JPH07206522A - ＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体及びその製造方法 - Google Patents
ＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体及びその製造方法Info
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- JPH07206522A JPH07206522A JP5352569A JP35256993A JPH07206522A JP H07206522 A JPH07206522 A JP H07206522A JP 5352569 A JP5352569 A JP 5352569A JP 35256993 A JP35256993 A JP 35256993A JP H07206522 A JPH07206522 A JP H07206522A
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- mgo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体およびその製造方
法に関し、マシナブルな特性を損なわずに溶融金属に対
する耐食性、耐熱衝撃性、機械的強度に優れたＢＮ−Ａ
ｌＮ系複合焼結体及びその製造方法を提供することを目
的とする。 【構成】 窒化硼素原料（BN) ５〜６０重量％と、窒化
アルミニウム原料(AlN) ３５〜９５重量％とに、焼結助
剤としてＭｇＯ，ＭｇＯ・Ａｌ2 Ｏ3 ，２ＭｇＯ・Ｓｉ
Ｏ2 ，ＭｇＯ・ＳｉＯ2 等のＭｇＯ含有化合物の中から
選択される少なくとも１種を、０．３〜１０重量％添加
した組成で構成し、その製造方法としては上記組成の混
合粉末を成形し、窒素ガスを含む非酸化性雰囲気で、５
〜７６０Torrの減圧下、あるいは１〜１０気圧のガス圧
下にて、温度１６００〜２０００℃で焼成を行うように
する。
法に関し、マシナブルな特性を損なわずに溶融金属に対
する耐食性、耐熱衝撃性、機械的強度に優れたＢＮ−Ａ
ｌＮ系複合焼結体及びその製造方法を提供することを目
的とする。 【構成】 窒化硼素原料（BN) ５〜６０重量％と、窒化
アルミニウム原料(AlN) ３５〜９５重量％とに、焼結助
剤としてＭｇＯ，ＭｇＯ・Ａｌ2 Ｏ3 ，２ＭｇＯ・Ｓｉ
Ｏ2 ，ＭｇＯ・ＳｉＯ2 等のＭｇＯ含有化合物の中から
選択される少なくとも１種を、０．３〜１０重量％添加
した組成で構成し、その製造方法としては上記組成の混
合粉末を成形し、窒素ガスを含む非酸化性雰囲気で、５
〜７６０Torrの減圧下、あるいは１〜１０気圧のガス圧
下にて、温度１６００〜２０００℃で焼成を行うように
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はマシナブル材料で電気絶
縁性、放熱性、耐食性、耐熱衝撃性に優れた常圧焼結Ｂ
Ｎ−ＡｌＮ系複合焼結体およびその製造方法に関する。
縁性、放熱性、耐食性、耐熱衝撃性に優れた常圧焼結Ｂ
Ｎ−ＡｌＮ系複合焼結体およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】窒化硼素(BN)焼結体は溶融金属に対する耐
食性、耐熱衝撃性、及び電気絶縁性に優れることから、
種々の工業分野で利用されているが、機械的強度が低
く、熱伝導率もさほど高くない。一方、窒化アルミニウ
ム(AlN) 焼結体は機械的強度や熱伝導率が高い利点があ
るが、加工性に劣るため複雑な形状の製品には不向きで
ある。
食性、耐熱衝撃性、及び電気絶縁性に優れることから、
種々の工業分野で利用されているが、機械的強度が低
く、熱伝導率もさほど高くない。一方、窒化アルミニウ
ム(AlN) 焼結体は機械的強度や熱伝導率が高い利点があ
るが、加工性に劣るため複雑な形状の製品には不向きで
ある。
【０００３】従って、上記窒化硼素(BN)及び窒化アルミ
ニウム(AlN) の両者の利点を生かし、所要の特性を備え
るセラミックス焼結体として、両者を複合させたＢＮ−
ＡｌＮ系複合焼結体が提案されている（例えば特開昭60
-195059 号公報参照）。
ニウム(AlN) の両者の利点を生かし、所要の特性を備え
るセラミックス焼結体として、両者を複合させたＢＮ−
ＡｌＮ系複合焼結体が提案されている（例えば特開昭60
-195059 号公報参照）。
【０００４】上記ＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体はマシナブ
ルで熱伝導率が高く、かつ構造材料として使用可能な強
度を備えることとなるが、依然として一方の主成分であ
る窒化硼素の焼結性が低く、窒化アルミニウム(AlN) 焼
結体と比較すると機械的強度に劣ることとが指摘されて
おり、この点を改善すべく、鋭意研究開発がなされてい
る。
ルで熱伝導率が高く、かつ構造材料として使用可能な強
度を備えることとなるが、依然として一方の主成分であ
る窒化硼素の焼結性が低く、窒化アルミニウム(AlN) 焼
結体と比較すると機械的強度に劣ることとが指摘されて
おり、この点を改善すべく、鋭意研究開発がなされてい
る。
【０００５】例えば、特開昭60-195060 号公報において
は、1500〜2100℃程度の温度で２〜50MPa 程度の圧力を
かけるホットプレスによる成形方法が開示され、これに
よって曲げ強さが 100〜400MPa、熱伝導率が30〜35W/ｍ
・Ｋ程度でマシナブルな焼結体が得られることが確認さ
れている。
は、1500〜2100℃程度の温度で２〜50MPa 程度の圧力を
かけるホットプレスによる成形方法が開示され、これに
よって曲げ強さが 100〜400MPa、熱伝導率が30〜35W/ｍ
・Ｋ程度でマシナブルな焼結体が得られることが確認さ
れている。
【０００６】また特開平2-252662号公報においては、上
記窒化硼素原料の焼結を促進させる焼結助剤として、カ
ルシウム化合物、イットリウム化合物、アルミニウム化
合物、ホウ素化合物等を0.1 〜10重量％添加し、非酸化
雰囲気または真空中で、1850〜2000℃で無加圧焼結させ
るようにした製造方法が提案されている。
記窒化硼素原料の焼結を促進させる焼結助剤として、カ
ルシウム化合物、イットリウム化合物、アルミニウム化
合物、ホウ素化合物等を0.1 〜10重量％添加し、非酸化
雰囲気または真空中で、1850〜2000℃で無加圧焼結させ
るようにした製造方法が提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開昭60-195060 号公報に開示されたようなホットプレス
による成形方法では、設備上の制約から大型形状品の製
造が困難である。また、在来の設備では単純形状のイン
ゴットしか得られないため、ある程度マシナブルである
ＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体のインゴットを所望の形状に
加工する工程が必要になり、加工に多大のコストを要す
るところから、製品の用途が限定される。
開昭60-195060 号公報に開示されたようなホットプレス
による成形方法では、設備上の制約から大型形状品の製
造が困難である。また、在来の設備では単純形状のイン
ゴットしか得られないため、ある程度マシナブルである
ＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体のインゴットを所望の形状に
加工する工程が必要になり、加工に多大のコストを要す
るところから、製品の用途が限定される。
【０００８】さらに上記特開平2-252662号公報に開示さ
れたような焼結助剤を原料に添加する方法によれば、該
焼結助剤成分が主成分である窒化硼素粒子及び窒化アル
ミニウム粒子の粒界部分にガラス相となって集積分布す
る。この結果、特に高温下における曲げ強度が著しく低
下するとともに、溶融金属に対する耐食性、耐熱衝撃性
が劣化することから高温域で使用される製品には適用し
難い。
れたような焼結助剤を原料に添加する方法によれば、該
焼結助剤成分が主成分である窒化硼素粒子及び窒化アル
ミニウム粒子の粒界部分にガラス相となって集積分布す
る。この結果、特に高温下における曲げ強度が著しく低
下するとともに、溶融金属に対する耐食性、耐熱衝撃性
が劣化することから高温域で使用される製品には適用し
難い。
【０００９】本発明は上記従来の事情に鑑みてなされた
ものであって、溶融金属に対する耐食性、耐熱衝撃性、
機械的強度に優れたＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体及びその
製造方法を提供することを目的とするものである。
ものであって、溶融金属に対する耐食性、耐熱衝撃性、
機械的強度に優れたＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体及びその
製造方法を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明は以下の手段を採用する。すなわち、窒化硼素
原料（BN) ５〜６０重量％と、窒化アルミニウム原料(A
lN) ３５〜９５重量％とに、焼結助剤としてＭｇＯ，Ｍ
ｇＯ・Ａｌ2 Ｏ3 ，２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 ，ＭｇＯ・Ｓｉ
Ｏ2 等のＭｇＯ含有化合物の中から選択される少なくと
も１種を、０．３〜１０重量％添加した組成で構成され
るＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体である。
め本発明は以下の手段を採用する。すなわち、窒化硼素
原料（BN) ５〜６０重量％と、窒化アルミニウム原料(A
lN) ３５〜９５重量％とに、焼結助剤としてＭｇＯ，Ｍ
ｇＯ・Ａｌ2 Ｏ3 ，２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 ，ＭｇＯ・Ｓｉ
Ｏ2 等のＭｇＯ含有化合物の中から選択される少なくと
も１種を、０．３〜１０重量％添加した組成で構成され
るＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体である。
【００１１】上記ＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体は、上記組
成の混合粉末を成形し、窒素ガスを含む非酸化性雰囲気
で、５〜７６０Torrの減圧下、あるいは１〜１０気圧の
ガス圧下にて、温度１６００〜２０００℃で焼成を行う
ようにして製造される。
成の混合粉末を成形し、窒素ガスを含む非酸化性雰囲気
で、５〜７６０Torrの減圧下、あるいは１〜１０気圧の
ガス圧下にて、温度１６００〜２０００℃で焼成を行う
ようにして製造される。
【００１２】
【作用】上記構成における焼結助剤中のＭｇＯ成分は、
主原料であるＢＮ、ＡｌＮ粒子表面に微量含有されるＢ
2 Ｏ3 、Ａｌ2 Ｏ3 といった酸化物と焼成過程で容易に
反応して融液相を生成し、これを介して物質移動が活発
化し、焼結が進む。
主原料であるＢＮ、ＡｌＮ粒子表面に微量含有されるＢ
2 Ｏ3 、Ａｌ2 Ｏ3 といった酸化物と焼成過程で容易に
反応して融液相を生成し、これを介して物質移動が活発
化し、焼結が進む。
【００１３】さらに上記融液相は焼成終了後の冷却時に
は主成分粒子の粒界部分に極めて薄い層で分布し、特定
の部位に集積分布する現象が抑えられる。このことが高
温下で機械的強度および耐食性向上につながるものと考
えられる。特に、ＭｇＯ成分は溶融金属との反応性に乏
しいところから、ＢＮ粒子とＡｌＮ粒子との粒界面にＭ
ｇＯ成分を介在させることにより、耐食性が極めて良好
となり、実使用中の損耗が抑制されるのである。
は主成分粒子の粒界部分に極めて薄い層で分布し、特定
の部位に集積分布する現象が抑えられる。このことが高
温下で機械的強度および耐食性向上につながるものと考
えられる。特に、ＭｇＯ成分は溶融金属との反応性に乏
しいところから、ＢＮ粒子とＡｌＮ粒子との粒界面にＭ
ｇＯ成分を介在させることにより、耐食性が極めて良好
となり、実使用中の損耗が抑制されるのである。
【００１４】本発明に係るＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体に
おける窒化硼素の配合量は上記のように５〜６０重量％
とすることが望ましく、５重量％未満では相対的に窒化
アルミニウムの配合量が多くなり、耐熱衝撃性および機
械加工性が低下する。一方、窒化硼素配合量が６０重量
％を超えると、逆に耐熱衝撃性および機械加工性が向上
するが、熱伝導率が低くなり、機械的強度、耐食性が劣
化する。
おける窒化硼素の配合量は上記のように５〜６０重量％
とすることが望ましく、５重量％未満では相対的に窒化
アルミニウムの配合量が多くなり、耐熱衝撃性および機
械加工性が低下する。一方、窒化硼素配合量が６０重量
％を超えると、逆に耐熱衝撃性および機械加工性が向上
するが、熱伝導率が低くなり、機械的強度、耐食性が劣
化する。
【００１５】また焼結助剤として添加するＭｇＯ，Ｍｇ
Ｏ・Ａｌ2 Ｏ3 ，２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 ，ＭｇＯ・ＳｉＯ
2 などのＭｇＯ含有化合物のうちより選定された単独も
しくは２種以上を０．３〜１０重量％添加するのが好適
であり、添加量が０．３重量％未満では焼結助剤として
の効果が認められず、得られる焼結体の密度が上がら
ず、焼結性向上に及ぼす影響は小となる。逆に添加量が
１０重量％を超えると、焼結体の密度は上がり、焼結性
向上に対する効果は認められる半面、添加物の多くが窒
化硼素粒子及び窒化アルミニウム粒子の粒界部分にガラ
ス相を形成し、集積分布することから、特に高温下にお
ける機械的強度劣化につながり、さらに該ガラス相の存
在する粒界を通じての溶融金属の侵入を助長することに
もなり好ましくない。
Ｏ・Ａｌ2 Ｏ3 ，２ＭｇＯ・ＳｉＯ2 ，ＭｇＯ・ＳｉＯ
2 などのＭｇＯ含有化合物のうちより選定された単独も
しくは２種以上を０．３〜１０重量％添加するのが好適
であり、添加量が０．３重量％未満では焼結助剤として
の効果が認められず、得られる焼結体の密度が上がら
ず、焼結性向上に及ぼす影響は小となる。逆に添加量が
１０重量％を超えると、焼結体の密度は上がり、焼結性
向上に対する効果は認められる半面、添加物の多くが窒
化硼素粒子及び窒化アルミニウム粒子の粒界部分にガラ
ス相を形成し、集積分布することから、特に高温下にお
ける機械的強度劣化につながり、さらに該ガラス相の存
在する粒界を通じての溶融金属の侵入を助長することに
もなり好ましくない。
【００１６】また窒化硼素原料の純度は９５％以上、平
均粒子径は１０μｍ以下が望ましく、窒化アルミニウム
原料は純度９８％以上、平均粒子径５μｍ以下が望まし
い。焼結助剤については、焼結過程において融液化する
ため粒子径において大きな制約はないが、各粒子を均一
に混合させるためには２０μｍ以下とし、より望ましく
は１０μｍ程度とする。また純度は９６％以上であれば
よい。
均粒子径は１０μｍ以下が望ましく、窒化アルミニウム
原料は純度９８％以上、平均粒子径５μｍ以下が望まし
い。焼結助剤については、焼結過程において融液化する
ため粒子径において大きな制約はないが、各粒子を均一
に混合させるためには２０μｍ以下とし、より望ましく
は１０μｍ程度とする。また純度は９６％以上であれば
よい。
【００１７】原料および焼結助剤の混合には、ボールミ
ルなどの公知の方法による乾式混合、湿式混合が使用で
きるが、混合効率の面からは湿式混合が好適である。湿
式混合に用いられる分散媒体は特に限定されないがアル
コール類が好適であり、例えば水を分散媒体として使用
すると、３時間程度を超える長時間の混合では窒化アル
ミニウム原料と反応してアンモニアガスを生成しやす
く、設備上等の必要性を除き用いない方が良い。
ルなどの公知の方法による乾式混合、湿式混合が使用で
きるが、混合効率の面からは湿式混合が好適である。湿
式混合に用いられる分散媒体は特に限定されないがアル
コール類が好適であり、例えば水を分散媒体として使用
すると、３時間程度を超える長時間の混合では窒化アル
ミニウム原料と反応してアンモニアガスを生成しやす
く、設備上等の必要性を除き用いない方が良い。
【００１８】得られた混合粉末の成形はＣＩＰ成形など
の加圧成形により行う。ＣＩＰ成形の場合の成形圧力は
50MPa以上、より好ましくは100MPa以上で行う。ここ
で、成形圧力が 50MPa未満であれば成形体自体のかさ密
度が低く、焼結時の焼結体の緻密化が十分に進行しない
ことに加えて変形の要因になる。ＣＩＰ成形の他に鋳込
成形、金型成形、射出成形法等も使用される。
の加圧成形により行う。ＣＩＰ成形の場合の成形圧力は
50MPa以上、より好ましくは100MPa以上で行う。ここ
で、成形圧力が 50MPa未満であれば成形体自体のかさ密
度が低く、焼結時の焼結体の緻密化が十分に進行しない
ことに加えて変形の要因になる。ＣＩＰ成形の他に鋳込
成形、金型成形、射出成形法等も使用される。
【００１９】焼成は窒素ガスを含む非酸化性雰囲気で５
〜７６０Torr程度の減圧下、または１〜１０気圧のガス
加圧下で１６００〜２０００℃の温度範囲で行う。上記
焼成における雰囲気中に窒素ガスを供給することによ
り、窒素分圧を高めて主成分である窒化硼素及び窒化ア
ルミニウムの高温での分解を抑制するためである。雰囲
気圧力が５Torr未満では原料中の微量酸化物の蒸発が進
み、焼結体の緻密化が阻害され、好ましくない。逆に１
０気圧を越えるガス圧になると、焼結体に及ぼす悪影響
は特に見当たらないが、設備上の制約および経済性の面
で不利となり、条件的には避けたほうが良い。
〜７６０Torr程度の減圧下、または１〜１０気圧のガス
加圧下で１６００〜２０００℃の温度範囲で行う。上記
焼成における雰囲気中に窒素ガスを供給することによ
り、窒素分圧を高めて主成分である窒化硼素及び窒化ア
ルミニウムの高温での分解を抑制するためである。雰囲
気圧力が５Torr未満では原料中の微量酸化物の蒸発が進
み、焼結体の緻密化が阻害され、好ましくない。逆に１
０気圧を越えるガス圧になると、焼結体に及ぼす悪影響
は特に見当たらないが、設備上の制約および経済性の面
で不利となり、条件的には避けたほうが良い。
【００２０】焼結温度について１６００℃未満では焼結
体の緻密化が十分に進まず、目的とする特性が得られに
くく、逆に２０００℃を越えると原料粉末の分解、蒸発
が顕著となり、また焼結体組織を構成する粒子の粒成長
による肥大化が著しく、特に機械的強度と耐熱衝撃性の
低下につながり好ましくない。
体の緻密化が十分に進まず、目的とする特性が得られに
くく、逆に２０００℃を越えると原料粉末の分解、蒸発
が顕著となり、また焼結体組織を構成する粒子の粒成長
による肥大化が著しく、特に機械的強度と耐熱衝撃性の
低下につながり好ましくない。
【００２１】
【実施例】以下、本発明に関し、実施例に基づいて説明
する。純度９７％、平均粒子径０．９μｍの六方晶窒化
硼素(BN)粉末と、純度９９．４％、平均粒子径０．６μ
ｍの窒化アルミニウム(AlN) 粉末とに、下記表１に示す
各焼結助剤を表記の割合で配合し、エタノール溶媒中、
ボールミルで１８時間湿式混合を行った。
する。純度９７％、平均粒子径０．９μｍの六方晶窒化
硼素(BN)粉末と、純度９９．４％、平均粒子径０．６μ
ｍの窒化アルミニウム(AlN) 粉末とに、下記表１に示す
各焼結助剤を表記の割合で配合し、エタノール溶媒中、
ボールミルで１８時間湿式混合を行った。
【００２２】次に混合粉末スラリーをスプレードライヤ
ーによって造粒後、１５０MPa の圧力で冷間静水圧成形
（ＣＩＰ）を行い、１００φ×２０Ｈmmの成形体を得
た。これらの成形体についてＢＮ−ＡｌＮ製円筒ルツボ
中に置き、６５０Torr，窒素ガス雰囲気中、１８５０℃
×４時間で焼結を行った。得られた焼結体について密
度、曲げ強度（常温１２００℃）、熱伝導率、耐熱衝撃
性およびＳＵＳ３２１を侵食材とする耐食性試験を行
い、評価したので結果を表１に示す。
ーによって造粒後、１５０MPa の圧力で冷間静水圧成形
（ＣＩＰ）を行い、１００φ×２０Ｈmmの成形体を得
た。これらの成形体についてＢＮ−ＡｌＮ製円筒ルツボ
中に置き、６５０Torr，窒素ガス雰囲気中、１８５０℃
×４時間で焼結を行った。得られた焼結体について密
度、曲げ強度（常温１２００℃）、熱伝導率、耐熱衝撃
性およびＳＵＳ３２１を侵食材とする耐食性試験を行
い、評価したので結果を表１に示す。
【００２３】表１に示すように、本発明に係る実施例１
〜１０の全てにわたって密度の高い焼結体が得られると
ともに、抗折強度においても比較例１〜４を大きく上回
り、特に１２００℃下での熱間強度の向上が著しい。
〜１０の全てにわたって密度の高い焼結体が得られると
ともに、抗折強度においても比較例１〜４を大きく上回
り、特に１２００℃下での熱間強度の向上が著しい。
【００２４】さらに注目すべきは本発明に係る実施例は
いずれも比較例に対して飛躍的に向上する。なお、本発
明は上記実施例に限定されるものではなく、例えば焼結
助剤として添加する物質を適宜調合して実施することが
できる。
いずれも比較例に対して飛躍的に向上する。なお、本発
明は上記実施例に限定されるものではなく、例えば焼結
助剤として添加する物質を適宜調合して実施することが
できる。
【００２５】
【表１】
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明のＢＮ−ＡｌＮ系複
合焼結体はマシナブルな特性を有する上に、溶融金属に
対する耐食性、耐熱衝撃性に優れ、機械的強度及び熱伝
導率の高い材料を提供することができる。また、常圧焼
結法という極めて簡便な方法での製造が可能であるた
め、幅広い高温構造材料への用途があり、産業上極めて
有用である。
合焼結体はマシナブルな特性を有する上に、溶融金属に
対する耐食性、耐熱衝撃性に優れ、機械的強度及び熱伝
導率の高い材料を提供することができる。また、常圧焼
結法という極めて簡便な方法での製造が可能であるた
め、幅広い高温構造材料への用途があり、産業上極めて
有用である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 １０４ Ｕ
Claims (2)
- 【請求項１】 窒化硼素原料（BN) ５〜６０重量％と、
窒化アルミニウム原料(AlN) ３５〜９５重量％とに、焼
結助剤としてＭｇＯ，ＭｇＯ・Ａｌ2 Ｏ3 ，２ＭｇＯ・
ＳｉＯ2 ，ＭｇＯ・ＳｉＯ2 等のＭｇＯ含有化合物の中
から選択される少なくとも１種を、０．３〜１０重量％
添加した組成で構成されるＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体。 - 【請求項２】 上記請求項１に記載の組成からなる混合
粉末を成形し、窒素ガスを含む非酸化性雰囲気で、５〜
７６０Torrの減圧下、あるいは１〜１０気圧のガス圧下
にて、温度１６００〜２０００℃で焼成を行うようにし
たＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5352569A JPH07206522A (ja) | 1993-12-30 | 1993-12-30 | ＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5352569A JPH07206522A (ja) | 1993-12-30 | 1993-12-30 | ＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07206522A true JPH07206522A (ja) | 1995-08-08 |
Family
ID=18424957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5352569A Pending JPH07206522A (ja) | 1993-12-30 | 1993-12-30 | ＢＮ−ＡｌＮ系複合焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07206522A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012008502A1 (ja) * | 2010-07-14 | 2012-01-19 | 日本発條株式会社 | セラミックス部材、プローブホルダ及びセラミックス部材の製造方法 |
-
1993
- 1993-12-30 JP JP5352569A patent/JPH07206522A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012008502A1 (ja) * | 2010-07-14 | 2012-01-19 | 日本発條株式会社 | セラミックス部材、プローブホルダ及びセラミックス部材の製造方法 |
| JP2012020901A (ja) * | 2010-07-14 | 2012-02-02 | Nhk Spring Co Ltd | セラミックス部材、プローブホルダ及びセラミックス部材の製造方法 |
| CN102985390A (zh) * | 2010-07-14 | 2013-03-20 | 日本发条株式会社 | 陶瓷构件、探针支架及陶瓷构件的制造方法 |
| KR101468552B1 (ko) * | 2010-07-14 | 2014-12-03 | 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 | 세라믹 부재, 프로브 홀더 및 세라믹 부재의 제조 방법 |
| US9238593B2 (en) | 2010-07-14 | 2016-01-19 | Nhk Spring Co., Ltd. | Ceramic member, probe holder, and manufacturing method of ceramic member |
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