JPH10203805A - オゾン発生装置 - Google Patents

オゾン発生装置

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JPH10203805A
JPH10203805A JP1974497A JP1974497A JPH10203805A JP H10203805 A JPH10203805 A JP H10203805A JP 1974497 A JP1974497 A JP 1974497A JP 1974497 A JP1974497 A JP 1974497A JP H10203805 A JPH10203805 A JP H10203805A
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JP
Japan
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ozone
gas
discharge space
discharge
resistance plate
Prior art date
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Pending
Application number
JP1974497A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirokuni Ishikawa
博邦 石川
Etsuji Fujii
悦司 藤井
Junji Fujii
順二 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
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Publication date
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  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 沿面放電式オゾン発生装置における原料ガス
と放電空間との接触を良好にし、放電空間の温度上昇を
押さえてオゾン化効率を向上させる。 【解決手段】 一方端に原料ガスの流入口2を他方端に
オゾン化ガスを取り出す取出口3をそなえてガス流路を
形成するオゾン発生チャンバ1と、前記オゾン発生チャ
ンバ1内に、高周波高電圧電源に接続された放電電極8
と接地電極6との間に誘電体7を有し沿面放電によりオ
ゾンを発生させるオゾン発生手段4を前記ガス流路に沿
って複数個そなえ、ガス流路の上流側の面を下流側に傾
斜させ、その先端部がオゾン発生装置の放電空間9に対
向して狭い流通路14を形成するようにした複数個の気
流抵抗板11、12、13を設け、原料ガスを前記気流
抵抗板の傾斜面aに沿って放電空間9に向かって吹き付
けて乱流を生じさせ、流通路14を通ったガスが気流抵
抗板の下流側で撹拌させるようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、沿面放電によって
オゾンを発生させるオゾン発生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】沿面放電式オゾン発生装置は、オゾン発
生チャンバ内に、放電電極と、接地電極と、電極間に挟
んだ誘電体からなるオゾン発生手段を設け、放電電極に
高周波高電圧を印加して、放電電極の放電面から誘電体
の沿面方向に沿って放電を発生させ、酸素分子を含む原
料ガスを放電電極面側に流すことにより放電空間中で原
料ガス中の酸素分子の一部がオゾンに転化され、オゾン
化ガスを得るようにしているが、放電空間は通常のオゾ
ナイザ素子に印加する電圧範囲(10kVp-p 以下)で
は、放電電極から1mm以下の範囲であり、チャンバ内
の原料ガスが層流になっているため十分なオゾン化がで
きず効率が低かった。このため、特開平7−33407
号に示されたオゾン発生装置では、チャンバ内に乱流発
生手段を設けて原料ガスを乱流状態にし、この乱流部分
に接する位置に放電手段をそなえるようにしたものが提
案されている。また、特開平8−183604号にもパ
ルスストリーマコロナ放電管を用いたオゾン発生装置に
おいて、オゾン発生管内の原料ガスを乱流状態にするこ
とが示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、オゾン発生チ
ャンバ内の原料ガスに乱流を生じさせるためにガスの流
路に直立させた気流抵抗板を設け、この気流抵抗板の下
流側にオゾン発生用の電極を配置するようにしたもので
は、気流抵抗板の下流側でガス流の乱流を生じるが、乱
流になったガスがオゾン発生電極上方の広くなった部分
を流れるため、オゾン発生装置の電圧範囲との接触が不
十分で、オゾン発生効率が十分に得られない。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、この点にかん
がみ気流抵抗板を改良して、原料ガスをオゾン発生手段
の放電空間に吹き付けるようにし、オゾン発生効率を向
上させるもので、一方端に原料ガスの流入口を他方端に
オゾン化ガスを取り出す取出口をそなえてガス流路を形
成するオゾン発生チャンバと、このオゾン発生チャンバ
内に、沿面放電によりオゾンを発生させるオゾン発生手
段と、ガス流路の上流側の面を下流側に傾斜させ、その
先端部がオゾン発生手段の放電空間に対向して狭い流通
路を形成するようにした気流抵抗板を設けており、原料
ガスが前記気流抵抗板の傾斜面によってオゾン発生手段
の放電空間に向かって吹き付けられ、オゾン発生手段に
当たって放電空間内で乱流を生じてオゾン化が行われ、
オゾン化された原料ガスが狭い流通路から気流抵抗板の
下流側に流れ込んで撹拌されるようにしている。
【0005】
【発明の実施の形態】このため、一方端に原料ガスの流
入口を、他方端に取出口をそなえたオゾン発生チャンバ
と、このオゾン発生チャンバ内の底部に、抵抗板を介し
て設けた接地電極との間に誘電体を挟んだ放電電極で構
成されたオゾン発生手段をそなえ、このオゾン発生手段
より上流側にオゾン発生チャンバの上部に取り付けた気
流抵抗板を設け、前記気流抵抗板の上流側の面を先端部
が下流側になるように傾斜する傾斜面に形成させて、そ
の先端部を前記オゾン発生手段の放電電極に向けて放電
電極との間に流通路を形成するように対向させており、
流入口からの原料ガスが気流抵抗板の傾斜面によって放
電電極の放電空間に向けて吹き付けられ、オゾン発生手
段に当たって放電空間内で乱流を生じてオゾン化され、
オゾン化された原料ガスが流通路を通って気流抵抗板の
下流側に流れ込んで、気流抵抗板下流側で発生したオゾ
ンと十分に撹拌混合させるようにしてある。また、オゾ
ン発生手段と気流抵抗板を、それぞれガス流路に沿って
複数個そなえ、撹拌混合された原料ガスを順次つぎの気
流抵抗板の傾斜面によってつぎの放電電極の放電空間に
向けて吹き付けるようにしている。
【0006】
【実施例】これを図に示す実施例について説明する。1
はオゾン発生チャンバ、2はオゾン発生チャンバの一方
端に設け、乾燥空気または酸素分子を含むガスからなる
原料ガスを導入する流入口、3はオゾン発生チャンバの
他方端に設けオゾンを含むガスを取り出す取出口で、流
入口2から取出口3に至るガス流路を形成している。4
はオゾン発生手段で、オゾン発生チャンバ1内の底部に
抵抗板5を介して設けた接地電極6との間に誘電体7を
挟んだ放電電極8で構成され、ガス流路に沿って複数個
(図の実施例では3個)設けている。9はオゾン発生手
段の放電空間、11、12、13はオゾン発生チャンバ
1の上部に取り付けた気流抵抗板で、ガス流路に対して
上流側の面を先端部が下流側になるようにした傾斜面a
に形成させ、この先端部を前記オゾン発生手段4の放電
空間9に向けて放電電極6との間に狭い流通路14を形
成するように対向させている。
【0007】放電電極8と接地電極6との間に図示しな
い電源から高周波高電圧を印加すると、放電電極8の放
電面から誘電体7の沿面方向に沿って放電を発生する。
このオゾン発生チャンバ1内に流入口2から送入され、
あるいは取出口3から吸引してガス流路に送り込まれた
原料ガスは、流入口2側の気流抵抗板11の上流側の傾
斜面aに当たって、オゾン発生手段4の放電空間9に向
かって吹き付けられ、オゾン発生手段4に当たって乱流
を生じ、原料ガス中の酸素分子が放電空間9と有効に接
触してオゾン化される。このオゾンを含んだガスは、狭
い流通路14を通って前記気流抵抗板11の下流側の広
くなった空間に流れ込み、気流抵抗板11の下流側空間
で乱流を生じて発生したオゾンを撹拌混合させ、つぎの
気流抵抗板12の上流側の傾斜面aに沿って、つぎのオ
ゾン発生手段4の放電空間9に向かって吹き付けられ
る。
【0008】このように、流入口2から導入された原料
ガスは、気流抵抗板の傾斜面aに当たってオゾン発生手
段の放電空間9に向かって吹き付けられ、吹き付けによ
り原料ガス中の多くの酸素分子が放電空間9と接触して
オゾン化され、狭い流通路14から気流抵抗板の下流側
の広い空間に流れ込んで乱流を生じ、原料ガス中のオゾ
ンの撹拌混合を行い、十分に混合されたガスがつぎの気
流抵抗板の傾斜面によってつぎのオゾン発生手段の放電
空間に吹き付けられ、順次同様に繰り返して取出口3か
ら取り出される。
【0009】なお、オゾン発生手段の数および気流抵抗
板の数は図の実施例に限らるものではなく、原料ガスの
流入量やオゾン化の要求される程度によって1個あるい
は複数個をそなえ、多数の場合は、オゾン発生チャンバ
内に複数のガス流路を設けたり、屈曲させたガス流路を
形成させることもできる。また、オゾン発生チャンバは
縦型にしてもよい。
【0010】
【発明の効果】このように流入口からオゾン発生チャン
バ内に導入された原料ガスは、ガス流路に設けた気流抵
抗板の上流側の傾斜面に沿って、オゾン発生手段の放電
空間に吹き付けられ乱流を生じてオゾン化され、放電電
極との狭い流通路を通るためオゾン発生手段の上部を素
通りするガスが少なくなるだけでなく、気流抵抗板の下
流側に流れ込んだ原料ガスは、発生したオゾンとオゾン
化されなかった酸素分子とを撹拌混合されるようにして
あるのて、原料ガスと放電空間との接触が有効に行わ
れ、オゾン化が向上するとともに、傾斜面によって原料
ガスが放電空間に吹き付けられるので、放電空間の温度
上昇を押さえ、オゾンの生成効率を高めることができる
効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例を示す側断面図である。
【図2】 図1のA−A線に沿う断面図である。
【符号の説明】
1 オゾン発生チャンバ 2 流入口 3 取出口 4 オゾン発生手段 5 抵抗板 6 接地電極 7 誘電体 8 放電電極 9 放電空間 11、12、13 気流抵抗板 14 流通路 a 傾斜面

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一方端に原料ガスの流入口を他方端にオ
    ゾン化ガスを取り出す取出口をそなえてガス流路を形成
    するオゾン発生チャンバと、このオゾン発生チャンバ内
    に、高周波高電圧電源に接続された放電電極と接地電極
    との間に誘電体を有し沿面放電によりオゾンを発生させ
    るオゾン発生手段と、ガス流路の上流側の面を下流側に
    傾斜させ、その先端部が前記オゾン発生手段の放電電極
    に対向して流通路を形成するように取り付けた気流抵抗
    板とを設け、原料ガスが前記気流抵抗板の傾斜面によっ
    て放電空間に向かって吹き付けられ、放電空間内で乱流
    を生じてオゾン化され、流通路から気流抵抗板の下流側
    に流れて撹拌させることを特徴とするオゾン発生装置。
  2. 【請求項2】 前記オゾン発生手段と気流抵抗板が、
    オゾン発生チャンバ内に、ガス流路に沿って複数個設け
    られている請求項1のオゾン発生装置。
JP1974497A 1997-01-17 1997-01-17 オゾン発生装置 Pending JPH10203805A (ja)

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