの距離較正
をし、測定スタート、ストップ間の距離精度を上げ、さ
らには移動ミラーがベルトの弾性力によって戻り状態に
あることを検出する検出部１５と、移動ミラー４の行き
過ぎ量と戻り量を測定して相殺するＵＰ／ＤＯＷＮカウ
ント部１４を備えることにより、正確な波長測定スター
ト、ストップ点の検出を可能とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は光波長計、より具体的
には被測定光の波長を干渉計を用いて測定する光波長計
に関する。
には被測定光の波長を干渉計を用いて測定する光波長計
に関する。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術による光波長計を図４お
よび図５を用いて説明する。図４は従来技術を用いた光
波長計の構成図である。また、図５は測長器６の距離精
度特性図であり、縦軸は測定誤差、横軸は移動距離を示
す。
よび図５を用いて説明する。図４は従来技術を用いた光
波長計の構成図である。また、図５は測長器６の距離精
度特性図であり、縦軸は測定誤差、横軸は移動距離を示
す。
【０００３】図４において、１は被測定光源、２はビー
ムスプリッタ、３は固定ミラー、４は移動ミラー、５は
直動機構、６は測長器、７と８はプーリ、９はベルト、
１０はモータ、１１は受光部、１２は位置検出部、１３
はモータ制御部、１６は干渉縞カウント部、１７と１８
は距離カウント部、１９は演算部、２０は表示部であ
る。
ムスプリッタ、３は固定ミラー、４は移動ミラー、５は
直動機構、６は測長器、７と８はプーリ、９はベルト、
１０はモータ、１１は受光部、１２は位置検出部、１３
はモータ制御部、１６は干渉縞カウント部、１７と１８
は距離カウント部、１９は演算部、２０は表示部であ
る。
【０００４】被測定光源１から出力され波長が未知であ
る被測定光２３はビームスプリッタ２により反射光２３
ａと通過光２３ｂに２分岐され、反射光２３ａは固定ミ
ラー３（例えばコーナーキューブプリズム）で反射され
てビームスプリッタ２を通過し、受光器１１に入射され
る。また、通過光２３ｂは移動ミラー４（例えばコーナ
ーキューブプリズム ）で反射され、さらにビームス
プリッタ２で反射されて受光器１１に入射される。
る被測定光２３はビームスプリッタ２により反射光２３
ａと通過光２３ｂに２分岐され、反射光２３ａは固定ミ
ラー３（例えばコーナーキューブプリズム）で反射され
てビームスプリッタ２を通過し、受光器１１に入射され
る。また、通過光２３ｂは移動ミラー４（例えばコーナ
ーキューブプリズム ）で反射され、さらにビームス
プリッタ２で反射されて受光器１１に入射される。
【０００５】受光器１１に入射される反射光２３ａと通
過光２３ｂとでは干渉を生じるため、受光器１１からは
干渉光の強度に応じた電気信号２４が出力され、干渉縞
カウント部１６に入力される。
過光２３ｂとでは干渉を生じるため、受光器１１からは
干渉光の強度に応じた電気信号２４が出力され、干渉縞
カウント部１６に入力される。
【０００６】モータ１０が回転するとプーリ７、８に張
られたベルト９（例えばゴムベルト）が光軸方向に動
き、ベルト９に接続された直動機構５のステージ部とス
テージ部に設置された移動ミラー４が光軸方向に動く。
移動ミラー４が光軸方向で移動すると、受光器１１から
の電気信号２４は干渉による周期的に繰り返す光強度変
化に対応した電気信号となる。また、電気信号２４の波
長は被測定光２３の波長に相当する。
られたベルト９（例えばゴムベルト）が光軸方向に動
き、ベルト９に接続された直動機構５のステージ部とス
テージ部に設置された移動ミラー４が光軸方向に動く。
移動ミラー４が光軸方向で移動すると、受光器１１から
の電気信号２４は干渉による周期的に繰り返す光強度変
化に対応した電気信号となる。また、電気信号２４の波
長は被測定光２３の波長に相当する。
【０００７】スケールとセンサで構成される測長器６は
移動ミラー４が動くとセンサの距離分解能毎にパルス信
号２１を位置カウント部１２と距離カウント部１８に出
力するとともにパルス信号２１に対して位相が９０゜遅
れたパルス信号２２を距離カウント部１７に出力する。
移動ミラー４が動くとセンサの距離分解能毎にパルス信
号２１を位置カウント部１２と距離カウント部１８に出
力するとともにパルス信号２１に対して位相が９０゜遅
れたパルス信号２２を距離カウント部１７に出力する。
【０００８】位置検出部１２は測長器６からのパルス信
号２１の波形数を任意数計数し、移動ミラー４が任意距
離だけ移動したことを検出すると、位置信号２５をモー
タ制御部１３と干渉縞カウント部１６と距離カウント部
１７と距離カウント部１８に出力する。モータ制御部１
３は位置信号２５が入力される度にモータ１０の回転方
向を逆転させる。
号２１の波形数を任意数計数し、移動ミラー４が任意距
離だけ移動したことを検出すると、位置信号２５をモー
タ制御部１３と干渉縞カウント部１６と距離カウント部
１７と距離カウント部１８に出力する。モータ制御部１
３は位置信号２５が入力される度にモータ１０の回転方
向を逆転させる。
【０００９】干渉縞カウント部１６は位置検出部１２か
らの位置信号２５が入力されると電気信号２４の波形数
を計数し始め、再度位置検出部１２からの位置信号２５
が入力されると計数を終了し、計数結果Ｋを演算部１９
に出力する。
らの位置信号２５が入力されると電気信号２４の波形数
を計数し始め、再度位置検出部１２からの位置信号２５
が入力されると計数を終了し、計数結果Ｋを演算部１９
に出力する。
【００１０】距離カウント部１７は位置検出部１２から
の位置信号２５が入力されると測長器６からのパルス信
号２１を計数を開始し、再度位置検出部１２からの位置
信号２５が入力されると計数を終了し、計数結果Ｎ１を
演算部１９に出力する。距離カウント部１８は位置検出
部１２からの位置信号２５が入力されると測長器６から
のパルス信号２１を計数し始め、再度位置検出部１２か
らの位置信号２５が入力されると計数を終了し、計数結
果Ｎ２を演算部１９に出力する。
の位置信号２５が入力されると測長器６からのパルス信
号２１を計数を開始し、再度位置検出部１２からの位置
信号２５が入力されると計数を終了し、計数結果Ｎ１を
演算部１９に出力する。距離カウント部１８は位置検出
部１２からの位置信号２５が入力されると測長器６から
のパルス信号２１を計数し始め、再度位置検出部１２か
らの位置信号２５が入力されると計数を終了し、計数結
果Ｎ２を演算部１９に出力する。
【００１１】演算部１９は距離カウント部１７、１８か
らの計数結果Ｎ１、Ｎ２から以下に示す（ａ）式の処理
を行い、移動ミラー４の移動距離Ｌを計算するとともに
移動距離Ｌと干渉縞カウント部１６からの干渉光波形数
から（ｂ）式の処理により被測定光の波長λを求め、被
測定光の波長データを表示部２０に出力する。
らの計数結果Ｎ１、Ｎ２から以下に示す（ａ）式の処理
を行い、移動ミラー４の移動距離Ｌを計算するとともに
移動距離Ｌと干渉縞カウント部１６からの干渉光波形数
から（ｂ）式の処理により被測定光の波長λを求め、被
測定光の波長データを表示部２０に出力する。
【００１２】 Ｌ ＝ （Ｎ１＋Ｎ２） × 測長器分解能／２ ・・・（ａ） λ ＝ Ｌ ／ Ｋ ・・・（ｂ） 表示部２０は演算部１９からの被測定光の波長データ表
示する。
示する。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】図４に示す構成の光波
長計では、被測定光の波長を高確度に測定するために精
度の高い測長器を用いる必要がある。しかしながら、現
有する測長器の測長精度は100 ｎｍ程度であり図５の様
な特性となる。
長計では、被測定光の波長を高確度に測定するために精
度の高い測長器を用いる必要がある。しかしながら、現
有する測長器の測長精度は100 ｎｍ程度であり図５の様
な特性となる。
【００１４】また、測長器にはスケールの中心をセンサ
が通過するとスケールの中心を示す原点信号を出力する
機能もある。このような測長器の誤差特性では波長測定
スタート、ストップ点が測定毎に変わるので光波長計の
確度も測定毎に変わる。この場合でも空気の揺らぎや干
渉計を構成する光学部品の精度を無視すれば、光波長計
の確度は測長器の精度で決まる。
が通過するとスケールの中心を示す原点信号を出力する
機能もある。このような測長器の誤差特性では波長測定
スタート、ストップ点が測定毎に変わるので光波長計の
確度も測定毎に変わる。この場合でも空気の揺らぎや干
渉計を構成する光学部品の精度を無視すれば、光波長計
の確度は測長器の精度で決まる。
【００１５】また、周波数安定化レーザ等を用いて移動
ミラーの任意移動距離を較正し、測定スタート、ストッ
プ間の距離精度を上げても、モータがモータ反転信号入
力されて停止する際に、モータの慣性力により生じる移
動ミラーの行き過ぎとモータの停止時にベルトの弾性力
により生じる移動ミラーの戻りがある。このように、正
確な波長測定スタート、ストップ点の検出ができないこ
とから、較正した測定スタート、ストップ間で波長の測
定はできない。
ミラーの任意移動距離を較正し、測定スタート、ストッ
プ間の距離精度を上げても、モータがモータ反転信号入
力されて停止する際に、モータの慣性力により生じる移
動ミラーの行き過ぎとモータの停止時にベルトの弾性力
により生じる移動ミラーの戻りがある。このように、正
確な波長測定スタート、ストップ点の検出ができないこ
とから、較正した測定スタート、ストップ間で波長の測
定はできない。
【００１６】この発明は、周波数安定化レーザにより測
長器のスケール中心から移動ミラーの任意移動距離まで
の距離を較正し、測定スタート、ストップ間の距離精度
を上げ、さらには移動ミラーがベルトの弾性力によって
戻り状態にあることを検出する検出器と、移動ミラーの
行き過ぎ量と戻り量を測定して相殺するＵＰ／ＤＯＷＮ
カウント部を用いて正確な波長測定スタート、ストップ
点の検出をすることにより、高確度な光波長計を提供す
ることを目的とする。
長器のスケール中心から移動ミラーの任意移動距離まで
の距離を較正し、測定スタート、ストップ間の距離精度
を上げ、さらには移動ミラーがベルトの弾性力によって
戻り状態にあることを検出する検出器と、移動ミラーの
行き過ぎ量と戻り量を測定して相殺するＵＰ／ＤＯＷＮ
カウント部を用いて正確な波長測定スタート、ストップ
点の検出をすることにより、高確度な光波長計を提供す
ることを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】この発明は上述の課題を
解決するために、被測定光の波長を干渉計を用いて測定
する光波長計は、被測定光源１の光を２分岐するビーム
スプリッタ２を介して分岐された一方の被測定光を入射
し、これをビームスプリッタ２に反射する移動ミラー４
と、移動ミラー４をモータ１０により光軸方向に移動さ
せる線形移動機構５と、スケールとセンサで構成され、
移動ミラー４が動くとセンサの距離分解能毎に位相が異
なるパルス信号２１と２２を出力するとともに、スケー
ルの中心をセンサが通過すると原点信号３５を出力する
測長器６と、測長器６からの原点信号３５をトリガにし
てパルス信号２１の波形数を任意数計数し、移動ミラー
４が任意距離だけ移動したことを検出すると位置信号２
５を出力する位置検出部１２と、位置検出部１２より位
置信号２５を入力するとモータ１０に反転信号２７を出
力するとともに、現在のモータ回転方向信号２６を検出
部１５に出力するモータ制御部１３と、モータ制御部１
３からの回転方向信号２６と測長器６からのパルス信号
２１及び２２から移動ミラー４が戻り状態にあることを
検出し、検出信号３２，３３を出力する検出部１５と、
測長器６からのパルス信号２１と検出部１５からの検出
信号３２，３３を入力することで、モータ１０がモータ
制御部１３からの反転信号２７を入力して停止する際に
モータ１０の慣性力により生じる移動ミラー４の行き過
ぎ量とモータ１０の停止時に生じる移動ミラー４の戻り
量を計数するとともに、モータ１０が回転方向を変えて
回転する際に前記の行き過ぎ量と戻り量を逆算してモー
タ１０に反転信号２６が入力された位置まで移動ミラー
４が進むと測定スタート信号を出力するＵＰ／ＤＯＷＮ
カウント部１４とを有する。
解決するために、被測定光の波長を干渉計を用いて測定
する光波長計は、被測定光源１の光を２分岐するビーム
スプリッタ２を介して分岐された一方の被測定光を入射
し、これをビームスプリッタ２に反射する移動ミラー４
と、移動ミラー４をモータ１０により光軸方向に移動さ
せる線形移動機構５と、スケールとセンサで構成され、
移動ミラー４が動くとセンサの距離分解能毎に位相が異
なるパルス信号２１と２２を出力するとともに、スケー
ルの中心をセンサが通過すると原点信号３５を出力する
測長器６と、測長器６からの原点信号３５をトリガにし
てパルス信号２１の波形数を任意数計数し、移動ミラー
４が任意距離だけ移動したことを検出すると位置信号２
５を出力する位置検出部１２と、位置検出部１２より位
置信号２５を入力するとモータ１０に反転信号２７を出
力するとともに、現在のモータ回転方向信号２６を検出
部１５に出力するモータ制御部１３と、モータ制御部１
３からの回転方向信号２６と測長器６からのパルス信号
２１及び２２から移動ミラー４が戻り状態にあることを
検出し、検出信号３２，３３を出力する検出部１５と、
測長器６からのパルス信号２１と検出部１５からの検出
信号３２，３３を入力することで、モータ１０がモータ
制御部１３からの反転信号２７を入力して停止する際に
モータ１０の慣性力により生じる移動ミラー４の行き過
ぎ量とモータ１０の停止時に生じる移動ミラー４の戻り
量を計数するとともに、モータ１０が回転方向を変えて
回転する際に前記の行き過ぎ量と戻り量を逆算してモー
タ１０に反転信号２６が入力された位置まで移動ミラー
４が進むと測定スタート信号を出力するＵＰ／ＤＯＷＮ
カウント部１４とを有する。
【００１８】また、この発明によれば、被測定光源１か
らの光を２分岐するビームスプリッタ２と、ビームスプ
リッタ２から出力される一方の光をビームスプリッタ２
に再入力する固定ミラー３と、ビームスプリッタ２で２
分岐された他方の光をビームスプリッタに再入力する移
動ミラー４と、移動ステージ部とガイドレール部で構成
され移動ミラー４を光軸方向に移動させる線形移動機構
５と、スケールとセンサで構成され、前記移動ミラー４
が動くとセンサの距離分解能毎に位相が９０゜異なるパ
ルス信号２１と２２を出力するとともにスケールの中心
をセンサが通過すると原点信号３５を出力する測長器６
と、前記ガイドレール部の両端に配置されるプーリ７、
プーリ８と、前記プーリ７、８間に張られるとともに前
記移動ステージ部に接続されるベルト９と、前記プーリ
８を回転させてベルト９を光軸方向に動かすことにより
移動ミラー４を線形移動させるモータ１０と、固定ミラ
ー３からの光と移動ミラー４からの光の合成により生じ
る干渉光を光電変換する受光器１１と、測長器６からの
原点信号３５をトリガにしてパルス信号２１の波形数を
任意数計数して移動ミラー４が任意距離だけ移動したこ
とを検出する位置検出部１２と、モータ１０に反転信号
２７を出力るとともに現在のモータ回転方向を検出部１
５に出力するモータ制御部１３と、モータ１０がモータ
制御部１３からの反転信号２６を入力されて停止する際
にモータ１０の慣性力により生じる移動ミラー４の行き
過ぎ量とモータ１０の停止時にベルト９の弾性力により
生じる移動ミラー４の戻り量を計数するとともにモータ
１０が回転方向を変えて回転する際に前記の行き過ぎ量
と戻り量を逆算してモータ１０に反転信号２７が入力さ
れた位置まで移動ミラー４が進むと測定スタート信号を
出力するＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４と、モータ制御
部１３からの回転方向信号と測長器６からのパルス信号
２１及びパルス信号２２から前記移動ミラー４がベルト
の弾性力によって戻り状態にあることを検出する検出器
１５と、移動ミラー４の移動で生じる干渉光の波形数を
計数する干渉縞カウント部１６と、測長器６から出力さ
れ位相が９０゜異なる２つのパルス信号２１と２２の波
形数を計数する距離カウント部１７、１８と、干渉縞カ
ウント部１６により計数した干渉光波形数と距離カウン
ト部１７と１８により計数したパルス波形数から被測定
光源１の波長を算出する演算部１９と、演算部１９から
の波長演算値を表示する表示部２０とを備える。
らの光を２分岐するビームスプリッタ２と、ビームスプ
リッタ２から出力される一方の光をビームスプリッタ２
に再入力する固定ミラー３と、ビームスプリッタ２で２
分岐された他方の光をビームスプリッタに再入力する移
動ミラー４と、移動ステージ部とガイドレール部で構成
され移動ミラー４を光軸方向に移動させる線形移動機構
５と、スケールとセンサで構成され、前記移動ミラー４
が動くとセンサの距離分解能毎に位相が９０゜異なるパ
ルス信号２１と２２を出力するとともにスケールの中心
をセンサが通過すると原点信号３５を出力する測長器６
と、前記ガイドレール部の両端に配置されるプーリ７、
プーリ８と、前記プーリ７、８間に張られるとともに前
記移動ステージ部に接続されるベルト９と、前記プーリ
８を回転させてベルト９を光軸方向に動かすことにより
移動ミラー４を線形移動させるモータ１０と、固定ミラ
ー３からの光と移動ミラー４からの光の合成により生じ
る干渉光を光電変換する受光器１１と、測長器６からの
原点信号３５をトリガにしてパルス信号２１の波形数を
任意数計数して移動ミラー４が任意距離だけ移動したこ
とを検出する位置検出部１２と、モータ１０に反転信号
２７を出力るとともに現在のモータ回転方向を検出部１
５に出力するモータ制御部１３と、モータ１０がモータ
制御部１３からの反転信号２６を入力されて停止する際
にモータ１０の慣性力により生じる移動ミラー４の行き
過ぎ量とモータ１０の停止時にベルト９の弾性力により
生じる移動ミラー４の戻り量を計数するとともにモータ
１０が回転方向を変えて回転する際に前記の行き過ぎ量
と戻り量を逆算してモータ１０に反転信号２７が入力さ
れた位置まで移動ミラー４が進むと測定スタート信号を
出力するＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４と、モータ制御
部１３からの回転方向信号と測長器６からのパルス信号
２１及びパルス信号２２から前記移動ミラー４がベルト
の弾性力によって戻り状態にあることを検出する検出器
１５と、移動ミラー４の移動で生じる干渉光の波形数を
計数する干渉縞カウント部１６と、測長器６から出力さ
れ位相が９０゜異なる２つのパルス信号２１と２２の波
形数を計数する距離カウント部１７、１８と、干渉縞カ
ウント部１６により計数した干渉光波形数と距離カウン
ト部１７と１８により計数したパルス波形数から被測定
光源１の波長を算出する演算部１９と、演算部１９から
の波長演算値を表示する表示部２０とを備える。
【００１９】
【作用】この発明によれば、被測定光源１の光はビーム
スプリッタ２で２分岐され、一方の光は移動ミラー４で
ビームスプリッタ２に再入力される。移動ミラー４が線
形移動機構５で光軸方向に移動すると、測長器６はセン
サの距離分解能毎に位相が異なる２つのパルス信号２１
・２２を出力する。位置検出部１２は原点信号３５とパ
ルス信号２１により移動ミラー４が任意距離だけ移動し
たことを検出すると位置信号２５を出力する。モータ制
御部１３は、位置信号２５を入力すると、モータ１０を
反転させるとともにモータ回転方向を検出部１５に出力
する。検出部１５は、測長器６からのパルス信号２１・
２２およびモータ制御部１３からの回転方向信号を入力
し移動ミラー４が戻り状態にあることを検出する。ＵＰ
／ＤＯＷＮカウント部１４は、測長器６からのパルス信
号２１と検出部１５からの検出信号３２・３３を入力す
ることで、移動ミラー４の行き過ぎ量と戻り量を計数
し、相殺する。
スプリッタ２で２分岐され、一方の光は移動ミラー４で
ビームスプリッタ２に再入力される。移動ミラー４が線
形移動機構５で光軸方向に移動すると、測長器６はセン
サの距離分解能毎に位相が異なる２つのパルス信号２１
・２２を出力する。位置検出部１２は原点信号３５とパ
ルス信号２１により移動ミラー４が任意距離だけ移動し
たことを検出すると位置信号２５を出力する。モータ制
御部１３は、位置信号２５を入力すると、モータ１０を
反転させるとともにモータ回転方向を検出部１５に出力
する。検出部１５は、測長器６からのパルス信号２１・
２２およびモータ制御部１３からの回転方向信号を入力
し移動ミラー４が戻り状態にあることを検出する。ＵＰ
／ＤＯＷＮカウント部１４は、測長器６からのパルス信
号２１と検出部１５からの検出信号３２・３３を入力す
ることで、移動ミラー４の行き過ぎ量と戻り量を計数
し、相殺する。
【００２０】また、この発明によれば、被測定光源１の
光はビームスプリッタ２で２分岐され、一方の光は固定
ミラー３でビームスプリッタ２に再入力される。他方の
光は移動ミラー４でビームスプリッタ２に再入力する。
移動ミラー４が線形移動機構５で光軸方向に移動する
と、測長器６はセンサの距離分解能毎に位相が９０゜異
なる２つのパルス信号２１・２２を出力する。モータ１
０は線形移動機構５を駆動する。受光器１１は干渉光を
光電変換する。位置検出部１２は移動ミラー４が任意距
離だけ移動したことを検出し、モータ制御部１３はモー
タ１０を反転させるとともにモータ回転方向を検出部１
５に出力する。ＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４は移動ミ
ラー４の行き過ぎ量と戻り量を計数し、相殺する。検出
器１５は移動ミラー４が戻り状態にあることを検出す
る。干渉縞カウント部１６は干渉光の波形数を計数す
る。距離カウント部１７・１８は測長器６のパルス信号
２１・２２の波形数を計数する。演算部１９は干渉光波
形数とパルス波形数から被測定光源１の波長を算出し、
波長演算値を表示部２０に表示する。
光はビームスプリッタ２で２分岐され、一方の光は固定
ミラー３でビームスプリッタ２に再入力される。他方の
光は移動ミラー４でビームスプリッタ２に再入力する。
移動ミラー４が線形移動機構５で光軸方向に移動する
と、測長器６はセンサの距離分解能毎に位相が９０゜異
なる２つのパルス信号２１・２２を出力する。モータ１
０は線形移動機構５を駆動する。受光器１１は干渉光を
光電変換する。位置検出部１２は移動ミラー４が任意距
離だけ移動したことを検出し、モータ制御部１３はモー
タ１０を反転させるとともにモータ回転方向を検出部１
５に出力する。ＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４は移動ミ
ラー４の行き過ぎ量と戻り量を計数し、相殺する。検出
器１５は移動ミラー４が戻り状態にあることを検出す
る。干渉縞カウント部１６は干渉光の波形数を計数す
る。距離カウント部１７・１８は測長器６のパルス信号
２１・２２の波形数を計数する。演算部１９は干渉光波
形数とパルス波形数から被測定光源１の波長を算出し、
波長演算値を表示部２０に表示する。
【００２１】
【実施例】次に添付図面を参照してこの発明による光波
長計の実施例を詳細に説明する。
長計の実施例を詳細に説明する。
【００２２】図１は、この発明による光波長計の実施例
を示す構成図である。また、図２は図１における検出部
１５の詳細図である。さらに、図３は図２の波形図であ
り、縦軸は電流、横軸は移動ステージの移動距離を示
す。なお、図３に示した各符号の波形は図２内の同一符
号に表れる波形であり、図３内実線矢印と点線矢印の方
向は図１内の移動ミラー４の動作を示す実線矢印と点線
矢印方向に対応する。
を示す構成図である。また、図２は図１における検出部
１５の詳細図である。さらに、図３は図２の波形図であ
り、縦軸は電流、横軸は移動ステージの移動距離を示
す。なお、図３に示した各符号の波形は図２内の同一符
号に表れる波形であり、図３内実線矢印と点線矢印の方
向は図１内の移動ミラー４の動作を示す実線矢印と点線
矢印方向に対応する。
【００２３】図１の１４はＵＰ／ＤＯＷＮカウント部、
１５は検出部、１６は干渉縞カウント部であり、その他
は図４と同じものである。
１５は検出部、１６は干渉縞カウント部であり、その他
は図４と同じものである。
【００２４】被測定光源１から出力され波長が未知であ
る被測定光２３はビームスプリッタ２により反射光２３
ａと通過光２３ｂに２分岐され、反射光２３ａは固定ミ
ラー３（例えばコーナーキューブプリズム）で反射され
てビームスプリッタ２を通過し、受光器１１に入射され
る。
る被測定光２３はビームスプリッタ２により反射光２３
ａと通過光２３ｂに２分岐され、反射光２３ａは固定ミ
ラー３（例えばコーナーキューブプリズム）で反射され
てビームスプリッタ２を通過し、受光器１１に入射され
る。
【００２５】また、通過光２３ｂは移動ミラー４（例え
ばコーナーキューブプリズム）で反射され、さらにビー
ムスプリッタ２で反射されて受光器１１に入射される。
この時、受光器１１に入射される反射光２３ａと通過光
２３ｂとでは干渉を生じるため、受光器１１からは干渉
光の強度に応じた電気信号２４が出力され、干渉縞カウ
ント部１６に入力される。
ばコーナーキューブプリズム）で反射され、さらにビー
ムスプリッタ２で反射されて受光器１１に入射される。
この時、受光器１１に入射される反射光２３ａと通過光
２３ｂとでは干渉を生じるため、受光器１１からは干渉
光の強度に応じた電気信号２４が出力され、干渉縞カウ
ント部１６に入力される。
【００２６】ここで、モータ１０が回転するとプーリ７
・８に張られたベルト９（例えばゴムベルト）が光軸方
向に動き、ベルト９に接続された直動機構５のステージ
部とステージ部に設置された移動ミラー４が光軸方向に
動くと、電気信号２４は干渉による周期的に繰り返す光
強度変化に対応した電気信号となる。また、この電気信
号２４の波長は被測定光２３の波長に相当する。
・８に張られたベルト９（例えばゴムベルト）が光軸方
向に動き、ベルト９に接続された直動機構５のステージ
部とステージ部に設置された移動ミラー４が光軸方向に
動くと、電気信号２４は干渉による周期的に繰り返す光
強度変化に対応した電気信号となる。また、この電気信
号２４の波長は被測定光２３の波長に相当する。
【００２７】スケールとセンサで構成される測長器６は
移動ミラー４が動くとセンサの距離分解能毎にパルス信
号２１を位置カウント部１２とＵＰ／ＤＯＷＮカウント
部と検出部１５と距離カウント部１７に出力するととも
にパルス信号２１に対して位相が９０゜遅れたパルス信
号２２を検出部１５と距離カウント部１８に出力する。
また、測長器６内のセンサはスケール中心を通過すると
原点信号３５を位置検出部１２に出力する。
移動ミラー４が動くとセンサの距離分解能毎にパルス信
号２１を位置カウント部１２とＵＰ／ＤＯＷＮカウント
部と検出部１５と距離カウント部１７に出力するととも
にパルス信号２１に対して位相が９０゜遅れたパルス信
号２２を検出部１５と距離カウント部１８に出力する。
また、測長器６内のセンサはスケール中心を通過すると
原点信号３５を位置検出部１２に出力する。
【００２８】位置検出部１２は測長器６からの原点信号
３５をトリガにしてパルス信号２１の波形数を任意数計
数して移動ミラー４が任意距離だけ移動したことを検出
し、位置信号２５をモータ制御部１３とＵＰ／ＤＯＷＮ
カウント部１４に出力する。
３５をトリガにしてパルス信号２１の波形数を任意数計
数して移動ミラー４が任意距離だけ移動したことを検出
し、位置信号２５をモータ制御部１３とＵＰ／ＤＯＷＮ
カウント部１４に出力する。
【００２９】モータ制御部１３は位置信号２５が入力さ
れる度にモータの回転方向を反転させる反転信号２７を
モータ１０に出力するとともに検出部１５に現在のモー
タ回転方向を示す回転方向信号２６出力する。また、回
転方向信号２６は、図１中の矢印方向に動く場合をモー
タ１０の正回転信号とする。モータ１０はモータ制御部
１３からの反転信号２７が入力されると回転方向を反転
し回転する。
れる度にモータの回転方向を反転させる反転信号２７を
モータ１０に出力するとともに検出部１５に現在のモー
タ回転方向を示す回転方向信号２６出力する。また、回
転方向信号２６は、図１中の矢印方向に動く場合をモー
タ１０の正回転信号とする。モータ１０はモータ制御部
１３からの反転信号２７が入力されると回転方向を反転
し回転する。
【００３０】ここで、検出器１５を図２と図３により説
明する。なお、図３では実線矢印方向から移動ミラー４
が動く場合の信号は実線の信号で示し、点線矢印方向か
ら移動ミラー４が動く場合の信号は点線の信号で示して
いる。
明する。なお、図３では実線矢印方向から移動ミラー４
が動く場合の信号は実線の信号で示し、点線矢印方向か
ら移動ミラー４が動く場合の信号は点線の信号で示して
いる。
【００３１】パルス信号２１は微分器１５ａにより微分
され、微分信号２８となり加算器１５ｃに入射される。
加算器１５ｃはパルス信号２２と微分信号２８を加算
し、加算信号３０をコンパレータ１５ｅに入射する。コ
ンパレータ１５ｅは移動ミラー４が点線矢印方向に動く
ときパルス信号３２をセレクタ１５ｇに出力する。
され、微分信号２８となり加算器１５ｃに入射される。
加算器１５ｃはパルス信号２２と微分信号２８を加算
し、加算信号３０をコンパレータ１５ｅに入射する。コ
ンパレータ１５ｅは移動ミラー４が点線矢印方向に動く
ときパルス信号３２をセレクタ１５ｇに出力する。
【００３２】同様に、パルス信号２２は微分器１５ｂに
より微分され、微分信号２９となり加算器１５ｄに入射
される。加算器１５ｄはパルス信号２１と微分信号２９
を加算し、加算信号３１をコンパレータ１５ｆに入射す
る。
より微分され、微分信号２９となり加算器１５ｄに入射
される。加算器１５ｄはパルス信号２１と微分信号２９
を加算し、加算信号３１をコンパレータ１５ｆに入射す
る。
【００３３】コンパレータ１５ｆは移動ミラー４が点線
矢印方向に動くときパルス信号３３をセレクタ１５ｇに
出力する。セレクタ１５ｇはモータ制御部１３からのモ
ータ回転方向信号２６が逆転信号の時パルス信号３３を
選択してＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４に出力すること
で、移動ミラー４がベルト９の弾性力によって戻り状態
にあることをＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４知らせる。
矢印方向に動くときパルス信号３３をセレクタ１５ｇに
出力する。セレクタ１５ｇはモータ制御部１３からのモ
ータ回転方向信号２６が逆転信号の時パルス信号３３を
選択してＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４に出力すること
で、移動ミラー４がベルト９の弾性力によって戻り状態
にあることをＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４知らせる。
【００３４】また、モータ回転方向信号が正転信号の時
パルス信号３２を選択してＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１
４に出力することで、移動ミラー４がベルト９の弾性力
によって戻り状態にあることをＵＰ／ＤＯＷＮカウント
部１４に知らせる。
パルス信号３２を選択してＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１
４に出力することで、移動ミラー４がベルト９の弾性力
によって戻り状態にあることをＵＰ／ＤＯＷＮカウント
部１４に知らせる。
【００３５】ＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４は位置検出
部１２からの検出信号２５が入力されると、測長器６か
らのパルス信号２１をＵＰ計数することでモータ１０の
慣性力により生じる移動ミラー４の行き過ぎ量を測定す
る。さらに、ＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４は、検出部
１５からのパルス信号３２またはパルス信号３３がセレ
クタ１５ｇを介して入力されると、測長器６からのパル
ス信号２１をＤＯＷＮ計数することでモータ１０の停止
時にベルト９の弾性力により生じる移動ミラー４の戻り
量測定する。また、ＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４は、
モータ１０が回転方向を変えて再起動する際に前記の行
き過ぎ量と戻り量を逆算してモータ反転信号２６がモー
タ１０に入力された位置まで移動ミラー４が進むと、測
定スタート信号３４を干渉縞カウント部１６と距離カウ
ント部１７と距離カウント部１８に出力する。
部１２からの検出信号２５が入力されると、測長器６か
らのパルス信号２１をＵＰ計数することでモータ１０の
慣性力により生じる移動ミラー４の行き過ぎ量を測定す
る。さらに、ＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４は、検出部
１５からのパルス信号３２またはパルス信号３３がセレ
クタ１５ｇを介して入力されると、測長器６からのパル
ス信号２１をＤＯＷＮ計数することでモータ１０の停止
時にベルト９の弾性力により生じる移動ミラー４の戻り
量測定する。また、ＵＰ／ＤＯＷＮカウント部１４は、
モータ１０が回転方向を変えて再起動する際に前記の行
き過ぎ量と戻り量を逆算してモータ反転信号２６がモー
タ１０に入力された位置まで移動ミラー４が進むと、測
定スタート信号３４を干渉縞カウント部１６と距離カウ
ント部１７と距離カウント部１８に出力する。
【００３６】干渉縞カウント部１６はＵＰ／ＤＯＷＮカ
ウント部１４からの測定スタート信号３４が入力される
と電気信号２４の波形数を計数し始め、位置検出部から
の位置信号２５が入力されると計数を終了し、計数結果
Ｋを演算部１９に出力する。距離カウント部１７はＵＰ
／ＤＯＷＮカウント部１４からの測定スタート信号３４
が入力されると測長器６からのパルス信号２１を計数し
初め、位置検出部からの位置信号２５が入力されると計
数を終了し、計数結果Ｎ１を演算部１９に出力する。
ウント部１４からの測定スタート信号３４が入力される
と電気信号２４の波形数を計数し始め、位置検出部から
の位置信号２５が入力されると計数を終了し、計数結果
Ｋを演算部１９に出力する。距離カウント部１７はＵＰ
／ＤＯＷＮカウント部１４からの測定スタート信号３４
が入力されると測長器６からのパルス信号２１を計数し
初め、位置検出部からの位置信号２５が入力されると計
数を終了し、計数結果Ｎ１を演算部１９に出力する。
【００３７】距離カウント部１８はＵＰ／ＤＯＷＮカウ
ント部１４からの測定スタート信号３４が入力されると
測長器６からのパルス信号２２を計数し初め、位置検出
部からの位置信号２５が入力されると計数を終了し、計
数結果Ｎ２を演算部１９に出力する。
ント部１４からの測定スタート信号３４が入力されると
測長器６からのパルス信号２２を計数し初め、位置検出
部からの位置信号２５が入力されると計数を終了し、計
数結果Ｎ２を演算部１９に出力する。
【００３８】演算部１９は距離カウント部１７、１８か
らの計数結果Ｎ１、Ｎ２から（ｃ）式の処理を行い、移
動ミラー４の移動距離Ｌを計算するとともに移動距離Ｌ
と干渉縞カウント部からの干渉縞波形数から（ｄ）式の
処理により被測定光の波長λを求め、被測定光の波長デ
ータを表示部２０に出力する。
らの計数結果Ｎ１、Ｎ２から（ｃ）式の処理を行い、移
動ミラー４の移動距離Ｌを計算するとともに移動距離Ｌ
と干渉縞カウント部からの干渉縞波形数から（ｄ）式の
処理により被測定光の波長λを求め、被測定光の波長デ
ータを表示部２０に出力する。
【００３９】 Ｌ ＝ （Ｎ１＋Ｎ２） × 測長器分解能／２ ・・・（ｃ） λ ＝ Ｌ ／ Ｋ ・・・（ｄ） 表示部２０は演算部１９からの被測定光の波長データ表
示する。
示する。
【００４０】
【発明の効果】この発明の光波長計によれば、測長器の
距離較正を周波数安定化レーザ等により行い、波長測定
のスタート、ストップ間の距離精度を上げるとともにモ
ータ停止時に、モータの慣性力により生じる移動ミラー
の行き過ぎとベルトの弾性力により生じる移動ミラーの
戻りがある場合でも移動鏡ミラーの行き過ぎ量と戻り量
を測定して相殺し、測長器の距離較正を有効にすること
で、高確度な光波長計ができる。
距離較正を周波数安定化レーザ等により行い、波長測定
のスタート、ストップ間の距離精度を上げるとともにモ
ータ停止時に、モータの慣性力により生じる移動ミラー
の行き過ぎとベルトの弾性力により生じる移動ミラーの
戻りがある場合でも移動鏡ミラーの行き過ぎ量と戻り量
を測定して相殺し、測長器の距離較正を有効にすること
で、高確度な光波長計ができる。
【図１】この発明による光波長計の実施例を示す構成図
である。
である。
【図２】図１に示した光波長計の検出部の詳細を示す構
成図である。
成図である。
【図３】図２に示した各符号における波形図である。
【図４】従来技術による光波長計の構成図である。
【図５】測長器の距離精度特性図である
【符号の説明】 １ 被測定光源 ２ ビームスプリッタ ３ 固定ミラー ４ 移動ミラー ５ 直動機構 ６ 測長器 ７ プーリ ８ プーリ ９ ベルト １０ モータ １１ 受光部 １２ 位置検出部 １３ モータ制御部 １４ ＵＰ／ＤＯＷＮカウント部 １５ 検出部 １６ 干渉縞カウント部 １７ 距離カウント部 １８ 距離カウント部 １９ 演算部 ２０ 表示部
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定光の波長を干渉計を用いて測定す
る光波長計において、 被測定光源(1) の光を２分岐するビームスプリッタ(2)
を介して分岐された一方の被測定光を入射し、これをビ
ームスプリッタ(2) に反射する移動ミラー(4)と、 移動ミラー(4) をモータ(10)により光軸方向に移動させ
る線形移動機構(5) と、 スケールとセンサで構成され、移動ミラー(4) が動くと
センサの距離分解能毎に位相が異なるパルス信号(21)と
(22)を出力するとともに、スケールの中心をセンサが通
過すると原点信号(35)を出力する測長器(6) と、 測長器(6) からの原点信号(35)をトリガにしてパルス信
号(21)の波形数を任意数計数し、移動ミラー(4) が任意
距離だけ移動したことを検出すると位置信号(25)を出力
する位置検出部(12)と、 位置検出部(12)より位置信号(25)を入力するとモータ(1
0)に反転信号(27)を出力するとともに、現在のモータ回
転方向信号(26)を検出部(15)に出力するモータ制御部(1
3)と、 モータ制御部(13)からの回転方向信号(26)と測長器(6)
からのパルス信号(21)及び(22)から移動ミラー(4) が戻
り状態にあることを検出し、検出信号(32,33)を出力す
る検出部(15)と、 測長器(6) からのパルス信号(21)と検出部(15)からの検
出信号(32,33) を入力することで、モータ(10)がモータ
制御部(13)からの反転信号(27)を入力して停止する際に
モータ(10)の慣性力により生じる移動ミラー(4) の行き
過ぎ量とモータ(10)の停止時に生じる移動ミラー(4) の
戻り量を計数するとともに、モータ(10)が回転方向を変
えて回転する際に前記の行き過ぎ量と戻り量を逆算して
モータ(10)に反転信号(26)が入力された位置まで移動ミ
ラー(4) が進むと測定スタート信号を出力するＵＰ／Ｄ
ＯＷＮカウント部(14)とを有することを特徴とする光波
長計。 - 【請求項２】 被測定光源(1) の光を２分岐するビーム
スプリッタ(2) と、 ビームスプリッタ(2) から出力される一方の光をビーム
スプリッタ(2) に再入力する固定ミラー(3) と、 ビームスプリッタ(2) で２分岐された他方の光をビーム
スプリッタに再入力する移動ミラー(4) と、 移動ステージ部とガイドレール部で構成され、移動ミラ
ー(4) を光軸方向に移動させる線形移動機構(5) と、 スケールとセンサで構成され、前記移動ミラー(4) が動
くとセンサの距離分解能毎に位相が９０゜異なるパルス
信号(21)と(22)を出力するとともにスケールの中心をセ
ンサが通過すると原点信号(35)を出力する測長器(6)
と、 前記ガイドレール部の両端に配置されるプーリ(7) 、プ
ーリ(8) と、 前記プーリ(7) 、(8)間に張られるとともに前記移動ス
テージ部に接続されるベルト(9) と、 前記プーリ(8) を回転させてベルト(9) を光軸方向に動
かすことにより移動ミラー(4) を線形移動させるモータ
(10)と、 固定ミラー(3) からの光と移動ミラー(4) からの光の合
成により生じる干渉光を光電変換する受光器(11)と、 測長器(6) からの原点信号(35)をトリガにしてパルス信
号(21)の波形数を任意数計数して移動ミラー(4) が任意
距離だけ移動したことを検出する位置検出部(12)と、 モータ(10)に反転信号(26)を出力するとともに現在のモ
ータ回転方向を検出部(15)に出力するモータ制御部(13)
と、 モータ(10)がモータ制御部(13)からの反転信号(27)を入
力されて停止する際にモータ(10)の慣性力により生じる
移動ミラー(4) の行き過ぎ量とモータ(10)の停止時にベ
ルト(9)の弾性力により生じる移動ミラー(4) の戻り量
を計数するとともにモータ(10)が回転方向を変えて回転
する際に前記の行き過ぎ量と戻り量を逆算してモータ(1
0)に反転信号(27)が入力された位置まで移動ミラー(4)
が進むと測定スタート信号を出力するＵＰ／ＤＯＷＮカ
ウント部(14)と、 モータ制御部(13)からの回転方向信号と測長器(6) から
のパルス信号(21)及びパルス信号(22)から前記移動ミラ
ー(4) がベルトの弾性力によって戻り状態にあることを
検出する検出器(15)と、 移動ミラー(4) の移動で生じる干渉光の波形数を計数す
る干渉縞カウント部(16)と、 測長器(6) から出力され位相が９０゜異なる２つのパル
ス信号(21)と(22)の波形数を計数する距離カウント部
(17)、(18)と、 干渉縞カウント部(16)により計数した干渉光波形数と距
離カウント部(17)と(18)により計数したパルス波形数か
ら被測定光源(1) の波長を算出する演算部(19)と、 演算部(19)からの波長演算値を表示する表示部(20)とを
有することを特徴とする光波長計。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6054586A JPH07239272A (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | 光波長計 |
| US08/389,397 US5486918A (en) | 1994-02-28 | 1995-02-16 | Optical wavelength meter with an up-down counter which measures the amounts of the overshoot and the back-shift of the moving mirror |
| FR9502245A FR2716716B1 (fr) | 1994-02-28 | 1995-02-27 | Ondemètre optique. |
| DE19506954A DE19506954C2 (de) | 1994-02-28 | 1995-02-28 | Optischer Wellenlängenmesser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6054586A JPH07239272A (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | 光波長計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07239272A true JPH07239272A (ja) | 1995-09-12 |
Family
ID=12974826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6054586A Pending JPH07239272A (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | 光波長計 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5486918A (ja) |
| JP (1) | JPH07239272A (ja) |
| DE (1) | DE19506954C2 (ja) |
| FR (1) | FR2716716B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000074825A (ja) * | 1998-08-28 | 2000-03-14 | Perkin Elmer Ltd | スペクトロメ―タの動作方法およびスペクトロメ―タ |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08101072A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Ando Electric Co Ltd | 光波長計 |
| DE19504444B4 (de) * | 1995-02-10 | 2004-05-13 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Interferometeranordnung mit verstellbarer optischer Weglängendifferenz |
| US5838438A (en) * | 1997-01-17 | 1998-11-17 | University Of Central Florida | Method of time-resolving fourier-transform spectroscopy to allow interferogram sampling at unevenly spaced path-length differences. |
| DE19815241A1 (de) | 1998-04-04 | 1999-10-07 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| DE10118392A1 (de) * | 2001-04-13 | 2002-11-07 | Zeiss Carl | System und Verfahren zum Bestimmen einer Position oder/und Orientierung zweier Objekte relativ zueinander sowie Strahlführungsanordnung, Interferometeranordnung und Vorrichtung zum Ändern einer optischen Weglänge zum Einsatz in einem solchen System und Verfahren |
| JP4751032B2 (ja) * | 2004-04-22 | 2011-08-17 | 株式会社森精機製作所 | 変位検出装置 |
| US7342664B1 (en) * | 2004-05-06 | 2008-03-11 | Juliusz George Radziszewski | Scanning double-beam interferometer |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4026402A (en) * | 1975-07-28 | 1977-05-31 | Centronics Data Computer Corporation | Incremental line printer |
| DE3707331A1 (de) * | 1987-03-07 | 1988-09-15 | Zeiss Carl Fa | Interferometer zur messung von optischen phasendifferenzen |
| US5123742A (en) * | 1989-06-07 | 1992-06-23 | Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. | Laser length measuring instrument |
| JPH063401B2 (ja) * | 1989-12-29 | 1994-01-12 | 株式会社島津製作所 | 干渉分光光度計 |
| JP2604052B2 (ja) * | 1990-03-29 | 1997-04-23 | アンリツ株式会社 | 光波長測定装置 |
| US5270790A (en) * | 1990-04-18 | 1993-12-14 | Advantest Corporation | Moving reflector driving part of a Michelson inteferometer |
-
1994
- 1994-02-28 JP JP6054586A patent/JPH07239272A/ja active Pending
-
1995
- 1995-02-16 US US08/389,397 patent/US5486918A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-02-27 FR FR9502245A patent/FR2716716B1/fr not_active Expired - Lifetime
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000074825A (ja) * | 1998-08-28 | 2000-03-14 | Perkin Elmer Ltd | スペクトロメ―タの動作方法およびスペクトロメ―タ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| US5486918A (en) | 1996-01-23 |
| FR2716716B1 (fr) | 1997-05-23 |
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