JPH1160205A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPH1160205A JPH1160205A JP22316297A JP22316297A JPH1160205A JP H1160205 A JPH1160205 A JP H1160205A JP 22316297 A JP22316297 A JP 22316297A JP 22316297 A JP22316297 A JP 22316297A JP H1160205 A JPH1160205 A JP H1160205A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来と同様のオゾン発生手段をそなえて、
原料ガスと放電領域との接触を有効に行わせ、オゾン発
生率を向上させる。 【解決手段】 チャンバ１内に、放電電極１１と、この
放電電極１１に誘電体１２を介して対向する接地電極１
３をそなえ、前記電極間に高周波高電圧５を印加して沿
面放電６を発生させるオゾン発生手段２を設けている。
このチャンバ１の放電電極１１と対向する側面にガス吹
込口３を設ける。ガス吹込口３からチャンバ１内の流通
空間１０を横切って、原料ガスを放電電極１１の表面に
向かって吹き付ける。原料ガスの吹き付けの方向は、放
電電極１１に直角、またはチャンバ１の一方端に設けた
取出口４の方へ傾斜させる。
原料ガスと放電領域との接触を有効に行わせ、オゾン発
生率を向上させる。 【解決手段】 チャンバ１内に、放電電極１１と、この
放電電極１１に誘電体１２を介して対向する接地電極１
３をそなえ、前記電極間に高周波高電圧５を印加して沿
面放電６を発生させるオゾン発生手段２を設けている。
このチャンバ１の放電電極１１と対向する側面にガス吹
込口３を設ける。ガス吹込口３からチャンバ１内の流通
空間１０を横切って、原料ガスを放電電極１１の表面に
向かって吹き付ける。原料ガスの吹き付けの方向は、放
電電極１１に直角、またはチャンバ１の一方端に設けた
取出口４の方へ傾斜させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、沿面放電によって
オゾンを発生させるオゾン発生装置に関する。
オゾンを発生させるオゾン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、沿面放電式オゾン発生装置は、た
とえば図５に示すように、横長の箱体状に形成したチャ
ンバ１内の一方側にオゾン発生手段２を収納設置し、前
記オゾン発生手段の放電電極とチャンバ側面の間に形成
された流通空間１０の一方の端に、原料ガスである空気
を取り込むガス吹込口３をそなえ、他方の端にオゾンを
含む空気を回収するためのガス取出口４を設けている。
５はオゾン発生手段２の高周波高電圧電源、６は沿面放
電である。オゾン発生手段２は、たとえば厚さ３ｍｍの
ステンレス鋼板（ＳＵＳ３１６）をチャンバの幅と長さ
に応じて帯状にした放電電極１１と、この放電電極１１
との間にアルミナなどのセラミックからなる誘電体１２
を挟んで、厚さ３ｍｍのステンレス鋼板を放電電極１１
より広くした接地電極１３と、接地電極１３を固定支持
し放電電極１１と接地電極１３との間に表面漏れ電流が
流れるのを防ぐ絶縁体１４とで構成されており、このよ
うなオゾン発生手段をチャンバ１内に１個あるいは長さ
方向に分割して複数個そなえている。
とえば図５に示すように、横長の箱体状に形成したチャ
ンバ１内の一方側にオゾン発生手段２を収納設置し、前
記オゾン発生手段の放電電極とチャンバ側面の間に形成
された流通空間１０の一方の端に、原料ガスである空気
を取り込むガス吹込口３をそなえ、他方の端にオゾンを
含む空気を回収するためのガス取出口４を設けている。
５はオゾン発生手段２の高周波高電圧電源、６は沿面放
電である。オゾン発生手段２は、たとえば厚さ３ｍｍの
ステンレス鋼板（ＳＵＳ３１６）をチャンバの幅と長さ
に応じて帯状にした放電電極１１と、この放電電極１１
との間にアルミナなどのセラミックからなる誘電体１２
を挟んで、厚さ３ｍｍのステンレス鋼板を放電電極１１
より広くした接地電極１３と、接地電極１３を固定支持
し放電電極１１と接地電極１３との間に表面漏れ電流が
流れるのを防ぐ絶縁体１４とで構成されており、このよ
うなオゾン発生手段をチャンバ１内に１個あるいは長さ
方向に分割して複数個そなえている。
【０００３】このオゾン発生手段２の電極間に高周波高
電圧電源５から高電圧を印加して、放電電極１１から誘
電体１２の沿面方向に沿って沿面放電６を発生させ、ガ
ス吹込口３からチャンバ１内に原料ガスである空気を供
給すると、チャンバ内の広い流通空間１０に流通させた
原料ガス中に含まれる酸素分子の一部が、前記沿面放電
の放電領域に接触してオゾンに転化し、ガス取出口４か
らオゾン化ガスを得るようにしている。なお、このよう
なオゾン発生装置のオゾン発生量を増加させるために、
たとえば、特開平７−３３４０７号のように、チャンバ
内を流通する原料ガスに乱流を派生させるものが提案さ
れている。
電圧電源５から高電圧を印加して、放電電極１１から誘
電体１２の沿面方向に沿って沿面放電６を発生させ、ガ
ス吹込口３からチャンバ１内に原料ガスである空気を供
給すると、チャンバ内の広い流通空間１０に流通させた
原料ガス中に含まれる酸素分子の一部が、前記沿面放電
の放電領域に接触してオゾンに転化し、ガス取出口４か
らオゾン化ガスを得るようにしている。なお、このよう
なオゾン発生装置のオゾン発生量を増加させるために、
たとえば、特開平７−３３４０７号のように、チャンバ
内を流通する原料ガスに乱流を派生させるものが提案さ
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、放電電極１
１から発生する沿面放電６の放電領域は、通常のオゾナ
イザ素子に印加する電圧範囲（１０ｋＶ以下）では、放
電電極から２ｍｍ以下の範囲であり、原料ガスはチャン
バ１内の流通空間１０を層流となって通過し、ほとんど
の原料ガスが放電領域に触れないままでガス取出口４か
ら排出され、高濃度のオゾン発生が期待できなかった。
また、チャンバ１内に乱流発生手段を設け、この乱流部
分に放電手段を配置させたものでは、原料ガス中の酸素
と放電領域との接触が増大してオゾン発生率を向上させ
ることができるが、チャンバ内の構造が複雑化し、原料
ガスの流通抵抗が大きくなるため、原料ガスの吹き込み
あるいは吸い出し力を強くしないと各乱流発生手段での
均一な乱流発生が行われず、緩い流れで通過すると乱流
が発生しない欠点がある。本発明は、従来と同様のオゾ
ン発生手段を設けたオゾン発生装置において、構造を複
雑にしないで、原料ガスと放電領域との接触を有効に行
わせるようにするものである。
１から発生する沿面放電６の放電領域は、通常のオゾナ
イザ素子に印加する電圧範囲（１０ｋＶ以下）では、放
電電極から２ｍｍ以下の範囲であり、原料ガスはチャン
バ１内の流通空間１０を層流となって通過し、ほとんど
の原料ガスが放電領域に触れないままでガス取出口４か
ら排出され、高濃度のオゾン発生が期待できなかった。
また、チャンバ１内に乱流発生手段を設け、この乱流部
分に放電手段を配置させたものでは、原料ガス中の酸素
と放電領域との接触が増大してオゾン発生率を向上させ
ることができるが、チャンバ内の構造が複雑化し、原料
ガスの流通抵抗が大きくなるため、原料ガスの吹き込み
あるいは吸い出し力を強くしないと各乱流発生手段での
均一な乱流発生が行われず、緩い流れで通過すると乱流
が発生しない欠点がある。本発明は、従来と同様のオゾ
ン発生手段を設けたオゾン発生装置において、構造を複
雑にしないで、原料ガスと放電領域との接触を有効に行
わせるようにするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このため、放電電極と、
この放電電極に誘電体を介して対向する接地電極をそな
え、前記電極間に高周波高電圧を印加して沿面放電を発
生させるオゾン発生手段をチャンバ内に設け、この放電
電極に対向するチャンバ側面に原料ガスのガス吹込口を
設け、原料ガスが流通空間を横切って放電電極の上面に
吹き付けられるようにしている。なお、前記ガス吹込口
は、オゾン発生手段の長さ方向に分割してチャンバ側面
の複数個所から放電電極面に吹き付けるようにすること
ができ、これらのガス吹込口を、放電電極面に対してガ
ス取出口の方向に傾斜させることが望ましい。また、吹
込口から放電電極の上面に吹き込ませた原料ガスが電極
面で拡散するので、チャンバ内のガスの流れを助けるた
め、ガス取出口と反対の他方端からキャリヤガスを吹き
込むようにするとよい。
この放電電極に誘電体を介して対向する接地電極をそな
え、前記電極間に高周波高電圧を印加して沿面放電を発
生させるオゾン発生手段をチャンバ内に設け、この放電
電極に対向するチャンバ側面に原料ガスのガス吹込口を
設け、原料ガスが流通空間を横切って放電電極の上面に
吹き付けられるようにしている。なお、前記ガス吹込口
は、オゾン発生手段の長さ方向に分割してチャンバ側面
の複数個所から放電電極面に吹き付けるようにすること
ができ、これらのガス吹込口を、放電電極面に対してガ
ス取出口の方向に傾斜させることが望ましい。また、吹
込口から放電電極の上面に吹き込ませた原料ガスが電極
面で拡散するので、チャンバ内のガスの流れを助けるた
め、ガス取出口と反対の他方端からキャリヤガスを吹き
込むようにするとよい。
【０００６】
【発明の実施の形態】細長い形状にしたチャンバの中
に、放電電極と誘電体および接地電極をそなえて沿面放
電を発生させ、この放電領域に接触する酸素分子をオゾ
ン化させるオゾン発生手段を設け、前記チャンバの放電
電極と対向する側面に、放電電極面に向かって原料ガス
を吹き付けるようにしたガス吹込口を設け、チャンバ内
の流通空間の端部にガス取出口をそなえている。したが
って、ガス吹込口から供給される原料ガスは、チャンバ
内の広い流通空間を横切ってオゾン発生手段の放電領域
に向けて直接吹き込まれ、原料ガス中の酸素分子と放電
領域との接触率が向上する。なお、この原料ガスのガス
吹込口は、チャンバ側面に１個所あるいはオゾン発生手
段に沿って複数個所に分割して設けることができ、ガス
吹込口の方向を、ガス取出口の方へ傾斜させ、オゾン発
生手段に当たった原料ガスが、取出口の方向へ流れるよ
うにしてある。また、チャンバ内の流通空間の端部に設
けたガス取出口に対して反対側の端部に、キャリヤガス
の送込口をそなえ、チャンバ内に少量のキャリヤガスを
送り込むことにより、放電電極に当たって拡散したオゾ
ン化されたガスが、チャンバ内に滞留しないでガス取出
口に送られるようにしている。
に、放電電極と誘電体および接地電極をそなえて沿面放
電を発生させ、この放電領域に接触する酸素分子をオゾ
ン化させるオゾン発生手段を設け、前記チャンバの放電
電極と対向する側面に、放電電極面に向かって原料ガス
を吹き付けるようにしたガス吹込口を設け、チャンバ内
の流通空間の端部にガス取出口をそなえている。したが
って、ガス吹込口から供給される原料ガスは、チャンバ
内の広い流通空間を横切ってオゾン発生手段の放電領域
に向けて直接吹き込まれ、原料ガス中の酸素分子と放電
領域との接触率が向上する。なお、この原料ガスのガス
吹込口は、チャンバ側面に１個所あるいはオゾン発生手
段に沿って複数個所に分割して設けることができ、ガス
吹込口の方向を、ガス取出口の方へ傾斜させ、オゾン発
生手段に当たった原料ガスが、取出口の方向へ流れるよ
うにしてある。また、チャンバ内の流通空間の端部に設
けたガス取出口に対して反対側の端部に、キャリヤガス
の送込口をそなえ、チャンバ内に少量のキャリヤガスを
送り込むことにより、放電電極に当たって拡散したオゾ
ン化されたガスが、チャンバ内に滞留しないでガス取出
口に送られるようにしている。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を図に示す実施例に基づいて説
明する。図１および図２に示す第１の実施例において、
１はチャンバ、２は前記チャンバ内の一方側に設置した
オゾン発生手段で、その放電電極１１と対向するチャン
バ側面との間に流通空間１０を形成している。３は前記
放電電極と対向するチャンバ側面に設けたガス吹込口、
４はチャンバ１内の流通空間１０の一方の端部に設け、
オゾンを含む空気を回収するためのガス取出口、５は高
周波高電圧電源、６は沿面放電である。なお、オゾン発
生手段２は、図５に示したものと同じものを設けてい
る。オゾン発生手段２の電極間に高周波高電圧電源５か
ら高電圧を印加し、放電電極１１から誘電体１２の沿面
方向に沿って、いわゆる沿面放電６を発生させた状態
で、ガス吹込口３から原料ガスを供給すると、原料ガス
は流通空間１０を横切って放電電極１１の表面に向かっ
て吹き込まれ、放電電極１１の表面に当たって拡散し、
ほとんど全部の原料ガスが電極周囲の放電領域に接触し
て多量の酸素分子がオゾン化される。また、このオゾン
化とともに原料ガスの吹き付けによってオゾン発生手段
２が冷却され、熱によるオゾンの分解量を減少させる。
明する。図１および図２に示す第１の実施例において、
１はチャンバ、２は前記チャンバ内の一方側に設置した
オゾン発生手段で、その放電電極１１と対向するチャン
バ側面との間に流通空間１０を形成している。３は前記
放電電極と対向するチャンバ側面に設けたガス吹込口、
４はチャンバ１内の流通空間１０の一方の端部に設け、
オゾンを含む空気を回収するためのガス取出口、５は高
周波高電圧電源、６は沿面放電である。なお、オゾン発
生手段２は、図５に示したものと同じものを設けてい
る。オゾン発生手段２の電極間に高周波高電圧電源５か
ら高電圧を印加し、放電電極１１から誘電体１２の沿面
方向に沿って、いわゆる沿面放電６を発生させた状態
で、ガス吹込口３から原料ガスを供給すると、原料ガス
は流通空間１０を横切って放電電極１１の表面に向かっ
て吹き込まれ、放電電極１１の表面に当たって拡散し、
ほとんど全部の原料ガスが電極周囲の放電領域に接触し
て多量の酸素分子がオゾン化される。また、このオゾン
化とともに原料ガスの吹き付けによってオゾン発生手段
２が冷却され、熱によるオゾンの分解量を減少させる。
【０００８】図３は、第２の実施例で、図１と同じ部分
に同一の符号を付しており、この実施例では、ガス吹込
口３を複数個に分割して吹き込むようにし、オゾン発生
手段２もチャンバ１の長手方向に放電電極１１を分割し
たものを示している。７はチャンバ１内のオゾン化され
たガスの排出を助けるためにキャリヤガスを吹き込む送
込口で、流通空間１０のガス取出口４とは反対側の端部
に設け、たとえば原料ガスと同じ空気を少量吹き込むよ
うにしている。この実施例においては、ガス吹込口３か
らの原料ガスが、複数個（図の実施例では４個）の孔
（あるいはノズル）３１、３２、３３、３４に分割され
て、それぞれの孔から流通空間１０を横切ってオゾン発
生手段２の放電電極１１に吹き付けられ、図１の実施例
の場合と同様に作用するが、原料ガスはオゾン発生手段
２のより広い範囲に拡散して放電領域との接触効率が増
大し、オゾン発生効率を一層高めることができる。な
お、原料ガスの拡散によりガス取出口４への流れが乱れ
易くなるので、送込口７からキャリヤガスを吹き込むこ
とによって、拡散したオゾン化されたガス、とくにガス
取出口４とは反対側の端部に拡散して滞留するガスをガ
ス取出口４へ送るようにしている。
に同一の符号を付しており、この実施例では、ガス吹込
口３を複数個に分割して吹き込むようにし、オゾン発生
手段２もチャンバ１の長手方向に放電電極１１を分割し
たものを示している。７はチャンバ１内のオゾン化され
たガスの排出を助けるためにキャリヤガスを吹き込む送
込口で、流通空間１０のガス取出口４とは反対側の端部
に設け、たとえば原料ガスと同じ空気を少量吹き込むよ
うにしている。この実施例においては、ガス吹込口３か
らの原料ガスが、複数個（図の実施例では４個）の孔
（あるいはノズル）３１、３２、３３、３４に分割され
て、それぞれの孔から流通空間１０を横切ってオゾン発
生手段２の放電電極１１に吹き付けられ、図１の実施例
の場合と同様に作用するが、原料ガスはオゾン発生手段
２のより広い範囲に拡散して放電領域との接触効率が増
大し、オゾン発生効率を一層高めることができる。な
お、原料ガスの拡散によりガス取出口４への流れが乱れ
易くなるので、送込口７からキャリヤガスを吹き込むこ
とによって、拡散したオゾン化されたガス、とくにガス
取出口４とは反対側の端部に拡散して滞留するガスをガ
ス取出口４へ送るようにしている。
【０００９】図４は第３の実施例で、図１、図３と同じ
部分に同一の符号を付している。ガス吹込口３は複数個
（図では３個）の孔３１、３２、３３をそなえ、各孔は
ガス取出口４の方向に傾斜させてある。したがって、前
記第２の実施例と同様に作用するが、ガス吹込口３から
吹き込まれる原料ガスは、ガス取出口４の方向に傾斜さ
せた孔（ノズル）から分割して放電電極１１に斜め方向
から吹き付けられるので、オゾン発生手段２の長さ方向
に拡散し易くなり、拡散による原料ガスの乱れが少な
く、放電領域との接触率が向上するとともに、オゾン化
されたガスがガス取出口４の方向へ流れるようになり、
ガス取出口４からの取り出しを円滑に行うことができ
る。
部分に同一の符号を付している。ガス吹込口３は複数個
（図では３個）の孔３１、３２、３３をそなえ、各孔は
ガス取出口４の方向に傾斜させてある。したがって、前
記第２の実施例と同様に作用するが、ガス吹込口３から
吹き込まれる原料ガスは、ガス取出口４の方向に傾斜さ
せた孔（ノズル）から分割して放電電極１１に斜め方向
から吹き付けられるので、オゾン発生手段２の長さ方向
に拡散し易くなり、拡散による原料ガスの乱れが少な
く、放電領域との接触率が向上するとともに、オゾン化
されたガスがガス取出口４の方向へ流れるようになり、
ガス取出口４からの取り出しを円滑に行うことができ
る。
【００１０】なお、第１の実施例のようにガス吹込口３
を分割しない場合でも、吹き込み方向を傾斜させること
ができることは当然であり、また、ガス吹込口３を傾斜
させた場合でも、送込口７を設けてキャリヤガスを送り
込むようにすれば、チャンバ内のガスの排出を良好に行
うことができる。なお、送込口７を設けない場合は、ガ
ス取出口４から吸引してオゾン化ガスを強制排出するよ
うにしてもよい。
を分割しない場合でも、吹き込み方向を傾斜させること
ができることは当然であり、また、ガス吹込口３を傾斜
させた場合でも、送込口７を設けてキャリヤガスを送り
込むようにすれば、チャンバ内のガスの排出を良好に行
うことができる。なお、送込口７を設けない場合は、ガ
ス取出口４から吸引してオゾン化ガスを強制排出するよ
うにしてもよい。
【００１１】
【発明の効果】このように本発明は、チャンバ内にオゾ
ン発生手段を設け、前記オゾン発生手段に対向するチャ
ンバの側面に、放電電極に向かって原料ガスを吹き付け
るようにしたガス吹込口を設け、チャンバ内の流通空間
の端部にガス取出口をそなえるようにしてあるため、供
給された原料ガスがチャンバ内の広い流通空間を層流に
なって通過することがなく、流通空間を横切って放電電
極面に当たって拡散し、ほとんどの原料ガスが周囲の放
電領域に接触するので、原料ガス中の酸素分子が多量に
オゾン化されるとともに、原料ガスの吹き付けによるオ
ゾン発生手段の冷却効果によって、熱によるオゾンの分
解量が減少する効果が得られ、オゾン発生効率を向上さ
せることができる。
ン発生手段を設け、前記オゾン発生手段に対向するチャ
ンバの側面に、放電電極に向かって原料ガスを吹き付け
るようにしたガス吹込口を設け、チャンバ内の流通空間
の端部にガス取出口をそなえるようにしてあるため、供
給された原料ガスがチャンバ内の広い流通空間を層流に
なって通過することがなく、流通空間を横切って放電電
極面に当たって拡散し、ほとんどの原料ガスが周囲の放
電領域に接触するので、原料ガス中の酸素分子が多量に
オゾン化されるとともに、原料ガスの吹き付けによるオ
ゾン発生手段の冷却効果によって、熱によるオゾンの分
解量が減少する効果が得られ、オゾン発生効率を向上さ
せることができる。
【００１２】また、ガス吹込口からの原料ガスを、オゾ
ン発生手段の放電電極に沿って複数個に分割して吹き付
けることにより、放電電極の広い範囲にわたって原料ガ
スを拡散でき、オゾン化効率をさらに向上させ得る。ま
た、ガス吹込口からの原料ガスを、放電電極の表面に対
してガス取出口の方向に傾斜させて吹き付けるようにす
れば、放電電極への衝撃を和らげ、拡散による乱れを少
なくしてガス取出口側に広く拡散させ、放電領域との接
触を良好にし得るとともに、オゾン化されたガスがガス
取出口４の方向へ流れ、排出を容易にする効果がある。
なお、チャンバのガス取出口とは反対側に送込口をそな
えて、キャリヤガスを送り込むようにすれば、チャンバ
内のオゾン化されたガスの排出を確実に行わせ、ガス取
出口から遠い部分にオゾン化されたガスが排出されない
で滞留することを防ぐことができる。
ン発生手段の放電電極に沿って複数個に分割して吹き付
けることにより、放電電極の広い範囲にわたって原料ガ
スを拡散でき、オゾン化効率をさらに向上させ得る。ま
た、ガス吹込口からの原料ガスを、放電電極の表面に対
してガス取出口の方向に傾斜させて吹き付けるようにす
れば、放電電極への衝撃を和らげ、拡散による乱れを少
なくしてガス取出口側に広く拡散させ、放電領域との接
触を良好にし得るとともに、オゾン化されたガスがガス
取出口４の方向へ流れ、排出を容易にする効果がある。
なお、チャンバのガス取出口とは反対側に送込口をそな
えて、キャリヤガスを送り込むようにすれば、チャンバ
内のオゾン化されたガスの排出を確実に行わせ、ガス取
出口から遠い部分にオゾン化されたガスが排出されない
で滞留することを防ぐことができる。
【図１】本発明の第１の実施例の側面を示す模式図であ
る。
る。
【図２】図１のガス吹込口中心に沿う断面図である。
【図３】第２の実施例の側面を示す模式図である。
【図４】第３の実施例の側面を示す模式図である。
【図５】従来例の側面を示す模式図である。
【符号の説明】 １ チャンバ ２ オゾン発生手段 ３ ガス吹込口 ４ ガス取出口 ５ 高周波高電圧電源 ６ 沿面放電 ７ 送込口 １０ 流通空間 １１ 放電電極 １２ 誘電体 １３ 接地電極 １４ 絶縁体 ３１、３２、３３、３４ 孔
Claims (4)
- 【請求項１】 放電電極と、この放電電極に誘電体を介
して対向する接地電極をそなえ、前記電極間に高周波高
電圧を印加して沿面放電を発生させるオゾン発生手段を
チャンバ内に設け、このオゾン発生手段と、放電電極に
対向するチャンバ側面との間に流通空間を形成し、流通
空間の一方の端部にガス取出口をそなえたオゾン発生装
置において、前記チャンバの放電電極と対向する側面
に。原料ガスのガス吹込口を設け、原料ガスを放電電極
面に向けて吹き付けるようにしたことを特徴とするオゾ
ン発生装置。 - 【請求項２】 前記ガス吹込口が、オゾン発生手段の放
電電極に沿って複数個に分割して設けられている請求項
１に記載したオゾン発生装置。 - 【請求項３】 前記ガス吹込口が、放電電極の表面に、
原料ガスをガス取出口の方向に傾斜させて吹き付けるよ
うにした請求項１または２に記載したオゾン発生装置。 - 【請求項４】 前記チャンバが、ガス取出口を設けた端
部とは反対側の端部に、キャリヤガスの送込口をそなえ
ている請求項１または２または３のいずれかに記載した
オゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22316297A JPH1160205A (ja) | 1997-08-04 | 1997-08-04 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22316297A JPH1160205A (ja) | 1997-08-04 | 1997-08-04 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1160205A true JPH1160205A (ja) | 1999-03-02 |
Family
ID=16793776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22316297A Pending JPH1160205A (ja) | 1997-08-04 | 1997-08-04 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1160205A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002004371A1 (fr) * | 2000-07-10 | 2002-01-17 | Hitachi, Ltd. | Composition de verre, substrat pour support d'enregistrement d'informations, disque magnetique, dispositif d'enregistrement/reproduction d'informations et dispositif a disque magnetique utilisant cette composition |
| JP2006159040A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Ricoh Elemex Corp | 脱臭装置 |
-
1997
- 1997-08-04 JP JP22316297A patent/JPH1160205A/ja active Pending
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