JPH0721720A - 磁気ヘッド装置用スライダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 より少ない工程数でレール間の溝部の加工が
行えしかもレール幅をより低減化することのできる磁気
ヘッド装置用スライダを提供する。 【構成】 磁気媒体と対向する面側に設けられている少
なくとも２つの浮上レール１０及び１１間が平坦な底面
を有する単一段の溝部１４で構成されており、この溝部
１４の深さが約３μｍ以上１５μｍ未満の範囲内にあ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の浮上レールを備
えた磁気ヘッド装置用スライダに関する。

【０００２】

【従来の技術】浮上レールを備えた磁気ヘッド装置用テ
ーパフラットスライダは、その後端に記録再生用磁気ヘ
ッド素子を有しており、磁気ディスク等の高速で移動す
る磁気媒体表面とこのレールの浮上面（ＡＢＳ）との間
に押し込まれる空気流によって浮上力を発生する。スラ
イダの浮上量は、この浮上力と外部からスライダに印加
されるばね力とを釣り合わせて適切な値に調節される。

【０００３】図４は従来のこの種のスライダを後端側か
らみた側面図であり、同図において４０及び４１は磁気
媒体と対向する面側に設けられた２つの浮上レール、４
０ａ及び４１ａは浮上レール４０及び４１のＡＢＳ、４
２及び４３はスライダの後端面上に設けられた磁気ヘッ
ド素子、４４はレール４０及び４１間の溝（ブリードス
ロット）である。ブリードスロット４４は、この例では
１段の溝となっている。このような１段構成のブリード
スロットのＡＢＳからの深さは、例えば「薄膜ヘッドと
実装について」、伊東 進他、電子通信学会研究会資料
（１９７９年）、ＭＲ７９−３８にも示されているよう
に、スライダの浮上特性に影響を与えないように１５μ
ｍ以上に設定することが必要とされている。

【０００４】近年、記録密度の向上に伴ってスライダの
浮上量が約０．１μｍ以下であることが要求されてお
り、このような低浮上量のスライダを実現するために
は、外部からスライダに印加されるばね力を増大させる
か又は浮上レール４０及び４１の幅を細くして浮上力を
低減させることが必要となる。ばね力を増大させること
は、始動時の摩擦のために磁気ディスクのスピンドルモ
ータの起動トルクを大きくしなければならないことにつ
ながる。しかし小型の磁気ディスク装置では、モータト
ルクが小さいことから、ディスクが全く回転しないとい
う問題が発生してしまう。

【０００５】このため、レール幅を細くして低浮上力と
することが試みられた。しかしながら、図４に示したご
とき従来のスライダはブリードスロット４４の深さが１
５μｍ以上と比較的深いため、レール幅を細くしようと
するとスライダの後端面上に設けられている磁気ヘッド
素子４２及び４３のコイル部分を削り込んでしまう恐れ
がある。このコイル部分の大きさには下限があるので、
この方法ではレール幅の低減化をあまり期待できない。

【０００６】そこで、特開昭６１−１０４４６１号及び
特開昭６４−４３８１２号に開示されている従来技術で
は、図５に示すように、浮上レール５０及び５１の長さ
方向に沿った両端の外側に比較的浅くかつ短い段差５０
ｂ及び５０ｃ並びに段差５１ｂ及び５１ｃをそれぞれ設
けている。これによって、磁気ヘッド素子５２及び５３
のコイル部分を削り込むことなくＡＢＳ５０ａ及び５１
ａ側のレール幅を実質的に細くして低浮上力化を実現し
ている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図５に示すごとき従来
技術によると、深さが１５μｍ以上のブリードスロット
５４の両側にこれより浅い段差５０ｂ及び５１ｂが設け
られていることとなり、従ってこれは深さの異なる２段
の溝をＡＢＳ５０ａ及び５１ａ側から加工しなければな
らないことを意味する。深さの異なる２段の溝を形成す
るためには、２回の研削工程を実施しなければならない
から、その分工程が複雑となり製造コストも増大する。

【０００８】また、ブリードスロット５４が深いことか
らイオンミリング法を適用することが難しいので機械加
工によって溝形成を行う必要があるが、この機械研削を
行う場合にも溝が深いために研削量が多くなりブレード
の摩耗等が問題となってくる。

【０００９】従って本発明は、より少ない工程数でレー
ル間の溝部の加工が行えしかもレール幅をより低減化す
ることのできる磁気ヘッド装置用スライダを提供するも
のである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、磁気媒
体と対向する面側に設けられている少なくとも２つの浮
上レール間が平坦な底面を有する単一段の溝部で構成さ
れており、この溝部の深さが約３μｍ以上１５μｍ未満
の範囲内にある磁気ヘッド装置用スライダが提供され
る。

【００１１】溝部は、実際には、スライダに対して負圧
等の圧力を与えないブリードスロットである。即ち、こ
のスライダは、正圧スライダである。

【００１２】

【作用】浮上レール間が平坦な底面を有する単一段の溝
部で構成されているが、このような溝部が浮上力を発生
しないようにするためには、その深さに下限がある。本
発明者の研究によれば、単一段溝部の場合、その深さを
従来のように１５μｍ以上とすることなく約３μｍ以上
１５μｍ未満であっても、この部分で正圧が実質的に発
生しないことが判明した。溝部をこのように浅くするこ
とにより、ヘッド素子のコイル部分を削り込むことなく
レール幅を小さくできる。しかも、溝加工を機械研削で
行った場合にもブレードの摩耗が少なく加工時間も短く
なる。もちろん、単一段の溝部であるからより少ない工
程数で加工が行える。

【００１３】

【実施例】図１は本発明の一実施例における磁気ヘッド
装置用スライダを後端側からみた側面図であり、図２は
図１のＡＡ線に沿った断面を拡大して表した断面図であ
る。

【００１４】これらの図において、１０及び１１は磁気
媒体と対向する面側に設けられた２つの浮上レール、１
０ａ及び１１ａは浮上レール１０及び１１のＡＢＳ、１
２及び１３はスライダの後端面上に設けられた磁気ヘッ
ド素子、１４はレール１０及び１１間の溝（ブリードス
ロット）である。

【００１５】ブリードスロット１４は、その底面１４ａ
が平坦な深さが１段の溝で構成されている。従ってその
研削工程は１回ですみ、工程数が減少するので製造コス
トの低減化が図れる。

【００１６】図１からも明らかのように、ブリードスロ
ット１４の深さＨ、即ちＡＢＳ１１ａからブリードスロ
ット１４の底面１４ａまでの距離、が小さければ小さい
ほど、磁気ヘッド素子１２及び１３のコイル部分の大き
さが例え同じであっても浮上用レール１０及び１１のＡ
ＢＳの幅をより細くすることができる。しかしながら、
このブリードスロット１４の深さＨがある値より浅くな
ると、もはやブリードスロットとして機能せず浮上量が
増加してしまう。

【００１７】図３はこの様子を示すものであり、横軸が
ブリードスロット１４の深さＨ、縦軸が浮上量をそれぞ
れ表している。同図からも明らかのように、単一段の溝
１４については、その深さを従来のように１５μｍ以上
とすることなく約３μｍ以上１５μｍ未満であっても、
この部分で正圧が実質的に発生せず、良好な浮上特性を
得ることができる。

【００１８】このようにブリードスロット１４の深さＨ
を約３μｍ以上１５μｍ未満と浅くすることにより、浮
上特性に悪影響を及ぼすことなく浮上レール１０及び１
１のＡＢＳの幅をより細くすることができる。その結
果、低浮上量のスライダを容易に実現することができ、
しかもブリードスロット１４の深さが浅いので、溝加工
を機械研削で行った場合にもブレードの摩耗が少なく加
工時間も短くなる、さらに、ブリードスロット１４の深
さが浅いことから、この部分のスライダの厚みＴ、即ち
ブリードスロット１４の底面１４ａからスライダの反対
面までの距離、が大きくなるのでそりやたわみ等に対す
るスライダ自体の剛性が高まり、ＡＢＳの平面度が向上
する。

【００１９】浮上レール１１（１０）の先端部には、図
２に示すように、スライダの浮上力を向上させるための
テーパ状のランプ面１１ｂが設けられている。このラン
プ面１１ｂの傾斜角度（ランプ角）θ及びその長さ（ラ
ンプ長）Ｌは、良好な浮上特性を得るための値に設定さ
れる。例えば、θ＝５０′、Ｌ＝３５０μｍとした場
合、ブリードスロット１４の深さＨは最低５μｍ必要と
なる。

【００２０】上述したようにブリードスロットを単一段
とせずに、図５に示すごとく２段構成とした場合、その
段差５０ｂ及び５０ｃ並びに段差５１ｂ及び５１ｃの深
さは、３μｍより浅くてもよく最低１μｍ以上であれば
スライダの浮上特性に影響を与えない。

【００２１】図６はこの様子を示すものであり、２段構
成のブリードスロット５４における段差の深さｈを０．
７μｍ、０．８μｍ、０．９μｍ及び１．０μｍとした
各スライダについて、磁気ディスクの相対的移動速度及
びスキューの変化に対する浮上量の実測変化特性を表し
ている。磁気ディスクの外周部（速度の高い部分）及び
内周部（速度の低い部分）においては、スキューの影響
によって通常は浮上量が低下するが、ｈ＝０．７〜０．
９μｍのスライダではスライダを横方向に加圧する力が
生じて浮上量が大きくなり、その結果、外周部から内周
部にわたって浮上量がほぼ一定の特性となる。しかしな
がら、ｈ＝１．０μｍとしたスライダでは、このような
横方向加圧力が充分発生せず１段構成の深いブリードス
ロットを有する従来のスライダと同様の浮上特性を得る
ことができる。

【００２２】従って、２段構成のブリードスロット５４
では浮上レール５０及び５１の長さ方向に沿った両端の
外側に設けた段差５０ｂ及び５０ｃ並びに段差５１ｂ及
び５１ｃの深さを約１μｍ以上とすれば、浮上特性に悪
影響を及ぼすことなく浮上レール５０及び５１のＡＢＳ
の幅をより細くすることができる。その結果、低浮上量
のスライダを容易に実現することができ、しかもこの段
差部の深さが浅いので、溝加工を機械研削で行った場合
にもブレードの摩耗が少なく加工時間も短くなる。ま
た、段差溝加工にイオンミリング法を用いることもでき
るので加工の深さバラツキが小さく均一なものができ
る。

【００２３】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明は、磁
気媒体と対向する面側に設けられている少なくとも２つ
の浮上レール間が平坦な底面を有する単一段の溝部で構
成されており、この溝部の深さが約３μｍ以上１５μｍ
未満の範囲内にある。このように、単一段の溝部である
からより少ない工程数で加工が行え、溝部の深さが約３
μｍ以上１５μｍ未満であっても、この部分で正圧が実
質的に発生しないので、ヘッド素子のコイル部分を削り
込むことなくレール幅を小さくできる。しかも、溝加工
を機械研削で行った場合にもブレードの摩耗が少なく加
工時間も短くなる加工が行える。さらに、本発明によれ
ば、溝部の深さが浅いことから、この部分のスライダの
厚みが大きくなるのでそりやたわみ等に対するスライダ
自体の剛性が高まり、ＡＢＳの平面度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における磁気ヘッド装置用ス
ライダを後端側からみた側面図である。

【図２】図１のＡＡ線による拡大断面図である。

【図３】ブリードスロットの深さに応じた浮上量変化特
性を示す実測特性図である。

【図４】従来技術によるスライダを後端側からみた側面
図である。

【図５】従来技術によるスライダを後端側からみた側面
図である。

【図６】段差の深さに応じた浮上量変化特性を示す実測
特性図である。

【符号の説明】

１０、１１ レール １０ａ、１１ａ ＡＢＳ １２、１３ 磁気ヘッド素子 １４ ブリードスロット

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気媒体と対向する面側に少なくとも２
   つの浮上レールを備えた磁気ヘッド装置用スライダであ
   って、前記レール間が平坦な底面を有する単一段の溝部
   で構成されており、該溝部の深さが約３μｍ以上１５μ
   ｍ未満の範囲内にあることを特徴とする磁気ヘッド装置
   用スライダ。
2. 【請求項２】 前記溝部が当該スライダに圧力を与えな
   いブリードスロットであることを特徴とする請求項１に
   記載の磁気ヘッド装置用スライダ。