JPH07229807A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
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- JPH07229807A JPH07229807A JP2237794A JP2237794A JPH07229807A JP H07229807 A JPH07229807 A JP H07229807A JP 2237794 A JP2237794 A JP 2237794A JP 2237794 A JP2237794 A JP 2237794A JP H07229807 A JPH07229807 A JP H07229807A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構造で隔液ダイアフラムが移動するこ
とによる圧力損失がなく，外乱の影響を受けにくい過大
圧防止機構付き差圧測定装置を提供する。 【構成】 隔液ダイアフラム１２，１３が一定以上ハウ
ジング１Ａ，１Ｂ側に変位しないように設けられた移動
阻止手段と，前記ハウジング内に設けられ封入液が満た
された圧力伝達室６ａと，該圧力伝達室を高圧側と低圧
側及び定圧室に３分割する所定の厚さからなる球面状の
２枚のバックリングダイアフラム２０Ａ，２０Ｂと，前
記高圧側と低圧側の差圧を検出する差圧検出手段２１と
からなり，前記２枚のバックリングダイアフラムは球面
の凸部若しくは凹部が対向して配置されるとともに，凸
部方向からの圧力に対しては所定の圧力範囲内では変位
せず，所定以上の圧力に対しては瞬時に撓み，かつ，所
定の圧力に戻ったときは瞬時に元の形状に戻るように形
成した。
とによる圧力損失がなく，外乱の影響を受けにくい過大
圧防止機構付き差圧測定装置を提供する。 【構成】 隔液ダイアフラム１２，１３が一定以上ハウ
ジング１Ａ，１Ｂ側に変位しないように設けられた移動
阻止手段と，前記ハウジング内に設けられ封入液が満た
された圧力伝達室６ａと，該圧力伝達室を高圧側と低圧
側及び定圧室に３分割する所定の厚さからなる球面状の
２枚のバックリングダイアフラム２０Ａ，２０Ｂと，前
記高圧側と低圧側の差圧を検出する差圧検出手段２１と
からなり，前記２枚のバックリングダイアフラムは球面
の凸部若しくは凹部が対向して配置されるとともに，凸
部方向からの圧力に対しては所定の圧力範囲内では変位
せず，所定以上の圧力に対しては瞬時に撓み，かつ，所
定の圧力に戻ったときは瞬時に元の形状に戻るように形
成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，圧力変化を電気信号と
して検出する差圧測定装置に関し，特に過大圧保護機構
の改良に関するものである。
して検出する差圧測定装置に関し，特に過大圧保護機構
の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は過大圧保護機構を有する従来の差
圧測定装置の一例を示す要部断面構成図である。図にお
いて，１はハウジングであり，このハウジング１の両側
には高圧側隔液ダイアフラム１２，低圧側隔液ダイアフ
ラムフランジ１３が溶接等によって固定されている。そ
して，両ダイアフラムに対向するハウジング面には移動
阻止手段であるバックプレート１０Ａ及び１０ＢＡが形
成されている。ハウジング１内には封入液１１が満たさ
れた圧力測定室６が形成されており，この圧力測定室６
を２分してセンタプレート２が配置されている。センタ
プレート２の両側にはコントロールディスク４Ａ，４Ｂ
がコントロールダイアフラム３Ａ，３Ｂにより支持され
ている。６Ａ，６Ｂはセンタープレートとコントロール
ディスクの間の外周付近に配置された皿状のスプリン
グ，２５ａ，２５ｂは差圧検出手段（図示せず）に連通
する連通孔である。
圧測定装置の一例を示す要部断面構成図である。図にお
いて，１はハウジングであり，このハウジング１の両側
には高圧側隔液ダイアフラム１２，低圧側隔液ダイアフ
ラムフランジ１３が溶接等によって固定されている。そ
して，両ダイアフラムに対向するハウジング面には移動
阻止手段であるバックプレート１０Ａ及び１０ＢＡが形
成されている。ハウジング１内には封入液１１が満たさ
れた圧力測定室６が形成されており，この圧力測定室６
を２分してセンタプレート２が配置されている。センタ
プレート２の両側にはコントロールディスク４Ａ，４Ｂ
がコントロールダイアフラム３Ａ，３Ｂにより支持され
ている。６Ａ，６Ｂはセンタープレートとコントロール
ディスクの間の外周付近に配置された皿状のスプリン
グ，２５ａ，２５ｂは差圧検出手段（図示せず）に連通
する連通孔である。
【０００３】以上の構成において，高圧（ＰH）側から
差圧ΔPH（PH−PL）が印加された場合には，隔液ダイア
フラム１２がバックプレート１０Ａ側に変位する。この
差圧ΔPHは封入液１１及び連通孔２５ａを介して差圧検
出器の高圧側へ印加されると共にコントロールディスク
４Ａにも同様に印加される。しかし，このコントロール
ディスク４Ａは皿状のスプリング６Ａで支持されてお
り，前記差圧検出手段の測定範囲内では変位しないよう
に設計されている。
差圧ΔPH（PH−PL）が印加された場合には，隔液ダイア
フラム１２がバックプレート１０Ａ側に変位する。この
差圧ΔPHは封入液１１及び連通孔２５ａを介して差圧検
出器の高圧側へ印加されると共にコントロールディスク
４Ａにも同様に印加される。しかし，このコントロール
ディスク４Ａは皿状のスプリング６Ａで支持されてお
り，前記差圧検出手段の測定範囲内では変位しないよう
に設計されている。
【０００４】そして，差圧ΔＰHが測定範囲を越え過大
圧が印加されると，スプリング６Ａが瞬時に撓んでコン
トロールディスク４Ａ側に移動する。このときコントロ
ールディスク４Ａとセンタープレート２の間に封入され
た封入液１１は連通孔２５ｂを介して低圧側に配置され
たコントロールディスク４Ｂと隔液ダイアフラム１３の
間に移動して隔液ダイアフラム１３を向かって右の方向
に膨らませる。その結果，隔液ダイアフラム１２がバッ
クプレート１０Ａに密着しそれ以上の圧力は印加されな
い。
圧が印加されると，スプリング６Ａが瞬時に撓んでコン
トロールディスク４Ａ側に移動する。このときコントロ
ールディスク４Ａとセンタープレート２の間に封入され
た封入液１１は連通孔２５ｂを介して低圧側に配置され
たコントロールディスク４Ｂと隔液ダイアフラム１３の
間に移動して隔液ダイアフラム１３を向かって右の方向
に膨らませる。その結果，隔液ダイアフラム１２がバッ
クプレート１０Ａに密着しそれ以上の圧力は印加されな
い。
【０００５】次に低圧（ＰL）側から差圧ΔPL（PL−
PH）が印加された場合には，隔液ダイアフラム１３がバ
ックプレート１０Ｂ側に変位して差圧ΔPLは封入液１１
及び連通孔２５ｂを介して差圧検出器の低圧側へ印加さ
れる。また，過大圧が印加された場合はコントロールデ
ィスク４Ｂとセンタープレート２の間に封入された封入
液１１は連通孔２５ａを介して高圧側に配置されたコン
トロールディスク４ａと隔液ダイアフラム１２の間に移
動して隔液ダイアフラム１２を向かって左の方向に膨ら
ませる。その結果，隔液ダイアフラム１３がバックプレ
ート１０Ｂに密着しそれ以上の圧力は印加されない。上
記の構成によれば一定圧（測定範囲）まで隔液ダイアフ
ラムがほとんど変形しない過大圧保護構造付き差圧測定
装置を得ることができる。
PH）が印加された場合には，隔液ダイアフラム１３がバ
ックプレート１０Ｂ側に変位して差圧ΔPLは封入液１１
及び連通孔２５ｂを介して差圧検出器の低圧側へ印加さ
れる。また，過大圧が印加された場合はコントロールデ
ィスク４Ｂとセンタープレート２の間に封入された封入
液１１は連通孔２５ａを介して高圧側に配置されたコン
トロールディスク４ａと隔液ダイアフラム１２の間に移
動して隔液ダイアフラム１２を向かって左の方向に膨ら
ませる。その結果，隔液ダイアフラム１３がバックプレ
ート１０Ｂに密着しそれ以上の圧力は印加されない。上
記の構成によれば一定圧（測定範囲）まで隔液ダイアフ
ラムがほとんど変形しない過大圧保護構造付き差圧測定
装置を得ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上記従
来の装置では過大圧保護機構としてセンタープレート２
にコントロールディスク４Ａ，４Ｂを取り付け，更にス
プリング６Ａ，６Ｂを用いているので部品点数が多く構
造も複雑になるという問題があった。本発明は上記従来
技術の問題点を解決するために成されたもので，簡単な
構造で従来と同様の機能を有する過大圧防止機構付き差
圧測定装置を提供することを目的とする。
来の装置では過大圧保護機構としてセンタープレート２
にコントロールディスク４Ａ，４Ｂを取り付け，更にス
プリング６Ａ，６Ｂを用いているので部品点数が多く構
造も複雑になるという問題があった。本発明は上記従来
技術の問題点を解決するために成されたもので，簡単な
構造で従来と同様の機能を有する過大圧防止機構付き差
圧測定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は，内部に封入液が満たされたハウジングと，
該ハウウジングの両側に設けられた一対の隔液ダイアフ
ラムと，該隔液ダイアフラムが一定以上ハウジング側に
変位しないように設けられた移動阻止手段と，前記ハウ
ジング内に設けられ前記封入液が満たされた圧力伝達室
と，該圧力伝達室を高圧側と低圧側及び定圧室に３分割
する所定の厚さからなる球面状の２枚のバックリングダ
イアフラムと，前記高圧側と低圧側の差圧を検出する差
圧検出手段とからなり，前記２枚のバックリングダイア
フラムは球面の凸部若しくは凹部が対向して配置される
とともに，凸部方向からの圧力に対しては所定の圧力範
囲内では変位せず，所定以上の圧力に対しては瞬時に撓
み，かつ，所定の圧力に戻ったときは瞬時に元の形状に
戻るように形成されたことを特徴とするものである。
に本発明は，内部に封入液が満たされたハウジングと，
該ハウウジングの両側に設けられた一対の隔液ダイアフ
ラムと，該隔液ダイアフラムが一定以上ハウジング側に
変位しないように設けられた移動阻止手段と，前記ハウ
ジング内に設けられ前記封入液が満たされた圧力伝達室
と，該圧力伝達室を高圧側と低圧側及び定圧室に３分割
する所定の厚さからなる球面状の２枚のバックリングダ
イアフラムと，前記高圧側と低圧側の差圧を検出する差
圧検出手段とからなり，前記２枚のバックリングダイア
フラムは球面の凸部若しくは凹部が対向して配置される
とともに，凸部方向からの圧力に対しては所定の圧力範
囲内では変位せず，所定以上の圧力に対しては瞬時に撓
み，かつ，所定の圧力に戻ったときは瞬時に元の形状に
戻るように形成されたことを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】２枚のバックリングダイアフラムは圧力伝達室
内で球面の凸部若しくは凹部が対向して配置されてお
り，凸部方向からの差圧に対しては所定の圧力範囲内で
は変位せず，所定以上の差圧に対しては瞬時に撓み，か
つ，所定の差圧に戻ったときは瞬時に元の形状に戻る。
その結果，隔液ダイアフラムは所定の測定範囲ではほと
んど移動せず，過大圧が印加されたら瞬時にバックプレ
ートに密着する。
内で球面の凸部若しくは凹部が対向して配置されてお
り，凸部方向からの差圧に対しては所定の圧力範囲内で
は変位せず，所定以上の差圧に対しては瞬時に撓み，か
つ，所定の差圧に戻ったときは瞬時に元の形状に戻る。
その結果，隔液ダイアフラムは所定の測定範囲ではほと
んど移動せず，過大圧が印加されたら瞬時にバックプレ
ートに密着する。
【０００９】
【実施例】以下図面を用いて本発明を説明する。図１は
本発明の差圧測定装置の一実施例を示す要部断面構成図
である。図において図２に示す従来例と同一要素には同
一符号を付して重複する説明は省略する。図において１
Ａ，１Ｂは一方の側面が凹状球面に形成されたハウジン
グであり，これらの凹状球面の上部には所定の同容積の
空間Ｖａ，Ｖａ’を残して凹状球面を有するバックリン
グダイアフラム２０Ａ，２０Ｂの外周がＣ部において溶
接されている。
本発明の差圧測定装置の一実施例を示す要部断面構成図
である。図において図２に示す従来例と同一要素には同
一符号を付して重複する説明は省略する。図において１
Ａ，１Ｂは一方の側面が凹状球面に形成されたハウジン
グであり，これらの凹状球面の上部には所定の同容積の
空間Ｖａ，Ｖａ’を残して凹状球面を有するバックリン
グダイアフラム２０Ａ，２０Ｂの外周がＣ部において溶
接されている。
【００１０】これらハウジング１Ａ，１Ｂはバックリン
グダイアフラム２０Ａ，２０Ｂが溶接された側を合わせ
てＤ部において外周が溶接され，所定の空間Ｖｂを形成
する。なお，ここではバックリングダイアフラム２０
Ａ，２０Ｂにより形成される空間Ｖa，Ｖａ’及びハウ
ジング１Ａ，１Ｂを溶接して得られる空間Ｖbが圧力伝
達室６ａとなる。
グダイアフラム２０Ａ，２０Ｂが溶接された側を合わせ
てＤ部において外周が溶接され，所定の空間Ｖｂを形成
する。なお，ここではバックリングダイアフラム２０
Ａ，２０Ｂにより形成される空間Ｖa，Ｖａ’及びハウ
ジング１Ａ，１Ｂを溶接して得られる空間Ｖbが圧力伝
達室６ａとなる。
【００１１】隔液ダイアフラム１２，１３とバックプレ
ート１０Ａ，１０Ｂの空間Ｖｃ，Ｖｄ，前記空間Ｖａ，
Ｖａ’，Ｖｂ及び差圧測定室２１ａには連通孔２５ａ〜
２５ｆを介して封入口Ａ，Ｂ及びＣから封入液１１が封
入され，差圧センサ２１の両面に差圧が印加されるよう
に構成されている。連通孔２５ｃ及び２５ｅは差圧セン
サ２１ａの高圧側に連通し，連通孔２５ｄ，及び２５ｆ
は同じく低圧側に連通している。また，室Ｖａ，Ｖａ’
の容量は室Ｖｃ，Ｖｄの容量と同じか若しくはわずかに
大きくなるように形成されている。
ート１０Ａ，１０Ｂの空間Ｖｃ，Ｖｄ，前記空間Ｖａ，
Ｖａ’，Ｖｂ及び差圧測定室２１ａには連通孔２５ａ〜
２５ｆを介して封入口Ａ，Ｂ及びＣから封入液１１が封
入され，差圧センサ２１の両面に差圧が印加されるよう
に構成されている。連通孔２５ｃ及び２５ｅは差圧セン
サ２１ａの高圧側に連通し，連通孔２５ｄ，及び２５ｆ
は同じく低圧側に連通している。また，室Ｖａ，Ｖａ’
の容量は室Ｖｃ，Ｖｄの容量と同じか若しくはわずかに
大きくなるように形成されている。
【００１２】上記の構成において，高圧（ＰH）側から
差圧ΔPH（PH−PL）が印加された場合には，隔液ダイア
フラム１２がバックプレート１０Ａ側に変位する。この
とき，印加された差圧ΔＰHは連通孔２５ｃ及び２５ｅ
を介して差圧センサ２１及び圧力伝達室６ａ内のバック
リングダイアフラム２０Ａに伝達されるが，バックリン
グダイアフラム２０Ａは圧力が加わる側に凸状に配置さ
れており，差圧センサ２１の測定範囲内では変位しない
ように球状部の直径，曲率及び厚さが設計されている。
差圧ΔPH（PH−PL）が印加された場合には，隔液ダイア
フラム１２がバックプレート１０Ａ側に変位する。この
とき，印加された差圧ΔＰHは連通孔２５ｃ及び２５ｅ
を介して差圧センサ２１及び圧力伝達室６ａ内のバック
リングダイアフラム２０Ａに伝達されるが，バックリン
グダイアフラム２０Ａは圧力が加わる側に凸状に配置さ
れており，差圧センサ２１の測定範囲内では変位しない
ように球状部の直径，曲率及び厚さが設計されている。
【００１３】そして，差圧ΔＰHが測定範囲を越え過大
圧が印加されると，バックリングダイアフラム２０Ａが
瞬時に撓んで（球面状に湾曲した弾性体の湾曲部に力を
加えたとき所定の力までは変形しないが，所定以上の力
を加えると湾曲面が瞬間的に反転し，加える力が所定以
下に戻ると再び瞬間的に元の状態に戻る現象…以下バッ
クリングという）点線ｇのように変位する。
圧が印加されると，バックリングダイアフラム２０Ａが
瞬時に撓んで（球面状に湾曲した弾性体の湾曲部に力を
加えたとき所定の力までは変形しないが，所定以上の力
を加えると湾曲面が瞬間的に反転し，加える力が所定以
下に戻ると再び瞬間的に元の状態に戻る現象…以下バッ
クリングという）点線ｇのように変位する。
【００１４】同時に過大圧によりバックリングダイアフ
ラム２０Ｂが凹状球面３０ｂ側に沿うように伸張し，従
って低圧側の室Ｖａ’の封入液１１は連通孔２５ｄを介
して隔液ダイアフラム１３とバックプレート１０Ｂの間
の室Ｖｄに流れ込む（室Ｖｄに流れこむ封入液の量は隔
液ダイアフラム１２がバックプレート１０Ａに密着した
ときに押し出される室Ｖｃの量に相当する）。その結
果，隔液ダイアフラム１３が向かって右側の方に膨んで
隔液ダイアフラム１２はバックプレート１０Ａに密着し
それ以上の圧力は印加されない。
ラム２０Ｂが凹状球面３０ｂ側に沿うように伸張し，従
って低圧側の室Ｖａ’の封入液１１は連通孔２５ｄを介
して隔液ダイアフラム１３とバックプレート１０Ｂの間
の室Ｖｄに流れ込む（室Ｖｄに流れこむ封入液の量は隔
液ダイアフラム１２がバックプレート１０Ａに密着した
ときに押し出される室Ｖｃの量に相当する）。その結
果，隔液ダイアフラム１３が向かって右側の方に膨んで
隔液ダイアフラム１２はバックプレート１０Ａに密着し
それ以上の圧力は印加されない。
【００１５】次に低圧（ＰL）側から差圧ΔPL（PL−
PH）が印加された場合には，隔液ダイアフラム１３がバ
ックプレート１０Ｂ側に変位する。このとき，印加され
た差圧ΔＰLは連通孔２５ｄ及び２５ｆを介して差圧セ
ンサ２１及びバックリングダイアフラム２０Ｂに伝達さ
れるが，バックリングダイアフラム２０Ｂは圧力が加わ
る側に凸状に配置されており，差圧センサ２１の測定範
囲内では変位しないように球状部の直径，曲率及び厚さ
が設計されている。
PH）が印加された場合には，隔液ダイアフラム１３がバ
ックプレート１０Ｂ側に変位する。このとき，印加され
た差圧ΔＰLは連通孔２５ｄ及び２５ｆを介して差圧セ
ンサ２１及びバックリングダイアフラム２０Ｂに伝達さ
れるが，バックリングダイアフラム２０Ｂは圧力が加わ
る側に凸状に配置されており，差圧センサ２１の測定範
囲内では変位しないように球状部の直径，曲率及び厚さ
が設計されている。
【００１６】そして，差圧ΔＰLが測定範囲を越え過大
圧が印加されると，バックリングダイアフラム２０Ｂが
バックリングにより瞬時に撓んで点線ｈのように変位す
る。同時にバックリングダイアフラム２０Ａが凹状球面
３０ａ側に伸張し，従って高圧側の室Ｖａの封入液１１
は連通孔２５ｃを介して隔液ダイアフラム１２とバック
プレート１０Ａの間の室Ｖｃに流れ込む（室Ｖｃに流れ
こむ封入液の量は隔液ダイアフラム１３がバックプレー
ト１０Ｂに密着したときに押し出される室Ｖｄの量に相
当する）。その結果，隔液ダイアフラム１２が向かって
左側の方に膨んで隔液ダイアフラム１３がバックプレー
ト１０Ｂに密着しそれ以上の圧力は印加されない。
圧が印加されると，バックリングダイアフラム２０Ｂが
バックリングにより瞬時に撓んで点線ｈのように変位す
る。同時にバックリングダイアフラム２０Ａが凹状球面
３０ａ側に伸張し，従って高圧側の室Ｖａの封入液１１
は連通孔２５ｃを介して隔液ダイアフラム１２とバック
プレート１０Ａの間の室Ｖｃに流れ込む（室Ｖｃに流れ
こむ封入液の量は隔液ダイアフラム１３がバックプレー
ト１０Ｂに密着したときに押し出される室Ｖｄの量に相
当する）。その結果，隔液ダイアフラム１２が向かって
左側の方に膨んで隔液ダイアフラム１３がバックプレー
ト１０Ｂに密着しそれ以上の圧力は印加されない。
【００１７】図２はバックリングダイアフラム２０
Ａ’，２０Ｂ’を凸状に対向させてハウジング１Ａ，１
Ｂに固定した他の実施例を示すものである。図におい
て，バックリングダイアフラム２０Ａ’，２０Ｂ’の取
付状態およびその取付状態が異なることによる圧力伝達
室６ａ’の３室（Ｖｂ’，Ｖｅ，Ｖｅ，）の容積の違い
以外は図１と同様なので重複する説明は省略する。
Ａ’，２０Ｂ’を凸状に対向させてハウジング１Ａ，１
Ｂに固定した他の実施例を示すものである。図におい
て，バックリングダイアフラム２０Ａ’，２０Ｂ’の取
付状態およびその取付状態が異なることによる圧力伝達
室６ａ’の３室（Ｖｂ’，Ｖｅ，Ｖｅ，）の容積の違い
以外は図１と同様なので重複する説明は省略する。
【００１８】この実施例において，高圧（ＰH）側から
差圧ΔPHが印加された場合には，隔液ダイアフラム１２
がバックプレート１０Ａ側に変位する。このとき，印加
された差圧ΔＰHは連通孔２５ｃ及び２５ｅを介して差
圧センサ２１及び圧力伝達室６ａ’内のバックリングダ
イアフラム２０Ｂ’に伝達されるが，バックリングダイ
アフラム２０Ｂ’は圧力が加わる側に凸状に配置されて
おり，差圧センサ２１の測定範囲内では変位しないよう
に球状部の直径，曲率及び厚さが設計されている。
差圧ΔPHが印加された場合には，隔液ダイアフラム１２
がバックプレート１０Ａ側に変位する。このとき，印加
された差圧ΔＰHは連通孔２５ｃ及び２５ｅを介して差
圧センサ２１及び圧力伝達室６ａ’内のバックリングダ
イアフラム２０Ｂ’に伝達されるが，バックリングダイ
アフラム２０Ｂ’は圧力が加わる側に凸状に配置されて
おり，差圧センサ２１の測定範囲内では変位しないよう
に球状部の直径，曲率及び厚さが設計されている。
【００１９】そして，差圧ΔＰHが測定範囲を越え過大
圧が印加されると，バックリングダイアフラム２０Ｂ’
が瞬時に撓んで点線ｈ’のように変位する。同時に過大
圧によりバックリングダイアフラム２０Ａ’が向かって
右側の方に伸張し，従って低圧側の室Ｖｅ’の封入液
（隔液ダイアフラム１２がバックプレート１０Ａに密着
したときに押し出される室Ｖｃの量）が連通孔２５ｄを
介して隔液ダイアフラム１３とバックプレート１０Ｂの
間の室Ｖｄに流れ込む。その結果，隔液ダイアフラム１
３が向かって右側の方に膨んで隔液ダイアフラム１２は
バックプレート１０Ａに密着しそれ以上の圧力は印加さ
れない。また，低圧側からの差圧ΔPLや過大圧に対して
も逆方向に同様に機能する。
圧が印加されると，バックリングダイアフラム２０Ｂ’
が瞬時に撓んで点線ｈ’のように変位する。同時に過大
圧によりバックリングダイアフラム２０Ａ’が向かって
右側の方に伸張し，従って低圧側の室Ｖｅ’の封入液
（隔液ダイアフラム１２がバックプレート１０Ａに密着
したときに押し出される室Ｖｃの量）が連通孔２５ｄを
介して隔液ダイアフラム１３とバックプレート１０Ｂの
間の室Ｖｄに流れ込む。その結果，隔液ダイアフラム１
３が向かって右側の方に膨んで隔液ダイアフラム１２は
バックプレート１０Ａに密着しそれ以上の圧力は印加さ
れない。また，低圧側からの差圧ΔPLや過大圧に対して
も逆方向に同様に機能する。
【００２０】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明したよ
うに本発明によれば，圧力伝達室（６ａ，６ａ’）とし
てバックリングダイアフラムを溶接するだけの簡単な構
造で，従来と同様，差圧が一定圧（測定範囲）を越える
までは隔液ダイアフラムがほとんど変形することがな
い。また，静圧が加わった場合も圧力伝達室に封液が封
入されているので，バックリングダイアフラムが静圧の
影響を受けることがない。従って，隔液ダイアフラムが
移動することによる圧力損失がなく，外乱の影響を受け
にくい過大圧保護機構付き差圧測定装置を実現すること
ができる。
うに本発明によれば，圧力伝達室（６ａ，６ａ’）とし
てバックリングダイアフラムを溶接するだけの簡単な構
造で，従来と同様，差圧が一定圧（測定範囲）を越える
までは隔液ダイアフラムがほとんど変形することがな
い。また，静圧が加わった場合も圧力伝達室に封液が封
入されているので，バックリングダイアフラムが静圧の
影響を受けることがない。従って，隔液ダイアフラムが
移動することによる圧力損失がなく，外乱の影響を受け
にくい過大圧保護機構付き差圧測定装置を実現すること
ができる。
【図１】本発明の差圧測定装置の一実施例を示す断面構
成図である。
成図である。
【図２】本発明の差圧測定装置の他の実施例を示す断面
構成図である。
構成図である。
【図３】従来例を示す要部断面構成図である。
１Ａ，１Ｂ ハウジング ６ａ，６ａ’ 圧力伝達室 １０Ａ，１０Ｂ バックプレート １２，１３ 隔液ダイアフラム ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ａ’，２０Ｂ’ バックリングダ
イアフラム ２１ 差圧センサ， ２５（ａ〜ｆ） 連通孔
イアフラム ２１ 差圧センサ， ２５（ａ〜ｆ） 連通孔
Claims (1)
- 【請求項１】 内部に封入液が満たされたハウジング
と，該ハウウジングの両側に設けられた一対の隔液ダイ
アフラムと，該隔液ダイアフラムが一定以上ハウジング
側に変位しないように設けられた移動阻止手段と，前記
ハウジング内に設けられ前記封入液が満たされた圧力伝
達室と，該圧力伝達室を高圧側と低圧側及び定圧室に３
分割する所定の厚さからなる球面状の２枚のバックリン
グダイアフラムと，前記高圧側と低圧側の差圧を検出す
る差圧検出手段とからなり，前記２枚のバックリングダ
イアフラムは球面の凸部若しくは凹部が対向して配置さ
れるとともに，凸部方向からの圧力に対しては所定の圧
力範囲内では変位せず，所定以上の圧力に対しては瞬時
に撓み，かつ，所定の圧力に戻ったときは瞬時に元の形
状に戻るように形成されたことを特徴とする差圧測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2237794A JPH07229807A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2237794A JPH07229807A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 差圧測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07229807A true JPH07229807A (ja) | 1995-08-29 |
Family
ID=12080961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2237794A Pending JPH07229807A (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07229807A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105352654A (zh) * | 2015-11-27 | 2016-02-24 | 上海立格仪表有限公司 | 一种高过载保护压力测量仪器 |
| CN109141734A (zh) * | 2017-06-16 | 2019-01-04 | 罗斯蒙特公司 | 用于工作高压应用的压力传感器模块 |
-
1994
- 1994-02-21 JP JP2237794A patent/JPH07229807A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105352654A (zh) * | 2015-11-27 | 2016-02-24 | 上海立格仪表有限公司 | 一种高过载保护压力测量仪器 |
| CN109141734A (zh) * | 2017-06-16 | 2019-01-04 | 罗斯蒙特公司 | 用于工作高压应用的压力传感器模块 |
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