JPH07234509A - 感光性樹脂組成物及び感光性樹脂画像の形成、剥離方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 火災予防、作業環境の改善、公害防止などに
有効な酸性水溶液で現像、剥離ができる耐水耐アルカリ
性を有する感光性樹脂組成物並びに有効にして的確な感
光性樹脂画像の形成及び剥離方法を得る。 【構成】 ２種以上のエチレン性不飽和化合物を重合の
最小単位とする重合体であって、エチレン性不飽和化合
物の１種以上が一般式［化１］で表されかつ前記重合体
の最小単位の合計数が５〜８０％の比率で含まれ、しか
も分子量が５，０００〜３００，０００の高分子化合物
と、端末エチレン基を少なくとも２個有する光重合性不
飽和化合物と、光重合開始剤とを必須成分とする。 【化１】 Ｒ₁ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ Ｒ₂ ＝直鎖または枝分かれの炭素原子２〜６のアルキレ
ン基 Ｒ₃ ，Ｒ₄ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ ，−ＣＨ₂ ＣＨ₃

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、耐水耐アルカリ性を有
する感光性樹脂組成物並びに感光性樹脂画像の形成およ
び剥離方法に関し、更に詳しくは、フォトリソグラフィ
及び印刷版材に使用しえる耐水耐アルカリ性を有する感
光性樹脂組成物並びに感光性樹脂画像の形成及び剥離方
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】感光性樹脂を物体の表面に積層して紫外
線（３２０〜４５０ｎｍ）を含む光をパターンマスクを
通して照射して、光の当たった部分を溶媒に対して不溶
化または可溶化させ、次いで現像処理により物体の表面
に希望する図形を形成させる。この感光性樹脂による図
形被膜を保護膜として物体表面に染色、エッチング、熱
拡散、蒸着、ブラストなどの処理をしたり、感光性樹脂
による図形被膜自体を印刷版材としてもちいることは、
金属加工、電気、電子、印刷業界などで広く行われてい
る。

【０００３】従来、この種の感光性樹脂として用いられ
ているものは、（ａ）カゼイン・シェラックなどの蛋白
質物質と重クロム酸塩系、ポリビニルアルコールと重ク
ロム酸塩またはジアゾ化合物系などの現像に水を用いる
もの、（ｂ）側鎖にカルボキシル基を有するアクリルコ
ポリマーにアクリルモノマー・アクリルオリゴマーなど
を配合した光重合性樹脂系、ノボラック樹脂とナフトキ
ノンジアジド系などの現像にアルカリ性の水を用いるも
の、（ｃ）ポリケイヒ酸ビニル系、環化ゴムとジアジド
系、可溶性ポリマホーにアクリルモノマー・アクリルオ
リゴマーなどを配合した光重合性樹脂系などの現像に有
機溶剤を用いるものなどがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】近年、火災予防、作業
環境改善、公害防止などの必要性から現像に有機溶剤を
用いるものから、水またはアルカリ性の水をもちいる感
光性樹脂に代わりつつあるが、現像に水を用いるものは
基本的に耐水性に劣り、現像にアルカリ性の水を用いる
ものは耐アルカリ性に劣るという欠点がある。また電子
加工分野では金属イオンによる加工部品の汚染を嫌い、
現像及び雑離にアルカリ性の水を用いるものは使用でき
ない。

【０００５】本発明は従来の技術に内在する上記諸欠点
を解消する為になされたものであり、従って本発明の目
的は、火災予防、作業環境改善、公害防止などに有効な
酸性水溶液で現像、剥離ができる耐水耐アルカリ性を有
する新規な感光性樹脂組成物並びに感光性樹脂画像の形
成および剥離方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明に係る耐水耐アルカリ性を有する感光性樹脂
組成物は、２種以上のエチレン性不飽和化合物を重合
の最小単位とする重合体であって、エチレン性不飽和化
合物の１種以上が下記一般式［化１］で表されかつ前記
重合体の最小単位の合計数が５〜８０％の比率で含ま
れ、しかもその分子量が５，０００〜３００，０００の
高分子化合物と、末端エチレン基を少なくとも２個有
する光重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とを必須
成分として構成される。

【０００７】また、本発明に係る耐水耐アルカリ性を有
する感光性樹脂画像の形成および剥離方法は、（１）
２種以上のエチレン性不飽和化合物を重合の最小単位と
する重合体で、エチレン性不飽和化合物の１種以上が下
記一般式［化１］で表される、前記重合体の最小単位の
合計数が５〜８０％の比率の分子量５，０００〜３０
０，０００の高分子化合物と、末端エチレン基を少な
くとも２個有する光重合性不飽和化合物と、光重合開
始剤とを必須成分とする感光性樹脂組成物の被膜を物体
表面に形成し、（２）前記感光性樹脂膜上に透明陰画を
設置し、（３）前記透明陰画を通して前記感光性樹脂膜
に露光し、（４）末露光部分の感光性樹脂膜を酸性水溶
液で現像（除去）することにより、物体表面に感光性樹
脂の画像を形成し、（５）前記感光性樹脂画像の利用後
に、必要ならば、工程（４）より酸性の強い酸性水溶液
で物体表面に形成された前記感光性樹脂画像を除去する
ことを特徴としている。

【化１】 Ｒ₁ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ Ｒ₂ ＝直鎖または枝分かれの炭素原子２〜６のアルキレ
ン基 Ｒ₃ ，Ｒ₄ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ ，−ＣＨ₂ ＣＨ₃

【作用】上記のように構成された本発明によれば、現
像、剥離に有機溶剤や水またはアルカリ性の水をもちい
ることなく、酸性水溶液で現像、剥離できる組成物及び
工程であるために、耐水、耐アルカリ性の図形被膜を形
成することができる。

【０００８】

【発明の構成要素の詳細】本発明の提案する酸性水溶液
で現像、剥離が可能な感光性樹脂組成物を構成する成分
の各々について以下に説明する。

【０００９】２種以上のエチレン性不飽和化合物を重合
の最小単位とする重合体で、エチレン性不飽和化合物の
１種以上が一般式（下記［化１］）

【化１】 Ｒ₁ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ Ｒ₂ ＝直鎖または枝分かれの炭素原子２〜６のアルキレ
ン基 Ｒ₃ ，Ｒ₄ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ ，−ＣＨ₂ ＣＨ₃ で表される、前記重合体の最小単位の合計数が５〜８０
％の比率で含まれ、分子量が５，０００〜３００，００
０の高分子化合物を合成するのに好都合なエチレン性不
飽和化合物としては、メチルメタクリレート、エチルメ
タクリレート、ブチルメタクリレート、イソブチルメタ
クリレート、ラウリルメタクリレート、メチルアクリレ
ート、エチルアクリレート、ｎ−デシルメタクリレー
ト、２−エチルヘキシルメタクリレート、イソデシルメ
タクリレート、などのメタクリレート（アクリレート）
類、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピ
ルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒ
ドロキシプロピルメタクリレートに代表されるヒドロキ
シアルキルメタクリレート（アクリレート）類の他に、
アクリロニトリル、スチレン、ヒドロキシスチレン、酢
酸ビニル、アクリルアミド、ジメチルアミノプロピルメ
タクリルアミドおよびこれの４級塩、なども好都合であ
る。更に一般式［化１］で代表されるエチレン性不飽和
化合物としてはジメチルアミノエチルメタクリレート、
ジエチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノ
エチルアクリレート、ジエチルアミノエチルアクリレー
ト、などのメタクリレート（アクリレート）類がある。

【化１】 Ｒ₁ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ Ｒ₂ ＝直鎖または枝分かれの炭素原子２〜６のアルキレ
ン基 Ｒ₃ ，Ｒ₄ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ ，−ＣＨ₂ ＣＨ₃ さて本発明において上記一般式、［化１］で表される特
定基を備えた重合の最小単位の合計数が重合の最小単位
の総数の５〜８０％の比率であって、その重合体の分子
量が５，０００〜３００，０００になるようにすべき理
由について説明する。

【００１０】前記従来技術を解決するために本発明がな
した最大の要点は、特定基を備えたエチレン性不飽和化
合物を分子量が５，０００〜３００，０００の高分子化
合物を合成する共重合成分とした点にあり、これら特定
基の導入により高分子化合物は酸性水溶液に溶解するよ
うになり、感光性樹脂組成物を酸性水溶液で現像できる
ようになる。

【００１１】特定基の導入は５％未満では高分子化合物
の酸性水溶液に対する溶解性が悪く、８０％を超えると
酸性水溶液に対する溶解性が良すぎて希薄な酸性水溶液
を使用しても露光部分と未露光部分との溶解度差が少な
くなり、現像による感光性樹脂画像の形成が困難にな
る。また分子量が５，０００未満では物体表面に形成す
る感光性樹脂組成物の被膜形成能力が弱くて露光部分と
未露光部分との溶解度差が少なくなり、現像による感光
性樹脂画像の形成が困難になったり、感光性樹脂画像を
形成しても画像被膜が弱くてフォトリソグラフィや印刷
版材の使用に耐えないものとなる。分子量が３００，０
００を超えると酸性水溶液に対する溶解性が悪くなり、
現像による感光性樹脂画像の形成が困難になる。

【００１２】感光性樹脂組成物の水に対する親和性を増
して現像性を高める目的でエチレン性不飽和化合物の他
方の共重合成分の一部としてヒドロキシアルキルメタク
リレート（アクリレート）類、ヒドロキシスチレン、ア
クリルアミド、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミ
ドおよびこれらの４級塩、それに一般式、［化１］で表
されるエチレン性不飽和化合物の４級塩などを選択する
ことは有利である。

【００１３】更に一般式、［化１］で表されるエチレン
性不飽和化合物の特定基にグリシジルアクリレート（ま
たはメタクリレート）類あるいはメタクリロイルイソシ
アネートを反応させて重合体中に末端エチレン基を導入
して現像安定性、画像強度を増すことができるが、一般
式、［化１］で表されるエチレン性不飽和化合物の特定
基は重合の最小単位の５〜８０％の比率に残さなければ
ならない。

【００１４】末端エチレン基を少なくとも２個有する光
重合性不飽和化合物としては、多官能性アクリル系を代
表とする化合物を使用することができる。アリル基、ビ
ニルエーテル基、ビニルアミノ基を持つ化合物も使用で
きる。例えば、多価アルコールのアクリル酸エステルお
よびメタクルル酸エステル、ビスフェノールＡから誘導
されたアクリル酸エステルおよびメタクルル酸エステ
ル、ジイソシアネート化合物１モルとヒドロキシアルキ
ルアクリレート（またはメタクリレート）２モルを付加
反応せしめたジウレタン化合物のアクリレート（または
メタクリレート）類、２価アルコール１モルとジイソシ
アネート化合物２モルそれにヒドロキシアルキルアクリ
レート（またはメタクリレート）を付加反応せしめたポ
リウレタン化合物のアクリレート（またはメタクリレー
ト）類、グリシジルアクリレート（メタクリレート）の
開環共重合物、グリシジルアクリレート（メタクリレー
ト）のビニル共重合物のアクリル（メタクリル）酸付加
反応物、メチレンビスアクリルアミド、トリアクリルホ
ルマール、トリアリルシアヌレート、ジアリルジメチル
アンモニウムクロライド、ジアリルフタレートなどを挙
げることができる。

【００１５】以上の例示は最も典型的なものであり、光
重合が可能な多不飽和化合物であれば１種または２種以
上の混合物として使用することができる。いずれの場合
においても、本願明細書第６頁の課題を解決するための
手段に記載された参照符号の成分は同参照符号の成
分１００重量部当たり５〜１００重量部、好ましくは１
０〜６０重量部の範囲で用いられる。

【００１６】第３の必須成分の光重合開始剤としては、
ベンゾフェノン類、ベンゾイン、ベンゾインエチルエー
テルなどのベンゾインアルカリエーテル類、エチルアン
トラキノン、ブチルアントラキノンなどのアルキルアン
トラキノン類、アセトフェノン類、ベンジルケタール
類、それに芳香族スルホニウムルイス酸塩、芳香族ヨー
ドニウムルイス酸塩などをあげることができる。これら
の光重合開始剤は単独または２種類以上の混合物として
用いられる。また、その添加量は前記参照符号成分と
成分との合計量１００重量部当たり０．０１〜２０重
量部、好ましくは１〜５重量部の範囲で用いられる。

【００１７】本発明の組成物には、感光性樹脂による画
像被膜の改質、保存性および取扱性を良くするために、
他の高分子化合物、熱重合禁止剤、可塑剤、紫外線吸収
剤、無機および有機の微粉末、熱発泡剤、染料および顔
料の着色剤、光発色剤、消泡剤を必要に応じて添加して
もよい。

【００１８】高分子化合物としてはポリ酢酸ビニルの部
分ケン化物、酢酸ビニルとアクリルアミドの共重合体の
ケン化物、ポリアクリルアミド、ポリビニルピロリド
ン、ポリエチレンオキサイド、側鎖にアミノ基などを有
する水溶性ナイロン、セルロース系の樹脂などをあげる
ことができる。また、その添加量は通常前記参照符号
の成分の合計量１００重量部当たり５〜１００重量部で
用いられる。

【００１９】熱重合禁止剤としてはヒドロキノンモノメ
チルエーテル、メチルヒドロキノン、ｔ−ブチルヒドロ
キノン、Ｎ，Ｎ′−ジフェニルニトロソアミンなどをあ
げることができる。また、その添加量は通常前記参照符
号成分と成分との合計量１００重量部当たり０．０
０１〜１重量部で用いられる。

【００２０】可塑剤としては、ジエチルフタレート、ジ
ブチルフタレート、などのフタル酸エステル系、アジピ
ン酸−ジ−２−エチルヘキシル、アジビン酸−ジ−イソ
デシルなどの二塩基酸エステル、ステアリン酸ブチルな
どの脂肪酸エステル系、エポキシ化大豆油などのエポキ
シ系、リン酸トリフェニル、リン酸トリクレジルなどの
リン酸エステル系が使用できる。また、その添加量は通
常前記参照符号成分と成分との合計量１００重量部
当たり５〜１００重量部で用いられる。

【００２１】紫外線吸収剤としては、２−ヒドロキシ−
１−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−１−オ
クチルオキシベンゾフェノン、２，４−ジヒドロキシベ
ンゾフェノンなどのベンゾフェノン系、２−（２−ヒド
ロキシ−５メチルフェノン）ベンゾトリアゾールを代表
とするベンゾトリアゾール系、４−ｔｅｒｔ−ブチルフ
ェニルサリチラート、ｐ−オクチルフェニルサリチラー
トなどのサリチラート系などをあげることができる。ま
た、その添加量は通常前記参照符号成分と成分との
合計量１００量重部当たり０．０１〜５重量部で用いら
れる。

【００２２】無機の微粉末としては、二酸化硅素、二酸
化チタン、アルミナ、タルク、三酸化アンチモン、炭酸
カルシウムなどをあげることができる。これら無機の微
粉末は、シラン系、チタニウム系等のカップリング剤で
処理することにより組成物中により良く分散させること
ができる。

【００２３】有機の微粉末としては、アクリル系、スチ
レン系、ポリエチレンさらに無機質物や金属との複合微
粒子などで組成物に使用する溶剤に溶解しないものが適
当である。またグリシジル基やアクリロイル基またはメ
タクロイル基などの反応性基をもつ有機の微粉末も有用
である。無機および有機の微粉末の添加量は通常前記参
照符号成分と成分との合計量１００重量部当たり１
〜１００重量部で用いられる。

【００２４】熱発泡剤としては、ジニトロソペンタメチ
レンテトラミン、アゾジカルボンアミド、Ｐ，Ｐ′−オ
キシビスベンゼンスルホニルヒドラジド、Ｐ−トルエン
スルホニルヒドラジド、Ｐ−トルエンスルホニルアセト
ンヒドラゾーン、ヒドラゾジカルボンアミド、それに無
機または有機の微小中空球体などの熱膨張粒子なども使
用することができる。これらの使用により、感光性樹脂
膜の使用後の剥離性を容易にすることができる。添加量
は通常前記参照符号の成分と成分との合計量１００
重量部当たり１〜２０重量部で用いられる。

【００２５】染料および顔料の例としては、フタロシア
ニンブルー、フタロシアニングリーンなどがある。

【００２６】光の照射により発色する光発色剤として
は、４，４′−ビス（ジメチルアミノ）トリフェニルメ
タン、トリス［４−（ジメチルアミノ）フェニル］メタ
ンなどがある。

【００２７】消泡剤としては、シリコン系、ふっ素系な
どを使用することができる。

【００２８】さらに、本感光性樹脂組成物にあらかじめ
無機酸、有機酸などの酸類を添加することもできる。こ
れにより現像に用いる酸性水溶液の酸性度を弱めたり、
酸濃度を下げることができる。したがって、用いる酸
は、重合体に含まれる一般式［化１］で表されるエチレ
ン性不飽和化合物の特定基を中和する以上に用いてもよ
く、増えるほど水に対する親和性が増すので、酸性水溶
液に対する感光性樹脂膜の現像性を考慮して前記参照符
号成分と成分との合計量１００重量部当たり１〜１
００重量部、好ましくは１〜２０重量部の範囲で用いら
れる。

【００２９】

【実施例】次に本発明をその好ましい各実施例について
詳細に説明する。

【００３０】感光性樹脂組成物は有機溶剤に溶解または
一部を分散した液状組成物、もしくは感光性樹脂組成物
全体を均一に水に分散したエマルジョンとして提供され
る。

【００３１】感光性樹脂膜を物体表面に形成する方法
は、印毛塗り法、ローラーコーター法、スプレー法、デ
ィッピング法、フローコーティング法、バーコーター
法、スクリーン印刷法などの公知の方法でよい。さらに
感光性樹脂組成物をポリエステルなどのフィルムに塗
布、乾燥して得られた感光性樹脂フィルムを熱ロールや
溶剤をもちいて物体表面に貼り合わせて形成することが
できる。

【００３２】次に、適当な透明陰画を通して紫外線など
の活性光線を照射して感光性樹脂組成物被膜の露光部を
硬化させ、次いで酸性水溶液を用いて現像を行い未露光
部を溶出させる。このとき用いる酸性水溶液は無機酸、
有機酸、あるいはこれらの混合された酸性水溶液であれ
ばよく、また補助的な目的で有機溶剤を含む酸性水溶液
で現像することもできる。

【００３３】感光性樹脂による耐水、耐アルカリ性画像
の利用後必要であれば樹脂画像を、現像に用いた酸性水
溶液の酸成分よりも酸性の強い酸、もしくは現像に用い
た酸性水溶液の酸成分濃度よりも高濃度の酸性水溶液で
除去する。

【００３４】以下に本発明の具体的実施例について具体
的に説明する。

【００３５】

【実施例１】メチルメタクリレート（ＭＭＡ）４００重
量部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート（ＨＯＭ
Ａ）１００重量部、ジメチルアミノエチルメタクリレー
ト（ＤＭＭＡ）５００重量部、アゾビスイソブチロニト
リル１５重量部、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル１０００重量部、を冷却器、温度計、攪拌装置を取り
付けた３リットルセパラブルフラスコに採る。次にマン
トルヒータで加温して６０分間攪拌しながら内温を７０
℃に上昇させ、７０〜７３℃に制御しながら９０分間攪
拌して重合反応を行う。更に攪拌しながら温度を１１０
℃に上昇させ余分な重合触媒を分解してから室温まで冷
却したら透明で粘調なポリマー溶液が得られた。このポ
リマー溶液は粘度４，５００センチポアズ（２５℃）で
平均分子量５２，０００であった。ジメチルアミノエチ
ルメタクリレート（ＤＭＭＡ）がこの重合体の最小単位
に占める比率は４０％である。

【００３６】このポリマー溶液１００重量部、多価アク
リレートモノマー（商品名ＤＰＣＡ−１２０日本火薬社
製）１０重量部、多価アクリレートモノマー（商品名Ｒ
−１６７日本火薬社製）１０重量部、有機微粉末（商品
名ＭＲ−２Ｇ綜研化学社製）１５重量部、ベンゾフェノ
ン２重量部、４，４′−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾ
フェノン０．５重量部、メチルハイドロキノン０．０２
重量部、フタロシアニングリーン１重量部、ブチルカル
ビトールアセテート２０重量部を計量して３本ロールで
混練りして感光性樹脂組成物を調整した。この感光性樹
脂組成物を糸と糸との交点を自己融着により固めた線経
１２３μｍ、８０メッシュの紗（商品名ＥＳＰ−８０Ｔ
ＮＢＣ工業社製）にバケツトを用いて塗布し、６０℃
で乾燥して総厚２５０μｍ（紗厚＋乾燥した感光性樹脂
組成物厚）の感光性樹脂層を設け、ポジフィルムを当て
２ＫＷ超高圧水銀灯、距離６０ｃｍで５分間露光してか
ら０．５％乳酸水溶液で現像してスクリーン印刷版を得
た。

【００３７】このスクリーン印刷版を用いて炭酸ナトリ
ウムを１０００ｇ中に６０ｇ、他に還元剤、湿潤剤、デ
ンブン粉、バット染料を含むアルカリ性の捺染糊を印刷
試験したところ、１０，０００回のスキージにも感光性
樹脂による画像は損傷が無く、また染料などが膜面を通
過して印刷物を汚すことも無かった。

【００３８】

【実施例２】メチルメタクリレート（ＭＭＡ）４００重
量部、ジメチルアミノエチルメタクリレート（ＤＭＭ
Ａ）３００重量部、ジエチルアミノエチルメタクリレー
ト（ＤＥＭＡ）３００重量部、アゾビスイソブチロニト
リル１２量部、酢酸ブチル１０００重量部を計量して実
施例１と同様の方法で重合反応を行い、粘度６，２００
センチポアズ（２５℃）で平均分子量４８，０００の透
明で粘調なポリマー溶液を得た。ジメチルアミノエチル
メタクリレート（ＤＭＭＡ）、ジエチルアミノエチルメ
タクリレート（ＤＥＭＡ）がこの重合体の最小単位に占
める比率は４７％である。

【００３９】このポリマー溶液１００重量部、トリメチ
ロールプロパントリアクリレート（東亜合成化学工業社
製）２０重量部、有機微粉末（商品名ＭＰ−３００綜研
化学社製）１０重量部、光重合開始剤（商品名イルガ−
キユア６５１チバガイギー社製）３重量部、メチルハイ
ドロキノン０．０２重量部、エチルバイオレット１重量
部、酢酸２重量部、メチルイソブチルケトン２０重量部
を計量してホモミキサーで攪拌して感光性樹脂組成物を
調整した。この感光性樹脂組成物を厚さ２５μｍのポリ
エステルフィルム上に膜厚３０μｍになるように塗布し
８０℃で乾燥した。さらにこの上側に厚さ３０μｍのポ
リエチレンフィルムを保護膜として圧着して感光性樹脂
フィルムを作成した。良く洗浄した厚さ１ｍｍのアルミ
板に、ポリエチレンフィルムを剥離した感光性樹脂フィ
ルムを１００℃で熱圧着した。つぎにネガフィルムを当
て２ＫＷ超高圧水銀灯、距離６０ｃｍで１分間露光して
から０．５％乳酸水溶液で現像してアルミ板上に感光性
樹脂画像を形成した。このアルミ板を水酸化ナトリウム
１５０ｇ、アルミニウム１０ｇを１リッター中に含むエ
ッチング水溶液で、液温７０℃で４分間エッチングして
から５％リンゴ酸水溶液で感光性樹脂画像を剥離したと
ころアルミ板上に８０μｍの深度の鮮明なエッチング画
像がえられた。

【００４０】このアルミ板の加工工程はアルミを腐食し
ない弱酸で感光性樹脂の現像、剥離ができる為、従来の
溶剤を使用する感光性樹脂に較べて火災予防、作業環境
改善、公害防止などに有効である。

【００４１】

【実施例３】前記実施例２の重合反応で得たポリマー溶
液１００重量部、ビスフェノールＡにエチレンオキシド
４モルを付加したもののジアクリレート（商品名ＢＰ−
４ＥＡ、共栄社油脂工業社製）２０重量部、無機微粉末
の酸化アルミニュウム２０重量部、ベンゾフェノン２重
量部、４，４′−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノ
ン０．５重量部、メチルハイドロキノン０．０２重量
部、酢酸２重量部、ブチルカルビトールアセテート２０
重量部を計量して３本ロールで混練りして感光性樹脂組
成物を調整した。

【００４２】この感光性樹脂組成物をステンレス２００
メッシュのスクリーン印刷板を用いて銅による回路が両
面に形成され、しかも孔に触媒が付いたガラスエポキシ
基板の両面に乾燥膜厚２５μｍの厚さになるように塗布
し８０℃で乾燥した。次に、ポジフィルムを当て２ＫＷ
超高圧水銀灯、距離６０ｃｍで３分間露光してから１％
修酸水溶液で現像して孔を残して全面を感光性樹脂画像
で覆った基板を得た。これを次の組成の無電解銅メッキ
液中に浸漬して７０±２℃で２時間メッキした。

【００４３】 硫酸銅 １０ｇ／Ｌ ホルマリン（３７％） ３ｃｃ／Ｌ 水酸化ナトリウム １２ｇ／Ｌ エチレンジアミン四酢酸ナトリウム ３０ｇ／Ｌ α−α′ジピリジル ２５ｍｇ／Ｌ メッキ終了後、１０％リンゴ酸水溶液で感光性樹脂画像
を剥離したところ孔が銅メッキされた両面スルホールプ
リント基板がえられた。

【００４４】この感光性樹脂組成物は高温、高アルカリ
性の無電解銅メッキ液に充分耐え、メッキプロセスのプ
リント回路基板の製造に有用である。

【００４５】

【実施例４】前記実施例１の重合反応で得たポリマー溶
液１００重量部、オリゴエステルアクリレート（商品名
Ｍ−６３００東亜合成化学工業社製）２５重量部、有機
微粉末（商品名ＭＲ−２Ｇ綜研化学社製）１５重量部、
ベンゾフェノン２重量部、４，４−ビス（ジメチルアミ
ノ）ベンゾフェノン０．５重量部、メチルハイドロキノ
ン０．０２重量部、フタロシアニングリーン１重量部、
エチレングリコールモノエチルエーテル３０重量部を計
量して３本ロールで混練りして感光性樹脂組成物を調整
した。この感光性樹脂組成物を厚さ２５μｍのポリエス
テルフィルム上に膜厚７０μｍになるように塗布し８０
℃で乾燥した。さらにこの上側に厚さ３０μｍのポリエ
チレンフィルムを保護膜として圧着して感光性樹脂フィ
ルムを作成した。ガラス板上にプラズマディスプレイの
隔壁形成用のリブペースト（商品名ＰＬＳ−３５５０日
本電気ガラス社製）を１５０μｍの厚さに積層した上に
ポリエチレンフィルムを剥離した感光性樹脂フィルムを
１００℃で熱圧着した。

【００４６】次にスリットパターンのネガフィルムを当
て２ＫＷ超高圧水銀灯、距離１００ｃｍで３間露光して
から０．５％乳酸水溶液で現像してガラス板上に感光性
樹脂画像を形成した。これを８００メッシュのガラスビ
ーズを用いて３ｋｇの空気圧でリブペースト層をブラス
ト加工してから１０％乳酸水溶液で感光性樹脂画像を剥
離したところガラス板上に幅８０μｍ、高さ１５０μｍ
の隔壁がえられた。

【００４７】この加工工程は弱酸で感光性樹脂の現像、
剥離ができる為、従来の金属アルカリ液を使用する感光
性樹脂組成物に較べて、ナトリウム、カリウムなどの金
属イオンによる加工部品の汚染がないので電子加工分野
に有効である。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
火災予防、作業環境の改善、公害防止などに有効な酸性
水溶液で現像、剥離ができる耐水耐アルカリ性を有する
感光性樹脂組成物並びに有効にして的確な感光性樹脂画
像の形成及び剥離方法が得られる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/038 7/30 Ｈ０１Ｌ 21/027

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２種以上のエチレン性不飽和化合物を重
   合の最小単位とする重合体であって、エチレン性不飽和
   化合物の１種以上が下記一般式で表されかつ前記重合体
   の最小単位の合計数が５〜８０％の比率で含まれ、しか
   もその分子量が５，０００〜３００，０００の高分子化
   合物と、末端エチレン基を少なくとも２個有する光重合
   性不飽和化合物と、光重合開始剤とを必須成分とするこ
   とを特徴とした感光性樹脂組成物。 【化１】 Ｒ₁ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ Ｒ₂ ＝直鎖または枝分かれの炭素原子２〜６のアルキレ
   ン基 Ｒ₃ ，Ｒ₄ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ ，−ＣＨ₂ ＣＨ₃
2. 【請求項２】 （１）２種以上のエチレン性不飽和化合
   物を重合の最小単位とする重合体であって、前記エチレ
   ン性不飽和化合物の１種以上が下記一般式で表されかつ
   前記重合体の最小単位の合計数が５〜８０％の比率で含
   まれ、しかもその分子量が５，０００〜３００，０００
   の高分子化合物と、末端エチレン基を少なくとも２個有
   する光重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とを必須成
   分とする感光性樹脂組成物の被膜を物体表面に形成し、 （２）前記感光性樹脂膜上に透明陰画を設置し、 （３）前記透明陰画を通して前記感光性樹脂膜に露光
   し、 （４）末露光部分の感光性樹脂膜を酸性水溶液で徐去す
   ることにより、物体表面に感光性樹脂の画像を形成す
   る、 ことを特徴とした感光性樹脂画像の形成方法。 【化１】 Ｒ₁ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ Ｒ₂ ＝直鎖または枝分かれの炭素原子２〜６のアルキレ
   ン基 Ｒ₃ ，Ｒ₄ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ ，−ＣＨ₂ ＣＨ₃
3. 【請求項３】 （１）２種以上のエチレン性不飽和化合
   物を重合の最小単位とする重合体であって前記エチレン
   性不飽和化合物の１種以上が下記一般式で表されかつ前
   記重合体の最小単位の合計数が５〜８０％の比率で含ま
   れしかもその分子量が５，０００〜３００，０００の高
   分子化合物と、末端エチレン基を少なくとも２個有する
   光重合性不飽和化合物と、光重合開始剤とを必須成分と
   する感光性樹脂組成物の被膜を物体表面に形成し、 （２）前記感光性樹脂膜上に透明陰画を設置し、 （３）前記透明陰画を通して前記感光性樹脂膜に露光
   し、 （４）末露光部分の感光性樹脂膜を酸性水溶液で現像す
   ることにより、物体表面に感光性樹脂の画像を形成し、 （５）前記感光性樹脂画像の利用後に、前記工程（４）
   より酸性の強い酸性水溶液で物体表面に形成された前記
   感光性樹脂画像を除去することを特徴とする感光性樹脂
   画像の形成および剥離方法。 【化１】 Ｒ₁ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ Ｒ₂ ＝直鎖または枝分かれの炭素原子２〜６のアルキレ
   ン基 Ｒ₃ ，Ｒ₄ ＝−Ｈ，−ＣＨ₃ ，−ＣＨ₂ ＣＨ₃