JP2601293B2

JP2601293B2 - オゾン発生装置

Info

Publication number: JP2601293B2
Application number: JP62312997A
Authority: JP
Inventors: 公治松村; 聖一芹川; 恵介志柿
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1987-12-09
Filing date: 1987-12-09
Publication date: 1997-04-16
Anticipated expiration: 2012-04-16
Also published as: JPH01153502A

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は、オゾン発生装置に関する。

（従来の技術）一般に、無声放電によるエネルギーや、水銀放電管か
ら放出される紫外線の光子エネルギー等によって、一部
の酸素分子が解離して原子状態となり、この原子状酸素
が酸素分子と結合して酸素３原子のオゾンが生成する。
無声放電によるオゾン発生装置例として、例えば第６図
に示す装置がある。この図において、平板状の接地電極
（1a）はこれを冷却するために設けられたウォータージ
ャケット（１）の一部として設置されている。この接地
電極（1a）の上方には、平板状の誘電体（２）が接して
配置されており、この誘電体（２）は放電ギャップ
（３）を介して平板状の高圧電極（４）と近接対向して
配置され、この高圧電極（４）の上方には高圧電極
（４）を冷却するための冷却フィン（５）が接して設け
られている。オゾンを生成するための上記放電ギャップ
（３）は高圧電極（４）の下面と誘電体（２）の上面と
の間に形成され、この放電ギャップ（３）は原料ガス入
口（６）およびオゾンガス出口（７）に接続されてい
る。また、上記ウォータージャケット（１）には冷却水
入口（８）と冷却水出口（９）が設置されている。これ
らはすべて筐体（10）の内部に収納されている。

そして、このような構成のオゾン発生装置において、
高圧電極（４）および接地電極（1a）に図示しない高電
圧電源から高電圧を供給し、放電ギャップ（３）内で無
声放電を発生させる。このとき原料ガス入口（６）から
少なくとも酸素を含むガスを上記放電ギャップ（３）内
に供給すると、放電ギャップ（３）内で酸素の一部が活
性化されオゾンが発生する。発生したオゾンは、オゾン
ガス出口（７）から取り出される。一般に放電に伴って
熱が発生し、両電極および放電ギャップ（３）内はかな
り高温となる。第４図は温度とオゾンの分解半減期を示
すグラフで温度が高くなるとオゾンの分解は顕著とな
る。したがって高濃度のオゾンを得るためには効率よく
電極および放電ギャップ（３）を冷却することが必要で
ある。また、このオゾン濃度は第５図のグラフで示すよ
うに、放電ギャップ（３）間隔に対して急峻なピークを
持って変化する。したがって、高濃度のオゾンを得るた
めには限られたギャップ間隔の範囲に上記各電極を設定
していた。また、対向配置した電極間に高電圧を印加
し、無声放電が発生した状態の電極間に原料ガスを供給
してオゾンを発生させるが、このような電極間に形成さ
れた空間に原料を流すと、電極面積が大きくなるほどガ
スの均一分配が困難となり、空間内に淀みが発生し、高
精度のオゾンを得ることができない問題があった。

そこで、対向配置した電極間に曲折した原料ガス流路
を設けて、上記電極間に原料ガスを流した時に発生する
淀みをなくし、高濃度オゾンを発生させようとする試み
が成されている。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、オゾン濃度は、対向配置した電極間に
形成される放電空間の微小な間隔変化に大きく影響を受
けるため、対向配置した電極間に単に曲折した原料ガス
流路を設けるのみでは、安定的に高濃度オゾンを得るこ
とができないという問題があった。

さらに、従来の装置では、原料ガス流路を形成する隔
壁が、電極とは別体に構成されているため、装置の部品
点数が多く、また装置の組立が煩雑であるという問題が
あった。

本発明は上記点に対処してなされたもので、高濃度の
オゾンを安定的にかつ効率よく発生することが可能であ
るとともに、部品点数が少なく、従って組立を容易に行
うことが可能なオゾン発生装置を提供しようとするもの
である。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段）上記問題点を解決するために、本発明は、高圧電極の
高圧電極面と接地電極の接地電極面とを対向配置し、上
記高圧電極面と上記接地電極面との間に仕切り板で曲折
された流路を設け、この流路の供給口から原料ガスを供
給し、上記高圧電極面と上記接地電極面間に電圧を印加
してオゾンを発生させる装置において、上記接地電極面
には誘電体面が形成され、上記高圧電極と一体的に構成
された上記仕切り板により上記高圧電極面と上記誘電体
面との間隔が0.4mm乃至0.6mmに形成されることを特徴と
している。

（作用）以上のように、本発明によれば、高圧電極と一体的に
構成された仕切り板により、高圧電極面と誘電体面との
間隔が0.4mm乃至0.6mmの曲折路として構成されるので、
この間隔路（すなわち、曲折した流路）に沿って、原料
ガスが流速を低下させずに通過し、曲折路である放電空
間内で、印加電圧によって加速された電子高濃度のオゾ
ンを安定的に発生させる。

（実施例）以下、本発明装置の一実施例につき図面を参照して説
明する。第１図に示すように、例えばテフロン（登録商
標）製のケース（20）で囲まれたオゾン発生部（21）内
の下方には、例えばアルミニウム製のウォータージャケ
ット（22）が配置されており、このウォータージャケッ
ト（22）の上面側は接地電極（22a）を兼ねている。こ
の接地電極（22a）を形成するために上記ウォータージ
ャケット（22）は接地されている。この接地電極（22
a）の上面には例えばセラミックスまたはガラス等の多
孔質の誘電体（23）が接して配置している。この誘電体
（23）の上方には、上面に放熱フィン（24）を備えた高
圧電極（25）が上記誘電体（23）と接触状態に設けられ
ている。この高圧電極（25）は、第２図に示すように原
料ガス入口（26）から供給される原料ガスを蛇行状に流
導する如く、接地電極（22a）と高圧電極（25）との間
に相対的に突出部が形成されるように、例えば複数の仕
切り板（25a）が高圧電極（25）から突出した形状に構
成され、この仕切り板（25a）により原料ガスの流路を
曲折した状態に設けている。そして、上記原料ガス入口
（26）から供給された原料ガスが曲折した流路を複数回
蛇行した後に上記高圧電極（25）部から排出される如
く、ガス排出口（27）が設けられている。このように構
成された高圧電極（25）部を第３図に示す如く上記複数
の仕切り板（25a）の高さにより所望間隔の放電空間（2
8）を形成し、この放電空間（28）内を上記原料ガス例
えば酸素ガスを流して、この放電空間（28）に放電を発
生させることにより酸素ガスからオゾンを発生させる構
造となっている。また、上記仕切り板（25a）は、高圧
電極（25）の一部として構成されているので、本装置構
成によれば、部品点数を少なくでき、従って組立工程の
数も軽減できる。

このように構成された高圧電極（25）の原料ガス入口
（26）と対応する上記ケース（20）の位置に原料ガス供
給口（29）が接続しており、この原料ガス供給口（29）
は、ガス流量調節器（30）を備えた酸素供給源（31）に
連設している。また、上記高圧電極（25）のガス排出口
（27）と対応する上記ケース（20）の位置に排出口（3
2）が接続しており、この排出口（32）は図示しないオ
ゾンを必要とする装置に接続している。

また、上記ウォータージャケット（22）は冷却水入口
（33）と冷却水出口（34）を介して冷却水循環装置（3
5）に接続しており、上記接地電極（22a）を冷却可能と
している。このウォータージャケット（22）と上記放熱
フィン（24）は高電圧高周波電源（36）に電気的に接続
されている。このようにしてオゾン発生装置が構成され
ている。

次に、上述した構成のオゾン発生装置の動作を説明す
る。まず、高電圧高周波電源（36）で周波数例えば３〜
20KHz、電圧例えばピーク値３〜10KVの高周波高電圧を
発生して放熱フィン（24）及びウォータージャケット
（22）を通じて夫々高電圧電極（25）と接地電極（22
a）へ供給する。すると、放電空間（28）内で、危険で
ありオゾンの発生効率を悪化させるコロナ放電を防ぐ誘
電体（23）の作用で無声放電が発生する。この時、酸素
供給源（31）から供給された酸素ガスをガス流量調節器
（30）で所望流量に調節し、原料ガス供給口（29）から
上記放電空間（28）内に流入させる。ここで、放電に伴
って発生し、高電圧によって加速された電子は酸素分子
に衝突すると酸素原子ラジカルが生成され、この生成さ
れた酸素原子ラジカルは酸素分子と結合し、オゾンを発
生させる。この時、上記原料ガス供給口（29）から放電
空間（28）内に流入した酸素ガスは、曲折した流路に沿
って蛇行状態に流導される。この酸素ガスが蛇行状態に
流導されることにより、上記複数の仕切り板（25a）を
設けない場合の酸素ガスの流路に比べて、放電空間（2
8）が同スペースにもかかわらず流路が長くなり、この
放電空間（28）内における放電を有効に使用することが
でき、上記仕切り板（25a）を設けない場合と同量の酸
素ガスを供給しても、より高濃度なオゾンを生成するこ
とが可能となる。

このような高濃度のオゾンを発生させる場合、上記放
電空間（28）と生成されるオゾン濃度との間に急峻なピ
ークが存在し（第６図）、放電空間（28）の微小な間隔
変化に対して、オゾン濃度は大きく影響を受ける。そこ
で、本実施例によれば、上記酸素ガスの流路を形成する
ために、高圧電極（25）と一体的に構成した仕切り板
（25a）をスペーサーとして機能させ、この仕切り板（2
5a）の高さを所望の放電間隔、例えば、0.4mm〜0.6mm程
度（第５図を参照のこと。）に設定することにより、安
定的に高濃度のオゾンを得ることができる。

また、上記複数の仕切り板（25a）により曲折した原
料ガスの流路を形成することにより、効率よく放電空間
（28）を使用するため、上記流路内に原料ガスの淀みを
発生することなく、放電を効率よくオゾンの発生に寄与
させ、装置をコンパクトにすることもできる。

上記両電極（25）（22a）間に放電を起こさせる際、
この両電極（25）（22a）が発熱するため、例えば高圧
電極（25）の上面に接して設けた放熱フィン（24）で高
圧電極（25）を冷却し、接地電極（22a）と一体化した
ウォータージャケット（22）内の冷却水を冷却水循環装
置（35）により循環させることにより接地電極（22a）
を冷却することができ、加熱による装置の危険性を緩和
することができる。

（発明の効果）以上述べたように、本発明によれば、仕切り板により
高圧電極面と誘電体面との間に形成される放電空間の間
隔を0.4mm〜0.6mmの曲折した流路としたので、第５図に
示すように、高濃度オゾンを安定的に得ることができ
る。また、本発明によれば、高圧電極と仕切り板とを一
体的に構成するので部品点数を減らすとともに組立工程
数も軽減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の一実施例を説明するためのオゾン
発生装置の構成図、第２図，第３図は第１図の原料ガス
流路の説明図、第４図は温度とオゾン分解半減期の関係
を示す曲線図、第５図は放電空間の間隔と発生するオゾ
ン濃度の関係を示す曲線図、第６図は従来のオゾン発生
装置の構成図である。 21……オゾン発生部、22a……接地電極、 25……高圧電極、28……放電空間、 36……高電圧高周波電源。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】高圧電極の高圧電極面と接地電極の接地電
極面とを対向配置し、前記高圧電極面と前記接地電極面
との間に仕切り板で曲折された流路を設け、この流路の
供給口から原料ガスを供給し、前記高圧電極面と前記接
地電極面間に電圧を印加してオゾンを発生させる装置に
おいて、前記接地電極面には誘電体面が形成され、前記高圧電極
と一体的に構成された前記仕切り板により前記高圧電極
面と前記誘電体面との間隔が0.4mm乃至0.6mmに形成され
ることを特徴とする、オゾン発生装置。