JPH07232905A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPH07232905A JPH07232905A JP2059494A JP2059494A JPH07232905A JP H07232905 A JPH07232905 A JP H07232905A JP 2059494 A JP2059494 A JP 2059494A JP 2059494 A JP2059494 A JP 2059494A JP H07232905 A JPH07232905 A JP H07232905A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 消費電力を増やさず、かつ装置規模を拡大す
ることなくオゾン発生量を増大させることのできるオゾ
ン発生装置を提供する。 【構成】 表面（２ａ）に線状電極（３）を、裏面（２
ｂ）に面状電極（４）を設けた板状絶縁体（２）と、こ
の板状絶縁体の表面側に形成された放電室（９）とから
なり、線状電極と面状電極のそれぞれを交流高圧電源
（８）に接続し、無声沿面放電を生起させることにより
オゾンを発生させるオゾン発生装置（１）において、放
電室（９）の処理ガスの供給口（１１）および／または
排出口（１２）に近接してガス分散装置（１３）を設
け、処理ガスが放電室内を分散して一様に流れるように
したものである。
ることなくオゾン発生量を増大させることのできるオゾ
ン発生装置を提供する。 【構成】 表面（２ａ）に線状電極（３）を、裏面（２
ｂ）に面状電極（４）を設けた板状絶縁体（２）と、こ
の板状絶縁体の表面側に形成された放電室（９）とから
なり、線状電極と面状電極のそれぞれを交流高圧電源
（８）に接続し、無声沿面放電を生起させることにより
オゾンを発生させるオゾン発生装置（１）において、放
電室（９）の処理ガスの供給口（１１）および／または
排出口（１２）に近接してガス分散装置（１３）を設
け、処理ガスが放電室内を分散して一様に流れるように
したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、酸素または空気から
オゾンを生成するために使用されるオゾン発生装置に関
し、特に、表面に線状電極を、裏面に面状電極をそれぞ
れ設けた板状絶縁体と、この板状絶縁体の表面側に設け
られた放電室とからなり、線状電極と面状電極のそれぞ
れを交流高圧電源に接続し、無声沿面放電を生起させる
ことによりオゾンを発生するオゾン発生装置に関するも
のである。
オゾンを生成するために使用されるオゾン発生装置に関
し、特に、表面に線状電極を、裏面に面状電極をそれぞ
れ設けた板状絶縁体と、この板状絶縁体の表面側に設け
られた放電室とからなり、線状電極と面状電極のそれぞ
れを交流高圧電源に接続し、無声沿面放電を生起させる
ことによりオゾンを発生するオゾン発生装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このようなオゾン発生装置は、特
開平１−１１７２４０号および特開平２−２７１９０４
号公報等に記載されているように、オゾン生成のために
広く使用されている。
開平１−１１７２４０号および特開平２−２７１９０４
号公報等に記載されているように、オゾン生成のために
広く使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
この種のオゾン発生装置にあっては、処理ガスが放電室
の一端側に設けられた供給口から供給され、放電室の他
端側に設けられた排出口へ排出されているために、線状
電極の上を流れるガスの分布は、供給口、排出口の位
置、大きさ、ガス流量により一義的に決まっている。
この種のオゾン発生装置にあっては、処理ガスが放電室
の一端側に設けられた供給口から供給され、放電室の他
端側に設けられた排出口へ排出されているために、線状
電極の上を流れるガスの分布は、供給口、排出口の位
置、大きさ、ガス流量により一義的に決まっている。
【０００４】したがって、従来のオゾン発生装置を用
い、オゾン発生量を増大しようとすると、交流電圧を高
くする必要があり、このため消費電力が大きくなるとい
う欠点があった。また、オゾン発生量を増大させるため
に、ガスの流れ方向に、放電室を数室直列に設けること
も知られているが、この場合には、全体として装置規模
が大きくなるという欠点があった。
い、オゾン発生量を増大しようとすると、交流電圧を高
くする必要があり、このため消費電力が大きくなるとい
う欠点があった。また、オゾン発生量を増大させるため
に、ガスの流れ方向に、放電室を数室直列に設けること
も知られているが、この場合には、全体として装置規模
が大きくなるという欠点があった。
【０００５】この発明は、このような欠点を解消するた
めになされたもので、消費電力を増やさず、従来と同様
の装置規模でオゾン発生量を増大させることのできるオ
ゾン発生装置を提供することを目的としている。
めになされたもので、消費電力を増やさず、従来と同様
の装置規模でオゾン発生量を増大させることのできるオ
ゾン発生装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、表面に線状電極を、裏面に面状電極を
それぞれ設けた板状絶縁体と、この板状絶縁体の表面側
に設けられた放電室とからなり、線状電極と面状電極の
それぞれを交流高圧電源に接続し、無声沿面放電を生起
させることによりオゾンを発生させるオゾン発生装置に
おいて、処理ガスの供給口および／または排出口に近接
してガス分散装置を設け、処理ガスが放電室内を分散し
て均一に流れるようにしたものである。
に、この発明は、表面に線状電極を、裏面に面状電極を
それぞれ設けた板状絶縁体と、この板状絶縁体の表面側
に設けられた放電室とからなり、線状電極と面状電極の
それぞれを交流高圧電源に接続し、無声沿面放電を生起
させることによりオゾンを発生させるオゾン発生装置に
おいて、処理ガスの供給口および／または排出口に近接
してガス分散装置を設け、処理ガスが放電室内を分散し
て均一に流れるようにしたものである。
【０００７】放電室は、板状絶縁体の裏面をそれぞれ固
着した上部および下部板体と、この上部および下部板体
の間に介在された長方形のスペーサによって形成される
のが有利であり、ガス分散装置は、放電室内に設けるの
が有利である。ガス分散装置としては、供給口と連通す
る中空部を有する直方体で、放電室の上部板体および／
または下部板体と対向する側に、中空部と連通する複数
の小孔を有するもの、あるいは、長方形の板体で、前記
放電室の上部板体および／または下部板体との間に狭い
間隙を有して取り付けられているものを使用するのがよ
い。
着した上部および下部板体と、この上部および下部板体
の間に介在された長方形のスペーサによって形成される
のが有利であり、ガス分散装置は、放電室内に設けるの
が有利である。ガス分散装置としては、供給口と連通す
る中空部を有する直方体で、放電室の上部板体および／
または下部板体と対向する側に、中空部と連通する複数
の小孔を有するもの、あるいは、長方形の板体で、前記
放電室の上部板体および／または下部板体との間に狭い
間隙を有して取り付けられているものを使用するのがよ
い。
【０００８】板状絶縁体は、セラミック製で、その表面
に、線状電極が等密度に配置されているのが有利であ
り、面状電極には、放熱手段を配設するのが好ましい。
また、放電室内には、一方の板状絶縁体の表面の線状電
極に対向して、他方の板状絶縁体の表面の線状電極を設
けるのが好ましく、さらに、放電室の上部板体と下部板
体は金属からなり、それらの間に介在するスペーサは絶
縁体であるのが好ましい。
に、線状電極が等密度に配置されているのが有利であ
り、面状電極には、放熱手段を配設するのが好ましい。
また、放電室内には、一方の板状絶縁体の表面の線状電
極に対向して、他方の板状絶縁体の表面の線状電極を設
けるのが好ましく、さらに、放電室の上部板体と下部板
体は金属からなり、それらの間に介在するスペーサは絶
縁体であるのが好ましい。
【０００９】
【作用】処理ガスの供給口および／または排出口に近接
してガス分散装置を設け、処理ガスが放電室内を分散し
て均一に流れるようにしたので、ガスが放電室内、特に
線状電極上に一様に分散して流れ、線状電極からの放電
を十分に受けることができ、所定ガス流量に対するオゾ
ン発生量が増加する。放電室を、板状絶縁体の裏面をそ
れぞれ固着した上部および下部板体の間にスペーサを介
在させて形成する場合には、放電室の組立、遮蔽が容易
であり、さらに、分散装置を放電室内に設ける場合に
は、放電室全体の遮蔽が一層容易である。なお、分散装
置としては、供給口と連結された中空部を有する直方体
で、放電室を形成する上部板体および／または下部板体
と対向する側に、中空部と連通する複数の小孔を設けた
り、あるいは、長方形の板体で、放電室の上部板体およ
び／または下部板体との間に狭い間隙を有するように取
り付けたものが、構成が簡単で、かつ所期の効果を奏す
ることができる。
してガス分散装置を設け、処理ガスが放電室内を分散し
て均一に流れるようにしたので、ガスが放電室内、特に
線状電極上に一様に分散して流れ、線状電極からの放電
を十分に受けることができ、所定ガス流量に対するオゾ
ン発生量が増加する。放電室を、板状絶縁体の裏面をそ
れぞれ固着した上部および下部板体の間にスペーサを介
在させて形成する場合には、放電室の組立、遮蔽が容易
であり、さらに、分散装置を放電室内に設ける場合に
は、放電室全体の遮蔽が一層容易である。なお、分散装
置としては、供給口と連結された中空部を有する直方体
で、放電室を形成する上部板体および／または下部板体
と対向する側に、中空部と連通する複数の小孔を設けた
り、あるいは、長方形の板体で、放電室の上部板体およ
び／または下部板体との間に狭い間隙を有するように取
り付けたものが、構成が簡単で、かつ所期の効果を奏す
ることができる。
【００１０】板状絶縁体がセラミック製であれば、樹脂
などの有機材料製とする場合に比して装置の寿命が長
く、また、線条電極は等密度に配置する場合に最も効率
的である。面状電極には、放熱手段を設けて放電による
温度の上昇を防止するのが好ましい。さらに、一方の線
状電極に他方の線状電極が対向するように配置するのが
オゾン発生の効率がよく、放電室の上部板体と下部板体
を金属とし、スペーサを絶縁体とするのが好ましい。な
お、板状絶縁体を樹脂などの有機材料製とする場合はコ
スト的に有利である。
などの有機材料製とする場合に比して装置の寿命が長
く、また、線条電極は等密度に配置する場合に最も効率
的である。面状電極には、放熱手段を設けて放電による
温度の上昇を防止するのが好ましい。さらに、一方の線
状電極に他方の線状電極が対向するように配置するのが
オゾン発生の効率がよく、放電室の上部板体と下部板体
を金属とし、スペーサを絶縁体とするのが好ましい。な
お、板状絶縁体を樹脂などの有機材料製とする場合はコ
スト的に有利である。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例を図に示されたオゾ
ン発生装置について説明する。なお、図中、同一あるい
は相当部分には同一符号が付されている。
ン発生装置について説明する。なお、図中、同一あるい
は相当部分には同一符号が付されている。
【００１２】図１および図２において、１はオゾン発生
装置であり、表面２ａに線状電極３を、裏面２ｂに面状
電極４をそれぞれ設けたセラミック製の板状絶縁体２
と、この板状絶縁体２が接着剤によって固着されている
金属製上部板体５と下部板体６と、これらの上部板体５
と下部板体６の間に介在する長方形のスペーサ７とから
構成されている。金属製の上部および下部板体５，６
は、放熱作用を有し、放電室の温度上昇を防止するもの
で、必要に応じて、冷媒を通じ、または放熱用フィンを
設ける等の放熱手段が講じられる。なお、装置１全体
は、安全のためにシールドされるものである。
装置であり、表面２ａに線状電極３を、裏面２ｂに面状
電極４をそれぞれ設けたセラミック製の板状絶縁体２
と、この板状絶縁体２が接着剤によって固着されている
金属製上部板体５と下部板体６と、これらの上部板体５
と下部板体６の間に介在する長方形のスペーサ７とから
構成されている。金属製の上部および下部板体５，６
は、放熱作用を有し、放電室の温度上昇を防止するもの
で、必要に応じて、冷媒を通じ、または放熱用フィンを
設ける等の放熱手段が講じられる。なお、装置１全体
は、安全のためにシールドされるものである。
【００１３】線状電極３と面状電極４は、接続端子７を
介して交流高圧電源８に接続されている。放電室９は、
長方形のスペーサ１０と、このスペーサ１０を間にはさ
む形で、図示しないボルト、ナットで締付けられた上部
板体５と下部板体６とによって形成されている。なお、
上部板体５および下部板体６には、板状絶縁体２，２が
その裏面２ｂによってそれぞれ固着されており、放電室
９は板状絶縁体２，２の表面側に形成される。
介して交流高圧電源８に接続されている。放電室９は、
長方形のスペーサ１０と、このスペーサ１０を間にはさ
む形で、図示しないボルト、ナットで締付けられた上部
板体５と下部板体６とによって形成されている。なお、
上部板体５および下部板体６には、板状絶縁体２，２が
その裏面２ｂによってそれぞれ固着されており、放電室
９は板状絶縁体２，２の表面側に形成される。
【００１４】スペーサ１０の一方の側壁１０ａには、図
示しないガス供給源に接続するガス供給口１１が、対向
する他方の側壁１０ｂには、ガス排出口１２が設けられ
ている。なお、各図に示される矢印はガスの流れ方向を
示すものである。
示しないガス供給源に接続するガス供給口１１が、対向
する他方の側壁１０ｂには、ガス排出口１２が設けられ
ている。なお、各図に示される矢印はガスの流れ方向を
示すものである。
【００１５】放電室９内のガス供給口１１に近接して、
ガス分散装置である分散筒１３、すなわち、中空部１３
ａを有する樹脂製直方体が取り付けられている。この分
散筒１３の中空部１３ａはガス供給口１１と連通し、ま
た、中空部１３ａは、直方体の分散筒１３の上部板体５
および下部板体６にそれぞれ対向する側に設けられた複
数の小孔１４，１４・・によって放電室９と連通してい
る。
ガス分散装置である分散筒１３、すなわち、中空部１３
ａを有する樹脂製直方体が取り付けられている。この分
散筒１３の中空部１３ａはガス供給口１１と連通し、ま
た、中空部１３ａは、直方体の分散筒１３の上部板体５
および下部板体６にそれぞれ対向する側に設けられた複
数の小孔１４，１４・・によって放電室９と連通してい
る。
【００１６】したがって、ガス供給口１１からオゾン発
生装置１に供給されるガスは、ガス分散装置である直方
体の分散筒１３の中空部１３ａに入り、小孔１４，１４
・・から上部および下部板体５，６に向けて噴出し、角
度を変えて、乱流となって排出口１２に向かう。排出口
１２に近接して、同様の分散筒１３が設けられているい
るので、ガスは均一に分布した状態で排出口１２に流れ
ることとなる。したがって、ガスは、放電室９内で線状
電極３，３の表面に一様に分布して流れることとなり、
線状電極３からの放電効果を均一に受ける。
生装置１に供給されるガスは、ガス分散装置である直方
体の分散筒１３の中空部１３ａに入り、小孔１４，１４
・・から上部および下部板体５，６に向けて噴出し、角
度を変えて、乱流となって排出口１２に向かう。排出口
１２に近接して、同様の分散筒１３が設けられているい
るので、ガスは均一に分布した状態で排出口１２に流れ
ることとなる。したがって、ガスは、放電室９内で線状
電極３，３の表面に一様に分布して流れることとなり、
線状電極３からの放電効果を均一に受ける。
【００１７】図１および図２に示されるオゾン発生装置
１にあっては、排出口１２に近接してガス分散装置であ
る分散筒１３が設けられているが、この分散筒１３を省
略しても、一応の効果を挙げることができ、また、供給
口１１側に近接して設けられた分散筒１３を省略して
も、排出口１２側の分散筒１３によってガスが滞留し、
放電室９内でガスの流れが分散し、一応の効果を挙げる
ことができる。
１にあっては、排出口１２に近接してガス分散装置であ
る分散筒１３が設けられているが、この分散筒１３を省
略しても、一応の効果を挙げることができ、また、供給
口１１側に近接して設けられた分散筒１３を省略して
も、排出口１２側の分散筒１３によってガスが滞留し、
放電室９内でガスの流れが分散し、一応の効果を挙げる
ことができる。
【００１８】図３および図４に示されるこの発明の他の
実施例は、分散装置として分散筒１３に代えて樹脂製板
状の分散板１５を使用したものである。この分散板１５
は長方形で、上部板体５および下部板体６との間に僅か
な間隙１６を置き、また、供給口１１および排出口１２
とも少し間隔を置いて設けられている。したがって、分
散板１５と供給口１１あるいは排出口１２との間には小
部屋１５ａが形成され、この小部屋１５ａに入ったガス
は、ここで滞留し、間隙１６を通って、放電室９内に一
様に分布して流れることとなる。図１および図２の実施
例と同様に、供給口１１側または排出口１２側の分散板
１５を省略しても一応の効果を挙げることができる。
実施例は、分散装置として分散筒１３に代えて樹脂製板
状の分散板１５を使用したものである。この分散板１５
は長方形で、上部板体５および下部板体６との間に僅か
な間隙１６を置き、また、供給口１１および排出口１２
とも少し間隔を置いて設けられている。したがって、分
散板１５と供給口１１あるいは排出口１２との間には小
部屋１５ａが形成され、この小部屋１５ａに入ったガス
は、ここで滞留し、間隙１６を通って、放電室９内に一
様に分布して流れることとなる。図１および図２の実施
例と同様に、供給口１１側または排出口１２側の分散板
１５を省略しても一応の効果を挙げることができる。
【００１９】図５および図６の実施例は、直列の放電室
９，９’を二段に形成したもので、上部板体５と下部板
体６との間に、その両面板状絶縁体２，２の裏面を固着
した中央板体１７を配置し、上部板体５と中央板体１７
の間および下部板体６と中央板体１７の間にスペーサ１
０，１０をそれぞれ介在させて構成したものである。中
央板体１７には、供給口１１から最も遠い部分に、等間
隔に複数のガス連絡口１８が形成されている。したがっ
て、供給口１１から入ったガスは、分散筒１３に滞留
し、小孔１４から噴出して分散し、上部放電室９で一様
な分布で放電効果を受け、さらに、均一に形成された複
数のガス連絡口１８から下部放電室９’に一様に入り、
この下部放電室９’に滞留し、下部の分散筒１３を通っ
て、排出口１２から排出されるものである。
９，９’を二段に形成したもので、上部板体５と下部板
体６との間に、その両面板状絶縁体２，２の裏面を固着
した中央板体１７を配置し、上部板体５と中央板体１７
の間および下部板体６と中央板体１７の間にスペーサ１
０，１０をそれぞれ介在させて構成したものである。中
央板体１７には、供給口１１から最も遠い部分に、等間
隔に複数のガス連絡口１８が形成されている。したがっ
て、供給口１１から入ったガスは、分散筒１３に滞留
し、小孔１４から噴出して分散し、上部放電室９で一様
な分布で放電効果を受け、さらに、均一に形成された複
数のガス連絡口１８から下部放電室９’に一様に入り、
この下部放電室９’に滞留し、下部の分散筒１３を通っ
て、排出口１２から排出されるものである。
【００２０】図７および図８の実施例は、直列の放電室
９，９’を二段に形成したもので、図５および図６の実
施例における分散筒１３，１３を図３および図４に示さ
れる分散板１５，１５に代えたものである。その他の構
成、そして作用効果は図５および図６の実施例と同様で
あり、その説明は省略される。
９，９’を二段に形成したもので、図５および図６の実
施例における分散筒１３，１３を図３および図４に示さ
れる分散板１５，１５に代えたものである。その他の構
成、そして作用効果は図５および図６の実施例と同様で
あり、その説明は省略される。
【００２１】図９および図１０の実施例は、図７および
図８の実施例において、上部放電室９と下部放電室９’
とのガス連絡口１８’を一つとし、供給口１１および排
出口１２から遠いところに設けられた分散板１５，１５
によって形成される上部小部屋１５ａと下部小部屋１５
ａ’とを連通したものである。図７および図８の実施例
に比して、ガスの一様な分布をより一層容易に保つこと
ができる。
図８の実施例において、上部放電室９と下部放電室９’
とのガス連絡口１８’を一つとし、供給口１１および排
出口１２から遠いところに設けられた分散板１５，１５
によって形成される上部小部屋１５ａと下部小部屋１５
ａ’とを連通したものである。図７および図８の実施例
に比して、ガスの一様な分布をより一層容易に保つこと
ができる。
【００２２】図１１は、セラミック製板状絶縁体３に設
けられた線条電極が等密度に設けられているところを示
している。線状電極３はセラミック製板状絶縁体２の表
面に、金属溶射によって形成されたものであり、プリン
トによっても形成することができる。なお、２ｃ，２ｃ
は、取付用のねじ穴である。
けられた線条電極が等密度に設けられているところを示
している。線状電極３はセラミック製板状絶縁体２の表
面に、金属溶射によって形成されたものであり、プリン
トによっても形成することができる。なお、２ｃ，２ｃ
は、取付用のねじ穴である。
【００２３】図１２は、この発明の実施例において、分
散装置として分散筒および分散板を用いた場合と、分散
装置のない従来のオゾン発生装置（図１３と１４を参照
のこと）との対比実験の結果を示すものである。
散装置として分散筒および分散板を用いた場合と、分散
装置のない従来のオゾン発生装置（図１３と１４を参照
のこと）との対比実験の結果を示すものである。
【００２４】実施条件は、次の通りであった。 分散筒の場合 分散板の場合 従来の装置 放電室数 ４室直列 ４室直列 ４室直列 図５，６の例を直列 図７，８の例を直列 図１４の例を直列 主要部寸法 放電室 １３８ｍｍ×９５ｍｍ×３０ｍｍ 同 同 小孔１Φ×１６個 間隙１ｍｍ 電圧 ８．４ｋＶｐーｐ ８．８ｋＨｚ 同 同 得られたガス 酸素（純度９９．９％以上） 同 同
【００２５】図１２から明らかなように、この発明の実
施例によれば、分散装置が分散筒あるいは分散板の場合
にも、従来のオゾン発生装置に比較して、オゾン発生量
が５％ないし７％増加する。
施例によれば、分散装置が分散筒あるいは分散板の場合
にも、従来のオゾン発生装置に比較して、オゾン発生量
が５％ないし７％増加する。
【００２６】
【発明の効果】この発明によれば、従来の装置と同じ消
費電力でより多くのオゾン発生量が得られるので、従来
の装置に比して、電力を節約し、また、装置規模を小さ
くすることができる。
費電力でより多くのオゾン発生量が得られるので、従来
の装置に比して、電力を節約し、また、装置規模を小さ
くすることができる。
【図１】図１はこの発明の実施例を示すオゾン発生装置
の水平面における断面図である。
の水平面における断面図である。
【図２】図１の装置の縦断面図である。
【図３】図３はこの発明の他の実施例を示すオゾン発生
装置の水平面における断面図である。
装置の水平面における断面図である。
【図４】図３の装置の縦断面図である。
【図５】図５はこの発明のさらに他の実施例を示すオゾ
ン発生装置の水平面における断面図である。
ン発生装置の水平面における断面図である。
【図６】図５の装置の縦断面図である。
【図７】図７はこの発明の異なる実施例を示すオゾン発
生装置の水平面における断面図である。
生装置の水平面における断面図である。
【図８】図７の装置の縦断面図である。
【図９】図９はこの発明のさらに異なる実施例を示すオ
ゾン発生装置の水平面における断面図である。
ゾン発生装置の水平面における断面図である。
【図１０】図９の装置の縦断面図である。
【図１１】板状絶縁体の表面平面図である。
【図１２】この発明の装置および従来の装置を使用して
得られた、ガス流量に対するオゾン発生濃度を示すグラ
フである。
得られた、ガス流量に対するオゾン発生濃度を示すグラ
フである。
【図１３】従来のオゾン発生装置の水平面における断面
図である。
図である。
【図１４】図１３に示される従来のオゾン発生装置の縦
断面図である。
断面図である。
１ オゾン発生装置 ２ 板状絶縁体 ２ａ 表面 ２ｂ 裏面 ３ 線状電極 ４ 面状電極 ５ 上部板体 ６ 下部板体 ７ 接続端子 ８ 交流高圧電源 ９，９’ 放電室 １０ スペーサ １１ 供給口 １２ 排出口 １３ 分散筒 １４ 小孔 １５ 分散板 １６ 間隙 １７ 中央絶縁体 １８，１８’ ガス連絡口
Claims (9)
- 【請求項１】 表面に線状電極を、裏面に面状電極をそ
れぞれ設けた板状絶縁体と、この板状絶縁体の表面側に
形成された放電室とからなり、線状電極と面状電極のそ
れぞれを交流高圧電源に接続し、無声沿面放電を生起さ
せることによりオゾンを発生させるオゾン発生装置にお
いて、前記放電室の処理ガスの供給口および／または排
出口に近接してガス分散装置を設け、処理ガスが放電室
内を分散して均一に流れるようにしたことを特徴とする
オゾン発生装置。 - 【請求項２】 上記放電室が、上記板状絶縁体の裏面を
それぞれ固着した上部および下部板体と、この上部およ
び下部板体の間に介在された長方形のスペーサによって
形成されていることを特徴とする請求項１記載のオゾン
発生装置。 - 【請求項３】 上記ガス分散装置が、上記放電室内に設
けられていることを特徴とする請求項１記載のオゾン発
生装置。 - 【請求項４】 上記ガス分散装置が、前記供給口または
排出口と連通する中空部を有する直方体で、前記放電室
を形成する上部板体および／または下部板体と対向する
側に、中空部と連通する複数の小孔を有することを特徴
とする請求項３記載のオゾン発生装置。 - 【請求項５】 前記ガス分散装置が、長方形の板体で、
前記放電室の上部板体および／または下部板体との間に
狭い間隙を有して取り付けられていることを特徴とする
請求項３記載のオゾン発生装置。 - 【請求項６】 前記板状絶縁体がセラミック製であり、
その表面には、前記線状電極が等密度に配置されている
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項
に記載のオゾン発生装置。 - 【請求項７】 前記板状絶縁体が有機材料製であり、そ
の表面には、前記線状電極が等密度に配置されているこ
とを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に
記載のオゾン発生装置。 - 【請求項８】 前記面状電極には、放熱手段が配設され
ていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれ
か１項に記載のオゾン発生装置。 - 【請求項９】 前記放電室内には、一方の板状絶縁体の
表面の線状電極に対向して、他方の板状絶縁体の表面の
線状電極が設けられていることを特徴とする請求項１か
ら請求項７のいずれか１項に記載のオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2059494A JPH07232905A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2059494A JPH07232905A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07232905A true JPH07232905A (ja) | 1995-09-05 |
Family
ID=12031591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2059494A Pending JPH07232905A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07232905A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08253303A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | オゾナイザ用沿面放電ユニットおよびその製法 |
| JP2005334797A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Regal Joint Co Ltd | オゾン水生成装置とオゾン生成装置 |
-
1994
- 1994-02-17 JP JP2059494A patent/JPH07232905A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08253303A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | オゾナイザ用沿面放電ユニットおよびその製法 |
| JP2005334797A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Regal Joint Co Ltd | オゾン水生成装置とオゾン生成装置 |
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