JPH07209598A

JPH07209598A - ミラー走査システム及び方法

Info

Publication number: JPH07209598A
Application number: JP6318047A
Authority: JP
Inventors: Lewis S Damer; ルイス・エス・デイマー
Original assignee: Minnesota Mining and Manufacturing Co
Current assignee: 3M Co
Priority date: 1993-12-21
Filing date: 1994-12-21
Publication date: 1995-08-11
Also published as: DE4445136A1; US5481392A

Abstract

(57)【要約】【目的】高速走査が可能である回転円筒走査システム
を提供する。【構成】レーザー光源１３５から発せられたインプッ
トビーム１３６は、インプットレンズ１３２を経て回転
シリンダ１３０に入射され、シリンダ１３０の回転軸１
３８に沿って形成されたミラー１４０で反射されてその
方向を変え、レンズとして作用するシリンダ面１４８に
よって焦点が合わされて、アウトプットビーム１５０を
形成する。回転シリンダ１３０は風圧抵抗が小さく、乱
流や振動といった問題が発生しないので、高速操作が可
能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光学走査デバイスに関
し、詳しくは、高速で回転する円筒形の光学走査デバイ
スに関する。

【０００２】

【従来の技術】光学走査システムは公知であり一般に使
用されている。これらのシステムは、バーコードスキャ
ナ、レーザープリンタ及びファクシミリなどのデバイス
における重要な構成要素である。

【０００３】光学走査システムは、動いているミラーに
入射する光ビーム光の光路を変える走査機構を用いて、
走査光ビームを形成する。走査光ビームを形成する１つ
の方法は、振動するミラー装置を用いることである。心
棒に取り付けられた平坦なミラーは、検流計デバイスと
接続して前後に振動し、ミラーに入射する光ビームの反
射によって走査効果を達成する。検流計装置にインプッ
トされるサインウェーブが用いられて、ミラーの振動を
達成する。通常の走査速度の上限は２,０００走査／分
である。市販のユニットは、１,０００走査／秒で走査
するように製造されており、このようなユニットは、
２,０００走査／秒の速度で走査することが可能である
と考えられるが、このような速度では、ユニットの寿命
は、かなり短くなる。

【０００４】ヨシムラ氏による米国特許第４,７９６,９
６３号明細書は、平坦な回転式多角形ファセットミラー
を用いる器具を開示している。この器具は、その多角形
ミラーが、振動ではなく回転を行うため、振動するミラ
ー器具よりも速い速度で走査することが可能である。

【０００５】ダイール氏とキルシュ氏による米国特許第
４,７１７,２２４号明細書は、別の走査デバイスを開示
している。このデバイスは、回転軸に対して垂直な線か
ら角度が０.２°から２°(すなわち、０.０００３５ラ
ジアンから０.００３５ラジアン)傾いた、回転する平坦
なミラーを使用している。この傾斜つきミラーは、２つ
のシリンダの分割された端部と端部との間に取り付けら
れて、ミラーを傾斜状態に保持する。この器具は、１つ
のインプットビーム、すなわち、シリンダとミラーとの
構成物の回転軸に沿って一直線の、放射源から入射する
ビームのみを許容するように厳密に限定されている。そ
して、このビームは、円錐様形状でシリンダ端部の外部
にはね返って反射する。実用的にするには、複雑な反射
後の光学系を採用しなければならない。

【発明の要旨】本発明は、回転式光学的ミラー走査シス
テムを開示する。このシステムは、少なくとも１つの発
光エネルギー放射源と、発光エネルギーを少なくとも１
つのインプットビームにするように予め焦点を定めるイ
ンプットイメージング手段と、インプットビームの方向
を反射によって変える、回転式ミラー手段とを備える。
このミラー手段は、インプットビームに対して光学的に
透明な材料より構成され、かつ、そのミラー面の面がシ
リンダを回転軸に沿って分割するように位置決めされた
ミラー表面を有する、シリンダを備える。また、少なく
とも１つの反射されたインプットビームを、少なくとも
１つのアウトプット走査ビームにするように焦点を定め
る、アウトプットイメージング手段も備えている。

【０００６】また、本発明は、高速で回転する、光学走
査システムのミラー部材を含む。このシステムは、光学
的に透明な材料より構成される第１ポーションと、ゆる
やかな外側円形面とを有する円筒状ポストを備え、円筒
状ポストの軸について回転する間の風圧抵抗を最小限に
するように形成されている。この円筒状ポストは、シリ
ンダの湾曲した面と同じ軸である。

【０００７】また、本発明は、高速で回転する光学反射
ミラー走査システムの走査速度を改良する方法を含む。
この方法は、光学反射ミラーを光学的に透明で回転可能
なシリンダで囲って、ミラー面は光学的に透明なシリン
ダの回転軸に平行に向かって通るステップと、シリンダ
を回転するステップと、エネルギービームを位置決めし
て、光学反射ミラーの回転軸中央に取り付けられた明確
に定められた光源から反射させるステップとより構成さ
れる。

【０００８】本発明を特徴づける種々の他の特性及び利
点は、以下の詳細な説明と添付の図面を参照することに
よって明白になるであろう。

【０００９】

【実施例】以下に、本発明の実施例を図１〜５にしたが
って、詳細に説明する。

【００１０】図１,２は、現在使われているファセット
多角形走査システムのミラー部材を概略的に表してい
る。図１は、６つの反射面ファセット１２を有する六角
形シリンダ１０の一部分を示している。各ファセット１
２の接合点は頂点１４を形成する。六角形シリンダ１０
が軸Ａ−Ａのまわりで高速軸回転を行うと、この頂点
は、風圧抵抗、乱流、及び振動に関わる、システムの性
能の問題を引き起こす。

【００１１】図２は、図１の六角形シリンダ１０の一部
分の拡大図である。図２は、ファセット面１２に入射す
るインプットビーム１６を開示している。ファセット面
１２からのインプットビーム１６の反射は、アウトプッ
トビーム１８を形成する。このアウトプットビーム１８
は、対応するイメージ面を特定の位置に有することにな
るが、このイメージ面は図示しない。インプットビーム
１６は、インプットビーム１６およびアウトプットビー
ム１８の光軸でもあるＺ軸２０と、Ｚ軸２０に対して垂
直なＸ軸２２と、Ｘ軸２２とＺ軸２０との両方に対して
垂直なＹ軸２３とからなる座標を有している。Ｙ軸２３
は、図面の平面から突出しており、回転軸２４の軸心と
一致する。六角形シリンダ１０が回転すると、ファセッ
ト面１２の中央部に近いインプットビーム１６の入射点
２６は、例えば、ファセット面がインプットビーム１６
を通過して回転すると、ファセット面１２のエッジによ
り近い点に変わる。このように入射点が移動することに
よって、走査原点は、Ｚ軸２０沿いを、光軸沿いの入射
点２６と２８との間の距離と等しく移動することにな
る。ファセット面の中央部に入射するビーム部分は、フ
ァセット中央部の両サイドに入射するビーム部分より
も、画面までに、長い距離を移動しなければならない。
原点がＺ軸２０沿いに移動することによって、画面にお
ける焦点までの距離の不一致が生じる。スキャナの適用
により、Ｚ変位に対してこのＺを修正することは、非常
に複雑で限定されたものになる可能性がある。

【００１２】また、入射点すなわち走査原点が移動する
ことによって、アウトプットビーム１８の走査運動に、
可変的な速度変化が生じる。インプットビーム１６の入
射点がファセット面１２の中央部分に近付くと、走査原
点は、回転軸２４のより近くに移動する。このように距
離すなわち曲率半径が短くなることによって、画面にお
けるアウトプットビーム１８の移動変化速度は遅くな
る。画面における移動の変化の速度は、ファセットの中
間点の場合に最も遅く、走査原点が回転軸の外側に移動
すると加速する。ビームの走査速度が、回転式多角形フ
ァセットミラーを用いる適用にとって重要である場合、
走査速度が可変であることによって、付加的な修正手段
が必要となる。

【００１３】図３に本発明の一実施例を走査システム１
００として示している。本実施例は、平面図に示してい
るように、光学的に透明な固体シリンダ１３０と、光学
座標系とを使用する。この座標係は、Ｚ軸１２０と、Ｘ
軸１２２と、Ｙ軸１４１とを有する。Ｙ軸１４１は、Ｘ
軸及びＺ軸に対して垂直で、図面の平面から突出してい
る。Ｙ軸１４１はシリンダ１３０の回転軸１３８と平行
である。シリンダ１３０を製造するのに、例えば、石英
ガラスを含む、多数の異なる適した材料が存在する。し
かし、図３では、透明なシリンダは、１.５の屈折率を
備えるのに適した材料よりなる構成物で開示されてい
る。また、本実施例は、１つの凹凸インプットレンズ１
３２を備えるインプットイメージング手段を用いて、輻
射エネルギーを発散させる。この輻射エネルギーは、少
なくとも１つのレーザー放射源１３５から発せられ、イ
ンプットビーム１３６として形成され、ビームの焦点は
シリンダ１３０を越えて結ぶ。いかなる外面の屈折力(o
utside refractive power)も必要としないようなシリン
ダ１３０を構成するのに適した材料を用いることが可能
であるが、インプットレンズ１３２は、少なくとも、シ
リンダ１３０の球面収差レンズ特性を補正するのに有用
である。インプットレンズ１３２を形成するのに、種々
のレンズ材が適しており、それと同様に、凹平、凹凹、
平凹など、光学的エネルギーが負である形状であれば、
多くの形状が適している。この図では、２.０の屈折率
を有するレンズ材が選択されている。

【００１４】インプットビーム１３６は、可視光線レー
ザーなどの、複数の異なる輻射エネルギー源より形成す
ることが可能であるが、ここには図示しない。本実施例
のインプットビーム１３６は、可干渉性の輻射エネルギ
ーであって、概略的な形状で示している。好ましい輻射
エネルギー源は、ヘリウム−ネオンレーザーよりなる。
インプットビーム１３６とインプットレンズ１３２とは
固定されて、一線上に並んでいる。このことによって、
インプットビーム１３６のＺ軸１２０と、入射レンズ１
３２の光軸と、シリンダ１３０の回転軸１３８とは確実
に交差する。ミラー１４０の面は、回転軸１３８を通っ
てＹ軸１４１方向に延在する。インプットビーム１３６
は、Ｚ軸１２０に関して、対称にＸ軸１２２の方向に中
央に位置決めされ、また、Ｘ軸１２２の方向に、ミラー
１４０の回転軸１３８に関して対称に一線上に並ぶ。Ｘ
軸１２２に関して対称であることによって、シリンダ１
３０が回転するときに光線がＺ軸１２０のどちら側につ
いても中央からずれて移動することによる、Ｚ−Ｚ経路
の長さの不一致が排除される。

【００１５】インプットビーム１３６の光の屈折は、イ
ンプットレンズ１３２の表面１４２,１４４およびシリ
ンダ１３０の面１４６で起こり、屈折されたインプット
ビーム１３７を形成する。そして、屈折されたインプッ
トビーム１３７は、ミラー１４０の面より反射し、シリ
ンダ１３０の一部分１４８から、アウトプット走査ビー
ム１５０として出射する。シリンダ面１４８の形状は、
面１４６と同じであるが、法則により、Ｚ軸１２０に対
する配置と、アウトプット走査ビーム１５０の伝播の方
向とによって、面１４８は、負の半径値(negative radi
us value)をもたらす。このような屈折特性が合わさっ
て、ミラー面１４０の反射と共働して、イメージ面１３
４に焦点１５２を結ぶアウトプット走査ビーム１５０を
形成する。このイメージ面１３４は、本実施例では、シ
リンダ１３０から約２０ｃｍ離れている。ミラー１４０
を有するシリンダ１３０が回転すると、アウトプット走
査ビーム１５０は、焦点がシリンダ１３０の回転軸１３
８のまわりを弓形状に移動するので、イメージ面１３４
に沿って移動する。図３に示すように、シリンダ１３０
が３.５°(すなわち０.０６１１ラジアン)回転した後、
アウトプット走査ビーム１５０は、点１５４を通って、
焦点を結ぶ。アウトプット走査ビーム１５０の焦点は、
一定の速度で、イメージ面１３４に沿って移動する。

【００１６】もしミラー１４０の両面がミラーであるよ
うに構成されれば(反対向きとなるように配置された反
射面であれば)、１つのインプットビーム１３６は、３
６０°(すなわち６.２８ラジアン)の弓型のアウトプッ
ト走査ビーム１５０を、回転軸１３８のまわりに上記距
離のイメージ面１３４に形成する。二面ミラーを用いれ
ば、シリンダ１３０が１回転することによって２つの走
査が生じる。

【００１７】多くの適用では、走査ユニットからの走査
ビームは、限定された配置すなわち方向で用いられてい
る。図４に示すように、システム１００内には、マスク
１６０が用いられて、アウトプットビーム１５０を、マ
スク１６０の一部にある開口部１７０によって形成され
る弓形状の範囲に限定する。このように１つのインプッ
トビーム１３６と２つのミラー１４０とを備える適用例
においては、シリンダ１３０の一回転は、２つの走査線
を形成して、イメージ面１３４で焦点が合う。開口部１
７０に隣接して適切に位置決めされた、適した形状のア
ウトプットレンズ１８０を用いているため、イメージ面
１３４は平坦である。

【００１８】図５は、本発明の他の実施例である、シス
テム２００を開示している。シリンダ２１０は、好まし
くは、２つの融解クリスタルガラス(fused quartz crys
tal)の半割れシリンダ２１２,２１４とより構成され
る。半割れシリンダ２１２,２１４は光学的に透明であ
る。クリスタルガラスの屈折率は１.４５６７４であ
る。組み立てる前に、半割れシリンダ２１２,２１４の
平坦面は、例えばアルミニウムなどで、反射するように
被覆されて、反射面を形成する。そして、半割れシリン
ダ２１２,２１４は、背中合わせに位置決めされ、高速
回転すべく適切に固定される。本実施例においては、保
持リング２１６,２１８のような複数のリングによって
結合が達成される。図示しているように、シリンダ２１
０は、両面ミラー２２０を有している。このミラー２２
０は、シリンダ２１０の回転軸２２２を通る両面ミラー
２２０の面でシリンダを半分に分割する。回転軸２２２
は、Ｙ軸としても示される。シリンダ２１０は、高さ２
cmで、直径２cmである。保持リング２１６,２１８は、
幅０.２５cmである。

【００１９】シリンダ２１０は、１,４６９回転／秒ま
での速度で回転可能である。このことは、クリスタルガ
ラスで、４８２,６３１,３２８.３パスカルあるいはニ
ュートン／平方メートル(Nm²)(すなわち７０,０００ポ
ンド／平方インチ)を発生させる。これは、この材料が
通常耐えうる最大の応力である。たわみによる各半割れ
シリンダ片の屈曲は、０.００３５２ミリメートル(mm)
であって、光学的に受容し得ると考えられる。ただ１つ
のインプットビームと、両面ミラーを用いることによっ
て、システム２００は、２,９３８走査／秒の、最大限
の走査速度を提供する。最大限の６７％という安全にす
るためのマージンを採用すれば、シリンダ２１０は、
１,２００回転／秒の速度で回転して、１つのインプッ
トビームで、２,４００アウトプット走査／秒を生じさ
せることが可能である。

【００２０】小さいシリンダは、大きいシリンダよりも
速い速度で回転することが可能である。また、クリスタ
ルガラス以外の材料を用いても、特定の適用に必要な、
所望の強度及び屈折率を達成することが可能である。

【００２１】再び図５について言及すると、インプット
ビーム２２４は、可視光線レーザーのような、複数の異
なる輻射エネルギー源より形成してもよい。インプット
ビームレンズ２２６,２２８は、焦点をＹ軸内に修正す
る。インプットビーム２３０は、屈折率１.８７９に構
成された重フリントであって、球面収差を調整し、ま
た、シリンダ２１０の光学的特性と共働して、シリンダ
２１０から離れている適切なイメージ面２３４に、焦点
の合ったビームを提供する。インプットビームレンズ２
３０(あるいは複数のレンズ２３０の各々)は、半径６cm
の凸面と半径２ｃｍの内側凹面を有する、凸凹面を有し
ている。インプットビームレンズ２３０は、その光軸中
央部の厚さは１ｍｍで、小さいほうの湾曲面は、シリン
ダ２１０の表面から３mm離れている。システム２００の
焦点距離は、シリンダ２１０の表面から３０cm離れてい
る。また、システム２００は、アウトプット走査ビーム
レンズ２３２を採用して、イメージ面２３４を平坦にし
ている。

【００２２】システム２００は、６つのインプットビー
ム２２４の光源と、シリンダ２１０の周囲にある、６組
のインプットビームレンズ２２６,２２８,２３０と共に
うまく機能するが、この複数のセットは、本実施例に限
定されるものではない。１,２００回転／秒で回転する
と、両面ミラー２２０のついたシリンダ２１０は、シリ
ンダ周囲の３６０°(すなわち６.２８３ラジアン)の弓
型で、１４,４００速度アウトプットビーム／秒を提供
する。各アウトプット走査ビームは、６つのインプット
ビーム源２２４の１つによって妨害されないときにのみ
有用である。開口部２３８を形成する部分を持つマスク
２６は、全てのアウトプットを一方向に限定する。いか
なる寸法の開口部２３８も、適用に有用である。図５の
実施例は、２１.５９cm(すなわち、８ 1/2インチ）の走
査線距離を許容するのに十分な寸法で、図示しているよ
うに、焦点２３４はイメージ面２３４に合う。０.０８
４mmの寸法のアウトプットビームドットを提供すべくシ
ステムを配置決めすれば、２１.５９cmから２７.９４cm
(すなわち８ 1/2から１１インチ）の紙片のような基材
は、０.２３秒の走査線で、０.０８４／mm走査される。
０.０８４mmの光線ドット寸法は、３００ドット／イン
チ(dpi)(すなわち３００ドット／２.５４cm)と同等の解
像であり、これは、今日のレーザープリンターの標準解
像である。

【００２３】複数のインプットビームを用いる代替例で
は、Ｙ軸方向に配置されたそれぞれの上にビームを重ね
る。この適用によれば、Ｙ軸の各レベルのアウトプット
は、例えばスイッチのオン及びオフを、独立して制御す
ることが可能である。

【００２４】複数のインプット及びアウトプットイメー
ジングレンズサブシステムを使用することによって、本
発明は、高速かつ高解像走査の進歩的な適用を許容す
る。加えて、この装置は、インプットビームをＹ軸沿い
に伝播するような、追加のインプットレンズを使用して
もよい。シリンダ２１０は、Ｙ軸内で湾曲せず、Ｙ軸内
で光学エネルギーも持たない。そのため、このような走
査ビームは、Ｙ軸方向に薄い線として、イメージ面２３
４に焦点の合う輻射エネルギーのファンとして現れる。
シリンダ２１０の回転によって、Ｙ軸に取り付けられ
て、シリンダ２１０の回転軸に２２についてＸ軸に走査
する、走査線が生じる。

【００２５】本発明は、Ｘ軸及びＹ軸の方向に取り付け
られる、インプット及びアウトプットイメージングサブ
システムの、多数の組み合わせを許容する。高速の光学
走査に好ましい装置及び方法は、その回転軸が光軸中心
の上にありながら垂直であるように位置決めされる、回
転ミラーを用いる。このシステム及び方法は、その中に
ミラーを入れるような光学的に透明なシリンダを使用す
る。１つの利点は、光学的に平坦な面のシリンダを用い
ることによって、造風抵抗が排除されることである。造
風抵抗は、平らでない表面によって形成されて、回転速
度の上限を限定し、任意の速度で、駆動するのにより大
きなパワーを必要とし、システムの光学的な透明度にと
って有害な乱流及び振動を生じさせる。

【００２６】光学的に平坦な面のシリンダは、軽微な造
風抵抗を生じ、かなり速い回転速度を許容し、より速い
走査速度を達成する。このようにすれば、パワーの消費
は最小限に保たれる。システムを、高価でかさばる真空
装置内に位置決めする必要は排除される。その結果、大
気中における回転速度の上限は、造風抵抗ではなくシリ
ンダを形成するのに用いられる材料の機械的強度に基づ
いてのみ限定されることになる。

【００２７】シリンダを使用する他の利点は、光学的に
改良される点である。この利点は、実際には、２つの面
がある。１つは、光学的高品質面を有するシリンダを使
用するときに見いだされる。このようにすれば、シリン
ダそれ自身が、走査システム内のレンズ部材になり、イ
ンプット光学系の必要性は単純化される。本発明のより
単純な適用例では、シリンダの光学特性によって、走査
後の光学系の必要は排除される。第２の光学的利点は、
このシリンダが、シリンダの回転軸を通るミラー面に取
り付けられたミラーの使用を許容する点である。軸に位
置決めされたミラーは、インプットビームが回転軸につ
いて左右対称であることを許容する。反射が左右対称で
あることは、走査ビームの固定された原点を提供し、原
点が移動する原因となるような、複雑な走査後の光の修
正を排除する。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の多角形ミラー光学スキャナの斜視図で
ある。

【図２】多角形ミラー光学スキャナの一部分の平面図
であって、２つの回転位置を示している。

【図３】本発明の軸ミラーシステムの一実施例の概略
平面図である。

【図４】本発明の軸ミラーシステムの他の実施例の概
略平面図である。

【図５】本発明の軸ミラーシステムのまた別の実施例
の概略斜視図である。

【符号の説明】

１０六角形シリンダ１２反射面ファセット１４頂点１６インプットビーム１８アウトプットビーム２０Ｚ軸２２Ｘ軸２３Ｙ軸２４回転軸２６，２８入射点１００走査システム１２０Ｚ軸１２２Ｘ軸１３０固体シリンダ１３２インプットレンズ１３４イメージ面１３５レーザー光源１３６インプットビーム１３７反射されたインプットビーム１３８回転軸１４０ミラー１４１Ｙ軸１４２，１４４面１４８シリンダ面１５０アウトプット走査ビーム１５２，１５４焦点１６０マスク１７０開口１８０アウトプットレンズ２００システム２１０シリンダ２１２，２１４半割れシリンダ２１６，２１８保持リング２２０両面ミラー２２２回転軸２２４インプットレンズ２２６，２２８，２３０インプットビームレンズ２３２アウトプット走査ビームレンズ２３４イメージ面２３６マスク

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも１つの放射エネルギー源と、上記放射エネルギーを少なくとも１つのインプットビー
ムに予め収束させるインプットイメージング手段と、反射によって上記少なくとも１つのインプットビームの
方向を変える回転ミラー手段であって、上記少なくとも
１つのインプットビームに対して光学的に透明な部材よ
りなるシリンダと、該シリンダを回転軸に沿って分割す
るようにその面が位置決めされた１つのミラー面とを有
する回転ミラー手段と、少なくとも１つの反射されたインプットビームを、少な
くとも１つのアウトプット走査ビームに収束させるため
の、上記シリンダ部材の外面として一体的に形成される
レンズを有するアウトプットイメージング手段とを備え
る、回転光学ミラー走査システム。
【請求項２】上記シリンダは２つの等しい半割れシリ
ンダを備え、該各半割れシリンダは上記シリンダを上記
回転軸に沿って分割する面内にひとつのミラー面を有
し、上記２つの半割れシリンダが結合されるとき、上記
シリンダは、反対向きに取り付けられた２つのミラー面
を備える、請求項１記載のシステム。
【請求項３】上記回転ミラー手段は、２つのミラー面
を備え、各インプットイメージング手段について、上記
回転ミラー手段の各回転によって、２つの走査アウトプ
ットビームが形成される、請求項１記載のシステム。
【請求項４】上記インプットイメージング手段は、各
インプットビームを、上記回転軸に関して対称に位置決
めする、請求項１〜３のいずれかに記載のシステム。
【請求項５】上記インプットイメージング手段は、さ
らに、上記放射エネルギーを上記回転軸に沿って予め焦
点を収束させるレンズ手段を備え、球面収差を除去し、
かつ、上記回転軸沿いの変位を限定する、請求項１〜４
のいずれかに記載のシステム。
【請求項６】上記インプットイメージング手段及び上
記アウトプットイメージング手段は、さらに、複数のイ
ンプットイメージングレンズと、アウトプットイメージ
ングレンズとをそれぞれ備え、上記シリンダの周囲に、
又は上記シリンダの上記回転軸と平行に、選択的に位置
決めされて、アウトプット走査ビームの数を増加させ
る、請求項１〜５のいずれかに記載のシステム。
【請求項７】上記放射エネルギー源の数は、上記イン
プットイメージングレンズの数と、数が等しく合致す
る、請求項１〜６のいずれかに記載のシステム。
【請求項８】上記回転ミラー手段及び上記アウトプッ
トイメージング手段は、上記アウトプット走査ビームの
一定速度で動く焦点をイメージ面上に形成する、請求項
１〜７のいずれかに記載のシステム。
【請求項９】上記インプットイメージング手段または
アウトプットイメージング手段のどちらかは、外部レン
ズサブシステムを備える、請求項１〜８のいずれかに記
載のシステム。
【請求項１０】光学的に透明な高速で回転することが
可能なシリンダを準備するステップであって、該シリン
ダは、光学反射ミラーを受容するのに適した回転軸と、
上記シリンダの外面として一体的に形成されたアウトプ
ットイメージングレンズとを備える、ステップと、光学反射ミラーを上記シリンダ内に位置決めして、上記
ミラーの１つの面が光学的に透明な上記シリンダの上記
回転軸に平行にかつ上記回転軸を通るようにするステッ
プと、上記シリンダと上記ミラーとをエネルギー源に対して回
転し、上記源からのエネルギービームが、上記光学反射
ミラーの上記回転軸の中央に位置決めされている良好に
形成された原点から反射して、上記ビームをイメージ面
上の動く焦点に収束させるアウトプットイメージングレ
ンズを通過するようにするステップとを備える、高速回
転光学反射ミラー走査システムの焦点速度を一定に維持
しつつ、走査レートを向上する方法。