JPH07235853A - 圧電部品およびその製造方法 - Google Patents
圧電部品およびその製造方法Info
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- JPH07235853A JPH07235853A JP2777394A JP2777394A JPH07235853A JP H07235853 A JPH07235853 A JP H07235853A JP 2777394 A JP2777394 A JP 2777394A JP 2777394 A JP2777394 A JP 2777394A JP H07235853 A JPH07235853 A JP H07235853A
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- JP
- Japan
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- case
- piezoelectric
- piezoelectric element
- damping material
- pedestal
- Prior art date
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ケース内に圧電エレメントが収納され、圧電
エレメントの振動電極部分を少なくとも覆うようにダン
ピング材が付与された構造の圧電部品において、ダンピ
ング材の熱膨張によって生じ得る圧電エレメントのクラ
ックを防止する。 【構成】 圧電エレメント22の、ケース23の底面4
2側に向く主面36上に付与されるダンピング材53,
54を、スクリーン印刷により付与することにより、ケ
ース3の底面42には届かない厚みとし、ダンピング材
53,54とケース23の底面42との間に空隙55,
56を形成する。
エレメントの振動電極部分を少なくとも覆うようにダン
ピング材が付与された構造の圧電部品において、ダンピ
ング材の熱膨張によって生じ得る圧電エレメントのクラ
ックを防止する。 【構成】 圧電エレメント22の、ケース23の底面4
2側に向く主面36上に付与されるダンピング材53,
54を、スクリーン印刷により付与することにより、ケ
ース3の底面42には届かない厚みとし、ダンピング材
53,54とケース23の底面42との間に空隙55,
56を形成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、圧電部品およびその
製造方法に関するもので、特に、圧電エレメントがケー
スに収納されるとともに、圧電エレメントに発生するス
プリアスをダンピングするためのダンピング材が付与さ
れた構造を有する圧電部品およびその製造方法に関する
ものである。
製造方法に関するもので、特に、圧電エレメントがケー
スに収納されるとともに、圧電エレメントに発生するス
プリアスをダンピングするためのダンピング材が付与さ
れた構造を有する圧電部品およびその製造方法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】図6には、この発明にとって興味ある従
来の圧電部品1が断面図で示されている。この圧電部品
1は、表面実装可能なセラミックフィルタを構成してい
る。
来の圧電部品1が断面図で示されている。この圧電部品
1は、表面実装可能なセラミックフィルタを構成してい
る。
【0003】圧電部品1は、圧電エレメント2と、圧電
エレメント2を収納するためのケース3と、ケース3の
上面開口を閉じる蓋4とを備える。
エレメント2を収納するためのケース3と、ケース3の
上面開口を閉じる蓋4とを備える。
【0004】圧電エレメント2は、短冊状の圧電基板5
を備える。圧電基板5の各主面上には、図示しないが、
圧電基板5を挟んで互いに対向するように複数の振動電
極が形成されるとともに、これら振動電極に接続される
ように複数の端子電極が形成される。
を備える。圧電基板5の各主面上には、図示しないが、
圧電基板5を挟んで互いに対向するように複数の振動電
極が形成されるとともに、これら振動電極に接続される
ように複数の端子電極が形成される。
【0005】ケース3は、たとえばアルミナから構成さ
れ、そこには、圧電エレメント2を載置するため底面6
から段差をもって突出された台座7,8,9が形成され
る。また、これら台座7,8,9のそれぞれの上面上お
よびそこからケース3の外部へ導出されるように、図示
しないが、接続電極がそれぞれ形成される。これら接続
電極には、前述した圧電エレメント2の端子電極がそれ
ぞれ電気的に接続される。これらの接続のため、図示し
たように、導電ペースト10,11,12が、それぞ
れ、台座7,8,9上に付与され、これによって、圧電
エレメント2のケース3への機械的固定も図られる。
れ、そこには、圧電エレメント2を載置するため底面6
から段差をもって突出された台座7,8,9が形成され
る。また、これら台座7,8,9のそれぞれの上面上お
よびそこからケース3の外部へ導出されるように、図示
しないが、接続電極がそれぞれ形成される。これら接続
電極には、前述した圧電エレメント2の端子電極がそれ
ぞれ電気的に接続される。これらの接続のため、図示し
たように、導電ペースト10,11,12が、それぞ
れ、台座7,8,9上に付与され、これによって、圧電
エレメント2のケース3への機械的固定も図られる。
【0006】蓋4も、ケース3と同様、たとえばアルミ
ナから構成され、そこには、図示しないが、前述したケ
ースに形成された接続電極にそれぞれ電気的に接続され
る接続電極が形成される。このような蓋4は、ケース3
に対して、たとえば接着剤により接合される。
ナから構成され、そこには、図示しないが、前述したケ
ースに形成された接続電極にそれぞれ電気的に接続され
る接続電極が形成される。このような蓋4は、ケース3
に対して、たとえば接着剤により接合される。
【0007】上述した圧電エレメント2は、厚みすべり
振動を利用するものであるが、スプリアスをダンピング
して、フィルタにおける波形を滑らかにするため、ケー
ス3内には、たとえばシリコーンゴムからなるダンピン
グ材13が付与される。ダンピング材13は、圧電エレ
メント2をケース3内に収納した後、ディスペンサ等に
よりケース3内に付与される。ダンピング材13は、圧
電エレメント2の振動電極が形成された領域を少なくと
もカバーしながら、スプリアスの十分な減衰を図るため
には、圧電エレメント2の両主面にまで行き届くように
しなければならない。そのため、ケース3がダンピング
材13によって満たされた状態とされる。
振動を利用するものであるが、スプリアスをダンピング
して、フィルタにおける波形を滑らかにするため、ケー
ス3内には、たとえばシリコーンゴムからなるダンピン
グ材13が付与される。ダンピング材13は、圧電エレ
メント2をケース3内に収納した後、ディスペンサ等に
よりケース3内に付与される。ダンピング材13は、圧
電エレメント2の振動電極が形成された領域を少なくと
もカバーしながら、スプリアスの十分な減衰を図るため
には、圧電エレメント2の両主面にまで行き届くように
しなければならない。そのため、ケース3がダンピング
材13によって満たされた状態とされる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た圧電部品1には、次のような解決されるべき問題があ
る。すなわち、ダンピング材13は、前述したように、
ケース3内に充填されるため、当然、ケース3の底面6
と圧電エレメント2との間の空間もダンピング材13に
より満たされる。その結果、圧電部品1がリフロー炉な
どの加熱工程を通ると、ダンピング材13は、ケース3
に比べてより大きな膨張を示す。このとき、ダンピング
材13はケース3によって拘束されているため、上述の
膨張は、図6に矢印で示したように、応力の発生をもた
らす。このような応力は、圧電エレメント2を押し上げ
るように作用し、その結果、圧電エレメント2にクラッ
クをもたらすことがある。
た圧電部品1には、次のような解決されるべき問題があ
る。すなわち、ダンピング材13は、前述したように、
ケース3内に充填されるため、当然、ケース3の底面6
と圧電エレメント2との間の空間もダンピング材13に
より満たされる。その結果、圧電部品1がリフロー炉な
どの加熱工程を通ると、ダンピング材13は、ケース3
に比べてより大きな膨張を示す。このとき、ダンピング
材13はケース3によって拘束されているため、上述の
膨張は、図6に矢印で示したように、応力の発生をもた
らす。このような応力は、圧電エレメント2を押し上げ
るように作用し、その結果、圧電エレメント2にクラッ
クをもたらすことがある。
【0009】それゆえに、この発明の目的は、上述した
問題を解決し得る圧電部品の構造およびその製造方法を
提供しようとすることである。
問題を解決し得る圧電部品の構造およびその製造方法を
提供しようとすることである。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明に係る圧電部品
は、まず、圧電基板、この圧電基板を挟んで互いに対向
するように圧電基板の各主面上に形成される複数の振動
電極、および振動電極に接続されるように圧電基板上に
形成される複数の端子電極を備える、圧電エレメントを
備えるとともに、圧電エレメントを収納するためのもの
であり、圧電エレメントを載置するため底面から段差を
もって突出された台座、ならびに台座の上面上およびそ
こから外部へ導出されるように形成されかつ端子電極に
それぞれ接続される接続電極を備える、ケースを備え
る。そして、振動電極が形成された領域を少なくともカ
バーするように圧電エレメントの両主面上にダンピング
材が付与されるが、上述した技術的課題を解決するた
め、この発明では、圧電エレメントのケースの底面側に
向く主面上に付与されたダンピング材とケースの底面と
の間には空隙が形成される。
は、まず、圧電基板、この圧電基板を挟んで互いに対向
するように圧電基板の各主面上に形成される複数の振動
電極、および振動電極に接続されるように圧電基板上に
形成される複数の端子電極を備える、圧電エレメントを
備えるとともに、圧電エレメントを収納するためのもの
であり、圧電エレメントを載置するため底面から段差を
もって突出された台座、ならびに台座の上面上およびそ
こから外部へ導出されるように形成されかつ端子電極に
それぞれ接続される接続電極を備える、ケースを備え
る。そして、振動電極が形成された領域を少なくともカ
バーするように圧電エレメントの両主面上にダンピング
材が付与されるが、上述した技術的課題を解決するた
め、この発明では、圧電エレメントのケースの底面側に
向く主面上に付与されたダンピング材とケースの底面と
の間には空隙が形成される。
【0011】また、この発明は、上述した圧電部品を製
造するための方法にも向けられる。この製造方法は、圧
電基板、この圧電基板を挟んで互いに対向するように圧
電基板の各主面上に形成される複数の振動電極、および
振動電極に接続されるように圧電基板上に形成される複
数の端子電極を備える、圧電エレメントを用意する工程
と、圧電エレメントを収納するためのものであり、圧電
エレメントを載置するため底面から段差をもって突出さ
れた台座、ならびに台座の上面上およびそこから外部へ
導出されるように形成されかつ端子電極にそれぞれ接続
される接続電極を備える、ケースを用意する工程とを備
える。圧電エレメントは台座の上面上に置かれた状態で
ケース内に収納される。また、端子電極と対応の接続電
極とが接続される。そして、振動電極が形成された領域
を少なくともカバーするように圧電エレメントの両主面
上にダンピング材が付与されるが、この発明では、圧電
エレメントの、ケースの底面側に向く主面上に付与され
るダンピング材にあっては、ケースの底面には届かない
厚みをもって印刷により付与されることを特徴としてい
る。
造するための方法にも向けられる。この製造方法は、圧
電基板、この圧電基板を挟んで互いに対向するように圧
電基板の各主面上に形成される複数の振動電極、および
振動電極に接続されるように圧電基板上に形成される複
数の端子電極を備える、圧電エレメントを用意する工程
と、圧電エレメントを収納するためのものであり、圧電
エレメントを載置するため底面から段差をもって突出さ
れた台座、ならびに台座の上面上およびそこから外部へ
導出されるように形成されかつ端子電極にそれぞれ接続
される接続電極を備える、ケースを用意する工程とを備
える。圧電エレメントは台座の上面上に置かれた状態で
ケース内に収納される。また、端子電極と対応の接続電
極とが接続される。そして、振動電極が形成された領域
を少なくともカバーするように圧電エレメントの両主面
上にダンピング材が付与されるが、この発明では、圧電
エレメントの、ケースの底面側に向く主面上に付与され
るダンピング材にあっては、ケースの底面には届かない
厚みをもって印刷により付与されることを特徴としてい
る。
【0012】
【作用】この発明に係る圧電部品によって、ダンピング
材とケースの底面との間に形成された空隙は、ダンピン
グ材の膨張により発生する応力が圧電エレメントに及ぼ
されることを抑制する。
材とケースの底面との間に形成された空隙は、ダンピン
グ材の膨張により発生する応力が圧電エレメントに及ぼ
されることを抑制する。
【0013】また、この発明に係る圧電部品の製造方法
において、ダンピング材を付与するための印刷は、特定
の領域に所定の厚みをもってダンピング材を付与するこ
とを容易にする。
において、ダンピング材を付与するための印刷は、特定
の領域に所定の厚みをもってダンピング材を付与するこ
とを容易にする。
【0014】
【発明の効果】したがって、この発明に係る圧電部品に
よれば、ダンピング材の膨張による応力が圧電エレメン
トに及ぼされることがなくなり、またはほとんどなくな
り、そのため、圧電エレメントにクラックを生じにくく
することができ、その結果、圧電部品の信頼性を向上さ
せることができる。
よれば、ダンピング材の膨張による応力が圧電エレメン
トに及ぼされることがなくなり、またはほとんどなくな
り、そのため、圧電エレメントにクラックを生じにくく
することができ、その結果、圧電部品の信頼性を向上さ
せることができる。
【0015】また、この発明に係る圧電部品の製造方法
によれば、圧電エレメントの、ケースの底面側に向く主
面上に付与されるダンピング材が印刷により付与される
ので、ダンピング材を特定の領域に厚みが制御された状
態で形成することが容易であり、そのため、ケースの底
面には届かない厚みをもってダンピング材を形成するこ
とが容易になる。また、ダンピング材の使用量を減少さ
せることができ、それによるコストダウンも期待するこ
とができる。
によれば、圧電エレメントの、ケースの底面側に向く主
面上に付与されるダンピング材が印刷により付与される
ので、ダンピング材を特定の領域に厚みが制御された状
態で形成することが容易であり、そのため、ケースの底
面には届かない厚みをもってダンピング材を形成するこ
とが容易になる。また、ダンピング材の使用量を減少さ
せることができ、それによるコストダウンも期待するこ
とができる。
【0016】なお、圧電エレメントの、ケースの底面と
は反対側に向く主面上に付与されるダンピング材も、印
刷により形成されてもよい。これによれば、ケースの底
面とは反対側に向く主面上においても、ダンピング材を
特定の領域で厚みが制御された状態で容易に付与するこ
とができるので、たとえば、過剰にダンピング材が付与
されることによって、このダンピング材が、ケースの底
面にまで達することを防止できる。そのため、圧電エレ
メントの、ケースの底面側に向く主面上に付与されたダ
ンピング材とケースの底面との間に形成されている空隙
が確実に確保されることができる。
は反対側に向く主面上に付与されるダンピング材も、印
刷により形成されてもよい。これによれば、ケースの底
面とは反対側に向く主面上においても、ダンピング材を
特定の領域で厚みが制御された状態で容易に付与するこ
とができるので、たとえば、過剰にダンピング材が付与
されることによって、このダンピング材が、ケースの底
面にまで達することを防止できる。そのため、圧電エレ
メントの、ケースの底面側に向く主面上に付与されたダ
ンピング材とケースの底面との間に形成されている空隙
が確実に確保されることができる。
【0017】
【実施例】図1ないし図4は、この発明の一実施例を説
明するためのものである。図1および図2に示すよう
に、この実施例による圧電部品21は、圧電エレメント
22と、圧電エレメント22を収納するためのケース2
3と、ケース23の上面開口を閉じる蓋24とを備え
る。圧電エレメント22は、図3に単独で示されてい
る。
明するためのものである。図1および図2に示すよう
に、この実施例による圧電部品21は、圧電エレメント
22と、圧電エレメント22を収納するためのケース2
3と、ケース23の上面開口を閉じる蓋24とを備え
る。圧電エレメント22は、図3に単独で示されてい
る。
【0018】圧電エレメント22は、前述した図6に示
した圧電エレメント2と実質的に同様の構造を有してい
る。圧電エレメント22は、短冊状の圧電基板25を備
える。
した圧電エレメント2と実質的に同様の構造を有してい
る。圧電エレメント22は、短冊状の圧電基板25を備
える。
【0019】このような圧電基板25の上方主面26上
には、図2および図3(a)に示すように、2組の対を
なす振動電極27および28,29および30、端子電
極31および32、ならびにこれらの間を接続する接続
ライン33,34,35が形成される。
には、図2および図3(a)に示すように、2組の対を
なす振動電極27および28,29および30、端子電
極31および32、ならびにこれらの間を接続する接続
ライン33,34,35が形成される。
【0020】他方、圧電基板25の下方主面36上に
は、図3(b)に示すように、振動電極27および28
の双方に共通して対向する振動電極37、振動電極29
および30の双方に共通して対向する振動電極38、こ
れら振動電極37および38間に位置する端子電極3
9、ならびに、これらを接続する接続ライン40および
41が形成される。
は、図3(b)に示すように、振動電極27および28
の双方に共通して対向する振動電極37、振動電極29
および30の双方に共通して対向する振動電極38、こ
れら振動電極37および38間に位置する端子電極3
9、ならびに、これらを接続する接続ライン40および
41が形成される。
【0021】ケース23は、上述した圧電エレメント2
2を収納するためのものであり、たとえばアルミナから
構成される。ケース23は、前述した図5に示すケース
3と実質的に同様の構造を有していて、図1および図2
に示されるように、その底面42から段差をもって突出
された3つの台座43,44,45を備える。これら台
座43,44,45の各々の上面上およびそこからケー
ス23の外部に導出されるように、接続電極46,4
7,48が形成される。接続電極46,47,48は、
たとえばスパッタリングまたは真空蒸着のような薄膜形
成方法により形成される。
2を収納するためのものであり、たとえばアルミナから
構成される。ケース23は、前述した図5に示すケース
3と実質的に同様の構造を有していて、図1および図2
に示されるように、その底面42から段差をもって突出
された3つの台座43,44,45を備える。これら台
座43,44,45の各々の上面上およびそこからケー
ス23の外部に導出されるように、接続電極46,4
7,48が形成される。接続電極46,47,48は、
たとえばスパッタリングまたは真空蒸着のような薄膜形
成方法により形成される。
【0022】図1に示すように、圧電エレメント22
は、台座43,44,45の上面上に置かれた状態でケ
ース23内に収納される。このとき、圧電エレメント2
2の端子電極31,32,39は、それぞれ、接続電極
46,47,48の関連のものに、たとえば導電ペース
ト49,50,51によって電気的に接続され、かつ、
圧電エレメント22のケース23への機械的固定も図ら
れる。
は、台座43,44,45の上面上に置かれた状態でケ
ース23内に収納される。このとき、圧電エレメント2
2の端子電極31,32,39は、それぞれ、接続電極
46,47,48の関連のものに、たとえば導電ペース
ト49,50,51によって電気的に接続され、かつ、
圧電エレメント22のケース23への機械的固定も図ら
れる。
【0023】図1に示すように、圧電エレメント22の
上方主面26上には、たとえばシリコーンゴムのような
ダンピング材52が付与され、圧電エレメント22の下
方主面36上には、ダンピング材53および54がそれ
ぞれ付与されている。これらのうち、上方主面26上の
ダンピング材52は、圧電エレメント22をケース23
内に配置した後でディスペンサ等により付与されるもの
であるが、下方主面36上のダンピング材53および5
4は、圧電エレメント22がケース23内に配置される
前に、ケース23の底面42に届かない厚みをもって印
刷により付与される。そのため、圧電エレメント22が
ケース23内に配置されたとき、ダンピング材53およ
び54とケース23の底面42との間には、空隙55お
よび56が形成される。また、ダンピング材52は、圧
電エレメント22の上方主面26の全域を覆うように付
与されるが、ダンピング材54および54は、それぞ
れ、圧電エレメント22の下方主面36上にある振動電
極37および38が形成された領域のみをカバーするよ
うに付与される。
上方主面26上には、たとえばシリコーンゴムのような
ダンピング材52が付与され、圧電エレメント22の下
方主面36上には、ダンピング材53および54がそれ
ぞれ付与されている。これらのうち、上方主面26上の
ダンピング材52は、圧電エレメント22をケース23
内に配置した後でディスペンサ等により付与されるもの
であるが、下方主面36上のダンピング材53および5
4は、圧電エレメント22がケース23内に配置される
前に、ケース23の底面42に届かない厚みをもって印
刷により付与される。そのため、圧電エレメント22が
ケース23内に配置されたとき、ダンピング材53およ
び54とケース23の底面42との間には、空隙55お
よび56が形成される。また、ダンピング材52は、圧
電エレメント22の上方主面26の全域を覆うように付
与されるが、ダンピング材54および54は、それぞ
れ、圧電エレメント22の下方主面36上にある振動電
極37および38が形成された領域のみをカバーするよ
うに付与される。
【0024】上述したダンピング材53および54を印
刷するにあたっては、好ましくは、スクリーン印刷が採
用される。また、このようなスクリーン印刷は、複数の
圧電エレメント22を与えるように用意された図4に示
すようなマザー基板57の段階で実施される。このマザ
ー基板57は、一点鎖線で示す切断線58に沿って後で
切断されることが意図されており、これら切断線58に
よって区画された領域の各々において、圧電エレメント
22を構成している。図4に示すように、マザー基板5
7に含まれる複数の圧電エレメント22の各々の振動電
極37および38に対応する領域をカバーするように、
ダンピング材53および54がスクリーン印刷により付
与された後、切断線58に沿う切断が実施される。
刷するにあたっては、好ましくは、スクリーン印刷が採
用される。また、このようなスクリーン印刷は、複数の
圧電エレメント22を与えるように用意された図4に示
すようなマザー基板57の段階で実施される。このマザ
ー基板57は、一点鎖線で示す切断線58に沿って後で
切断されることが意図されており、これら切断線58に
よって区画された領域の各々において、圧電エレメント
22を構成している。図4に示すように、マザー基板5
7に含まれる複数の圧電エレメント22の各々の振動電
極37および38に対応する領域をカバーするように、
ダンピング材53および54がスクリーン印刷により付
与された後、切断線58に沿う切断が実施される。
【0025】上述のように、ダンピング材53および5
4が予め付与された圧電エレメント22をケース23内
に配置し、導電ペースト49,50,51による所望の
電気的接続を達成し、次いで、ダンピング材52を付与
した後、蓋24によって、ケース23の上面開口が閉じ
られる。蓋24は、ケース23と同様、たとえばアルミ
ナから構成され、そこには、ケース23に形成された接
続電極46,47,48にそれぞれ電気的に接続される
接続電極59,60,61が形成されている。このよう
な蓋24は、ケース23に対して、たとえば接着剤によ
り接合される。
4が予め付与された圧電エレメント22をケース23内
に配置し、導電ペースト49,50,51による所望の
電気的接続を達成し、次いで、ダンピング材52を付与
した後、蓋24によって、ケース23の上面開口が閉じ
られる。蓋24は、ケース23と同様、たとえばアルミ
ナから構成され、そこには、ケース23に形成された接
続電極46,47,48にそれぞれ電気的に接続される
接続電極59,60,61が形成されている。このよう
な蓋24は、ケース23に対して、たとえば接着剤によ
り接合される。
【0026】このようにして、所望の圧電部品21が得
られる。図5は、この発明の他の実施例による圧電部品
21aを示す、図1に相当の図である。図5において、
図1に示した要素に相当する要素には、同様の参照符号
を付し、重複する説明は省略する。
られる。図5は、この発明の他の実施例による圧電部品
21aを示す、図1に相当の図である。図5において、
図1に示した要素に相当する要素には、同様の参照符号
を付し、重複する説明は省略する。
【0027】図5を参照して、この実施例では、ダンピ
ング材53および54だけでなく、圧電エレメント22
の上方主面26上のダンピング材52も、スクリーン印
刷のような印刷により付与されることを特徴としてい
る。このような印刷によるダンピング材52の付与も、
好ましくは、図4に示すマザー基板57の段階で行なわ
れる。
ング材53および54だけでなく、圧電エレメント22
の上方主面26上のダンピング材52も、スクリーン印
刷のような印刷により付与されることを特徴としてい
る。このような印刷によるダンピング材52の付与も、
好ましくは、図4に示すマザー基板57の段階で行なわ
れる。
【0028】以上、この発明を図示した実施例に関連し
て説明したが、この発明の範囲内において、その他、種
々の変形例が可能である。たとえば、ケース内に収納さ
れる圧電エレメントは、前述したような3つの端子を備
えるフィルタを構成するものに限らず、その他の圧電共
振子を構成するものであっても、単に2つの端子しか備
えないものであってもよい。また、圧電エレメントは、
厚みすべり振動を利用するものに限らず、他の振動態様
を利用するものであってもよい。
て説明したが、この発明の範囲内において、その他、種
々の変形例が可能である。たとえば、ケース内に収納さ
れる圧電エレメントは、前述したような3つの端子を備
えるフィルタを構成するものに限らず、その他の圧電共
振子を構成するものであっても、単に2つの端子しか備
えないものであってもよい。また、圧電エレメントは、
厚みすべり振動を利用するものに限らず、他の振動態様
を利用するものであってもよい。
【図1】この発明の一実施例による圧電部品21を示す
断面図である。
断面図である。
【図2】図1に示した圧電部品21に含まれる主な要素
を分解して示す斜視図である。
を分解して示す斜視図である。
【図3】図1に示した圧電エレメント22を単独で示す
もので、(a)はその上方主面26側を示し、(b)は
その下方主面36側を示す。
もので、(a)はその上方主面26側を示し、(b)は
その下方主面36側を示す。
【図4】図1に示した圧電エレメント22を得るために
用意されるマザー基板57の下方主面側を示す。
用意されるマザー基板57の下方主面側を示す。
【図5】この発明の他の実施例による圧電部品21aを
示す、図1に相当の図である。
示す、図1に相当の図である。
【図6】従来の圧電部品1を示す、図1に相当の図であ
る。
る。
21,21a 圧電部品 22 圧電エレメント 23 ケース 25 圧電基板 26 上方主面 27〜30,37,38 振動電極 31,32,39 端子電極 33〜35,40,41 接続ライン 36 下方主面 42 底面 43〜45 台座 46〜48 接続電極 49〜51 導電ペースト 52〜54 ダンピング材 55,56 空隙
Claims (3)
- 【請求項1】 圧電基板、前記圧電基板を挟んで互いに
対向するように前記圧電基板の各主面上に形成される複
数の振動電極、および前記振動電極に接続されるように
前記圧電基板上に形成される複数の端子電極を備える、
圧電エレメントと、 前記圧電エレメントを収納するためのものであり、前記
圧電エレメントを載置するため底面から段差をもって突
出された台座、ならびに前記台座の上面上およびそこか
ら外部へ導出されるように形成されかつ前記端子電極に
それぞれ接続される接続電極を備える、ケースと、 前記振動電極が形成された領域を少なくともカバーする
ように前記圧電エレメントの両主面上に付与されたダン
ピング材とを備える、圧電部品において、 前記圧電エレメントの、前記ケースの底面側に向く主面
上に付与された前記ダンピング材と前記ケースの底面と
の間には空隙が形成されていることを特徴とする、圧電
部品。 - 【請求項2】 圧電基板、前記圧電基板を挟んで互いに
対向するように前記圧電基板の各主面上に形成される複
数の振動電極、および前記振動電極に接続されるように
前記圧電基板上に形成される複数の端子電極を備える、
圧電エレメントを用意し、 前記圧電エレメントを収納するためのものであり、前記
圧電エレメントを載置するため底面から段差をもって突
出された台座、ならびに前記台座の上面上およびそこか
ら外部へ導出されるように形成されかつ前記端子電極に
それぞれ接続される接続電極を備える、ケースを用意
し、 前記圧電エレメントを前記台座の上面上に置いた状態で
前記圧電エレメントを前記ケース内に収納し、 前記端子電極と対応の前記接続電極とを接続し、 前記振動電極が形成された領域を少なくともカバーする
ように前記圧電エレメントの両主面上にダンピング材を
付与する、各工程を備える、圧電部品の製造方法におい
て、 前記ダンピング材を付与する工程は、前記圧電エレメン
トの前記ケースの底面側に向く主面上に付与される前記
ダンピング材を、前記ケースの底面には届かない厚みを
もって印刷により付与する工程を含むことを特徴とす
る、圧電部品の製造方法。 - 【請求項3】 前記ダンピング材を付与する工程は、前
記圧電エレメントの、前記ケースの底面とは反対側に向
く主面上に付与される前記ダンピング材を、印刷により
付与する工程をさらに含む、請求項2に記載の圧電部品
の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2777394A JPH07235853A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 圧電部品およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2777394A JPH07235853A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 圧電部品およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07235853A true JPH07235853A (ja) | 1995-09-05 |
Family
ID=12230302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2777394A Withdrawn JPH07235853A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 圧電部品およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07235853A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6417599B2 (en) | 2000-06-12 | 2002-07-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator, piezoelectric component, and producing method for the piezoelectric resonator |
KR101454071B1 (ko) * | 2012-05-08 | 2014-10-27 | 삼성전기주식회사 | 압전진동모듈 |
-
1994
- 1994-02-25 JP JP2777394A patent/JPH07235853A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6417599B2 (en) | 2000-06-12 | 2002-07-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator, piezoelectric component, and producing method for the piezoelectric resonator |
KR101454071B1 (ko) * | 2012-05-08 | 2014-10-27 | 삼성전기주식회사 | 압전진동모듈 |
US9118299B2 (en) | 2012-05-08 | 2015-08-25 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Piezoelectric vibration module |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010508 |