JPH1169491A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JPH1169491A JPH1169491A JP24041497A JP24041497A JPH1169491A JP H1169491 A JPH1169491 A JP H1169491A JP 24041497 A JP24041497 A JP 24041497A JP 24041497 A JP24041497 A JP 24041497A JP H1169491 A JPH1169491 A JP H1169491A
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- piezoelectric
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 両持ち支持の圧電振動片を有する圧電振動子
において、接着による残留応力や温度変化による付加応
力を効果的に吸収することができ、しかも品質・性能の
優れた箱型容器の圧電振動子を実現すること。 【解決手段】 ほぼ矩形板状の圧電振動片の一方の辺を
比較的硬質の導電接着剤で下ケースの2箇所に固定し、
前記一方の辺に対向する辺を比較的軟質の接着剤で前記
下ケースの他の部分の2箇所に固定し、前記圧電振動片
を覆う蓋と前記下ケースとを融点が340°C以下であ
る低融点ガラス材を用いて振動子容器を封止した圧電振
動子。
において、接着による残留応力や温度変化による付加応
力を効果的に吸収することができ、しかも品質・性能の
優れた箱型容器の圧電振動子を実現すること。 【解決手段】 ほぼ矩形板状の圧電振動片の一方の辺を
比較的硬質の導電接着剤で下ケースの2箇所に固定し、
前記一方の辺に対向する辺を比較的軟質の接着剤で前記
下ケースの他の部分の2箇所に固定し、前記圧電振動片
を覆う蓋と前記下ケースとを融点が340°C以下であ
る低融点ガラス材を用いて振動子容器を封止した圧電振
動子。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電振動子における
圧電振動片の支持および容器の構造に関する。
圧電振動片の支持および容器の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】水晶振動子等の圧電振動子は、しばしば
セラミック等の材料で作られた箱型の気密容器内に支持
される。箱型の容器に封入された圧電振動子の或るもの
は表面実装型(SMD型)振動子と呼ばれ、電子機器の
プリント配線された回路基板への実装に適し、通信機
器、携帯用電子機器等のクロック源等として多用されて
いる。使用される圧電振動片は、例えば図2の斜視図に
概形を示すような短冊状の矩形板型ATカットの水晶振
動片である。図において、1は水晶振動片、11は水晶振
動片電極膜である。水晶振動片1の裏面にも同様な電極
膜がある。111 、121 はそれらの電極引出線で、水晶振
動片1の端部の両面に跨がって設けられている。
セラミック等の材料で作られた箱型の気密容器内に支持
される。箱型の容器に封入された圧電振動子の或るもの
は表面実装型(SMD型)振動子と呼ばれ、電子機器の
プリント配線された回路基板への実装に適し、通信機
器、携帯用電子機器等のクロック源等として多用されて
いる。使用される圧電振動片は、例えば図2の斜視図に
概形を示すような短冊状の矩形板型ATカットの水晶振
動片である。図において、1は水晶振動片、11は水晶振
動片電極膜である。水晶振動片1の裏面にも同様な電極
膜がある。111 、121 はそれらの電極引出線で、水晶振
動片1の端部の両面に跨がって設けられている。
【0003】SMD用の箱型容器の一例を挙げると、図
3の分解斜視図に示すような下ケース2と図4の斜視図
に示すような蓋5とより成る。下ケース2はそれぞれセ
ラミック製の第1絶縁基板21と第2絶縁基板22とが貼り
合わされたものである。第1絶縁基板21は下面にSMD
用の下面電極端子211 、それと側面パターン212 にて接
続され、要所にスルーホール接続部214 を有する配線パ
ターン213 がメタライズされたパターンとして備えられ
ている。
3の分解斜視図に示すような下ケース2と図4の斜視図
に示すような蓋5とより成る。下ケース2はそれぞれセ
ラミック製の第1絶縁基板21と第2絶縁基板22とが貼り
合わされたものである。第1絶縁基板21は下面にSMD
用の下面電極端子211 、それと側面パターン212 にて接
続され、要所にスルーホール接続部214 を有する配線パ
ターン213 がメタライズされたパターンとして備えられ
ている。
【0004】第2絶縁基板22の上面には4個の振動片用
端子221 がメタライズパターンとして設けられており、
その面内にあるスルーホール(図示せず)によって、第
1絶縁基板21上の配線パターン213 と接続されている。
4個の振動片用端子221 は隣接するものが2端子とな
り、対角線上にあるもの同志は接続されている。そして
下ケース2の上に水晶振動片1を搭載し振動片用端子22
1 の上に水晶振動片1の電極引出線111 、121 が乗るよ
うにして導電性接着剤で接着し、導通と支持とを同時に
達成させる。このとき水晶振動片1の表裏および長手方
向の向きを問わない。蓋5は水晶振動片1をマウントし
た下ケース2に被せて周囲下面を下ケース2と低融点ガ
ラスを用いて気密に封着する。第2絶縁基板22に設けら
れている穴222 は水晶振動片1の中央の振動振幅の大き
い部分に下ケース2が触れないためにあり、また中溝22
3 は隣接する導電性接着剤の短絡を避けるために設けら
れている。以上に説明した箱型容器の構造の詳細は、特
願平7-316064号に開示されたものと基本的に同じであ
る。
端子221 がメタライズパターンとして設けられており、
その面内にあるスルーホール(図示せず)によって、第
1絶縁基板21上の配線パターン213 と接続されている。
4個の振動片用端子221 は隣接するものが2端子とな
り、対角線上にあるもの同志は接続されている。そして
下ケース2の上に水晶振動片1を搭載し振動片用端子22
1 の上に水晶振動片1の電極引出線111 、121 が乗るよ
うにして導電性接着剤で接着し、導通と支持とを同時に
達成させる。このとき水晶振動片1の表裏および長手方
向の向きを問わない。蓋5は水晶振動片1をマウントし
た下ケース2に被せて周囲下面を下ケース2と低融点ガ
ラスを用いて気密に封着する。第2絶縁基板22に設けら
れている穴222 は水晶振動片1の中央の振動振幅の大き
い部分に下ケース2が触れないためにあり、また中溝22
3 は隣接する導電性接着剤の短絡を避けるために設けら
れている。以上に説明した箱型容器の構造の詳細は、特
願平7-316064号に開示されたものと基本的に同じであ
る。
【0005】圧電振動片の支持の方法は大別して2種類
ある。その(1)は両持ち支持で、圧電振動片の二つの
短辺を両方とも導電性、或いは導電性と非導電性の接着
剤で下ケースと接着する。その(2)は片持ち支持で、
圧電振動片の2つの短辺のうち一方の電極引出線のある
側のみを下ケース(上の振動子用端子221 )と導電接着
剤で接着し、他方の短辺は接着せずフリーにしておく。
圧電振動片を衝撃に十分耐えうる強度に支持し、なおか
つ圧電振動片の振動に支持による応力(あるいは歪みと
言っても差し支えない)が悪影響を与えることがないよ
うにするため、両支持方法に関して従来から種々の改良
提案がある。
ある。その(1)は両持ち支持で、圧電振動片の二つの
短辺を両方とも導電性、或いは導電性と非導電性の接着
剤で下ケースと接着する。その(2)は片持ち支持で、
圧電振動片の2つの短辺のうち一方の電極引出線のある
側のみを下ケース(上の振動子用端子221 )と導電接着
剤で接着し、他方の短辺は接着せずフリーにしておく。
圧電振動片を衝撃に十分耐えうる強度に支持し、なおか
つ圧電振動片の振動に支持による応力(あるいは歪みと
言っても差し支えない)が悪影響を与えることがないよ
うにするため、両支持方法に関して従来から種々の改良
提案がある。
【0006】前記(1)の両持ち支持の方法では、圧電
振動子の破壊が起こらない程度の良い耐衝撃性が得られ
るし、圧電振動片が動かないので容器を薄型にできる利
点があるが、接着剤のキュア(硬化のための熱処理)に
よる収縮や圧電振動片と容器の基板、あるいは接着剤と
の熱膨張率の差によって、完成圧電振動子の圧電振動片
内部に残留応力が生じて発振周波数が狙い値とずれた
り、あるいは周波数やCI値の温度特性が乱されたり、
スプリアスが生じたりし勝ちである難点がある。それを
回避するため、実開平1-143516号においては、両持ち支
持される振動片の各短辺の下面に非導電性で収縮率の小
さい接着剤を、上面に施される接着剤には導電性接着剤
(一般的に収縮率が大きい)を施して、残留応力による
特性劣化を防ぐ提案がある。また実開平5-18121 号にお
いては、圧電振動片の片側の短辺を導電接着剤(硬度が
大きい)で支持し、他の短辺は軟質のシリコン系接着剤
を用いることによって残留歪みの軽減や諸応力の吸収を
図った提案がなされている。
振動子の破壊が起こらない程度の良い耐衝撃性が得られ
るし、圧電振動片が動かないので容器を薄型にできる利
点があるが、接着剤のキュア(硬化のための熱処理)に
よる収縮や圧電振動片と容器の基板、あるいは接着剤と
の熱膨張率の差によって、完成圧電振動子の圧電振動片
内部に残留応力が生じて発振周波数が狙い値とずれた
り、あるいは周波数やCI値の温度特性が乱されたり、
スプリアスが生じたりし勝ちである難点がある。それを
回避するため、実開平1-143516号においては、両持ち支
持される振動片の各短辺の下面に非導電性で収縮率の小
さい接着剤を、上面に施される接着剤には導電性接着剤
(一般的に収縮率が大きい)を施して、残留応力による
特性劣化を防ぐ提案がある。また実開平5-18121 号にお
いては、圧電振動片の片側の短辺を導電接着剤(硬度が
大きい)で支持し、他の短辺は軟質のシリコン系接着剤
を用いることによって残留歪みの軽減や諸応力の吸収を
図った提案がなされている。
【0007】前記(2)の片持ち支持の方法では、圧電
振動片の振動が支持の応力の影響を受けないという点に
関してはほとんど問題がないが、圧電振動片が片持ちで
あるため、そのままでは強度の衝撃が圧電振動子に印加
されたとき、接着部位の剥がれ、圧電振動片の折れ等の
危険が大きい。それを回避するため、フリーな方の短辺
に近接して圧電振動片の変位を制限するストッパーを設
けたものがある。その具体例としては例えば特開平8-33
0886号においては、接着しない短辺側にストッパーとな
る枕部や緩衝部を配置した構造が開示されている。また
特開平8-186457号には、水晶振動片の片持ちの保持部に
第1の接着剤を塗布してこれを溶剤が飛ぶ程度に仮キュ
アし、その上に水晶振動片を載せて第2の接着剤を塗布
して全体をキュアすることによって、接着剤のキュアに
よる収縮を適度に制御し、水晶振動片のフリーな他端を
基板から僅かに浮かせ、ストッパーとなる基板面と水晶
振動片の他端との間に適量の隙間を得る技術が開示され
ている。
振動片の振動が支持の応力の影響を受けないという点に
関してはほとんど問題がないが、圧電振動片が片持ちで
あるため、そのままでは強度の衝撃が圧電振動子に印加
されたとき、接着部位の剥がれ、圧電振動片の折れ等の
危険が大きい。それを回避するため、フリーな方の短辺
に近接して圧電振動片の変位を制限するストッパーを設
けたものがある。その具体例としては例えば特開平8-33
0886号においては、接着しない短辺側にストッパーとな
る枕部や緩衝部を配置した構造が開示されている。また
特開平8-186457号には、水晶振動片の片持ちの保持部に
第1の接着剤を塗布してこれを溶剤が飛ぶ程度に仮キュ
アし、その上に水晶振動片を載せて第2の接着剤を塗布
して全体をキュアすることによって、接着剤のキュアに
よる収縮を適度に制御し、水晶振動片のフリーな他端を
基板から僅かに浮かせ、ストッパーとなる基板面と水晶
振動片の他端との間に適量の隙間を得る技術が開示され
ている。
【0008】従来提案された上記の各具体的改良例に関
する問題点を以下に述べる。(1)の両持ち支持に関す
る実開平1-143516号の接着剤の2重塗布技術は、歪み除
去が主として一方の短辺における局所的な作用であるの
で効果の程度に疑問がある。現に市販されているSMD
型振動子の主流は圧電振動子の厚さやコストが増すにも
関わらず、水晶振動片の各短辺を板バネ上に接着して歪
み除去を図っている。また実開平5-18121 号における硬
軟両接着剤の組み合わせは効果があると予想されるが、
当該文献には製造法が完結されるような形では書かれて
なく、その実現性に難点がある。即ちシリコン系の軟質
接着剤は、約350°Cにおいて分解する。しかるに箱
型容器の蓋と下ケースとを封着する低融点ガラスの封着
温度は従来低いものでも370°Cである。従って封着
作業を行うと容器内部のシリコン系接着剤は分解し、発
生した成分が飛散し、水晶振動片の表面に付着して周波
数をシフトさせてしまう。付着物は不安定で脱落する恐
れがあり周波数の経時変化の原因になる。また発生ガス
は容器内部の雰囲気あるいは真空度を損ない、CI値や
温度特性にも悪影響を与える可能性がある。しかもこの
ような難点に関して言及した文献は存在しないようであ
る。(2)の片持ち支持における特開平8-330886号のス
トッパーを設ける技術も製造法として完結していない点
は同様であるし、またストッパーの最適材質にも言及し
ていない。
する問題点を以下に述べる。(1)の両持ち支持に関す
る実開平1-143516号の接着剤の2重塗布技術は、歪み除
去が主として一方の短辺における局所的な作用であるの
で効果の程度に疑問がある。現に市販されているSMD
型振動子の主流は圧電振動子の厚さやコストが増すにも
関わらず、水晶振動片の各短辺を板バネ上に接着して歪
み除去を図っている。また実開平5-18121 号における硬
軟両接着剤の組み合わせは効果があると予想されるが、
当該文献には製造法が完結されるような形では書かれて
なく、その実現性に難点がある。即ちシリコン系の軟質
接着剤は、約350°Cにおいて分解する。しかるに箱
型容器の蓋と下ケースとを封着する低融点ガラスの封着
温度は従来低いものでも370°Cである。従って封着
作業を行うと容器内部のシリコン系接着剤は分解し、発
生した成分が飛散し、水晶振動片の表面に付着して周波
数をシフトさせてしまう。付着物は不安定で脱落する恐
れがあり周波数の経時変化の原因になる。また発生ガス
は容器内部の雰囲気あるいは真空度を損ない、CI値や
温度特性にも悪影響を与える可能性がある。しかもこの
ような難点に関して言及した文献は存在しないようであ
る。(2)の片持ち支持における特開平8-330886号のス
トッパーを設ける技術も製造法として完結していない点
は同様であるし、またストッパーの最適材質にも言及し
ていない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、両持
ち支持の圧電振動片を有する圧電振動子において、接着
による残留応力や温度変化による付加応力を効果的に吸
収することができ、しかも品質・性能の優れた箱型容器
の圧電振動子を実現することである。
ち支持の圧電振動片を有する圧電振動子において、接着
による残留応力や温度変化による付加応力を効果的に吸
収することができ、しかも品質・性能の優れた箱型容器
の圧電振動子を実現することである。
【0010】
(1)ほぼ矩形板状の圧電振動片の一方の辺を比較的硬
質の導電接着剤で下ケースの2箇所に固定し、前記一方
の辺に対向する辺を比較的軟質の接着剤で前記下ケース
の他の部分の2箇所に固定し、前記圧電振動片を覆う蓋
と前記基台とを融点が340°C以下である低融点ガラ
ス材を用いて封止した圧電振動子。 (2)比較的軟質の接着剤は圧電振動子の下ケース側の
みに塗布した(1)の圧電振動子。 (3)前記下ケースおよび蓋はセラミック製であり、か
つ前記比較的硬質の導電接着剤は高分子系熱粘性接着剤
であり、前記比較的軟質の接着剤はシリコン系の非導電
接着剤である(1)、(2)の圧電振動子。 (4)比較的硬質の導電接着剤はポリサルホン樹脂を基
材とし銀フレークを加えた接着剤である(3)の圧電振
動子。
質の導電接着剤で下ケースの2箇所に固定し、前記一方
の辺に対向する辺を比較的軟質の接着剤で前記下ケース
の他の部分の2箇所に固定し、前記圧電振動片を覆う蓋
と前記基台とを融点が340°C以下である低融点ガラ
ス材を用いて封止した圧電振動子。 (2)比較的軟質の接着剤は圧電振動子の下ケース側の
みに塗布した(1)の圧電振動子。 (3)前記下ケースおよび蓋はセラミック製であり、か
つ前記比較的硬質の導電接着剤は高分子系熱粘性接着剤
であり、前記比較的軟質の接着剤はシリコン系の非導電
接着剤である(1)、(2)の圧電振動子。 (4)比較的硬質の導電接着剤はポリサルホン樹脂を基
材とし銀フレークを加えた接着剤である(3)の圧電振
動子。
【0011】
【発明の実施の形態】図1は本発明の実施の形態の一例
である圧電振動子を示し、(a)はその平面図(蓋を除
いた状態)、(b)はそのA−A断面図(蓋つき)であ
る。既に従来例にて説明を済ませた部分には同一番号を
付して新たな説明を省略する。それらは、水晶振動片1
の各部(図2参照)、下ケース2(図3に示した第1絶
縁基板21および第2絶縁基板22を張り合わせて一体化し
たもの)の各部、および蓋5(図4参照)である。
である圧電振動子を示し、(a)はその平面図(蓋を除
いた状態)、(b)はそのA−A断面図(蓋つき)であ
る。既に従来例にて説明を済ませた部分には同一番号を
付して新たな説明を省略する。それらは、水晶振動片1
の各部(図2参照)、下ケース2(図3に示した第1絶
縁基板21および第2絶縁基板22を張り合わせて一体化し
たもの)の各部、および蓋5(図4参照)である。
【0012】図1(a)、(b)において、2ケ所の導
電接着剤3は、水晶振動片1の電極引出線111 、121 と
下ケース2の2ケ所の振動子用端子221 とを接着し、そ
れらの電気的導通をとると同時に機械的に固着する。一
方の短辺上であるから2ケ所の接着部位の間隔は短いと
はいえ、やはり熱応力の影響を受けるので、例えば熱硬
化性のエポキシ樹脂等を基材とした導電接着剤は硬化後
の硬度が硬すぎる場合がある。熱応力を十分に緩和する
ためには僅かに柔軟性のある導電接着剤を使用する。そ
れは熱硬化性樹脂よりも高分子系である熱粘性(熱可塑
性)の樹脂例えばポリサルホン樹脂を用い、これに銀フ
レークを混入した導電接着剤が適当である。水晶振動片
1の他の短辺は非導電性(絶縁性)のシリコン系の軟質
接着剤4によって下ケースの他の2ヶ所の振動子用端子
221 と接着される。軟質接着剤4は可撓性があるため圧
電振動子の組立後に残留する、あるいは使用の過程で発
生するあらゆる応力(歪み)を緩和するのみならず、耐
衝撃性をも更に改善する。図5は軟質接着剤を圧電振動
片の下面と下ケース間にのみ塗布した例で断面図であ
る。図1のように軟質接着剤4を圧電振動片の上下に塗
布した構造に比べ封止前後の周波数シフト量が低減でき
る。例えば、公称周波数4.8MHzの水晶振動子で比
較するとシフト量の平均値で−23.2ppmが−5.
1ppmに、バラツキの標準偏差が19.7ppmから
4.3ppmに低減できた。低融点の封着ガラス6は下
ケース2と蓋5とを気密に封止する。このガラスの封着
温度は340°C以下、実際には約320°Cであり、
封着作業により軟質接着剤4が分解あるいは変質するこ
とがない。
電接着剤3は、水晶振動片1の電極引出線111 、121 と
下ケース2の2ケ所の振動子用端子221 とを接着し、そ
れらの電気的導通をとると同時に機械的に固着する。一
方の短辺上であるから2ケ所の接着部位の間隔は短いと
はいえ、やはり熱応力の影響を受けるので、例えば熱硬
化性のエポキシ樹脂等を基材とした導電接着剤は硬化後
の硬度が硬すぎる場合がある。熱応力を十分に緩和する
ためには僅かに柔軟性のある導電接着剤を使用する。そ
れは熱硬化性樹脂よりも高分子系である熱粘性(熱可塑
性)の樹脂例えばポリサルホン樹脂を用い、これに銀フ
レークを混入した導電接着剤が適当である。水晶振動片
1の他の短辺は非導電性(絶縁性)のシリコン系の軟質
接着剤4によって下ケースの他の2ヶ所の振動子用端子
221 と接着される。軟質接着剤4は可撓性があるため圧
電振動子の組立後に残留する、あるいは使用の過程で発
生するあらゆる応力(歪み)を緩和するのみならず、耐
衝撃性をも更に改善する。図5は軟質接着剤を圧電振動
片の下面と下ケース間にのみ塗布した例で断面図であ
る。図1のように軟質接着剤4を圧電振動片の上下に塗
布した構造に比べ封止前後の周波数シフト量が低減でき
る。例えば、公称周波数4.8MHzの水晶振動子で比
較するとシフト量の平均値で−23.2ppmが−5.
1ppmに、バラツキの標準偏差が19.7ppmから
4.3ppmに低減できた。低融点の封着ガラス6は下
ケース2と蓋5とを気密に封止する。このガラスの封着
温度は340°C以下、実際には約320°Cであり、
封着作業により軟質接着剤4が分解あるいは変質するこ
とがない。
【0013】本実施の形態に使用した軟質接着剤は、例
えば1液性の非導電型で本来半導体の応力緩和ダイボン
ディング用に開発されたもので、塗布・加熱により短時
間でエラストマー状に硬化、接着する。硬化後の主な特
性は、25°Cにて引張強度22kgf/cm2 、伸度220
%、ヤング率11kgf/cm2 、接着力6.5kgf/cm2 であ
る。なお支持固定用の導電接着剤のヤング率は4200
0kgf/cm2 であるから、軟質接着剤のヤング率はその約
1/3800しかなく如何に柔軟かがわかる。本発明に
用いられる導電接着剤と軟質接着剤とのヤング率の比は
500以上あることが好ましく、1000以上あること
が更に好ましいと考えられる。また封着ガラスは鉛酸化
物を主成分とし、ケースのセラミック材(Al2O3) との熱
膨張率を合わせるための添加剤を加えて、従来にない3
20°Cという低融点でありながら従来と同程度の特性
(強度、耐湿性等)を得たガラス材である。
えば1液性の非導電型で本来半導体の応力緩和ダイボン
ディング用に開発されたもので、塗布・加熱により短時
間でエラストマー状に硬化、接着する。硬化後の主な特
性は、25°Cにて引張強度22kgf/cm2 、伸度220
%、ヤング率11kgf/cm2 、接着力6.5kgf/cm2 であ
る。なお支持固定用の導電接着剤のヤング率は4200
0kgf/cm2 であるから、軟質接着剤のヤング率はその約
1/3800しかなく如何に柔軟かがわかる。本発明に
用いられる導電接着剤と軟質接着剤とのヤング率の比は
500以上あることが好ましく、1000以上あること
が更に好ましいと考えられる。また封着ガラスは鉛酸化
物を主成分とし、ケースのセラミック材(Al2O3) との熱
膨張率を合わせるための添加剤を加えて、従来にない3
20°Cという低融点でありながら従来と同程度の特性
(強度、耐湿性等)を得たガラス材である。
【0014】本発明の他の実施の形態について述べる。
圧電振動片は図2に示したようないわゆるバイコンベッ
クス型の中央部が厚い圧電振動片に限定する必然性はな
く、例えば平板状でもよいし、また矩形板でなくても例
えば円板型でもよい。円板型の場合、対向する辺とはあ
る直径の両端付近にある部分円弧と解される。圧電振動
片の材質も水晶以外の圧電材料でもよい。また容器も図
3に示した構造のものに限られない。要は低融点ガラス
で封止が行われる容器であればよい。また導電接着剤の
数が電極数に従って増えてもよい。軟質接着剤の材質、
封着ガラスの材質も例示したものに特に限られない。圧
電振動片のマウントや圧電振動子の組立工程の順序、条
件も上に述べたところに限られない。
圧電振動片は図2に示したようないわゆるバイコンベッ
クス型の中央部が厚い圧電振動片に限定する必然性はな
く、例えば平板状でもよいし、また矩形板でなくても例
えば円板型でもよい。円板型の場合、対向する辺とはあ
る直径の両端付近にある部分円弧と解される。圧電振動
片の材質も水晶以外の圧電材料でもよい。また容器も図
3に示した構造のものに限られない。要は低融点ガラス
で封止が行われる容器であればよい。また導電接着剤の
数が電極数に従って増えてもよい。軟質接着剤の材質、
封着ガラスの材質も例示したものに特に限られない。圧
電振動片のマウントや圧電振動子の組立工程の順序、条
件も上に述べたところに限られない。
【0015】
【発明の効果】本発明においては、圧電振動片の一方の
辺を導電接着剤で固定支持しかつ接続し、他方の辺を軟
質接着剤で下ケースに接着し、かつ軟質接着剤が分解し
ない低融点の封着ガラスを用いて容器を封止したので、
封止による周波数のシフトが少なく、軟質接着剤の特性
が遺憾なく発揮されて圧電振動片のマウントにおける残
留応力が殆ど緩和され、また使用温度変化等による付加
応力も殆どないので、組立における周波数変動が殆どな
く、温度特性の異常もなく、軟質接着剤の緩衝効果によ
り耐衝撃性にも優れ、圧電振動片が容器内で動かないた
め余分のスペースを不要とし容器の薄型化も達成するこ
とができた。また導電接着剤に高分子系熱粘性樹脂を用
いれば一層その実現性を高めることができる。
辺を導電接着剤で固定支持しかつ接続し、他方の辺を軟
質接着剤で下ケースに接着し、かつ軟質接着剤が分解し
ない低融点の封着ガラスを用いて容器を封止したので、
封止による周波数のシフトが少なく、軟質接着剤の特性
が遺憾なく発揮されて圧電振動片のマウントにおける残
留応力が殆ど緩和され、また使用温度変化等による付加
応力も殆どないので、組立における周波数変動が殆どな
く、温度特性の異常もなく、軟質接着剤の緩衝効果によ
り耐衝撃性にも優れ、圧電振動片が容器内で動かないた
め余分のスペースを不要とし容器の薄型化も達成するこ
とができた。また導電接着剤に高分子系熱粘性樹脂を用
いれば一層その実現性を高めることができる。
【図1】本発明の実施の形態の一例を示し、(a)は蓋
を取り除いた平面図、(b)はA−A断面図である。
を取り除いた平面図、(b)はA−A断面図である。
【図2】圧電振動片の一例を示す斜視図である。
【図3】下ケースの一例を示す分解斜視図である。
【図4】蓋の一例の斜視図である。
【図5】図5は軟質接着剤を圧電振動片の下面と下ケー
ス間にのみ塗布した例で断面図である
ス間にのみ塗布した例で断面図である
1 水晶振動片 11 水晶振動片電極 111 電極引出線 121 電極引出線 2 下ケース 21 第1絶縁基板 211 下面電極端子 212 側面パターン 213 配線パターン 214 スルーホール接続部 22 第2絶縁基板 221 振動子用端子 222 穴 223 中溝 3 導電接着剤 4 軟質接着剤 5 蓋 6 封着ガラス
Claims (4)
- 【請求項1】 板状の圧電振動片の一方の辺を比較的硬
質の導電接着剤で下ケースの2箇所に固定し、前記一方
の辺に対向する辺を比較的軟質の接着剤で前記下ケース
の他の部分の2箇所に固定し、前記圧電振動片を覆う蓋
と前記下ケースとを融点が340°C以下である低融点
ガラス材を用いて封止したことを特徴とする圧電振動
子。 - 【請求項2】 比較的軟質の接着剤は圧電振動子の下ケ
ース側のみに塗布することを特徴とする請求項1記載の
圧電振動子。 - 【請求項3】 前記下ケースおよび蓋はセラミック製で
あり、かつ前記比較的硬質の導電接着剤は高分子系熱粘
性接着剤であり、前記比較的軟質の接着剤はシリコン系
の非導電接着剤であることを特徴とする請求項1または
2記載の圧電振動子。 - 【請求項4】 前記比較的硬質の導電接着剤はポリサル
ホン樹脂を基材とし銀フレークを加えた接着剤であるこ
とを特徴とする請求項3記載の圧電振動子。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24041497A JPH1169491A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 圧電振動子 |
PCT/JP1998/003635 WO1999009647A1 (fr) | 1997-08-19 | 1998-08-14 | Vibreur piezo-electrique |
GB0006022A GB2345397B (en) | 1997-08-19 | 1998-08-14 | Piezoelectric vibrator |
US09/486,048 US6396201B1 (en) | 1997-08-19 | 1998-08-14 | Piezoelectric vibrator |
HK00104398A HK1025193A1 (en) | 1997-08-19 | 2000-07-18 | Piezoelectric vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24041497A JPH1169491A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 圧電振動子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1169491A true JPH1169491A (ja) | 1999-03-09 |
Family
ID=17059127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24041497A Pending JPH1169491A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1169491A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1997
- 1997-08-19 JP JP24041497A patent/JPH1169491A/ja active Pending
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