JPS6130813Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は半導体素子の原材料となるシリコ
ン、ゲルマニウム等の円柱状の結晶材（以下イン
ゴツトという）を所定の厚さの薄片（以下ウエー
ハという）に切断する内周刃型スライシングマシ
ンにおいて、該内周刃型ブレードの張力を測定す
る装置に関するものである。

「従来技術」 第１図は内周刃型スライシングマシンの概略説
明図で、図の矢印方向に移動するインゴツト１
は、高速回転する回転体２の上部に外周辺を所定
の張力をもつて張り付けられた内周刃型ブレード
３によつて所定の厚さのウエーハに切断される。
しかして高速回転する内周刃型ブレード３によつ
て切断されるインゴツト１は脆性材料であり、か
つ切断されるウエーハの厚さが100ミクロン程度
と極薄であるため、内周刃型ブレード３の張り方
如何によつては切断中の僅かな負荷変動等により
ブレードがその面と直交する方向に振れたりして
切断面に凹凸を形成し精度のよいウエーハを得る
ことができないばかりでなく、甚だしい場合には
切断中にウエーハの破損事故を生じることもあつ
た。そこで回転体２に内周刃型ブレード３を張り
付ける場合には、その材質の特性に応じて所定の
張力となるように慎重に測定し、ネジ等によつて
張力を調整しながら締め付け固定することが行な
われている。ところで、一般に内周刃型ブレード
の張力は、所定荷重を内周刃型ブレード上に負荷
し、そのときのブレードの変形量すなわち変位量
により定められるが、従来装置においては第２図
に示すように荷重の負荷点と変位量測定点はそれ
ぞれ別の位置に指定されていた。

すなわち、所定荷重を例えば内周刃型ブレード
３の内周端から指定寸法（数ミリメートル）の位
置Ａに負荷し、その位置Ａと内周刃型ブレード３
の中心Ｏとを結ぶ直線から直角に指定寸法離れた
位置Ｂに電気マイクロメータ等の測定子を当て
て、その位置における内周刃型ブレード３の変位
量を測定し、その変位量から所定の張力であるか
どうかを判断していた。

「考案が解決しようとする問題点」 しかしながら、この従来装置においては、荷重
負荷点と変位量測定点とが異なるため、所定の測
定点に測定子を正確に位置合わせすることが煩雑
であり、又、この位置合わせの誤差が内周刃型ブ
レード３の張力測定の誤差となり、従つて設定張
力が精度よく得られない欠点となつていた。

「問題点を解決する為の手段 本考案はかかる従来の欠点を解決すべく、先端
が前記ブレードへ当接する測定子の変位を検出し
出力する検出器と、先端部にロツドを設け任意の
荷重を該ロツドにより前記ブレードに負荷しうる
荷重負荷装置とからなり、前記測定子の測定点と
前記ロツドの負荷点を一致せしめると共にブレー
ドへの負荷を該測定子のブレード当接部を介して
行なうように測定子のブレード当接部側に前記ロ
ツドを配置して測定及び負荷をブレードの片面側
から行なうように構成したものである。

「作用」 内周刃型ブレードの外周面の適宜個所を回転体
にネジ等によつて仮締め固定する。次いでブレー
ド片面の張力測定位置にて所定の負荷、例えば無
負荷状態で検出器の測定子を当接させ、検出器出
力が零となるよう調整する。

しかる後、測定子のブレード当接部側から荷重
負荷装置のロツドを押し当て、その接触点を零荷
重としてそれから所定の荷重、例えば150ｇとな
るまで負荷させる。この時のブレードの変位量を
検出器によつて検出し、変位量即ち張力が所定設
定値よりずれている場合は前記ブレード固定ネジ
を操作して張力を所定値まで調整する。

以下上記調整をブレードの適宜数ケ所にわたり
行なつて、全体として所定の張力に設定するので
ある。尚、上記は基準荷重を零としたが、必要に
応じて基準を所定荷重、例えば150ｇに設定し、
この時の検出器出力を零としてこれより更に負
荷、例えば300ｇまで負荷させて張力を測定する
ようにすることもできることはいうまでもない。

「実施例」 以下第３図によつて本考案の一実施例を説明す
る。

図において４は図示しない適宜の固定部に内周
刃型ブレード３と平行に取り付けられたアーム、
５はアーム４の先端に移動つまみ６を回転するこ
とによつて図の上下方向に移動可能なスライダ、
７はスライダ５に固定されたばね式テンシヨンゲ
ージの本体、８は本体７内に設けられたばねと係
合して進退するロツド、９はロツド８が進退した
ときにそれと一体に本体７の側面に沿つて移動
し、ロツド８が静止したときの負荷荷重を指示す
る指針であり、これらスライダ５、テンシヨンゲ
ージ７、ロツド８、指針９等で荷重負荷装置を構
成している。１０は弾性材１１によつてアーム４
の下部に保持されている検出器本体、１２は該検
出器本体から延出され内周刃型ブレード３の上面
に接触するボールを先端に有する測定子、１３は
検出器の零調整用ネジである。

しかして荷重負荷装置のロツド８は検出器１０
の測定子１２先端上部に配置されており、張力測
定時は該測定子先端を押圧するようにしている。

検出器本体１０内には差動変圧器等の検出装置
が内蔵されており、測定子１２先端がロツド８の
先端によつて押圧されたときの内周刃型ブレード
３の変位量を検出し、その出力は図示しないメー
タ等によつて表示されるよう構成されている。

尚、上記実施例は立型スライシングマシン、す
なわちインゴツト１を垂直に保持し、これに対す
る内周刃型ブレード３を水平に回転支持させる場
合について説明したが、本考案はこれに限らず、
横型スライシングマシン、すなわちインゴツトを
水平に保持し、これに対する内周刃型ブレードを
垂直に回転支させた場合における張力測定におい
ても全く同様に適用できる。

「考案の効果」 以上詳述したように、本考案は内周刃型スライ
シングマシンのブレードの張力を測定するにあた
り、張力測定点と荷重負荷点を同一点にできるよ
うにしたので、従来の如く測定点の位置決めに熟
練を要することなく簡単且つ正確に設定でき、
又、測定精度が著しく向上し、もつて内周刃型ブ
レードを誤差のない所定の張力で張り付けること
ができる。この種スライシングマシンに於いては
インゴツト切断に極めて高度な精度を要求される
ものであるから、その張力には正確さを必要とす
る。しかして張力を測定する場合、特に立型スラ
イシングマシンに於いては測定器もしくは負荷器
を回転体内側に設置することが非常に困難なこ
と、また横型スライシングマシンも含めてこの種
マシンは測定作業の安全性はもとより上述の通り
測定精度に高度な正確さを必要とするものである
から、位置設定の作業性がよい片面側よりの測
定、負荷において、本考案によれば従来欠点を一
挙に解決してより一層実用的効果に優れた測定装
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は立型スライシングマシンの概略側面
図、第２図は従来装置における張力測定位置と荷
重位置を示す平面図、第３図は本考案の装置の側
面図を示す。 １：インゴツト、２：回転体、３：内周刃型ブ
レード、５：スライダ、６：移動つまみ、７：ば
ね式テンシヨンゲージ、８：ロツド、１０：検出
器本体、１２：測定子、１３：零調整ネジ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 回転体に張り付けた内周刃型ブレードにより半
   導体素子用インゴツトをウエーハ状に切断する内
   周刃型スライシングマシンの該ブレードの張力を
   測定する装置であつて、先端が前記ブレードへ当
   接する測定子の変位を検出し出力する検出器と、
   先端部にロツドを設け任意の荷重を該ロツドによ
   り前記ブレードに負荷しうる荷重負荷装置とから
   なり、前記測定子の測定点と前記ロツドの負荷点
   を一致せしめると共にブレードへの負荷を該測定
   子のブレード当接部を介して行なうように測定子
   のブレード当接部側に前記ロツドを配置して測定
   及び負荷をブレードの片面側から行なうように構
   成した内周刃型スライシングマシンのブレード張
   力測定装置。