JPH0723208Y2 - 切断装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は半導体材料として利用されるシリコン、ゲルマ
ニウム等のインゴットから所定厚さのワーク（ウエハ）
を切り出すのに使用される切断装置に関する。

（従来の技術） インゴットの切断においては、切断されたワーク（ウエ
ハ）の厚さや反りを管理するため、ブレードの上方にお
ける切込み側に非接触タイプの変位計を設け、その変位
計でブレードとの距離を測定し、ブレード変位を管理し
ているが、一般には切断を続けて行なっていくと変位量
が大きくなり、その度にブレードのドレッシング作業を
行なっている。

（考案が解決しようとする課題） 上記したブレード切刃のドレッシング作業は切断作業を
中断し、砥石を回転するブレード刃先に押し当てて刃の
状態を整えるというもので、作業に手数を要するもので
あり、且つブレード変位をドレッシング作業で０にする
ことは不可能なことである。

尚、インゴットを保持したインデックステーブルは、駆
動モータによって回転するボールネジによって上下動さ
れ、切断厚さの割り出しを行なうようになっているが、
これらの上下駆動装置ではμｍオーダの制御は難しく、
又応答周波数に劣るものである。

本考案は上述した従来の技術の有する問題点に鑑みてな
されたもので、その目的とする処は困難な作業を伴なわ
ずにブレードの変位を、インゴットを上下方向に微調節
して制御する切断装置を提供することにある。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本考案における切断装置
は、インゴットの切断付近におけるブレード上方に、ブ
レードの変位量を測定する変位計を設置し、インデック
ステーブルとインゴットとの間にピアゾアクチュエータ
を介在すると共に、該ピアゾアクチュエータにその変位
量を測定する変位計を取付け、ピアゾアクチュエータが
ブレードの変位量を検出する変位計の検出値に応じて微
小範囲上下方向に移動するようにしたことを特徴とす
る。

ブレードの上方に設置する変位計はブレードの回転方向
に沿う切込み側と抜側の両方に設けても、或いは切込み
側にのみ設けても良いものである。ピアゾアクチュエー
タは電圧が掛けられることで上下方向の変位を発生する
もので、ブレードの変位量を検出する変位計の検出値に
応じた電圧を制御回路が発生し、駆動するようになって
いる。

（作用） 上記手段によれば、ブレードの変位を検出する変位計か
らの変位量に基づき、ピアゾアクチュエータが駆動され
て上下方向に微小量変位（10〜100μｍ程度）し、ブレ
ードの変位を０にするように制御する。しかも、同時に
ピアゾアクチュエータの変位量を測定し、その測定値を
フィードバックしてより高精度な制御を行なう。

（考案の効果） 本考案の切断装置は以上詳述したように、ブレードの変
位量を検出する変位計の検出値によってピアゾアクチュ
エータを作動させてブレードの変位分をカバーして切断
するため、ドレッシング作業の低減による生産性の向上
と、切断ワークの品質向上を計ることが可能になる。

しかも、インゴットを上下方向の微調節するピアゾアク
チュエータの変位量を変位部で測定し、フィードバック
するため、ブレードの変位量を０による制御をより適確
に行なうことが出来る。

依って、非常に高精度な切断を行なうことが出来る切断
装置を提供することが出来る。

（実施例） 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明すると、第
１図は切断装置の概略を示し、１はブレード、２は該ブ
レード１を保持したチャックボディで、そのチャックボ
ディ２は駆動回転されるように構成されており、ブレー
ド１の内側に形成された切刃３で切断されるインゴット
４はインデックステーブル５の下面にピアゾアクチュエ
ータ６を介して垂直に支持され、インデックステーブル
５はモータ７で駆動されるボールネジ８の回動に伴ない
上下調節するように構成されている。又、インゴット４
を垂下支持したインデックステーブル５と、該インデッ
クステーブル５を上下させる機構は一体となって直線的
に水平移動するように構成され、それによってインゴッ
ト４が所定厚みのワークとして切り出されるようになっ
ている。

インゴット４からのワークの切り出しはボールネジ８の
回動による上下動によって割り出されるものである。

上記インゴット４の水平移動路の左右両側に位置してブ
レード１上に非接触タイプの変位計9,10が設置されてい
る。上記変位計9,10はブレード１との距離を測定するも
ので、ブレード１の切込側（ブレードの回転方向におけ
るインゴットの手前位置）と、ブレードの抜側（ブレー
ドの回転方向におけるインゴットの裏側位置）にインゴ
ット４の中心より等距離の位置に設ける。

又、上述したピアゾアクチュエータ６は10〜100μｍ程
度の変位（伸縮）が可能なもので、該ピアゾアクチュエ
ータ６はブレード１の変位量を検出する変位計9,10の検
出値と、ピアゾアクチュエータ６に取付けた変位計11の
検出値を比較し、ブレード１の変位が０となるようにピ
アゾアクチュエータ６が作動される。

第３図は変位計9,10及び11と、アクチュエータ６との関
係を示すブロック図である。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図は本装置の概略
図、第２図は第１図の（２）−（２）線に沿える断面
図、第３図はブロック図である。 図中、 1:ブレード、3:ブレードの切刃 4:インゴット 5:インデックステーブル 6:ピアゾアクチュエータ 9,10:ブレードの変位計 11:ピアゾアクチュエータの変位計

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】上下動するインデックステーブルにインゴ
   ットが垂直に支持され、駆動回転するブレードに対し直
   線的に水平移動して所定厚さに切断する切断装置におい
   て、インゴットの切断付近におけるブレード上方にブレ
   ードの変位量を測定する変位計を設置し、インデックス
   テーブルとインゴットとの間にピアゾアクチュエータを
   介在すると共に、該ピアゾアクチュエータにその変位量
   を測定する変位部を取付け、ピアゾアクチュエータがブ
   レードの変位量を検出する変位計の検出値に応じて微小
   範囲上下方向に移動するようにした切断装置。