JPH03210402A

JPH03210402A - 横型精密測長装置

Info

Publication number: JPH03210402A
Application number: JP524090A
Authority: JP
Inventors: Masao Komiya; 小宮　正夫; Shizue Narishima; 成島　静枝; Katsuyoshi Miyauchi; 宮内　且好
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 1990-01-12
Filing date: 1990-01-12
Publication date: 1991-09-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、精密加工物の測定に使用している基準とな
るプラグゲージの精度確認用の横型精密測長装置に関す
る。

〔発明の概要〕

この発明は、精密加工物の測定に使用している基準とな
るプラグゲージの精度確認用の横型精密測長装置におい
て、測定結果をデジタルで表示する表示部と、前記表示
部に測定データを転送し、０．１１１１１の長さの測定
が可能な？＃密測定ヘッドと、前記精密ヘッドを保持し
平面的に回転摺動可能な測定ヘッド保持台と、前記精密
測定ヘッドの測定プランジ＋−Ａが突出している端面に
対向して配設され、前記測定プランジャーＡに直線的に
動作するように連結手段を介して連結している測定プラ
ンジャーＢと、前記プランジャーＢの他の端面近傍に配
設されている測定部と、前記プランジャーＢと前記測定
部を保持し、平面的に回転摺動可能な測定部保持台と、
前記測定ヘッド保持台と前記測定部保持台とを保持する
基体とを持った構成としたことにより、確認精度の向上
と、ｉｌ認作業の短縮を計るようにした。

〔従来の技術〕

従来は、精密加工物の測定の際、測定器の校正用に使用
される基準となるプラグゲージの精密確認は、精密測定
可能なマイクロ付コンパレータ、及び電気マイクロメー
タ等を使用して、比較測定法と言われる方法で行ってい
た。比較測定法はおおもとの基準である国家標準より校
正された一次基準器、二次基準器を使用してマイクロ付
コンパレータ（例えばＣＡＲＹ製等）、及び電気マイク
ロメータ（ＣＯＲＯＮＡ製等）等の測長器の基準値を設
定して、その後被測定物である基準となる棒状のプラグ
ゲージの６点を測定しプラグゲージの精度の確認を行っ
ていた。

（発明が解決しようとする課題〕しかし、従来の比較測定法による基準のプラグゲージの
精度ｉ１！ｌ！では次のような欠点を持っていた。

イ）被測定物のプラグゲージの太さが変わる度に、測長
装置の基準値の設定を、２次基準器を使用してその都度
行っていた、その為、基準ゲージの精度確認作業に時間
を要していた。

ロン測長器の精度がｌ、ｎであるが、管理必要精度は０
．１１！ｍで目盛りＩＢを自分量で１０等分して精度の
確認をしている為、測定値に正確さに欠ける面があった
。

そこで、この発明は従来のこのような欠点を解決するた
め、被測定物のプラグゲージの太さが変わっても基準値
の再設定を必要としない直接測定可能な測長装置と、測
定精度０．０５７１１ｍまで読み取り可能な測長装置を
得ることを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、この発明は、測定結果をデ
ジタルで表示する表示部と、前記表示部に測定データを
転送し、ｏ、ｉｎの長さの測定が可能な精密測定ヘッド
と、前記精密ヘッドを保持し平面的に回転摺動可能な測
定ヘッド保持台と、前記精密測定へラドの測定プランジ
ャーＡが突出している端面に対向して配設され、前記測
定プランジャーＡに直線的に動作するように連結手段を
介して連結している測定プランジャーＢと、前記プラン
ジャーＢの他の端面近傍に配設されている測定部と、前
記プランジャーＢと、前記測定部を保持し、平面的に回
転摺動可能な測定部保持台と、前記測定ヘッド保持台と
前記測定部保持台とを保持する基体とを持った構成とし
た。

〔作　用〕

上記のように構成された横型精密測定装置にすると、被
測定物である基準のプラグゲージの精度確認を、２次基
準器との比較で確認するのではなく、通常の測定物の寸
法確認と同じように直接的に、精度の確認作業が出来る
ようになった。

〔実施例〕

以下に、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図はこの発明の断面模式図で、測定結果を表示する
表示部１は０．０５ｎ単位の長さの表示が可能な機能を
保持し、測定へラド２より転送される測定データを表示
する０表示はデジタル方式でもアナログ方式でも可能で
あるが、デジタル方式の方が望ましく液晶、ＬＥＤ等で
表示される。

前述機能を持った表示器なら市販の表示器の使用が可能
であるが、この実施例では、ＨＥＩＤＥＮＨＡＩＮ社製
のＶＲＺ２１０が使用されている。

測定ヘッド２は、機能的には少なくとも測定スト０−り
５０ｗ以上、測定誤差＋　Ｑ、Ｉｇ、分解！１０．０５
μｍの高精度の機能を必要とする（周囲温度１９〜２１
℃）、前述機能を持った測定ヘッドなら市販の測定ヘッ
ドの使用が可能であるが、この実施例では、ＨＥＩＤＥ
ＮＨＡＩＮ社製０ＣＴ６０ｋを使用している。

測定ヘッド２は、測定ヘッド止め具３１と、ボルト等の
固定手段で測定ヘッド保持台３に固定される。測定ヘッ
ド保持台は、基体４に支柱等の回転摺動手段を持って平
面的に回転摺動可能な状態で保持される。また、測定ヘ
ッド保持台３の平面的な回転摺動を微調整出来る微調整
手段Ａ４１が基体４に取り付けられている。

５０ｍ以上の測定ストロークを持ったプランジャーＡ２
１は、測定部保持台５に対向する測定ヘッドの一端面に
突出している。プランジャーＢ５１は、連結手段部６に
てプランジャーＡ２１に直線的に摺動可能に連結されて
いる。プランジャーＢの他の一端には、被測定物を直接
測定する測定端子７１が配設されている。前述した測定
誤差±０．１ｎ、分解能ｏ、ｏｓｎ、測定値０．Ｕｓの
機能を満足させるためには、許容平行度偏差は測定スト
ローク６０ｍ−にわたって０．０３ｍであるため、プラ
ンジャーＡ２１と、プランジャーＢ５１との直線的な連
結が不可欠な条件となっている。

プランジャーＡ２１と、プランジャーＢ５１との直線性
は、図示していない平行出しブロックを使用して、測定
部保持台と、測定ヘッド保持台とを各々平面方向に回転
摺動して、微調整手段Ａ、Ｂで微調整して測定ヘッドの
プランジャーＡ２１が突出している面と、対向して配設
されている測定部保持台の所定の端面との平行性をだし
、プランジャーＡ２１．　Ｂ５１の直線性を保つように
している。しかし、前述したように許容平行度偏差が測
定ストローク６０−１にわたって０．０３鶴の精度をだ
すため連結手段部６を使用している。第２図は、連結手
段部の断面図である。

連結手段部６は、プランジャーＡ２１の先端に配設され
ているカップリング６１と、カップリング６１の他の一
面に突出している連結端子Ａ６２と、プランジャー８５
１の先端部分に固定配設されている連結端子Ｂ６３とで
構成されており、連結端子Ｂ６３は、コの字状の形状を
しており、先端部分に連結端子Ａ６２が挿入される連結
穴６４が形成されている。

連結穴６４の内径は連結端子Ａ６２の外径寸法よりも大
きく形成されており、プランジャーＡ２１と、プランジ
ャーＢ５１との微小な通り違いを吸収してプランジャー
Ａ２１と、プランジャーＢ５１との直線性を出している
。測定部保持台５は、プランジャーＢ５１と、測定部７
とを保持し支柱等の回転摺動手段を持って、Ｘ面で回転
摺動可能な状態で、基体４に保持固定される。また測定
保持台５のＸ面での回転摺動を微調整出来る微調整手段
Ｂ４２が基体４に取り付けられている。

第３図は、微動手段部８の詳細断面図である。

プランジャーＢ５１は、測定部保持台５に直線性と滑ら
か摺動が可能になるようにベアリングを使用して保持支
柱Ａ５３、保持支柱Ｂ５４の２箇所で保持されている。

前記保持支柱Ａ５３及び保持支柱Ｂ５４の２箇所の間に
、微動端子８６が配設されている。

微動端子８６は、プランジャーＢ５１に固定配設され、
プランジャーＢ５１の回転方向の動きを止めている、微
動端子８６の上部には、プランジャーＢ５１を繰り返し
微作動する際、使用される把手８１が突出している。

把手８１には、測定圧力調整バネ８４が連結されており
、測定圧力調整バネ８４の他端には、測定圧調整端子８
２が測定範囲調整板８３に固定され連結している。

測定範囲調整板８３は、保持支柱Ａ５３及び保持支柱Ｂ
５４の上部に摺動可能に配設され、所定の位置に把手８
１の挿入穴８５が形成されている。挿入穴８５は測定の
際の把手８１の微作動の範囲によって大きさが決まって
くる。測定範囲調整ｖｉ８３は被測定物のおおまかな測
定範囲を調整後、保持支柱Ａ５３に固定される。

測定部分を上記のように構成する事により、測定の都度
、測定ヘッドで仕様上定められているストローク全部（
この実施例では６ｏ鵡）を使うことな（，５ｍ、１０ｎ
等の任意の測定ストロークに設定する事が出来る。この
事により、被測定物の繰り返し測定が可能となり、正確
なデータの採取と確認作業が容易となる。

第４図は、プランジャ一定速摺動手段部の平面図である
。プランジャ一定速摺動手段部９は、定速回転をするモ
ータ９１と、速度を可変する複数のプーリ９２と、ベル
ト９３とで構成されている。ベルト９３はプランジャー
Ｂ５１の回転止め手段に配設されているヘルド止め具８
６に、取り外し可能な状態で固定される。

プランジャ一定速摺動手段は、所定の測定精度確保のた
め、プランジャーＡ２１及びプランジャーＢ５１をＯ点
調整時に所定の速度で全ストロークにわたって摺動を必
要とするため、使用されるが、被測定物測定の際は取り
外された状態となる。

ｉ１＋１定部７はプランジャーＢ５１の一端に配設され
ている測定端子Ａ７１と、測定端子Ａ７１に対向して配
設されている測定端子Ｂ７２と、ワーク載置台７３とで
構成されている。

ワーク載置台は、位置可変可能で被測定物の太さにより
測定中心にその都度固定される。測定端子Ａ７１は、測
定範囲調整Ｆｉ８３により、被測定物の太さに応じてお
おまかな位置に設定される。測定端子Ｂ７２は、測定方
向に微調整が可能になっている。

〔発明の効果〕

この発明は、以上説明したように測定器の校正用の使用
される基準となるプラグゲージの精度確認を、比較測定
法から、本発明の横型精密測長器を使用して、直接測定
法で精度確認を行うことにより、測定時間の大幅な短ｋ
ｍ　（従来の方法と比べ１／４）と、測定精度の向上に
より測定データの１８転度の向上と、プラグゲージ校正
管理の簡素化が計れたと言う効果を得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の断面模式図、第２図は連結手段部の断
面図、第３図は微動手段部の平面図、第４図はプランジ
ャ一定連摺動部の平面図である。１・・・・・表示部２　・　・　・　・３　・　・　・　・４　・　・　・　・５　・　・　・　・６　・　・　・　・７　・　・　・　・８　・　・　・　・９　・　・　・　・２１・　・　・　・５１・　・　・　・８２・　・　・　・８３・　・　・　・８４・　・　・　・８６・　・　・　・９１・　・　・　・９２・　・　・　・９３・　・　・　・・測定ヘッド測定ヘッド保持台・基体・測定部保持台・連結手段部・測定部・微動手段部・プランジャ一定速摺動手段部・プランジャーＡ・プランジャーＢ・測定圧調整端子・測定範囲調整板・測定圧力調整バネ・微動端子・モータ・プーリ・ベルト以上

Claims

【特許請求の範囲】

（１）測定結果をデジタルで表示する表示部と、前記表
示部に測定データを転送し、少なくとも０．１μｍの長
さの測定が可能な精密測定ヘッドと、前記精密ヘッドを
保持し平面的に回転摺動可能な測定ヘッド保持台と、前
記測定ヘッドの一端面に突出している測定プランジャー
Ａと、前記プランジャーＡに連結している測定プランジ
ャーＢとを直線的に連結する連結手段と、前記プランジ
ャーＢの前記プランジャーＡと対向する面と反対側の端
面近傍に配設されている測定部と、前記プランジャーＢ
と、前記測定部を保持し、平面的に回転摺動可能な測定
部保持台と、前記測定ヘッド保持台と、前記測定部保持
台とを、保持する基体とからなる事を特徴とする横型精
密測長装置。
（２）測定部保持台に摺動及び、固定可能に配設され、
所定の穴を有した測定範囲調整板と、測定プランジャー
Ｂに固定され、連動しその一部が前記穴より突出してい
る微動端子と、前記測定範囲調整板に配設され一端を前
記微動端子に係止し、他の一端を圧力調整端子に係止し
ているバネを有する請求項１記載の横型精密測長装置。
（３）定速回転するモータと、前記モータの回転力の伝
達と、速度の可変を目的としたプーリと、前記モータと
、前記プーリに縣架されているベルトと、前記微動端子
の一部に配設され前記ベルトを固定する固定手段を有す
る請求項１記載の横型精密測長装置。