JPH07206526A - 窒化珪素焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化珪素焼結体の製造方法Info
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- JPH07206526A JPH07206526A JP6000816A JP81694A JPH07206526A JP H07206526 A JPH07206526 A JP H07206526A JP 6000816 A JP6000816 A JP 6000816A JP 81694 A JP81694 A JP 81694A JP H07206526 A JPH07206526 A JP H07206526A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】柱状晶の成長を促進させるとともに焼結体の組
織を微細で均一とする焼結助剤を開拓し、高強度の窒化
珪素焼結体とする。 【構成】窒化珪素粉末と焼結助剤とを混合し、所定形状
の成形体を成形した後、成形体を窒素雰囲気中で１４０
０〜１６５０℃の温度範囲で焼結する窒化珪素焼結体の
製造方法であって、焼結助剤としてＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2
及びＭｇＡｌ2 Ｏ 4 を総添加量が５〜１５重量％となる
ように用い、重量比（Ｙ2 Ｏ3 ＋ＴｉＯ2）／ＭｇＡｌ
2 Ｏ4 を０．３〜４、重量比Ｙ2 Ｏ3 ／ＴｉＯ2 を０．
２以上としたことを特徴とする。ＴｉＯ2 を含む３成分
系の焼結助剤を最適な比率で用いることにより、焼結体
組織が微細化するとともに、柱状晶の成長が促進され、
高強度の焼結体を製造することができる。
織を微細で均一とする焼結助剤を開拓し、高強度の窒化
珪素焼結体とする。 【構成】窒化珪素粉末と焼結助剤とを混合し、所定形状
の成形体を成形した後、成形体を窒素雰囲気中で１４０
０〜１６５０℃の温度範囲で焼結する窒化珪素焼結体の
製造方法であって、焼結助剤としてＹ2 Ｏ3 とＴｉＯ2
及びＭｇＡｌ2 Ｏ 4 を総添加量が５〜１５重量％となる
ように用い、重量比（Ｙ2 Ｏ3 ＋ＴｉＯ2）／ＭｇＡｌ
2 Ｏ4 を０．３〜４、重量比Ｙ2 Ｏ3 ／ＴｉＯ2 を０．
２以上としたことを特徴とする。ＴｉＯ2 を含む３成分
系の焼結助剤を最適な比率で用いることにより、焼結体
組織が微細化するとともに、柱状晶の成長が促進され、
高強度の焼結体を製造することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックス製品とし
て広く用いられている窒化珪素焼結体の製造方法に関す
る。
て広く用いられている窒化珪素焼結体の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】窒化珪素焼結体の強度を向上させるため
に、従来よりイットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）、酸化スカンジウ
ム、酸化ハフニウムあるいはスピネル（ＭｇＡｌ
2 Ｏ4 ）などの焼結助剤が用いられている。例えば、イ
ットリアを焼結助剤として用いることにより、焼結体組
織に柱状晶が生成され、高強度が得られることが知られ
ている。
に、従来よりイットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）、酸化スカンジウ
ム、酸化ハフニウムあるいはスピネル（ＭｇＡｌ
2 Ｏ4 ）などの焼結助剤が用いられている。例えば、イ
ットリアを焼結助剤として用いることにより、焼結体組
織に柱状晶が生成され、高強度が得られることが知られ
ている。
【０００３】またイットリアとスピネルとを併用するの
も有効であり、例えば特開平５−３２４６０号公報に
は、焼結助剤としてイットリアとスピネルを総添加量で
５〜１５重量％、スピネルに対するイットリアの重量比
を０．３〜１０の範囲で用いることが記載されている。
このようにイットリアとスピネルとを併用することによ
り、１４００〜１６５０℃という低温での焼結が可能と
なる。
も有効であり、例えば特開平５−３２４６０号公報に
は、焼結助剤としてイットリアとスピネルを総添加量で
５〜１５重量％、スピネルに対するイットリアの重量比
を０．３〜１０の範囲で用いることが記載されている。
このようにイットリアとスピネルとを併用することによ
り、１４００〜１６５０℃という低温での焼結が可能と
なる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、特開平５−
３２４６０号公報に記載のようにイットリアとスピネル
を焼結助剤として併用して低温で焼結した場合には、得
られる窒化珪素焼結体の室温強度は向上するものの、そ
の組織は均一とはいえず粗大粒子もみられ、また柱状晶
の成長度合いにばらつきがあることも明らかとなった。
この組織の不均一さが強度に悪影響を及ぼしていること
も充分に考えられる。
３２４６０号公報に記載のようにイットリアとスピネル
を焼結助剤として併用して低温で焼結した場合には、得
られる窒化珪素焼結体の室温強度は向上するものの、そ
の組織は均一とはいえず粗大粒子もみられ、また柱状晶
の成長度合いにばらつきがあることも明らかとなった。
この組織の不均一さが強度に悪影響を及ぼしていること
も充分に考えられる。
【０００５】またイットリアなどの希土類酸化物は高価
であり、得られる窒化珪素焼結体も高価となるという問
題がある。本発明はこのような事情に鑑みてなされたも
のであり、柱状晶の成長を促進させるとともに焼結体の
組織を微細で均一とする焼結助剤を開拓し、高強度の窒
化珪素焼結体とすることを目的とする。
であり、得られる窒化珪素焼結体も高価となるという問
題がある。本発明はこのような事情に鑑みてなされたも
のであり、柱状晶の成長を促進させるとともに焼結体の
組織を微細で均一とする焼結助剤を開拓し、高強度の窒
化珪素焼結体とすることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の窒化珪素焼結体の製造方法は、窒化珪素粉末と焼結
助剤とを混合し、所定形状の成形体を成形した後、成形
体を窒素雰囲気中で１４００〜１６５０℃の温度範囲で
焼結する窒化珪素焼結体の製造方法であって、焼結助剤
としてイットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）とチタニア（ＴｉＯ2 ）
及びスピネル（ＭｇＡｌ2 Ｏ4 ）を総添加量が５〜１５
重量％となるように用い、重量比（Ｙ 2 Ｏ3 ＋Ｔｉ
Ｏ2 ）／ＭｇＡｌ2 Ｏ4 を０．３〜４、重量比Ｙ2 Ｏ3
／ＴｉＯ2を０．２以上としたことを特徴とする。
明の窒化珪素焼結体の製造方法は、窒化珪素粉末と焼結
助剤とを混合し、所定形状の成形体を成形した後、成形
体を窒素雰囲気中で１４００〜１６５０℃の温度範囲で
焼結する窒化珪素焼結体の製造方法であって、焼結助剤
としてイットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）とチタニア（ＴｉＯ2 ）
及びスピネル（ＭｇＡｌ2 Ｏ4 ）を総添加量が５〜１５
重量％となるように用い、重量比（Ｙ 2 Ｏ3 ＋Ｔｉ
Ｏ2 ）／ＭｇＡｌ2 Ｏ4 を０．３〜４、重量比Ｙ2 Ｏ3
／ＴｉＯ2を０．２以上としたことを特徴とする。
【０００７】また第２の発明の本発明の窒化珪素焼結体
の製造方法は、窒化珪素粉末と焼結助剤とを混合し、所
定形状の成形体を成形した後、成形体を窒素雰囲気中で
１４００〜１６５０℃の温度範囲で焼結する窒化珪素焼
結体の製造方法であって、焼結助剤としてジルコニア
（ＺｒＯ2 ）とチタニア（ＴｉＯ2 ）及びスピネル（Ｍ
ｇＡｌ2 Ｏ4 ）を総添加量が５〜１５重量％となるよう
に用い、重量比（ＺｒＯ2 ＋ＴｉＯ2 ）／ＭｇＡｌ2 Ｏ
4 を０．３〜４、重量比ＺｒＯ2 ／ＴｉＯ2を０．２以
上としたことを特徴とする。
の製造方法は、窒化珪素粉末と焼結助剤とを混合し、所
定形状の成形体を成形した後、成形体を窒素雰囲気中で
１４００〜１６５０℃の温度範囲で焼結する窒化珪素焼
結体の製造方法であって、焼結助剤としてジルコニア
（ＺｒＯ2 ）とチタニア（ＴｉＯ2 ）及びスピネル（Ｍ
ｇＡｌ2 Ｏ4 ）を総添加量が５〜１５重量％となるよう
に用い、重量比（ＺｒＯ2 ＋ＴｉＯ2 ）／ＭｇＡｌ2 Ｏ
4 を０．３〜４、重量比ＺｒＯ2 ／ＴｉＯ2を０．２以
上としたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明の窒化珪素焼結体の製造方法では、焼結
助剤をイットリア、チタニア及びスピネルの３成分系、
又はジルコニア、チタニア及びスピネルの３成分系と
し、各酸化物の混合比率を請求項１又は請求項２に記載
の構成としたことにより、理由は不明であるが２成分系
に比べて窒化珪素焼結体の組織が一層微細化され、柱状
晶の成長が促進される。したがって焼結体の強度が向上
する。
助剤をイットリア、チタニア及びスピネルの３成分系、
又はジルコニア、チタニア及びスピネルの３成分系と
し、各酸化物の混合比率を請求項１又は請求項２に記載
の構成としたことにより、理由は不明であるが２成分系
に比べて窒化珪素焼結体の組織が一層微細化され、柱状
晶の成長が促進される。したがって焼結体の強度が向上
する。
【０００９】またイットリアの代わりにジルコニアを用
いることにより、焼結助剤が安価となりその結果窒化珪
素焼結体も安価となる。焼結助剤の総添加量を５〜１５
重量％としたのは、５重量％未満では低温域での焼結が
困難となって焼結体の強度が低下するからであり、１５
重量％を超えて添加すると緻密な焼結体は得られるもの
の強度が低下するからである。
いることにより、焼結助剤が安価となりその結果窒化珪
素焼結体も安価となる。焼結助剤の総添加量を５〜１５
重量％としたのは、５重量％未満では低温域での焼結が
困難となって焼結体の強度が低下するからであり、１５
重量％を超えて添加すると緻密な焼結体は得られるもの
の強度が低下するからである。
【００１０】また重量比（Ｙ2 Ｏ3 ＋ＴｉＯ2 ）／Ｍｇ
Ａｌ2 Ｏ4 を０．３〜４としたのは、この比が０．３よ
り小さいと柱状晶の成長が見られず強度が低下するから
であり、この比が４を超えると焼結体の緻密化が困難と
なるからである。そして重量比Ｙ2 Ｏ3 ／ＴｉＯ2 を
０．２以上としたのは、０．２より小さいと緻密化が阻
害されるからである。なお上限は特に規定されないが、
重量比Ｙ2Ｏ3 ／ＴｉＯ2 ＝１をピークとして強度は徐
々に低下する傾向にあり、イットリア／スピネルの２成
分系の焼結助剤を用いて焼結された焼結体の強度に漸近
する。
Ａｌ2 Ｏ4 を０．３〜４としたのは、この比が０．３よ
り小さいと柱状晶の成長が見られず強度が低下するから
であり、この比が４を超えると焼結体の緻密化が困難と
なるからである。そして重量比Ｙ2 Ｏ3 ／ＴｉＯ2 を
０．２以上としたのは、０．２より小さいと緻密化が阻
害されるからである。なお上限は特に規定されないが、
重量比Ｙ2Ｏ3 ／ＴｉＯ2 ＝１をピークとして強度は徐
々に低下する傾向にあり、イットリア／スピネルの２成
分系の焼結助剤を用いて焼結された焼結体の強度に漸近
する。
【００１１】また重量比（ＺｒＯ2 ＋ＴｉＯ2 ）／Ｍｇ
Ａｌ2 Ｏ4 を０．３〜４としたのは、この比が０．３よ
り小さいと柱状晶の成長が見られず強度が低下するから
であり、この比が４を超えると焼結体の緻密化が困難と
なるからである。そして重量比ＺｒＯ2 ／ＴｉＯ2 を
０．２以上としたのは、０．２より小さいと緻密化が阻
害されるからである。なお上限は特に規定されないが、
重量比ＺｒＯ2 ／ＴｉＯ2 ＝１をピークとして強度は徐
々に低下する傾向にあり、ジルコニア／スピネルの２成
分系の焼結助剤を用いて焼結された焼結体の強度に漸近
する。
Ａｌ2 Ｏ4 を０．３〜４としたのは、この比が０．３よ
り小さいと柱状晶の成長が見られず強度が低下するから
であり、この比が４を超えると焼結体の緻密化が困難と
なるからである。そして重量比ＺｒＯ2 ／ＴｉＯ2 を
０．２以上としたのは、０．２より小さいと緻密化が阻
害されるからである。なお上限は特に規定されないが、
重量比ＺｒＯ2 ／ＴｉＯ2 ＝１をピークとして強度は徐
々に低下する傾向にあり、ジルコニア／スピネルの２成
分系の焼結助剤を用いて焼結された焼結体の強度に漸近
する。
【００１２】
【実施例】以下、実施例により具体的に説明する。 （実施例１〜２５，比較例１〜７）先ず、シリコンジイ
ミドの熱分解法で得られた窒化珪素粉末（平均粒径０．
２μｍ，α化率９７％）と、金属シリコンの直接窒化法
で得られた窒化珪素粉末（平均粒径０．９μｍ，α化率
９２％）の２種類の窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）粉末を用意
した。
ミドの熱分解法で得られた窒化珪素粉末（平均粒径０．
２μｍ，α化率９７％）と、金属シリコンの直接窒化法
で得られた窒化珪素粉末（平均粒径０．９μｍ，α化率
９２％）の２種類の窒化珪素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）粉末を用意
した。
【００１３】また別に、イットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）粉末
（平均粒径０．３μｍ，純度９９．９％）、ジルコニア
（ＺｒＯ2 ）粉末（平均粒径０．３μｍ，純度９９．９
％）、チタニア（ＴｉＯ2 ）粉末（平均粒径０．２μ
ｍ、純度９９．９％）及びスピネル（ＭｇＡｌ2 Ｏ4 ）
粉末（平均粒径０．３μｍ，純度９９．９％）を用意し
た。
（平均粒径０．３μｍ，純度９９．９％）、ジルコニア
（ＺｒＯ2 ）粉末（平均粒径０．３μｍ，純度９９．９
％）、チタニア（ＴｉＯ2 ）粉末（平均粒径０．２μ
ｍ、純度９９．９％）及びスピネル（ＭｇＡｌ2 Ｏ4 ）
粉末（平均粒径０．３μｍ，純度９９．９％）を用意し
た。
【００１４】これらの粉末を、表１に示す比率でそれぞ
れ窒化珪素製ボールミルに投入して混合した。なお、実
施例１０〜実施例１２、実施例１６、比較例１５にのみ
直接窒化法で形成された窒化珪素粉末を用い、他は全て
シリコンジイミドの熱分解法で形成された窒化珪素粉末
を用いた。また実施例１６と比較例１５で用いた窒化珪
素は耐火物グレードのものである。
れ窒化珪素製ボールミルに投入して混合した。なお、実
施例１０〜実施例１２、実施例１６、比較例１５にのみ
直接窒化法で形成された窒化珪素粉末を用い、他は全て
シリコンジイミドの熱分解法で形成された窒化珪素粉末
を用いた。また実施例１６と比較例１５で用いた窒化珪
素は耐火物グレードのものである。
【００１５】次に、得られた混合粉末を１９．６ＭＰａ
の圧力で加圧成形し、さらに薄ゴムに詰めて真空封入後
２９４ＭＰａの圧力でＣＩＰ処理して成形体を形成し
た。この成形体を表１に示す条件で、窒素ガス雰囲気中
で焼結した。昇温速度は１℃／ｍｉｎで最高温度に到達
するまでは圧力０．１Ｐａの窒素ガス雰囲気下で昇温
し、最高温度到達後に表１に示す焼結圧力まで毎分１．
６Ｐａの昇圧速度で加圧した。また最高温度での保持時
間は４時間である。
の圧力で加圧成形し、さらに薄ゴムに詰めて真空封入後
２９４ＭＰａの圧力でＣＩＰ処理して成形体を形成し
た。この成形体を表１に示す条件で、窒素ガス雰囲気中
で焼結した。昇温速度は１℃／ｍｉｎで最高温度に到達
するまでは圧力０．１Ｐａの窒素ガス雰囲気下で昇温
し、最高温度到達後に表１に示す焼結圧力まで毎分１．
６Ｐａの昇圧速度で加圧した。また最高温度での保持時
間は４時間である。
【００１６】得られた焼結体について、それぞれ相対密
度とＪＩＳ−Ｒ−１６０１に規定される室温４点曲げ強
度を各１０本測定し、平均値としての結果を表１に示
す。なお相対密度は、ｎ−ブタノール置換法で求めた嵩
密度を理論密度で除して求めた値である。 （比較例８〜２０）上記と同様のイットリア粉末、ジル
コニア粉末及びスピネル粉末を用意し、イットリア−ス
ピネル、又はジルコニア−スピネルの２成分系の混合焼
結助剤として、シリコンジイミドの熱分解法で形成され
た窒化珪素粉末と表２に示す比率で混合した。
度とＪＩＳ−Ｒ−１６０１に規定される室温４点曲げ強
度を各１０本測定し、平均値としての結果を表１に示
す。なお相対密度は、ｎ−ブタノール置換法で求めた嵩
密度を理論密度で除して求めた値である。 （比較例８〜２０）上記と同様のイットリア粉末、ジル
コニア粉末及びスピネル粉末を用意し、イットリア−ス
ピネル、又はジルコニア−スピネルの２成分系の混合焼
結助剤として、シリコンジイミドの熱分解法で形成され
た窒化珪素粉末と表２に示す比率で混合した。
【００１７】この混合粉末から上記と同様にして成形
し、上記と同様に昇温して表１に示す条件で焼結した。
そして上記と同様にして相対密度と室温４点曲げ強度を
測定し、結果を表２に示す。
し、上記と同様に昇温して表１に示す条件で焼結した。
そして上記と同様にして相対密度と室温４点曲げ強度を
測定し、結果を表２に示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【表２】
【００２０】（評価）実施例１〜１５と比較例８〜２０
を比較すると、チタニアを加えた３成分系の焼結助剤を
用いることにより、２成分系に比べて室温強度が向上し
ていることが明らかである。また、強度のばらつきの度
合いはワイブル係数で実施例の焼結体は比較例に比べて
１〜５大きな値を示し、実施例の方が強度のばらつきが
小さいことも確認された。このように実施例の焼結体が
高い強度を示すのは、焼結体組織が細かいこと、及び柱
状晶の成長が顕著となったことに起因すると考えられ
る。
を比較すると、チタニアを加えた３成分系の焼結助剤を
用いることにより、２成分系に比べて室温強度が向上し
ていることが明らかである。また、強度のばらつきの度
合いはワイブル係数で実施例の焼結体は比較例に比べて
１〜５大きな値を示し、実施例の方が強度のばらつきが
小さいことも確認された。このように実施例の焼結体が
高い強度を示すのは、焼結体組織が細かいこと、及び柱
状晶の成長が顕著となったことに起因すると考えられ
る。
【００２１】実施例１６と比較例１５の焼結体の内部組
織写真（ＳＥＭ）を図１及び図２に示す。これより実施
例１６の焼結体の方が比較例１５に比べて組織が細かく
均一となっていることが明らかである。実施例において
は、重量比（Ｙ2 Ｏ3 ＋ＴｉＯ2 ）／ＭｇＡｌ2 Ｏ4 及
び重量比（ＺｒＯ2 ＋ＴｉＯ2 ）／ＭｇＡｌ2 Ｏ4 が
１．５で、１５５０℃で焼結したものが最高の強度を示
し、最も好ましい条件といえる。そしてこの組成では、
１４００℃という極めて低温の焼結でも９００ＭＰａを
超える強度を発現している。
織写真（ＳＥＭ）を図１及び図２に示す。これより実施
例１６の焼結体の方が比較例１５に比べて組織が細かく
均一となっていることが明らかである。実施例において
は、重量比（Ｙ2 Ｏ3 ＋ＴｉＯ2 ）／ＭｇＡｌ2 Ｏ4 及
び重量比（ＺｒＯ2 ＋ＴｉＯ2 ）／ＭｇＡｌ2 Ｏ4 が
１．５で、１５５０℃で焼結したものが最高の強度を示
し、最も好ましい条件といえる。そしてこの組成では、
１４００℃という極めて低温の焼結でも９００ＭＰａを
超える強度を発現している。
【００２２】そして焼結助剤総量が５重量％より少ない
比較例１では、１５５０℃の焼結では緻密化が困難で強
度が低い。また１５重量％より多い比較例２では、焼結
体は緻密となるものの高い強度は得られない。重量比Ｙ
2 Ｏ3 ／ＴｉＯ2 が０．２より小さい比較例３では、緻
密化が困難となって強度が低くなっている。
比較例１では、１５５０℃の焼結では緻密化が困難で強
度が低い。また１５重量％より多い比較例２では、焼結
体は緻密となるものの高い強度は得られない。重量比Ｙ
2 Ｏ3 ／ＴｉＯ2 が０．２より小さい比較例３では、緻
密化が困難となって強度が低くなっている。
【００２３】重量比（Ｙ2 Ｏ3 ＋ＴｉＯ2 ）／ＭｇＡｌ
2 Ｏ4 が０．３より小さい比較例４では、緻密な焼結体
は得られるが強度が低い。これは柱状晶の成長が顕著で
はないからである。またこの重量比が４より大きな比較
例５では、緻密化しないため強度が低い。さらに、焼結
温度が１４００℃より低い比較例６では、緻密化が困難
であるため強度が低く、１６５０℃を超える温度で焼結
された比較例７では、緻密化は達成されているものの、
焼結体組織が大きくなるため高い強度は得られない。
2 Ｏ4 が０．３より小さい比較例４では、緻密な焼結体
は得られるが強度が低い。これは柱状晶の成長が顕著で
はないからである。またこの重量比が４より大きな比較
例５では、緻密化しないため強度が低い。さらに、焼結
温度が１４００℃より低い比較例６では、緻密化が困難
であるため強度が低く、１６５０℃を超える温度で焼結
された比較例７では、緻密化は達成されているものの、
焼結体組織が大きくなるため高い強度は得られない。
【００２４】
【発明の効果】すなわち本発明の窒化珪素焼結体の製造
方法によれば、低温焼結によっても高強度の窒化珪素焼
結体を安定して容易に製造することができる。そしてイ
ットリアに代えてジルコニアを用いれば、高強度を維持
しつつ原料が安価な分だけ安価な窒化珪素焼結体を製造
することができる。
方法によれば、低温焼結によっても高強度の窒化珪素焼
結体を安定して容易に製造することができる。そしてイ
ットリアに代えてジルコニアを用いれば、高強度を維持
しつつ原料が安価な分だけ安価な窒化珪素焼結体を製造
することができる。
【図１】本発明の一実施例で得られた焼結体の結晶構造
を示す顕微鏡写真の代用図面である。
を示す顕微鏡写真の代用図面である。
【図２】比較例で得られた焼結体の結晶構造を示す顕微
鏡写真の代用図面である。
鏡写真の代用図面である。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
Claims (2)
- 【請求項１】 窒化珪素粉末と焼結助剤とを混合し、所
定形状の成形体を成形した後、該成形体を窒素雰囲気中
で１４００〜１６５０℃の温度範囲で焼結する窒化珪素
焼結体の製造方法であって、 前記焼結助剤としてイットリア（Ｙ2 Ｏ3 ）とチタニア
（ＴｉＯ2 ）及びスピネル（ＭｇＡｌ2 Ｏ4 ）を総添加
量が５〜１５重量％となるように用い、重量比（Ｙ2 Ｏ
3 ＋ＴｉＯ2 ）／ＭｇＡｌ2 Ｏ4 を０．３〜４、重量比
Ｙ2 Ｏ3 ／ＴｉＯ2 を０．２以上としたことを特徴とす
る窒化珪素焼結体の製造方法。 - 【請求項２】 窒化珪素粉末と焼結助剤とを混合し、所
定形状の成形体を成形した後、該成形体を窒素雰囲気中
で１４００〜１６５０℃の温度範囲で焼結する窒化珪素
焼結体の製造方法であって、 前記焼結助剤としてジルコニア（ＺｒＯ2 ）とチタニア
（ＴｉＯ2 ）及びスピネル（ＭｇＡｌ2 Ｏ4 ）を総添加
量が５〜１５重量％となるように用い、重量比（ＺｒＯ
2 ＋ＴｉＯ2 ）／ＭｇＡｌ2 Ｏ4 を０．３〜４、重量比
ＺｒＯ2 ／ＴｉＯ2 を０．２以上としたことを特徴とす
る窒化珪素焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06000816A JP3116701B2 (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06000816A JP3116701B2 (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07206526A true JPH07206526A (ja) | 1995-08-08 |
| JP3116701B2 JP3116701B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=11484205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06000816A Expired - Fee Related JP3116701B2 (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP3116701B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007308368A (ja) * | 2007-07-13 | 2007-11-29 | Toshiba Corp | 窒化けい素製耐摩耗性部材の製造方法 |
| WO2024043230A1 (ja) * | 2022-08-24 | 2024-02-29 | Ａｇｃ株式会社 | 窒化ケイ素焼結体及び窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
-
1994
- 1994-01-10 JP JP06000816A patent/JP3116701B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007308368A (ja) * | 2007-07-13 | 2007-11-29 | Toshiba Corp | 窒化けい素製耐摩耗性部材の製造方法 |
| WO2024043230A1 (ja) * | 2022-08-24 | 2024-02-29 | Ａｇｃ株式会社 | 窒化ケイ素焼結体及び窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3116701B2 (ja) | 2000-12-11 |
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